CN1768302A - 光致抗蚀剂组合物 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种组合物和制备组合物的方法，该组合物包含：a)用约3－约7wt％萘醌二叠氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆树脂；b)一种或多种稀释树脂；和c)至少一种溶剂。

Description

光致抗蚀剂组合物
发明背景
本发明涉及光敏光致抗蚀剂组合物和生产这样的组合物的方法。特别地，本发明涉及光致抗蚀剂组合物，其包含如下组合物：该组合物包含a)用约3-约7wt％萘醌二叠氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆树脂；b)一种或多种稀释树脂；和c)至少一种溶剂。这样的光致抗蚀剂组合物提供正性光致抗蚀剂，该正性光致抗蚀剂显示对较厚膜而言的低吸收，良好的感光速度(photospeed)，可调节的对比度，良好的保存期限稳定性，低脱气潜在可能性，基本无结晶，优异的涂覆性能和宽谱带敏感性。
光致抗蚀剂组合物用于制备微型化电子组件用的微平板印刷工艺中，如用于计算机芯片和集成电路的制造中。通常，在这些工艺中，首先将光致抗蚀剂组合物的膜的薄涂层施加到衬底材料，如用于制造集成电路的硅晶片上。然后烘烤经涂覆的衬底以蒸发光致抗蚀剂组合物中的任何溶剂和将涂层固定到衬底上。然后将衬底的经烘烤-涂覆的表面进行成像式辐射曝光。
此辐射曝光引起涂覆表面的曝光区域中的化学转变。可见光、紫外(UV)光、电子束和X射线辐射能是目前通常用于微平板印刷工艺的辐射类型。在此成像式曝光之后，采用显影剂溶液处理经涂覆的衬底以溶解和除去衬底的涂覆表面的辐射曝光区域(在正性光致抗蚀剂的情况下)或未曝光区域(在负性光致抗蚀剂的情况下)。
存在两种类型的光致抗蚀剂组合物，负性作用和正性作用的。当将负性作用的光致抗蚀剂组合物对辐射成像式曝光时，对辐射曝光的抗蚀剂组合物的区域变得较不可溶于显影剂溶液(如发生交联反应)而光致抗蚀剂涂层的未曝光区域保持相对可溶于这样的溶液。因此，采用显影剂对经曝光的负性作用抗蚀剂的处理引起光致抗蚀剂涂层的未曝光区域的脱除和在涂层中形成负像，由此露出在其上沉积光致抗蚀剂组合物的在下方的衬底表面的所需部分。
另一方面，当将正性作用光致抗蚀剂组合物对辐射成像式曝光时，对辐射曝光的光致抗蚀剂组合物的那些区域变得更可溶于显影剂溶液(如发生重排反应)而未曝光的那些区域保持相对不可溶于显影剂溶液。因此，采用显影剂对经曝光的正性作用光致抗蚀剂的处理引起涂层曝光区域的脱除和在光致抗蚀剂涂层中形成正像。再次，露出在下方的衬底表面的所需部分。
在此显影操作之后，可以将这时部分地未保护的衬底采用衬底-蚀刻剂溶液或等离子体气体等进行处理。蚀刻剂溶液或等离子体气体蚀刻其中在显影期间除去了光致抗蚀剂涂层处的衬底部分。其中光致抗蚀剂涂层仍然保留的衬底区域被保护和因此，在衬底材料中形成对应于用于辐射成像式曝光的光掩模的蚀刻的图案。后续，可以在剥离期间除去光致抗蚀剂涂层的剩余区域，留下清洁的经蚀刻的衬底表面。在一些情况下，期望在显影步骤之后和在蚀刻步骤之前热处理剩余的光致抗蚀剂层，以增加它对在下方的衬底的粘合作用和它的抗蚀刻溶液的性能。
正性作用光致抗蚀剂组合物目前相对于负性作用抗蚀剂是有利的，这是由于前者通常具有更好的分辨能力和图案转印特性。光致抗蚀剂分辨率定义为在曝光和显影之后抗蚀剂组合物可以高图像边缘锐度从光掩模转印到衬底的最小特征。在目前的许多制造应用中，约小于一微米的抗蚀剂分辨率是相当常见的。此外，几乎总是期望显影的光致抗蚀剂壁轮廓相对于衬底是几乎垂直的。在抗蚀剂涂层的显影和未显影区域之间的这样划界转变成掩模图像向衬底上的精确图案转印。
先前已进行努力以将DNQ基团连接到酚醛清漆树脂上。然而，这些努力一直针对提供用作成膜组分和光敏剂两者的树脂。由于不必加入单独的光活性组分以光敏化光致抗蚀剂组合物，这使得能够生产单一组分光致抗蚀剂。涉及此技术的最初专利之一是U.S.专利3,046,120。将邻甲酚/甲醛酚醛清漆树脂用萘醌-(1，2)-二叠氮化物-(2)-5-磺酰氯进行酯化以提供可用于生产印刷线路板的单一组分光敏组合物。涉及将光敏化合物与酚醛树脂结合的这些尝试的其它专利是U.S.专利3,635,709、4,123,279和4,306,011。
U.S.专利5,178,986涉及可用作正性作用光致抗蚀剂的光敏混合物。该混合物包含一种化合物，该化合物包含由DNQ和低聚酚生成的反应产物。用于提供包含酚醛树脂和DNQ生成的酯化产物的光致抗蚀剂组合物的更近期尝试描述于U.S.专利5,279,918。将邻醌二叠氮化物磺酰氯与相对低分子量的酚醛清漆树脂缩合，其中将40％-90％酚羟基与DNQ基团缩合。这在酚醛清漆树脂主链上提供高浓度DNQ部分。
在U.S.专利5,422,221中公开了一种光致抗蚀剂组合物，其中酚醛清漆树脂用作组合物的碱溶性成膜树脂和光敏组分两者。这由如下方式完成：将酚醛清漆树脂中羟基的氢原子采用DNQ基团以0.03-0.27mol/氢原子的比例替代(据信等同于3-27％酯化度)。公开了，大于0.27mol％[sic]取代度导致得到较不可溶于光致抗蚀剂溶剂中的酚醛清漆树脂，和小于0.03mol％[sic]取代度提供在膜保持力方面太低的酚醛清漆树脂，使得获得的光致抗蚀剂组合物不能形成图案和因此是无用的。
U.S.专利5,529,880公开了包含如下物质的光致抗蚀剂组合物：1)由DNQ和含有侧向酚羟基的酚醛清漆树脂生成的酯化产物和2)含有2-5个苯环和至少4个酚羟基的酚采用DNQ的酯化产物，其中至少50％的它的酚羟基用DNQ酯化。控制用于生产酯化产物1)的酯化反应，使得将最大20％的酚羟基酯化。
U.S.专利5,723,254公开了包含光活性组分混合物的正性作用光致抗蚀剂组合物。该混合物的一种组分是由DNQ与低分子量酚醛树脂生成的酯化产物。另一种组分是由DNQ与含有1-3个芳基环和1-3个羟基的低分子量酚生成的酯化产物。可以存在的第三光活性组分是由DNQ与相对高分子量多元多核酚生成的酯化产物。
发明概述
本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物，其包含如下组合物，该组合物包含：a)用约3-约7wt％萘醌二叠氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆树脂；b)一种或多种稀释树脂；和c)至少一种溶剂。
用于该要求保护的组合物的经部分酯化的酚醛清漆是优选具有重均分子量为约1,000-30,000，优选约1,500-10,000的水不溶性、碱溶性成膜酚醛树脂。用于酚醛清漆树脂的部分酯化的DNQ包含替代在酚醛清漆树脂中的羟基的氢原子的醌二叠氮化物磺酰基。所述一种或多种稀释树脂稀释组合物中经部分酯化的酚醛清漆树脂的数量以允许得到更好的溶液，粘度，和在组合物和获得的光致抗蚀剂方面其它的物理和化学益处。适用于本发明中的溶剂可以是本领域技术人员公知的任何溶剂，但优选是可以选自如下的溶剂或溶剂掺混物：单独或与苯甲醚结合的2-庚酮、单独或与乙酸正丁酯或丙二醇甲基醚结合的乳酸乙酯，或单独或与3-乙氧基丙酸乙酯结合的丙二醇甲基醚。
本发明进一步包括在衬底上形成图像的方法。将衬底采用本发明的光致抗蚀剂组合物的膜涂覆。将该光致抗蚀剂膜通过掩模用紫外辐射成像式曝光并根据本领域技术人员已知的那些步骤进行加工。
发明详述
本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物，其包含如下组合物，该组合物包含：a)用约3-约7wt％萘醌二叠氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆树脂；b)一种或多种稀释树脂；和c)至少一种溶剂。
用于该要求保护的组合物的部分酯化的酚醛清漆是优选具有重均分子量为约1,000-30,000，优选约1,500-10,000的水不溶性、碱溶性成膜酚醛树脂。用于酚醛清漆树脂的部分酯化的DNQ包含替代在酚醛清漆树脂中的羟基的氢原子的醌二叠氮化物磺酰基。所述一种或多种稀释树脂稀释组合物中经部分酯化的酚醛清漆树脂的数量以允许得到更好的溶液，粘度，和在组合物和获得的光致抗蚀剂方面其它的物理和化学益处。适用于本发明中的溶剂可以是本领域技术人员公知的任何溶剂，但优选是可以选自如下的溶剂或溶剂掺混物：单独或与苯甲醚结合的2-庚酮，单独或与乙酸正丁酯或丙二醇甲基醚结合的乳酸乙酯，或单独或与3-乙氧基丙酸乙酯结合的丙二醇甲基醚。
本发明进一步包括在衬底上形成图像的方法。将衬底采用本发明的光致抗蚀剂组合物的膜涂覆。将光致抗蚀剂膜通过掩模用紫外辐射成像式曝光并根据本领域技术人员已知的那些步骤进行加工。
包含要求保护的组合物中用DNQ部分酯化的成膜酚醛清漆树脂的溶液是极粘性的和难以在配制光致抗蚀剂组合物过程中处理。已经发现通过将稀释树脂加入到包含该部分酯化的酚醛清漆树脂的溶液中，组合物的粘度和其它物理和化学性能得到改进和组合物变得非常适用于形成光致抗蚀剂。
根据本发明部分酯化的酚醛清漆树脂由如下方式制备：在酸或二价金属盐催化剂存在下，在合适的反应溶剂中，将酚或取代酚进行酚或取代酚(或其结合物)与醛或酮(或其结合物)的加成缩合反应，所述醛包括甲醛产生源，，如光致抗蚀剂领域技术人员公知的那样。合适的酚包括，但不限于苯酚、氯苯酚、氟苯酚、间甲酚、邻甲酚、对甲酚、间乙基苯酚、邻乙基苯酚、对乙基苯酚、间丁基苯酚、邻丁基苯酚、对丁基苯酚、三甲基甲硅烷基苯酚、氯甲基苯酚、2，3-二甲苯酚、2，4-二甲苯酚、2，5-二甲苯酚、2，6-二甲苯酚、3，4-二甲苯酚、3，5-二甲苯酚、3，6-二甲苯酚、邻苯基苯酚、间苯基苯酚、对苯基苯酚、2，3，5-三甲基苯酚、2，3，5-三乙基苯酚、3，4，5-三甲基苯酚、4-叔丁基苯酚、3-叔丁基苯酚、2-叔丁基苯酚、2-叔丁基-4-甲基苯酚、2-叔丁基-5-甲基苯酚和其它烷基取代的苯酚；对甲氧基苯酚、间甲氧基苯酚、邻甲氧基苯酚、对乙氧基苯酚、间乙氧基苯酚、邻乙氧基苯酚、邻丙氧基苯酚、对丙氧基苯酚、间丙氧基苯酚和其它烷氧基取代的苯酚；邻异丙烯基苯酚、对异丙烯基苯酚、2-甲基-4-异丙烯基苯酚、2-乙基-4-异丙烯基苯酚和其它异丙烯基取代的苯酚；苯基苯酚和其它芳基取代的苯酚；4，4′-二羟基联苯、双酚A、对苯二酚、间苯二酚、2-甲基间苯二酚、5-甲基间苯二酚、连苯三酚、儿茶酚，和光致抗蚀剂领域技术人员公知的其它物质。依赖于所需的溶解速率，这些酚可以单独或以两种或更多种物质的掺混物形式使用。
至于醛的例子，可以单独或结合使用如下那些，如甲醛、低聚甲醛、乙醛，苯甲醛、糠醛、三噁烷、丙醛、丁醛、三甲基乙醛、丙烯醛、巴豆醛、环己醛、呋喃基丙烯醛、对苯二甲醛、苯基乙醛、α-苯基丙醛、β-苯基丙醛、邻羟基苯甲醛、间羟基苯甲醛、对羟基苯甲醛、邻甲基苯甲醛、间甲基苯甲醛、对甲基苯甲醛、邻氯苯甲醛、间氯苯甲醛、对氯苯甲醛、肉桂醛、水杨醛、2-氯苯甲醛、3-氯苯甲醛、4-氯苯甲醛、2-羟基苯甲醛、3-羟基苯甲醛、4-羟基苯甲醛、2-甲氧基苯甲醛、3-甲氧基苯甲醛、4-甲氧基苯甲醛、2-硝基苯甲醛、3-硝基苯甲醛、4-硝基苯甲醛、丙醛、苯基乙醛、α-苯基丙醛、β-苯基丙醛、邻甲基苯甲醛、间甲基苯甲醛、对甲基苯甲醛、对乙基苯甲醛、对正丁基苯甲醛和类似物及其混合物。作为甲醛产生源，使用甲醛溶液、三噁烷、低聚甲醛，和半缩甲醛如甲基半缩甲醛、乙基半缩甲醛、丙基半缩甲醛、丁基半缩甲醛和苯基半缩甲醛。
酮的例子包括丙酮、甲乙酮、二乙基酮和二苯基酮。这些酮中的每种都可以单独或结合使用。此外，可以采用任何醛和任何酮的非必要组合。
作为酸催化剂，可以采用无机酸如盐酸、硝酸、硫酸等，有机酸如甲酸、草酸、马来酸等，和铜、钴、镁、锰、镍、锌等的二价无机金属盐。反应溶剂通常是亲水性溶剂，如甲醇或二噁烷。优选的碱溶性、成膜酚醛清漆树脂包括苯酚-甲醛酚醛清漆、甲酚-甲醛酚醛清漆和苯酚改性的二甲苯酚-甲醛酚醛清漆。
根据本发明，通过采用包含萘醌二叠氮基磺酰基(DNQ)的化合物替代酚醛清漆树脂的羟基的约3-约7％的氢原子而部分酯化该酚醛清漆树脂。合适DNQ基团的例子包括1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基、1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酰基、7-甲基-1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-6-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-7-磺酰基和2，1-萘醌二叠氮化物-8-磺酰基。这些DNQ基团可以单独或结合采用，但特别优选是1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基和1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酰基。
将一种或多种稀释树脂加入到本发明的组合物中。稀释树脂包括，例如以上在a)中描述的相同的酚醛清漆树脂，区别在于它们不用DNQ加以部分酯化。这些酚醛清漆树脂中的一些尤其包括在三甲基苯酚和甲醛之间的缩合产物和在丙酮和连苯三酚之间的缩合产物。
其它稀释树脂包括多羟基酚化合物，例如1，1-双(4-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-2-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(4-羟基-3-甲基苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(2，6-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，4-二羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，4，5-三羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-2-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(4-羟基-3-甲基苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(2，6-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，4-二羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，4，5-三羟苯基)-1-[4-(1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基)苯基]乙烷、4，4′，4″，4-(1，4-亚苯基二次甲基)四苯酚、4，4′-[(3-羟苯基)亚甲基]双[2-甲基乙基苯酚]、2，2′-[(3-羟苯基)亚甲基]双[3，5，6-三甲基苯酚]、2，2′-[(2-羟基-3-甲氧基苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、2，2′-[(4-羟基-3-甲氧基苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、4-[双(4-羟苯基)甲基]-2-乙氧基苯酚、4-[双(4-羟苯基)甲基]-2-甲氧基苯酚、2，4，6-三(4-羟苯基甲基)-1，3-苯二醇、4，4′-[1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]双苯酚、4-(2，3，5-三甲基-4-羟苯基)甲基-1，3-苯二醇、6，6′-亚甲基双[4-(4-羟基-3，5-二甲基苯基甲基)-1，2，3-苯三醇]、2，6-双[(2，4-二羟苯基)甲基]-4-乙基苯酚、2，4-双[(2，4-二羟苯基)甲基]-6-环己基苯酚、2，6-双[[2，3-二羟基-5-(1，1-二甲基乙基)苯基]甲基]-4-甲基苯酚、4，4′-[(3，4-二羟苯基)亚甲基]双[2-(甲基乙基)苯酚]、2，2′-[(3，4-二羟苯基)亚甲基]双[3，5，6-三甲基苯酚]、2，2′-[(3-羟基-4-甲氧基苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、2，4′，4″-次甲基三苯酚、4，4′-[(2-羟苯基)亚甲基]双[3-甲基苯酚]、4，4′，4″-(3-甲基-1-丙烷基-3-叉基)三苯酚、2，2′-[(3-羟苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]，4，4′，4″，4″′-(1，2-乙烷二叉基)四苯酚、4，6-双[(4-羟苯基)甲基]-1，3-苯二醇、4，4′-[(3，4-二羟苯基)亚甲基]双[2-甲基苯酚]、2，2′-[(2-羟苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、2，2′-[(4-羟苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、(2，4-二羟苯基)(4-羟苯基)甲烷、4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]-1，3-苯二醇、4-[(3，5-二甲基-4-羟苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇、4，4′-[1，4-亚苯基双(1-甲基乙叉基)]双[苯-1，2-二醇]、5，5′-[1，4-亚苯基双(1-甲基乙叉基)]双[苯-1，2，3-三醇]、4-[(2，3，5-三甲基-4-羟苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇、4，4′-亚甲基双[6-甲基羰基-1，3-苯二醇]、6，6′-亚甲基双[4-(4-羟基苯基甲基)-1，2，3-苯三醇]、6，6′-乙叉基双[4-(4-羟苯基羧基)-1，2，3-苯三醇]、4，4′，4″-次甲基三[2，6-双[(羟苯基)甲基]苯酚]、4，4′，4″-乙叉基三[2，6-双[(羟苯基)甲基]苯酚]、2，2′-双[(3，4-二羟苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、4-[(4-羟苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇和4，4′-[1，4-亚苯基双(1-甲基乙叉基)]双[苯-1，2，3-三醇]。
多羟基酚的另外例子可以参见美国专利4,863,828、5,087,548、5,110,706、5,238,775、5,290,658、5,318,875、5,380,618、5,397,679、5,407,778、5,413,896、5,429,904、5,429,905和5,556,995和参见欧洲公开申请0 554 101，每篇文献在此引入作为根据本发明的合适多羟基酚的公开内容的参考。一些多羟基酚由如下通式例示：
其中R8，R9，R10，R11，R12，R13和R26每个独立地是氢、未取代或取代的C1-6烷基、未取代或取代的C6-10芳基或羟基；
a，b，c和d每个独立地是0-5的整数。
取代或未取代的烷基包括，例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、环己基、羟基甲基、氯甲基、溴甲基、2-氯甲基、三甲基甲硅烷基甲基等。取代或未取代的芳基包括，例如苯基、苄基、枯基、1-萘基、2-萘基、4-羟苯基、4-三甲基甲硅烷氧基苯基、4-甲氧基苯基和4-乙酰基苯基等。
键合到各自苯环上的基团R8-R11可以相同或不同且R8-R11中每个可包含两个或多个不同的基团，和基团R8，R9和R11中至少一个包含至少一个羟基。
Figure A20048000862200162
其中R12至R17是H、卤素、C1-6烷基、烯基或OH，R18和R19是H、卤素或C1-6烷基，和R20至R25是H或C1-6烷基。
Figure A20048000862200171
其中Y选自-C-、-C(CH3)2-或-O-；Z选自-C-或-C(CH3)2-；和j，k和q中每个独立地是0-3的整数(条件是j，k和q不能都是0)，和m，o和r中每个独立地是0-3的整数(条件是(j+m)，(k+o)和(q+r)都不超过4)。
用于本发明组合物中的溶剂包括，例如溶剂如二醇醚衍生物如乙基溶纤剂、甲基溶纤剂、丙二醇单甲基醚、二甘醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、二丙二醇二甲基醚、丙二醇正丙基醚或二甘醇二甲基醚；二醇醚酯衍生物如乙基溶纤剂乙酸酯、甲基溶纤剂乙酸酯或丙二醇单甲基醚乙酸酯；羧酸酯如乙酸乙酯、乙酸正丁酯和乙酸戊酯；二元酸的羧酸酯如草酸二乙酯和丙二酸二乙酯；二醇的二羧酸酯如乙二醇二乙酸酯和丙二醇二乙酸酯；和羟基羧酸酯如乳酸甲酯、乳酸乙酯、乙醇酸乙酯和3-羟基丙酸乙酯；酮酯如丙酮酸甲酯或丙酮酸乙酯；烷氧基羧酸酯如3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯或乙氧基丙酸甲酯；酮衍生物如甲乙酮、乙酰丙酮、环戊酮、环己酮或2-庚酮；酮醚衍生物如双丙酮醇甲基醚；酮醇衍生物如丙酮醇或双丙酮醇；内酯如丁内酯；酰胺衍生物如二甲基乙酰胺或二甲基甲酰胺、苯甲醚，及其混合物。优选的溶剂或溶剂掺混物可以选自单独或与苯甲醚结合的2-庚酮，单独或与乙酸正丁酯或丙二醇甲基醚结合的乳酸乙酯，或单独或与3-乙氧基丙酸乙酯结合的丙二醇甲基醚。当结合使用时，混合重量比通常为约10∶0-约0∶10，更优选约9∶1-约7∶3。优选的溶剂是可以选自丙二醇甲基醚和3-乙氧基丙酸乙酯，2-庚酮和苯甲醚，或乳酸乙酯和乙酸正丁酯的溶剂组合。
根据本发明，酚醛清漆树脂经部分地用约3-约7wt％DNQ基团酯化。酯化的酚醛清漆树脂用作光致抗蚀剂组合物中的成膜树脂。由稀释树脂的加入，DNQ的酯化度范围通常降低最高至约20％。
此外，在本发明的更优选实施方案中，最优选光致抗蚀剂溶剂混合物的使用提供了能够在衬底上以在光致抗蚀剂组合物中更低得多的固体水平形成所需厚度的膜的光致抗蚀剂组合物。固体水平包括所述部分酯化的酚醛清漆树脂，所述一种或多种稀释树脂和非必要的固体添加剂。
光致抗蚀剂组合物也可包含本领域技术人员公知的各种成分，如着色剂、染料、光活性化合物、抗条纹剂、流平剂、增塑剂、粘合促进剂、速度增强剂、溶剂，和表面活性剂如非离子表面活性剂，它们可以在将组合物涂覆到衬底上之前加入到本发明的组合物中。可以与本发明光致抗蚀剂组合物一起使用的染料添加剂的例子包括甲基紫2B(C.I.No.42535)、结晶紫(C.I.42555)、孔雀石绿(C.I.No.42000)、维多利亚蓝B(C.I.No.44045)和中性红(C.I.No.50040)。光活性化合物的例子包括，例如一种或多种如下物质：(1)在萘醌二叠氮化物磺酰卤(例如，1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酰卤、7-甲基-1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰卤、2，1-萘醌二叠氮化物-4-磺酰卤、2，1-萘醌二叠氮化物-6-磺酰卤、2，1-萘醌二叠氮化物-7-磺酰基和2，1-萘醌二叠氮化物-8-磺酰卤)或苯醌二叠氮化物磺酰卤与低分子量或高分子量化合物之间的反应产物，所述化合物含有至少一个能够与这些磺酰卤进行缩合反应的官能团。可以与磺酰卤缩合的官能团包括羟基、氨基等。其中，特别优选是羟基和更优选是两个羟基。包含羟基的化合物包括，例如对苯二酚、间苯二酚、苯酚、对甲氧基苯酚、二甲基苯酚、双酚A、萘酚、焦儿茶酚、连苯三酚单甲基醚、连苯三酚-1，3-二甲基醚、没食子酸、部分酯化或部分醚化的没食子酸和其它酚；2，4-二羟基二苯甲酮、2，3，4-三羟基二苯甲酮、2，4，6-三羟基二苯甲酮、2，4，4′-三羟基二苯甲酮、2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮、2，2′，4，4′-四羟基二苯甲酮和2，2′，3，4，6′-五羟基二苯甲酮、2，3′，4，4′，6-五羟基二苯甲酮、2，2′，3，4，4′-五羟基二苯甲酮和2，2′，3，4，5′-五羟基二苯甲酮、2，3′，4，5，5′-五羟基二苯甲酮、2，3，3′，4，4′，5′-六羟基二苯甲酮和其它多羟基二苯甲酮；羟苯基烷烃如双(2，4-二羟苯基)甲烷、双(2，3，4-三羟苯基)甲烷和双(2，4-二羟苯基)丙烷；羟基三苯基甲烷如4，4′，3″，4″-四羟基-3，5，3′，5′-四甲基苯基甲烷和4，4′，2″，3″，4″-五羟基-3，5，3′，5′-四甲基三苯基甲烷；双[3-(3，5-二甲基-4-羟基苄基)-4-羟基-5-甲基苯基]甲烷、双[3-(3，5-二甲基-4-羟基苄基)-4-羟基-5-乙基苯基]甲烷、双[3-(3，5-二乙基-4-羟基苄基)-4-羟基-5-甲基苯基]甲烷、双[3-(3，5-二乙基-4-羟基苄基)-4-羟基-5-乙基苯基]甲烷和其它末端二甲苯酚线性四核化合物；2，4-双[2-羟基-3-(4-羟基苄基)-5-甲基苄基]-6-环己基苯酚、2，4-双[4-羟基-3-(4-羟基苄基)-5-甲基苄基]-6-环己基苯酚和其它线性五核化合物和其它线性多酚化合物；双[2-羟基-3-(3，5-二甲基-4-羟基苄基)-5-甲基苯基]甲烷、双[2-羟基-3-(2-羟基-5-甲基苄基)-5-甲基苯基]甲烷、双[4-羟基-3-(2-羟基-5-甲基苄基)-5-甲基苯基]甲烷、双[2，5-二甲基-3-(4-羟基-5-甲基苄基)-4-羟苯基]甲烷、双[2，5-二甲基-3-(4-羟基苄基)-4-羟苯基]甲烷、双(2，5-二甲基-3-(2-羟基苄基)-4-羟苯基)甲烷和其它线性四核化合物；1，1-双(4-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-2-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(4-羟基-3-甲基苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(2，6-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，4-二羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，4，5-三羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(4-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-2-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(4-羟基-3-甲基苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(2，6-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，4-二羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，4，5-三羟基苯基)-1-[4-(1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基)苯基]乙烷和其它非线性四核化合物；双(4-羟基-2，3，5-三甲基苯基)-2-羟苯基甲烷、1，4-双[1-(3，5-二甲基-4-羟苯基)异丙基]苯、2，4-双(3，5-二甲基-4-羟苯基甲基)-6-甲基苯酚、双(4-羟基-3，5-二甲基苯基)-2-羟苯基甲烷、双(4-羟基-2，5-二甲基苯基)-2-羟苯基甲烷、双(4-羟基-3，5-二甲基苯基)-3，4-二羟苯基甲烷、1-[1-(4-羟苯基)异丙基]-4-[1，1-双(4-羟苯基)乙基]苯、1-[1-(3-甲基-4-羟苯基)异丙基]-4-[1，1-双(3-甲基-4-羟苯基)乙基]苯、2，6-双[1-(2，4-二羟苯基)异丙基]-4-甲基苯酚、4，6-双[1-(4-羟苯基)异丙基]间苯二酚、4，6-双(3，5-二甲氧基-4-羟苯基甲基)连苯三酚、4，6-双(3，5-二甲基-4-羟苯基甲基)连苯三酚、2，6-双(3-甲基-4，6-二羟苯基甲基)-4-甲基苯酚、2，6-双(2，3，4-三羟苯基甲基)-4-甲基苯酚、1，1-双(4-羟苯基)环己烷和其它羟基芳基化物。
另一个例子包括(2)以下通式(I)和(II)中显示的化合物：
Figure A20048000862200211
其中R3，R4和R5独立地选自氢原子、1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基、1，2萘醌二叠氮化物-5-磺酰基、7-甲基-1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-6-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-7-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-8-磺酰基及其混合物，和R3，R4和R5不能同时是氢原子，R6a，R6b，R6c，R7a，R7b，R7c，和R7d独立地选自氢原子或C1-4烷基，和n表示1或2。
通式(II)的化合物的例子包括
Figure A20048000862200212
其中R3和R5不是氢。
制备的组合物可以通过用于光致抗蚀剂领域中的任何常规方法施用到衬底上，该常规方法包括浸渍、喷涂、旋涡涂布和旋转涂布。例如当旋转涂布时，给定采用的旋转设备的类型和旋转工艺允许的时间量，可以关于固体含量百分比调节光致抗蚀剂溶液，以提供所需厚度的涂层。
合适的衬底包括硅、铝、聚合物树脂、二氧化硅、掺杂的二氧化硅、氮化硅、钽、铜、多晶硅、陶瓷、铝/铜混合物；砷化镓和其它这样的第IIIN族的化合物。由上述操作过程生产的光致抗蚀剂涂层特别适合施用于热生长的硅/二氧化硅涂覆的晶片，该晶片如用于生产微处理器和其它微型化集成电路组件。也可以使用氧/氧化铝晶片。衬底也可包括各种聚合物树脂，特别地透明聚合物如聚酯。衬底可具有合适组合物如包含六烷基二硅氮烷的组合物构成的粘合促进层。
然后将光致抗蚀剂组合物溶液涂覆到衬底上，和将衬底在约80℃-约110℃的温度下在热板上热处理约30秒-约180秒，或在对流炉中热处理约15-约40分钟。选择此热处理以降低光致抗蚀剂中残余溶剂的浓度，同时不引起组合物组分的显著热降解。通常人们希望将溶剂的浓度最小化和因此进行此第一热处理直到蒸发掉基本上所有的溶剂和厚度为约一微米的光致抗蚀剂组合物的薄涂层保留在衬底上。在优选的实施方案中温度为约85℃-约95℃。进行此处理直到溶剂脱除的变化速度变得相对不显著。温度和时间选择依赖于用户所需的光致抗蚀剂性能以及使用的设备和商业所需的涂覆时间。然后可以任何所需的图案将涂覆的衬底曝露于光化辐射，特别地紫外辐射，其在约150nm-约450nm的波长下，x射线、电子束、离子束或激光辐射，所述图案通过使用合适的掩模、底片、模版、模板等产生。
然后将光致抗蚀剂在显影之前或之后非必要地进行曝光后第二次烘烤或热处理。加热温度可以为约90℃-约150℃，更优选约110℃-约150℃。加热可以在热板上进行约10秒-约30分钟，更优选约45秒-约90秒，或由对流炉进行约10-约30分钟。
将曝光的光致抗蚀剂涂覆的衬底显影以由喷淋显影使用碱性显影溶液除去成像式曝光的非图像区域。优选将溶液由例如氮气鼓泡搅动而搅动。让衬底保留在显影剂中直到所有或基本上所有的光致抗蚀剂涂层从曝光区域溶解下来。显影剂可包括氢氧化铵或碱金属氢氧化物的水溶液。一种优选的氢氧化物是氢氧化四甲基铵。合适的显影剂是可购自Clariant Corporation(Somerville，新泽西)的AZ 300 MIF显影剂。在将涂覆晶片从显影溶液中取出之后，可进行非必要的显影后热处理或烘烤以增加涂层的粘合作用和对蚀刻溶液和其它物质的化学光抗性。显影后热处理可包括涂层和衬底在涂层软化点以下的炉烘烤。工业应用，特别地在硅/二氧化硅类型衬底上微电路单元的制造中，可以采用经缓冲的，氢氟酸碱蚀刻溶液处理经显影的衬底。本发明的光致抗蚀剂组合物耐酸-碱蚀刻溶液和提供对衬底的未曝光光致抗蚀剂涂覆区域的有效保护。
作为说明和非限制性方式，以下给出本发明的实施例。除非另外说明，所有的份数和百分比在此按重量计；分子量是重均分子量，所有的温度是摄氏度。
实施例1
将间甲酚/对甲酚酚醛清漆树脂与足够数量的1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰氯在适当的反应条件下反应，以形成以4.5％由1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆树脂。将此树脂以在丙二醇甲基醚和3-乙氧基丙酸乙酯(以8∶2的比例)的溶剂掺混物中以35％活性固体分的溶液提供。然后将57.14克该部分酯化的酚醛清漆树脂与4.97克稀释树脂(1∶1比例的4，4′-[1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]双酚(TPPA)和间甲酚∶对甲酚∶三甲基苯酚(3∶5∶2份)/甲醛树脂；在丙二醇甲基醚和3-乙氧基丙酸乙酯(以8∶2的比例)的溶剂掺混物中35％活性固体分)和大约0.8克(5％活性固体分)二甲基硅氧烷甲基聚氧乙烯硅氧烷共聚物混合。这导致得到基于总树脂固体分含有如下物质的组合物：约4％TPPA，约4％间甲酚∶对甲酚∶三甲基苯酚(3∶5∶2份)/甲醛树脂，和约92％部分酯化的酚醛清漆树脂。
将实施例1的组合物在4,000rpm下施用到硅晶片上和然后在邻近热板炉上在90℃下软烘烤约90秒以形成3.0μm的膜厚度。使用ASMLi-250步进式曝光机通过包含分辨率测试图案的玻璃光掩模施加光化曝光。将涂覆的晶片在210mJ/cm2-260mJ/cm2的变化剂量下曝光，其中对于1μm的公称曝光是230mJ/cm2。
在曝光之后，将晶片在邻近热板上在110℃下曝光后烘烤约90秒。
然后将晶片采用AZ 300 MIF显影剂使用单一胶泥在23℃下显影约60秒。
以上的配制剂导致得到良好的平版印刷性能与改进的分辨率和轮廓。
尽管按照本发明优选的实施方案进行了描述，但应理解本发明的公开内容应解释为作为说明的方式，而不是作为限制的方式，且可以进行对本领域技术人员显而易见的各种改进和变换而不背离本发明的范围和主旨。

Claims (20)

1.一种组合物，其包含：a)用约3-约7wt％萘醌二叠氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆树脂；b)一种或多种稀释树脂；和c)至少一种溶剂。
2.权利要求1的组合物，其中对于a)，萘醌二叠氮基磺酰基选自1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基、1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酰基、7-甲基-1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-6-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-7-磺酰基和2，1-萘醌二叠氮化物-8-磺酰基。
3.权利要求2的组合物，其中对于a)，萘醌二叠氮基磺酰基是1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基或1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酰基。
4.权利要求1的组合物，其中b)一种或多种稀释树脂选自非酯化的酚醛清漆树脂、多羟基酚及其混合物。
5.权利要求4的组合物，其中b)一种或多种稀释树脂是由非酯化的酚醛清漆树脂和多羟基酚形成的混合物。
6.权利要求5的组合物，其中b)部分酯化的酚醛清漆树脂选自由三甲基苯酚和甲醛之间的缩合反应形成的树脂、由在丙酮和连苯三酚之间的缩合反应形成的树脂、由在间甲酚、对甲酚、三甲基苯酚和甲醛之间的缩合反应形成的树脂或其混合物。
7.权利要求6的组合物，其中多羟基酚选自1，1-双(4-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-2-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(4-羟基-3-甲基苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(2，6-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，4-二羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，4，5-三羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-2-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(4-羟基-3-甲基苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(2，6-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，4-二羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，4，5-三羟苯基)-1-[4-(1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基)苯基]乙烷、4，4′，4″，4-(1，4-亚苯基二次甲基)四苯酚、4，4′-[(3-羟苯基)亚甲基]双[2-甲基乙基苯酚]、2，2′-[(3-羟苯基)亚甲基]双[3，5，6-三甲基苯酚]、2，2′-[(2-羟基-3-甲氧基苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、2，2′-[(4-羟基-3-甲氧基苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、4-[双(4-羟苯基)甲基]-2-乙氧基苯酚、4-[双(4-羟苯基)甲基]-2-甲氧基苯酚、2，4，6-三(4-羟苯基甲基)-1，3-苯二醇、4，4′-[1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]双酚、4-(2，3，5-三甲基-4-羟苯基)甲基-1，3-苯二醇、6，6′-亚甲基双[4-(4-羟基-3，5-二甲基苯基甲基)-1，2，3-苯三醇]、2，6-双[(2，4-二羟苯基)甲基]-4-乙基苯酚、2，4-双[(2，4-二羟苯基)甲基]-6-环己基苯酚、2，6-双[[2，3-二羟基-5-(1，1-二甲基乙基)苯基]甲基]-4-甲基苯酚、4，4′-[(3，4-二羟苯基)亚甲基]双[2-(甲基乙基)苯酚]、2，2′-[(3，4-二羟苯基)亚甲基]双[3，5，6-三甲基苯酚]、2，2′-[(3-羟基-4-甲氧基苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、2，4′，4″-次甲基三苯酚、4，4′-[(2-羟苯基)亚甲基]双[3-甲基苯酚]、4，4′，4″-(3-甲基-1-丙烷基-3-叉基)三苯酚、2，2′-[(3-羟苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]，4，4′，4″，4-(1，2-乙烷二叉基)四苯酚、4，6-双[(4-羟苯基)甲基]-1，3-苯二醇、4，4′-[(3，4-二羟苯基)亚甲基]双[2-甲基苯酚]、2，2′-[(2-羟苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、2，2′-[(4-羟苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、(2，4-二羟苯基)(4-羟苯基)甲烷、4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]-1，3-苯二醇、4-[(3，5-二甲基-4-羟苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇、4，4′-[1，4-亚苯基双(1-甲基乙叉基)]双[苯-1，2-二醇]、5，5′-[1，4-亚苯基双(1-甲基乙叉基)]双[苯-1，2，3-三醇]、4-[(2，3，5-三甲基-4-羟苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇、4，4′-亚甲基双[6-甲基羰基-1，3-苯二醇]、6，6′-亚甲基双[4-(4-羟基苯基甲基)-1，2，3-苯三醇]、6，6′-乙叉基双[4-(4-羟苯基羧基)-1，2，3-苯三醇]、4，4′，4″-次甲基三[2，6-双[(羟苯基)甲基]苯酚]、4，4′，4″-乙叉基三[2，6-双[(羟苯基)甲基]苯酚]、2，2′-双[(3，4-二羟苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、4-[(4-羟苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇和4，4′-[1，4-亚苯基双(1-甲基乙叉基)]双[苯-1，2，3-三醇]。
8.权利要求7的组合物，其中b)是由三甲基苯酚和甲醛之间的缩合反应形成的树脂与4，4′-[1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]双酚形成的混合物。
9.权利要求7的组合物，其中b)是由间甲酚、对甲酚、三甲基苯酚和甲醛之间的缩合反应形成的树脂与4，4′-[1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]双酚形成的混合物。
10.权利要求4的组合物，其中b)是非酯化的酚醛清漆树脂的混合物。
11.权利要求10的组合物，其中b)是由任何两种如下树脂形成的混合物：由三甲基苯酚和甲醛之间的缩合反应形成的树脂、由在丙酮和连苯三酚之间的缩合反应形成的树脂、或由在间甲酚、对甲酚、三甲基苯酚和甲醛之间的缩合反应形成的树脂。
12.权利要求1的组合物，其中c)至少一种溶剂选自2-庚酮、苯甲醚、乳酸乙酯、乙酸正丁酯、丙二醇甲基醚、丙二醇甲基醚、3-乙氧基丙酸乙酯及其混合物。
13.权利要求12的组合物，其中c)至少一种溶剂是2-庚酮和苯甲醚的混合物。
14.权利要求12的组合物，其中c)至少一种溶剂是乳酸乙酯与乙酸正丁酯的混合物。
15.权利要求12的组合物，其中c)至少一种溶剂是乳酸乙酯和丙二醇甲基醚的混合物。
16.权利要求12的组合物，其中c)至少一种溶剂是丙二醇甲基醚和3-乙氧基丙酸乙酯的混合物。
17.权利要求1的组合物，其进一步包含光敏化合物。
18.权利要求17的组合物，其中光敏化合物选自在萘醌二叠氮化物磺酰卤或苯醌二叠氮化物磺酰卤与选自如下的包含至少一个羟基的化合物之间的反应产物：对苯二酚、间苯二酚、苯酚、对甲氧基苯酚、二甲基苯酚、双酚A、萘酚、焦儿茶酚、连苯三酚单甲基醚、连苯三酚-1，3-二甲基醚、没食子酸、部分酯化或部分醚化的没食子酸和其它酚；2，4-二羟基二苯甲酮、2，3，4-三羟基二苯甲酮、2，4，6-三羟基二苯甲酮、2，4，4′-三羟基二苯甲酮、2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮、2，2′，4，4′-四羟基二苯甲酮、2，2′，3，4，6′-五羟基二苯甲酮、2，3′，4，4′，6-五羟基二苯甲酮、2，2′，3，4，4′-五羟基二苯甲酮、2，2′，3，4，5′-五羟基二苯甲酮、2，3′，4，5，5′-五羟基二苯甲酮、2，3，3′，4，4′，5′-六羟基二苯甲酮和其它多羟基二苯甲酮；双(2，4-二羟苯基)甲烷、双(2，3，4-三羟苯基)甲烷、双(2，4-二羟苯基)丙烷和其它羟苯基烷烃；4，4′，3″，4″-四羟基-3，5，3′，5′-四甲基苯基甲烷、4，4′，2″，3″，4″-五羟基-3，5，3′，5′-四甲基三苯基甲烷和其它羟基三苯基甲烷；双[3-(3，5-二甲基-4-羟基苄基)-4-羟基-5-甲基苯基]甲烷、双[3-(3，5-二甲基-4-羟基苄基)-4-羟基-5-乙基苯基]甲烷、双[3-(3，5-二乙基-4-羟基苄基)-4-羟基-5-甲基苯基]甲烷、双[3-(3，5-二乙基-4-羟基苄基)-4-羟基-5-乙基苯基]甲烷和其它末端二甲苯酚线性四核化合物；2，4-双[2-羟基-3-(4-羟基苄基)-5-甲基苄基]-6-环己基苯酚、2，4-双[4-羟基-3-(4-羟基苄基)-5-甲基苄基]-6-环己基苯酚和其它线性五核化合物和其它线性多酚化合物；双[2-羟基-3-(3，5-二甲基-4-羟基苄基)-5-甲基苯基]甲烷、双[2-羟基-3-(2-羟基-5-甲基苄基)-5-甲基苯基]甲烷、双[4-羟基-3-(2-羟基-5-甲基苄基)-5-甲基苯基]甲烷、双[2，5-二甲基-3-(4-羟基-5-甲基苄基)-4-羟苯基]甲烷、双[2，5-二甲基-3-(4-羟基苄基)-4-羟苯基]甲烷；双(2，5-二甲基-3-(2-羟基苄基)-4-羟苯基)甲烷和其它线性四核化合物；1，1-双(4-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-2-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(4-羟基-3-甲基苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(2，6-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，4-二羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(3，4，5-三羟苯基)-1-[4-(4-羟基苄基)苯基]乙烷、1，1-双(4-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，5-二甲基-2-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(4-羟基-3-甲基苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(2，6-二甲基-4-羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，4-二羟苯基)-1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-双(3，4，5-三羟基苯基)-1-[4-(1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基)苯基]乙烷和其它非线性四核化合物；双(4-羟基-2，3，5-三甲基苯基)-2-羟苯基甲烷、1，4-双[1-(3，5-二甲基-4-羟苯基)异丙基]苯、2，4-双(3，5-二甲基-4-羟苯基甲基)-6-甲基苯酚、双(4-羟基-3，5-二甲基苯基)-2-羟苯基甲烷、双(4-羟基-2，5-二甲基苯基)-2-羟苯基甲烷、双(4-羟基-3，5-二甲基苯基)-3，4-二羟苯基甲烷、1-[1-(4-羟苯基)异丙基]-4-[1，1-双(4-羟苯基)乙基]苯、1-[1-(3-甲基-4-羟苯基)异丙基]-4-[1，1-双(3-甲基-4-羟苯基)乙基]苯、2，6-双[1-(2，4-二羟苯基)异丙基]-4-甲基苯酚、4，6-双[1-(4-羟苯基)异丙基]间苯二酚、4，6-双(3，5-二甲氧基-4-羟苯基甲基)连苯三酚、4，6-双(3，5-二甲基-4-羟苯基甲基)连苯三酚、2，6-双(3-甲基-4，6-二羟苯基甲基)-4-甲基苯酚、2，6-双(2，3，4-三羟苯基甲基)-4-甲基苯酚、1，1-双(4-羟苯基)环己烷和其它羟基芳基化物，和由通式(I)或(II)表示的化合物
Figure A2004800086220007C1
其中R3，R4和R5独立地选自氢原子、1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基、1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酰基、7-甲基-1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-4-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-6-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-7-磺酰基、2，1-萘醌二叠氮化物-8-磺酰基，及其混合物，和R3，R4和R5不能同时是氢原子，R6a，R6b，R6c，R7a，R7b，R7c，和R7d独立地选自氢原子或C1-4烷基，和n表示1或2。
19.一种制备组合物的方法，其包括提供一种组合物的掺混物，该组合物包含：a)用约3-约7wt％萘醌二叠氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆树脂；b)一种或多种稀释树脂；和c)至少一种溶剂。
20.一种在衬底上形成图像的方法，其包括采用根据权利要求1的组合物涂覆衬底；通过掩模用紫外辐射成像式曝光；和采用显影剂将曝光的光致抗蚀剂组合物显影。
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