CN1692267A - 接触传感器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种采用霍尔集成电路的接触传感器。通过由两枚板簧(16)构成的平行连杆的悬臂梁机构(15)，固定侧连接部件(18)被固定在贯穿下侧板簧(16)中心并竖立在底座(22)上的支撑块(24)上。稀土磁铁(25)通过由折弯加工铝板而形成的轻质结构的连接部件(19)粘接在自由端侧可动部(28)上。霍尔集成电路支撑部件(20)的弹性部分(20a)被固定在固定端侧连接部件(18)上，其带突棱(17a)的刚性部分(20b)由调节杆(36)支撑，微调设置在自由端的霍尔集成电路(26)与磁铁(25)的相对位置。悬臂弹性线材(38)被固定在霍尔集成电路支撑部件(20)上，可动部(28)的自重由自由端(38b)承受并紧靠在箱体(12)内面的衬套的下表面(40a)上，以保持可动部(28)的位置稳定。测砧(34)在0.5gf以下的轻负荷下动作，霍尔集成电路(26)感知磁铁(25)的0.1mm以下的微小位移，并点亮信号灯(14)。

Description

接触传感器

技术领域

本发明涉及一种接触传感器，其目的在于为了确认加工中心或坐标镗床等计算机控制自动化机床中刀具(车刀、钻头等)的切削刃切削进给时的切削位置，而设定基准位置并补偿因刀具磨损而产生的加工尺寸误差。更具体地，涉及可利用极轻微的测定压感知极微小位移(微米或亚微米级)的机构的构造。

背景技术

近年的集成电路产业界中，集成度急剧加速发展、工具也采用超硬乃至金刚石材质的直径0.1mm以下级别的钻头，因此要求进行更微细的精密孔加工，例如，要求在5～6层叠层印刷基板的2～4层以微米级正确地进行深度加工。钻头转速达到每分钟十多万转，切削刃上必然产生磨损，因此，为了作业工作台与切削刃保持一定的相对位置，必须例如在每百次孔加工后检查切削刃的位置。

接触传感器以始于上述机床作业工作台面的所定高度为基准位置，作为一直稳定地维持刀具前端的监视器具而使用。一般来说，接触传感器采用机械机构实现：当刀具触压由铰链支撑着的可自由回转的杠杆式操作机构的自由端时、该移动传递至滑动销、通过连杆机构等的快速动作使得电器接点从ON切换至OFF。或者是使用光学机构，通过切削刃直接遮断光束的输出信号来检测切削刃的基准位置，并补偿因切削刃磨损产生的变动。

然而，利用机械机构使接触传感器动作的接触负荷，受到伴随操作机构杠杆移动使接点快速动作而产生的反作用力，作为克服该反作用力的较大的推动力，要求接触负荷达到例如100～300gf。因此，如果达不到这个大小的接触压，就无法获得正确的、再现性稳定的基准位置的设定。另一方面，金刚石钻头进行直径0.1mm以下的0.01mm级的孔加工时，上述接触负荷使接触传感器动作时，由于钻头自身纵向弯曲，因而钻头前端的位置设定变得不稳定，损害再现性，所以要求接触传感器的接触压极轻。

另一方面，利用光学机构进行的刀具的尖端直接检测属于无接触式的检测方法，虽然不要设定压，但难于适应切削刃形状的变化，由于拥有对于再现性、中性区、光量、温度变化的调整等很多依存于电路特性的调整部分，因此，操作不便而且易受灰尘影响，成为该方法的难点。

发明内容

本发明的目的是提供一种作为操作力的接触负荷为0.5gf以下、再现性灵敏度或精度±0.5μ级、在自动化机床的作业工作台上安装拆卸自由、而且基准位置设定操作简单的接触传感器。

为了达到上述目的，本发明的接触传感器的特征在于：具备：与底座22一体构成的第一连接构件18、一端侧分别固定于上述第一连接构件18的两端部且相互平行配置的板簧16、相互连接上述板簧16的另一端侧的第二连接构件19、使上述板簧16侧成为磁极一极而配置的磁铁25、与上述磁铁25的磁极方向平行地安装在各板簧16上的管30、位于上述磁铁25的磁极边界附近且检测由在上述管30上施加外力而产生的上述磁铁25的位移的检测装置26，上述各板簧16的基端侧作成具有刚性的刚性部、两端侧作成具有弹性的弹性部。

并且，拥有能抵消施加在上述第2连接构件19侧的重力影响的弹性体38。

而且，拥有一端侧被固定在上述第1连接构件18上而另一端侧设置有上述检测装置26或上述磁铁25、从上述一端侧向另一端侧倾斜的支撑部件20和调整上述支撑部件20与上述底座22间距离的调整部件36，同时，上述第2连接构件19上安装有上述磁铁25或上述检测装置26。

并且，在因加在上述管30上的外力而产生位移的部分16、19上设置有孔。

更进一步地，上述管30的一端上配置有承受上述外力的硬质测砧34。具备通知有无来自上述检测装置26的输出信号的通知部件14。

而且，在上述底座22的底面的至少两处设置有定位销孔22e。

上述管30上设有限制管30本体位移的限位部件35，或者是，设置上述管30时使其另外一端能限制管30本体的位移。

即，本发明的接触传感器，利用霍尔集成电路检测通过0.5gf以下的轻量负荷而与测砧的平行移动一体移动的小形磁铁的0.1mm以下的微小位移，从而控制电路的开闭。此外，上述平行移动是由以基本上形状相同的板簧的二重结构为构成要素的平行连杆的悬臂梁机构产生的，上述任何一个板簧的躯体平面形状是呈长方形的中空的框架，从四角各自向长度方向以同一长度平行延伸构成的弹性臂的形状，用聚酰亚胺薄板形成，沿着与上述躯体同形状的、画定中空框架的长方形空间的内周边缘设置有突棱的铝合金薄板与上述躯体连接，使得上述躯体部分成为刚性体。

而且，上述悬臂梁机构中的固定端侧的板簧连接部件被固定在贯穿上述板簧的中空部分并竖立设置在底座中央部分的支撑块上。而且，上述悬臂梁机构中的自由端侧的板簧连接部件由铝合金薄板弯曲加工形成コ字形断面，又经过穿孔的轻量化处理，与贯通上述コ字形的上下面的、与上述板簧垂直的、由小直径管材做成的管接合，同时，上述自由端侧连接部件的中央附近所定位置上固连小型磁铁；另一方面，被固定在上述固定端侧连接部件上且被延伸的支撑部件的自由端上，与上述小形磁铁对向配置有霍尔集成电路。

此外，上述支撑部件的自固定安装位置向上述底座倾斜的弹性变形被拧紧在上述支撑块上的调节杆阻止，使上述霍尔集成电路在与上述小形磁铁对向的位置强制位移，使得利用上述调节杆的螺旋作用进行轴线方向上的微调成为可能。不仅如此，上述支撑部件上安装有信号灯。

而且，设置包围上述悬臂梁机构全体的成型箱体，在上述底座的上面形成与上述成型箱体的底部开口内表面装配密封的嵌合阶梯周壁，上述成型箱体的上面设置有插入上述管的大直径开口孔和能够识别上述信号灯的带透明盖的窗，其侧面设置有电线引出口，在上述大直径开口孔的形成面上，其外侧设置了与上述垫圈对向的带凸肩的凸台、其内侧设置有与上述平行连杆的自由端靠接进行定位的衬套。

在此基础上，在嵌合在作上述管用的小直径管材外径上的大直径管材上，固定安装有上述测砧和垫圈，而且上述测砧在上述管上嵌脱自由，同时，上述垫圈限制了上述管的下方位移。进一步地，作为使上述平行板簧的自由端与上述衬套靠接的定位部件，在上述平行连杆的固定端侧与自由端侧之间设置了弹性体，在抵消作用在上述自由端侧构成体上的重力影响的方向上推动而抑制惯性移动。而且，上述底座上设置有从上述嵌合阶梯周壁向上述箱体的外部伸出的延伸部分，同时，底面的至少2个适合部位设置有定位销孔。

采用本发明的接触传感器，为了设定从作业工作台到切削刃的基准高度，利用用聚酰亚胺薄板作成的平行板簧悬臂梁的平行连杆机构，使与切削刃接触的测砧平行移动，而且平行板簧的可动部由于使用的是铝合金薄板与小直径管材而实现了轻量化，所以，实质上用0.3gf以下的接触负荷，几乎不对切削刃施加负荷就能设定其基准高度。

而且，伴随测砧平行移动的磁铁移动被霍尔集成电路感知，所以能够以±0.5μ以下的重复精度感知位移、更新切削刃的初始位置设定。而且，平行板簧的躯体作成中空，悬臂梁固定端的支撑块穿过该中空空间，接触传感器全体结构紧凑。进一步地，平行板簧可动部的自重由悬臂的弹性线材支撑，与箱体内固定的衬套靠接，因此，不仅结构紧凑，也能够稳定地支撑平行板簧可动部。

在此基础上，由于霍尔集成电路支撑部件的弹性位移位置由调节杆正常保持，所以能够通过操作调节杆的螺旋部进行微调，将霍尔集成电路与磁铁的相对位置调节到最佳敏感位置。而且，因为测砧在上述管上嵌脱自由，所以在产生了磨损或变形的场合，更换容易。这样的接触传感器总能利用设置在底座上的定位销孔而被设置到作业工作台的所定位置，通过伸出箱体外部的延伸部分与适当的夹具配合并用螺钉简单地固定住。

进一步地，与测砧固定成一体的垫圈与固定在箱体上面的带凸肩的凸台靠接而限制了测砧的移动范围，而且，又能够根据信号灯识别霍尔集成电路的动作，所以，能够防止发生超越平行板簧弹性极限的过度变形。不仅如此，可动部的磁铁与感知部的霍尔集成电路无接触，平行连杆的关节因是板簧而没有摩擦，所以不会因磨损而发生劣化。

附图说明

图1表示本发明的接触传感器的一个实施例，(a)是侧视图，(b)是(a)的B-B线剖面图。

图2是构成本发明的接触传感器中的平行连杆的板簧的图，(a)是俯视图，(b)是(a)的B-B线剖面图，(c)是(b)上带记号C的被圆围起来的部分的放大图。

图3是沿图1(a)的III-III线的仰视图。

图4是拆除了图1的箱体并分解表示的斜视图。

图5是将本发明的接触传感器中的箱体和信号灯拆除后表示的动作说明图。

图6是本发明的接触传感器中的由两枚板簧构成的悬臂梁机构的说明图，(a)是实施例的局部图，(b)是模式图。

图7是将本发明的接触传感器中的霍尔集成电路与磁铁之间的关系放大表示的侧视图。

具体实施方式

以下，根据附图，说明本发明的接触传感器的实施方式。图1是表示本发明的接触传感器10的一个实施例的图。(a)是侧面的剖面图，(b)是(a)的B-B线剖面图。图2是表示以同一形状尺寸相互镜象对称地相对构成的两枚同形状的平行板簧16的其中一个的俯视图，(b)是(a)的B-B线剖面图，(c)是(b)图中带记号C的被圆围起来的部分的放大图。而且，图3是沿图1(a)的III-III线的仰视图。进而，图4是图1的斜视图，是将局部分解表示的图。图5是从图1的接触传感器10拆除了箱体12和信号灯14后的动作说明图。但是，图示中的所有板厚都被夸张了。

在图1中，作为接触传感器10的主要部件的悬臂梁机构15是由两枚形状相同的板簧16、16构成的一种平行连杆机构(参照图6(b))，如图2(a)的俯视图所示，板簧16用聚酰亚胺薄板(板厚约75μm)形成以长方形中空框架作为躯体16a、从四角向各自长度方向平行延伸有作为弹性部的弹性臂16b而成的形状的部件。进一步地，刚性部处的铝合金薄板17成型为与躯体16a相同的中空框架平面形状，沿其内周边缘通过内缘翻边加工出突棱17a，与各板簧躯体16a对准粘贴在一起(参照图2(b)、(c))。这样，各板簧16的躯体16a成为具有刚性的构造，仅各弹性臂16b部分作为可动部工作。这样构成的两枚同形状的板簧16、16在上下横向以适当的位置平行间隔、镜象对称相对，两端通过垂直于各板簧16的刚性体的连接部件18、19被连接起来。

在图6(a)中所示的悬臂梁机构15中，平行板簧16、16自由端处的上下位移因从躯体16a延伸出的四根弹性臂16b的弯曲而产生。即，图6(b)中由模式图所表示的四根刚性杆a、b、c、d构成的平行连杆机构与图6(a)等价，图6(b)中的关节k与图6(a)中的由双点划线圆包围的弹性臂16b相当。图6(b)中的平行连杆机构中，虽然由于自由端c的上下移动，构成关节k的轴与轴承之间产生回转摩擦，但是，在弹性臂16b处，上下移动被弹性变形吸收而不发生摩擦，因而不会因摩擦产生负荷变动、摩擦损耗以及磨损。

悬臂梁机构15中的平行板簧16的固定端侧连接部件18，考虑使其与所安装使用的加工机械的膨胀系数近似，最好使用铁系材料成型块，然而，也可以与使用目的相应，而使用铝合金或合成树脂材料来达到轻量化目的。从固定端侧连接部件18延伸出两根支柱18d、18d，两根支柱18d、18d的上面18b和下面18c处配备有用螺钉将平行板簧16的弹性臂16b末端固定到中央底座18a两侧的安装面。两根支柱18d、18d从中央底座18a的底面18e延伸足够长度形成上方的延伸部分，底面18e成为后述霍尔集成电路支撑部件20的安装台(参照图1(b))。

因和上述同样的理由形成的铁质成型底座22上面突出设置的安装台22a上，从下面用螺钉将铁质成型支撑块24固定住(参照图1以及图3)。如图5所示，支撑块24，在它的自安装面22a开始的直立部分24a穿过位于下侧的平行板簧16上形成的中空长方形空间后，在从上下平行板簧16、16离开的中间位置，平行于安装面22a，延伸出横梁24b。横梁24b被嵌入固定端侧连接部件18的中央底座18a上设置的贯通孔18f中，并与安装面22a平行地固定设置作为平行板簧16的固定面的支柱18d的上下面18b、18c。在这种状态下，悬臂梁机构15的自由端侧发生弹性变形，被保持在上下两枚平行板簧16的弹性臂16b的弹性力与重力m相平衡的位置(参照图6(a))。

如图4的斜视图所示，悬臂梁机构15中平行板簧16的自由端侧连接部件19，因轻量化的要求而将铝合金薄板的上下向外弯曲加工，并与上下平行板簧16的各个弹性臂16b的自由端末端接合。也就是说，自由端侧连接部件19形成具有平行的上下两面19a、19b的断面呈コ字形的构造，从而付与了刚性，进一步地，为了实现轻量化，在其垂直面19e上设置具有适当形状的穿孔19c、19d。垂直面19e上开出槽腔19f，使槽腔19f的外形符合成型为长方体的小型稀土磁铁25的上侧面作S极的要求，直角折曲下边而形成的底面19g上粘接磁铁25，与霍尔集成电路26的感知面26a相对，霍尔集成电路26被安装在霍尔集成电路支撑部件20的自由端上，SN极上下配置的磁铁25的面25a穿过槽腔19f被设置在霍尔集成电路支撑部件20的内侧。

在图4的斜视图中，通过设置在平行板簧16的自由端侧弹性臂16b的各个自由端末端部分的定位销孔16c与分别设置在自由端侧连接部件19的上面19a与下面19b的两端的螺栓孔19h进行定位，上下自由端侧弹性臂16b的自由端末端部分与自由端侧连接部件19的上面19a和下面19b安装在一起。这样，上下两枚平行板簧16的自由端被连接部件19连接，形成悬臂梁机构15的可动部28。

在可动部28上粘接管30，该管30贯穿自由端侧连接部件19的上面19a与下面19b的中央部分、并垂直于成型底座22的安装面22a。为了实现可动部28的轻量化，最好采用不锈钢细管做管30，内部做成中空，达到了连接部件19侧的轻量化的目的。管30上端的从后述箱体12突出的长度与自作业工作台面F开始的基准高度H的设定有关。

进一步地，为了在管30的上面提供一个直接接触测量对象的切削刃(图示省略)来确定基准高度的平坦接触面32，在纯铝制成的表面上安装了能够自由装拆的镶嵌了蓝宝石、红宝石、钻石等高硬度材料的测砧(anvil)34。也就是说，形成管30的不锈钢细管外径上嵌合着可滑动的大直径不锈钢细管34a，测砧34与起限位作用的垫圈35一起被粘接在大直径不锈钢细管34a上而构成。而且，管30下端可作为止动器而设定距成型底座22的上表面的距离，来限制可动部28的下方移动范围。

如图5所示，霍尔集成电路支撑部件20拥有：末端部分被固定在固定端侧连接部件中央底座18a的底面18e上的弹性部分20a、将沿长度方向的两条线向下折曲而形成构造体的刚性部分20b、将自由端向下折曲形成的霍尔集成电路26的粘接座20c。弹性部分20a被强制变形，刚性部分20b如图中的双点划线所示，以向下小角度(例如40)倾斜的状态被固定在中央底座18a的底面18e上。

另一方面，该稍稍倾斜的霍尔集成电路支撑部件20的刚性部分20b，被旋入支撑块竖直部分24a上面适当位置处的调整杆36的上端36a向上支撑直至近似水平位置，将霍尔集成电路感知面26a移动到磁铁25磁束的感应领域内。通过调整杆36的螺旋作用而产生的轴向上下移动，能够细微调节霍尔集成电路26的最佳动作位置。霍尔集成电路26的位置调整结束后，将支撑块24固定在底座22上，则操作调整杆36的轴向移动的头部36b就沉入底座22中，不能从外部操作，所以能够防止已调整好的霍尔集成电路26的最佳位置被故意改变。进一步地，如图1和图4所示，霍尔集成电路支撑部件20上装有由发光二极管构成的信号灯14，可通过信号灯14的点亮来识别霍尔集成电路26感应到预先设定的阈值磁位而发出的动作信号。

进一步地，如图4和图5明示的那样，在悬臂梁机构15中，用于补偿在包含平行板簧16的连接部件19、磁铁25、管30、测砧34以及垫圈35在内的可动部28的重力m(箭头)作用下产生的向下位移的两根弹性线材38(自然形状由双点划线所示、直径0.1mm的不锈钢线材)的基端38a被固定设置在霍尔集成电路支撑部件20上，自由端38b发生挠曲，弹性线材38插入在连接部件19的上面19a的正下方对应弹性线材38的延长线设置的两个通孔19i、19i，并付与向上的推动力t(箭头)。推动力t比重力m略大，连接部件19的上表面19a被轻轻压靠在箱体12的内面上固定设置的衬套40的下表面40a上。这样，能够稳定地保持平行板簧16基本水平，同时，可将磁铁25在高度方向的位置设置为一定。

再次基于图1，说明包围悬臂梁机构15全体的成型箱体12。成型箱体12的上面12a上形成有能够识别信号灯14的带透明盖的窗41和能够确定并调整其位置地插入管30大直径通孔42。在大直径通孔42的外侧，测砧34附属的垫圈35与相对的带凸肩的凸台43粘接在一起，并通过垫圈35与凸台43a的接触限制测砧34的向下移动范围。而且，在大直径通孔42的内侧，固定安装着衬套40，管30插入其中滑动，通过限制可动部28即磁铁25的移动范围的上限来设定测砧34的基准位置。

而且，面向悬臂梁机构15的固定端连接部件18的成型箱体12的侧壁12b上设有带橡胶帽44的电线引出口45。进而，包围成型箱体12的侧壁外周表面12c被调整成与成型底座22的外周缘22b成同一个表面。然后，在成型底座22外周缘22b的内侧形成嵌合阶梯周壁22c，与成型箱体12的底部开口上形成的嵌合内表面12d紧密配合。

如图3所示，成型底座22的下面22d上设有埋入螺栓连接成型支撑块24的螺栓24c头部的沉头孔以及定位用定位销孔22e。进一步地，底座22的外周缘22b的一部分上形成有从嵌合阶梯周壁22c向成型箱体的侧壁外周表面12c的外部延伸伸出的部分22f，与图1(b)和图4中所示的夹具46配合，从上面穿设的螺栓孔46a插入螺栓47，拧入作业工作台面F上的螺栓孔48，将接触传感器10固定在作业工作台面F上。

下面，说明本发明的接触传感器10的动作。在采用计算机控制的加工中心或坐标镗床等机床的作业工作台F的适当位置，取代设定钻头切削刃基准高度的块规，设置接触传感器10。因此，为了能总在同一位置设置接触传感器10，作业工作台F上的设置位置处被植入了定位销49，并加工出了螺栓孔48。

接触传感器10的成型底座22的下面22d上被穿设的定位用定位销孔22e与作业工作台F上植入的定位销49配合，而且如图1和图4所示，从成型箱体12侧壁外周表面12c向外部延伸伸出的成型底座22的延伸部分22f上装配夹具46，在夹具上面穿设的螺栓孔46a中插入螺栓47，拧在作业工作台F上的螺栓孔48中。拧入螺栓47，用夹具46将底座22的延伸部分22f推靠在作业工作台F上，从而将接触传感器10固定在所定位置。

从作业工作台F的面开始自动设定测砧34上面的基准高度H。例如，在精密孔加工中，将未图示的钻头从加工位置移动到接触传感器10的测砧34的中心轴线正上方的位置。钻头慢慢下降，使得钻头前端与测砧34的接触面(基准面)32接触，向下推动管30。悬臂梁机构15的可动部28的重量与平行板簧16和补偿弹性线材38的合成推动力基本处于平衡状态，能够将钻头切削刃通过测砧34使可动部28向下移动的负荷控制在0.5gf以下，因此，消除了钻头发生纵向弯曲变形的顾虑。

如图7中放大图示的那样，将固定设置在构成可动部28的自由端侧连接部件19上的磁铁25的SN极上下配置的表面25a，在接近磁铁25的磁场M领域内的靠近位置，与霍尔集成电路感知面26a相对。磁铁25形成的磁场在与两磁极S、N等间距的、与磁铁25的轴直角相交的面VO上的磁位为0，磁力向两磁极逐渐增强。而在面VO的附近，等磁位面几乎平行分布，所以，可以忽视磁铁的SN面25a与霍尔集成电路感知面26a之间的距离变动对磁力的影响。所以，如果使磁铁的SN面25a与霍尔集成电路感知面26a之间的距离很小的话，则无须进行微细调整。

因而，将霍尔集成电路26感应磁力的阈值设置为例如S极侧20高斯(S20G)，与和管30一体的连接部件19同时下降的磁铁25的20高斯等磁位面-V20在通过例如感知面26a上的点P的瞬间，霍尔集成电路26向相连的电路(图示省略)传送接近信号。接受该信号，机床的计算机更新基准位置的初始设定。另一方面，发光二极管信号灯14也接受该信号而被点亮/熄灭，通报切削刃已到达基准位置。通过上述操作，能够一直监视并补偿切削刃的磨损，使得孔加工深度的重复精度控制在0.5μ以下成为可能。所采用的电路是公知的电路，省略说明。

以上，基于附图说明了采用本发明的接触传感器的一个实施例，但本发明并不局限于图示的实施例，其形状和构成在不脱离本发明的构成要素的范围内，可以进行细节部分的多种变更或部件的重构等。例如，和测砧34一体设置的垫圈35与带凸肩的凸台43之间紧密覆盖一层薄而软的橡皮膜，能附加防滴漏功能。而且，抵消可动部28的重量m的弹性线材38可由拉伸卷簧、压缩卷簧、弹簧线或钢琴弦替代，它们的材料也可以是铜铍合金或磷青铜，弹性线材38可配备成从上部将平行板簧16向下吊或从下部将平行板簧16向上压的状态。而且，也可以不配备弹性线材38，而是倾斜设置平行板簧16使其从连接部件18侧向连接部件19侧逐渐增高，且在平行板簧16和连接部件19等的自重作用下平行板簧16呈水平。

进一步地，也可以用磁阻传感器等磁性感应半导体取代霍尔集成电路26，或用聚酯或薄膜状的金属等挠性材料等替代聚酰亚胺作弹性臂16c的材料。而且，铝合金板17的材料可以是例如不锈钢，形状不是板状也可以。而且，磁铁25与霍尔集成电路26的设置位置可以互相交换。在这种场合，从霍尔集成电路26来的接近信号采用无线信号方式的话，能够实现连接部件19侧的轻量化，这是所希望的。

更进一步地，事先备好扬声器，在接受接近信号而点亮信号灯14的同时，或者是取代点亮方式，从该扬声器发出表示接受到接近信号的声音，或者是采用其它通报手段通报接受到接近信号。

产业上利用的可能性

本发明的接触传感器能够被用来确认加工中心或坐标镗床等计算机控制自动化机床中刀具(车刀、钻头等)在切削进给时的切削位置。

Claims (9)

1.一种接触传感器，其特征在于：具备：与底座构成为一体的第1连接部件、一端侧分别固定于上述第1连接部件的两端部且相互平行配置的板簧、相互连接上述板簧的另一端侧的第2连接部件、使上述各板簧侧成为磁极的一极而设置的磁铁、与上述磁铁的磁极方向平行地安装在各板簧上的管、位于上述磁铁的磁极的边界附近且检测由在上述管上施加外力而产生的上述磁铁的位移的检测装置，上述各板簧将基端侧设成具有刚性的刚性部、将两端侧设成具有弹性的弹性部。

2.根据权利要求1所述的接触传感器，其特征在于：具备抵消作用在上述第2连接部件侧的重力影响的弹性体。

3.根据权利要求1或2所述的接触传感器，其特征在于：具备一端侧被固定在上述第1连接部件上而另一端侧上设置有上述检测装置或上述磁铁的、从一端侧向另一端侧倾斜的支撑部件，以及调整上述支撑部件与上述底座之间距离的调整部件，并且上述第2连接部件上安装有上述磁铁或上述检测装置。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的接触传感器，其特征在于：在因在上述管上施加外力而产生位移的部分设置有孔。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的接触传感器，其特征在于：在上述管的一端设置有承受上述外力的硬质测砧。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的接触传感器，其特征在于：具备通知有无来自上述检测装置的输出信号的通知部件。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的接触传感器，其特征在于：在上述底座的底面的至少两处设置有定位销孔。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的接触传感器，其特征在于：上述管上设置有限制管本体的位移的限制部件。

9.根据权利要求1～7中任一项所述的接触传感器，其特征在于：上述管的另一端以能限制管本体的位移的方式设置。

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