CN117239022B - 压合装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种压合装置，其包括第一轴承动子、活塞以及促动器，第一轴承动子设置有安装空间；活塞设置于安装空间内，且能够在安装空间内运动，活塞沿第一方向的一端设置有用于与LED灯珠抵接的刺针；促动器安装在第一轴承动子上，促动器的输出端能够伸缩，第一方向为输出端的伸长方向；活塞具有加速运动的第一状态，以及减速运动的第二状态，当处于第一状态时，促动器的输出端伸入至安装空间内并抵接于活塞，以使活塞抵接于第一轴承动子，促动器被配置为伸长以使活塞、刺针以及第一轴承动子同步沿第一方向运动；当处于第二状态时，促动器的输出端和活塞分离，活塞与刺针能够沿第一方向的反向运动。

Description

压合装置

技术领域

本申请涉及半导体显示技术领域，特别是涉及一种压合装置。

背景技术

在半导体显示技术领域，压合装置将LED灯珠从蓝膜转移至一块PCB板或玻璃载板上。但是，现有的压合装置控制精度低，由于LED灯珠尺寸较小，PCB板或玻璃载板的表面存在平面度误差，通过压合装置转移的LED灯珠，在PCB板或玻璃载板不同位置处的受力不均匀。在PCB板或玻璃载板凹陷位置处的LED灯珠，贴合受力过小，在与焊盘接触测试中容易出现无法点亮的现象；在PCB板或玻璃载板翘曲位置处的LED灯珠，贴合受力过大，在与焊盘接触测试中容易导致灯珠被压碎。

发明内容

基于此，有必要针对控制精度的问题，提供一种压合装置。

一种压合装置，所述压合装置包括：

第一轴承动子，设置有安装空间；

活塞，设置于所述安装空间内，且能够在所述安装空间内运动，所述活塞沿第一方向的一端设置有用于与LED灯珠抵接的刺针；

促动器，安装在所述第一轴承动子上，所述促动器的输出端能够伸缩，所述第一方向为所述输出端的伸长方向；

所述活塞具有加速运动的第一状态，以及减速运动的第二状态，当处于所述第一状态时，所述促动器的输出端伸入至所述安装空间内并抵接于所述活塞，以使所述活塞抵接于所述第一轴承动子，所述促动器被配置为伸长以使所述活塞、所述刺针以及所述第一轴承动子同步沿所述第一方向运动；当处于所述第二状态时，所述促动器的输出端和所述活塞分离，所述活塞与所述刺针能够沿所述第一方向的反向运动。

在其中一个实施例中，还包括第二轴承，所述第二轴承安装在所述安装空间内且连接于所述安装空间的内壁，所述活塞设置于所述第二轴承内，当处于所述第二状态时，所述活塞与所述刺针能够在所述第二轴承内沿所述第一方向的反向运动。

在其中一个实施例中，还包括设置于所述第二轴承沿所述第一方向一端的端盖，所述端盖连接于所述第二轴承，以封堵所述安装空间，所述刺针穿过所述端盖且沿所述第一方向延伸。

在其中一个实施例中，还包括第一轴承，所述第一轴承动子穿设于所述第一轴承，且与所述第一轴承滑动配合；

其中，所述第一轴承为气浮轴承，所述第一轴承动子为气浮轴承动子。

在其中一个实施例中，还包括气源和安装在所述第一轴承上的节流器，所述节流器连接于所述气源，所述气源内的压缩气体能够通过所述节流器流入至所述第一轴承和所述第一轴承动子之间。

在其中一个实施例中，还包括导轨件和气浮垫，所述气浮垫安装在所述第一轴承上，所述导轨件安装在所述第一轴承动子上，所述导轨件具有朝向所述气浮垫一侧的导轨平面，所述气浮垫上设置有气孔，所述气源内的压缩气体能够通过所述气孔流向所述导轨平面，以消除所述第一轴承动子沿自身径向的旋转运动。

在其中一个实施例中，还包括测量组件，所述测量组件包括光栅尺和读数头，所述光栅尺和所述读数头其中一个安装在所述第一轴承动子上，另一个安装在所述第一轴承上，所述读数头用于读取所述光栅尺的数据。

在其中一个实施例中，还包括外壳和音圈电机，所述第一轴承动子滑动安装在所述外壳内，所述音圈电机包括：

电机磁钢，安装在所述外壳上；

电机线圈，与所述电机磁钢同轴设置；

安装座，连接于所述电机线圈和所述第一轴承动子，且所述电机线圈的轴向和所述第一轴承动子的轴向平行，所述电机线圈能够通电产生沿所述轴向的作用力，以带动所述安装座和所述第一轴承动子沿所述轴向运动。

在其中一个实施例中，还包括磁平衡组件，所述磁平衡组件包括磁力相斥的磁平衡动子和磁平衡定子，所述磁平衡动子连接于所述安装座，所述磁平衡定子连接于所述外壳，所述磁平衡定子用于使所述磁平衡动子具有向上的斥力，以克服所述磁平衡动子、所述电机线圈、所述安装座、所述第一轴承动子、所述活塞以及所述刺针的重力。

在其中一个实施例中，还包括气源，所述气源与所述安装空间连通，所述气源内的压缩气体能够流入至所述安装空间内，以使所述活塞在所述安装空间内运动。

上述压合装置，将活塞安装在第一轴承动子的安装空间内，且将刺针连接于活塞沿第一方向的端面，当第一轴承动子带着活塞一起做加速运动时，即活塞处于第一状态时，促动器的输出端伸长并伸入至安装空间内抵接于活塞，使活塞抵接于第一轴承动子，从而限制活塞在安装空间内的运动，从而使第一轴承动子、活塞、促动器、以及刺针同步沿第一方向运动。而当第一轴承动子带着活塞做减速运动时，即活塞处于第二状态时，促动器的输出端收缩并与活塞分离，此时，在外力作用下，活塞能在安装空间内沿第一方向的反向运动，从而带动刺针收缩，减小刺针的压合力。

附图说明

图1为本申请提供的压合装置的结构示意图。

图2为本申请提供的压合装置在第一视角下的剖视图。

图3为本申请提供的压合装置在第二视角下的剖视图。

图4为本申请提供的第一轴承动子运动的结构示意图。

图中：

100、第一轴承动子；110、安装空间；120、第二轴承；130、端盖；140、导轨件；

200、活塞；210、刺针；

300、促动器；

400、第一轴承；410、节流器；

500、气浮座；510、气浮垫；

600、测量组件；610、光栅尺；620、读数头；

700、外壳；

800、音圈电机；810、电机磁钢；820、电机线圈；830、安装座；

900、磁平衡组件；910、磁平衡动子；920、磁平衡定子；930、固定座。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本申请所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

本申请提供了一种压合装置，如图1至图4所示，压合装置包括第一轴承动子100、活塞200以及促动器300，第一轴承动子100设置有安装空间110；活塞200设置于安装空间110内，且能够在安装空间110内运动，活塞200沿第一方向的一端设置有用于与LED灯珠抵接的刺针210；促动器300安装在第一轴承动子100上，促动器300的输出端能够伸缩，第一方向为输出端的伸长方向；活塞200具有加速运动的第一状态，以及减速运动的第二状态，当处于第一状态时，促动器300的输出端伸入至安装空间110内并抵接于活塞200，以使活塞200抵接于第一轴承动子100，促动器300被配置为伸长以使活塞200、刺针210以及第一轴承动子100同步沿第一方向运动；当处于第二状态时，促动器300的输出端和活塞200分离，活塞200与刺针210能够沿第一方向的反向运动。

上述压合装置，将活塞200安装在第一轴承动子100的安装空间110内，且将刺针210连接于活塞200沿第一方向的端面，当第一轴承动子100带着活塞200一起做加速运动时，即活塞200处于第一状态时，促动器300的输出端伸长并伸入至安装空间110内抵接于活塞200，使活塞200抵接于第一轴承动子100，从而限制活塞200在安装空间110内的运动，从而使第一轴承动子100、活塞200、促动器300、以及刺针210同步沿第一方向运动。而当第一轴承动子100带着活塞200做减速运动时，即活塞200处于第二状态时，促动器300的输出端收缩并与活塞200分离，此时，在外力作用下，活塞200能在安装空间110内沿第一方向的反向运动，从而带动刺针210收缩，减小了刺针210的压合力。

在此以第一轴承动子100的运动过程举例说明，如图4所示，第一轴承动子100具有起始位置、速度峰值位置、软着陆位置、以及理论着陆位置。第一轴承动子100在起始位置到速度峰值位置做加速运动，此时，活塞200处于第一状态，促动器300伸长抵接于活塞200，以使第一轴承动子100、活塞200、促动器300、以及刺针210同步沿第一方向做加速运动。第一轴承动子100从速度峰值位置到软着陆位置做减速运动，此时，活塞200处于第二状态，促动器300的输出端收缩并与活塞200分离。当刺针210到达软着陆位置时，刺针210抵接于PCB板或者玻璃载板上的LED灯珠，若刺针210受到的外部压力超过活塞200的预压力时，活塞200在安装空间110内沿第一方向的反方向运动，从而使活塞200带动刺针210退回，保证了刺针210下压的力量恒定。

具体地，促动器300为压电陶瓷促动器，压电陶瓷促动器在50um-100um范围内可以做500Hz以上高频运动。

在一些实施例中，压合装置还包括气源，气源与安装空间110连通，气源内的压缩气体能够流入至安装空间110内，以使活塞200在安装空间110内运动。通过设置气源，气源内的压缩气体流入至安装空间110内，活塞200在压缩气体的作用下能够沿第一方向的反向运动。

具体地，在第一轴承动子100上设置有连通气源和安装空间110的气道，气源的压缩气体通过气道流入至安装空间110内。

综上所述，活塞200和刺针210在外力作用下沿第一方向的反向运动具有两种状态，第一种是刺针210抵接于PCB板或者玻璃载板上的LED灯珠，刺针210受到LED灯珠的反作用力，从而推动活塞200和刺针210沿第一方向的反向运动；第二种是气源的压缩气体流入至安装空间110内，从而驱动活塞200沿第一方向的反向运动，而活塞200沿第一方向的反向运动带动刺针210沿第一方向的反向运动。

在一些实施例中，如图1至图3所示，压合装置还包括第二轴承120，第二轴承120安装在安装空间110内且连接于安装空间110的内壁，活塞200设置于第二轴承120内，当处于第二状态时，活塞200与刺针210能够在第二轴承120内沿第一方向的反向运动。通过设置第二轴承120，将第二轴承120设置在安装空间110内，而活塞200滑动设置于第二轴承120内，便于安装活塞200。

具体地，第二轴承120为孔质石墨轴承。

在一些实施例中，如图1至图3所示，压合装置还包括设置于第二轴承120沿第一方向一端的端盖130，端盖130连接于第二轴承120，以封堵安装空间110，刺针210穿过端盖130且沿第一方向延伸。设置端盖130从而封堵安装空间110，活塞200位于安装空间110内，而刺针210穿过端盖130部分设置于安装空间110的外部，便于抵接于LED灯珠。当活塞200处于第一状态时，促动器300抵的输出端伸长抵接于活塞200，从而使活塞200沿第一方向的端壁抵接于端盖130，从而使第一轴承动子100、活塞200、促动器300、以及刺针210能同步沿第一方向做加速运动。

在一些实施例中，如图1至图3所示，压合装置还包括第一轴承400，第一轴承动子100穿设于第一轴承400，且与第一轴承400滑动配合；第一轴承400为气浮轴承，第一轴承动子100为气浮轴承动子。设置第一轴承400，不仅便于安装第一轴承动子100，而且还能为第一轴承动子100的移动方向进行导向。而将第一轴承400设置为气浮轴承，第一轴承动子100设置为气浮轴承动子，降低了第一轴承400和第一轴承动子100的磨损，提高第一轴承400和第一轴承动子100的精度。

在一些实施例中，如图1至图3所示，压合装置还包括气源和安装在第一轴承400上的节流器410，节流器410连接于气源，气源内的压缩气体能够通过节流器410流入至第一轴承400和第一轴承动子100之间。通过设置节流器410，控制第一轴承400和第一轴承动子100之间的气体流量，使之符合生产需要。

需要说明的是，与节流器410连接的气源，和与安装空间110连接的气源可以是同一气源，也可以是不同的气源，气源的具体数量根据实际作业进行选择。

当第一轴承400为圆环状，第一轴承动子100为圆柱状时，第一轴承动子100在第一轴承400内除了轴向的移动外，还具有径向的转动，而径向的转动则会影响轴向的移动，因此，为了减小第一轴承动子100在第一轴承400内的径向转动，如图1至图3所示，压合装置还包括导轨件140和气浮垫510，气浮垫510安装在第一轴承400上，导轨件140安装在第一轴承动子100上，导轨件140具有朝向气浮垫510一侧的导轨平面，气浮垫510上设置有气孔，气源内的压缩气体能够通过气孔流向导轨平面，以消除第一轴承动子100沿自身径向的旋转运动。通过在第一轴承动子100上安装导轨件140，即在第一轴承动子100的外周面安装有导轨平面，使第一轴承动子100的外周面的部分区域变为了平面。此时，气源内压缩气体通过气浮垫510的气孔流向导轨平面，从而减小了第一轴承动子100的径向转动。

具体地，如图1至图3所示，压合装置还包括气浮座500，气浮座500上安装有气浮垫510。

具体地，如图1至图3所示，压合装置还包括外壳700，第一轴承400安装在外壳700内，外壳700上设置有供气浮座500穿过的安装孔，气浮座500穿过安装孔，从而使气浮座500的气浮垫510安装在第一轴承400上。

在一些实施例中，如图1至图3所示，压合装置还包括测量组件600，测量组件600包括光栅尺610和读数头620，光栅尺610和读数头620其中一个安装在第一轴承动子100上，另一个安装在第一轴承400上，读数头620用于读取光栅尺610的数据。通过设置测量组件600，从而测量第一轴承动子100在轴向上的移动距离。

具体地，如图1至图3所示，在第一轴承动子100上安装有光栅尺610，在第一轴承400的内壁上安装有读数头620，当第一轴承动子100带动光栅尺610沿轴向移动时，读数头620读取光栅尺610上的数据，从而记录第一轴承动子100的轴向移动距离。

在一些实施例中，如图1至图3所示，压合装置还包括外壳700和音圈电机800，第一轴承动子100滑动安装在外壳700内，音圈电机800包括电机磁钢810、电机线圈820以及安装座830，电机磁钢810安装在外壳700上；电机线圈820与电机磁钢810同轴设置；安装座830连接于电机线圈820和第一轴承动子100，且电机线圈820的轴向和第一轴承动子100的轴向平行，电机线圈820能够通电产生沿轴向的作用力，以带动安装座830和第一轴承动子100沿轴向运动。将第一轴承400安装在外壳700内，第一轴承动子100与第一轴承400滑动配合，即第一轴承动子100与外壳700滑动配合。将音圈电机800的电机磁钢810固定安装在外壳700上，而电机线圈820与电机磁钢810同轴设置，且电机线圈820通过安装座830连接于第一轴承动子100，电机线圈820通电后，在电机磁钢810产生磁场的作用下，电机线圈820沿轴向移动，进而带动安装座830和第一轴承动子100沿轴向移动，而第一轴承动子100沿轴承移动也就带动了活塞200和刺针210沿轴向移动。

在一些实施例中，如图1至图3所示，压合装置还包括磁平衡组件900，磁平衡组件900包括磁力相斥的磁平衡动子910和磁平衡定子920，磁平衡动子910连接于安装座830，磁平衡定子920连接于外壳700，磁平衡定子920用于使磁平衡动子910具有向上的斥力，以克服磁平衡动子910、电机线圈820、安装座830、第一轴承动子100、活塞200以及刺针210的重力。通过设置磁平衡动子910和磁平衡定子920，磁平衡定子920提供给磁平衡动子910向上的斥力，且该斥力的大小与磁平衡动子910、电机线圈820、安装座830、第一轴承动子100、第二轴承120、活塞200以及刺针210的重力之和相等。通过设置磁平衡组件900，补偿电机线圈820、安装座830、第一轴承动子100、第二轴承120、活塞200以及刺针210的重力，减少音圈电机800发热的情况。

具体地，如图1至图3所示，磁平衡组件900还包括固定座930，磁平衡定子920通过固定座930连接于外壳700。

需要说明的是，磁平衡组件900包括磁平衡动子910、磁平衡定子920以及固定座930，磁平衡定子920的内壁安装有滑动轴承，为磁平衡动子910和磁平衡定子920之间的运动提供导向。磁平衡组件900的原理是利用磁平衡动子910和磁平衡定子920内永磁体的相互作用产生力，无需外部电源或控制，在行程范围内方向恒定，大小不变。

综上所述，本申请提供的压合装置包括外壳700、第一轴承400、第一轴承动子100、第二轴承120、活塞200、刺针210、促动器300、气浮座500、导轨件140、测量组件600、音圈电机800以及磁平衡组件900。而第一轴承400、第一轴承动子100、气浮座500、导轨件140、音圈电机800，磁平衡组件900构成了压合装置的宏动高频运动部分；第二轴承120、活塞200、促动器300构成精密力控软着陆部分。

由于活塞200的预压力0.01N-0.5N范围内，在第一轴承动子100做100Hz高频运动中，活塞200较小的预压力无法使活塞200跟随第一轴承动子100运动；本申请利用促动器300可在50um-100um范围内可以做500Hz以上高频运动原理，促动器300在短行程内运动频率远大于音圈电机800的运动频率，通过促动器300伸长填充活塞200运动行程形式，使活塞200跟随第一轴承动子100做同步运动。

本申请提供的压合装置，具有以下技术效果：

1、针对锡膏焊盘PCB板时，刺针210的刺晶力需要控制，防止压力过大将灯珠压碎，由于PCB板本身存在翘曲，在针刺时需留一小段软着陆缓冲区，防止刺针210过冲，本申请可以保持刺针210和LED灯珠恒力软着陆。

2、由于刺晶保持力0.01-0.5N过小，活塞200部分无法跟随第一轴承动子100同步运动，第一轴承动子100在加速运动时，通过促动器300伸长将活塞200顶住，使活塞200跟随第一轴承动子100同步运动，第一轴承动子100在减速运动或LED灯珠接触锡膏前，促动器300收缩让出空间，活塞200靠惯性向下运动，在LED灯珠接触锡膏时，当压力大于预载压力时，活塞200向上缩回，从而带动刺针210缩回；

3、本申请通过设置磁平衡组件900克服重力，使压合装置的运动精度及定位精度更高。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (6)

1.一种压合装置，其特征在于，所述压合装置包括：

第一轴承动子(100)，设置有安装空间(110)；

活塞(200)，设置于所述安装空间(110)内，且能够在所述安装空间(110)内运动，所述活塞(200)沿第一方向的一端设置有用于与LED灯珠抵接的刺针(210)；

促动器(300)，安装在所述第一轴承动子(100)上，所述促动器(300)的输出端能够伸缩，所述第一方向为所述输出端的伸长方向；

所述活塞(200)具有加速运动的第一状态，以及减速运动的第二状态，当处于所述第一状态时，所述促动器(300)的输出端伸入至所述安装空间(110)内并抵接于所述活塞(200)，以使所述活塞(200)抵接于所述第一轴承动子(100)，所述促动器(300)被配置为伸长以使所述活塞(200)、所述刺针(210)以及所述第一轴承动子(100)同步沿所述第一方向运动；当处于所述第二状态时，所述促动器(300)的输出端和所述活塞(200)分离，所述活塞(200)与所述刺针(210)能够沿所述第一方向的反向运动；

还包括第二轴承(120)，所述第二轴承(120)安装在所述安装空间(110)内且连接于所述安装空间(110)的内壁，所述活塞(200)设置于所述第二轴承(120)内，当处于所述第二状态时，所述活塞(200)与所述刺针(210)能够在所述第二轴承(120)内沿所述第一方向的反向运动；

还包括设置于所述第二轴承(120)沿所述第一方向一端的端盖(130)，所述端盖(130)连接于所述第二轴承(120)，以封堵所述安装空间(110)，所述刺针(210)穿过所述端盖(130)且沿所述第一方向延伸；

还包括外壳(700)和音圈电机(800)，所述第一轴承动子(100)滑动安装在所述外壳(700)内，所述音圈电机(800)包括：

电机磁钢(810)，安装在所述外壳(700)上；

电机线圈(820)，与所述电机磁钢(810)同轴设置；

安装座(830)，连接于所述电机线圈(820)和所述第一轴承动子(100)，且所述电机线圈(820)的轴向和所述第一轴承动子(100)的轴向平行，所述电机线圈(820)能够通电产生沿所述轴向的作用力，以带动所述安装座(830)和所述第一轴承动子(100)沿所述轴向运动；

还包括磁平衡组件(900)，所述磁平衡组件(900)包括磁力相斥的磁平衡动子(910)和磁平衡定子(920)，所述磁平衡动子(910)连接于所述安装座(830)，所述磁平衡定子(920)连接于所述外壳(700)，所述磁平衡定子(920)用于使所述磁平衡动子(910)具有向上的斥力，以克服所述磁平衡动子(910)、所述电机线圈(820)、所述安装座(830)、所述第一轴承动子(100)、所述活塞(200)以及所述刺针(210)的重力。

2.根据权利要求1所述的压合装置，其特征在于，还包括安装在所述外壳(700)内的第一轴承(400)，所述第一轴承动子(100)穿设于所述第一轴承(400)，且与所述第一轴承(400)滑动配合；

其中，所述第一轴承(400)为气浮轴承，所述第一轴承动子(100)为气浮轴承动子。

3.根据权利要求2所述的压合装置，其特征在于，还包括气源和安装在所述第一轴承(400)上的节流器(410)，所述节流器(410)连接于所述气源，所述气源内的压缩气体能够通过所述节流器(410)流入至所述第一轴承(400)和所述第一轴承动子(100)之间。

4.根据权利要求3所述的压合装置，其特征在于，还包括导轨件(140)和气浮垫(510)，所述气浮垫(510)安装在所述第一轴承(400)上，所述导轨件(140)安装在所述第一轴承动子(100)上，所述导轨件(140)具有朝向所述气浮垫(510)一侧的导轨平面，所述气浮垫(510)上设置有气孔，所述气源内的压缩气体能够通过所述气孔流向所述导轨平面，以消除所述第一轴承动子(100)沿自身径向的旋转运动。

5.根据权利要求2所述的压合装置，其特征在于，还包括测量组件(600)，所述测量组件(600)包括光栅尺(610)和读数头(620)，所述光栅尺(610)和所述读数头(620)其中一个安装在所述第一轴承动子(100)上，另一个安装在所述第一轴承(400)上，所述读数头(620)用于读取所述光栅尺(610)的数据。

6.根据权利要求1所述的压合装置，其特征在于，还包括气源，所述气源与所述安装空间(110)连通，所述气源内的压缩气体能够流入至所述安装空间(110)内，以使所述活塞(200)在所述安装空间(110)内运动。