CN1633397A - 光学玻璃以及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种光学玻璃的制造方法，在构成光学玻璃的玻璃微粒的合成中，可以防止所使用的燃烧器恶化并能得到质量稳定的光学玻璃。本发明涉及的光学玻璃，直径在0.3mm以上的残留气泡数为每单位体积0.005个/cm3以下。在玻璃微粒的堆积中，通过对可燃气体或者助燃气体的流速或者流量进行调节来控制玻璃合成用燃烧器的端面温度，从而得到这种光学玻璃。

Description

光学玻璃以及其制造方法
发明领域
本发明涉及光学玻璃以及其制造方法，特别涉及在构成光学玻璃的玻璃微粒的合成中防止所使用的燃烧器恶化，并得到质量稳定的光学玻璃的光学玻璃制造方法。
背景技术
作为光学玻璃的一例，光纤用基材的制造方法有：VAD法、OVD法、MCVD法以及PCVD法等方法。其中，OVD(Out side Vapor PhaseDeposition(外侧气相沉积))法为下述方法：从玻璃合成用燃烧器喷出四氯化硅(SiCl4)等玻璃原料气体，同时还喷出氧气或者氢气等掺杂气体、氢气等可燃气体以及氧气等助燃气体，使玻璃原料气体在火焰中发生水解反应或者氧化反应来合成玻璃微粒，在具备其轴的周围旋转成为核心轴的玻璃材料的圆柱形基体部件的径向外围部，堆积玻璃微粒(烟炱)而形成作为光纤用多孔材料的多层的多孔层，在电炉中将其进行透明玻璃化来制造光纤用基材(例如，参照美国专利第5597398号)。
用这种方法制造的光学玻璃，不光用于光纤中，还能充分适用于半导体制造装置用光学玻璃中。
作为在光纤用多孔材料等的制造中所使用的玻璃合成用燃烧器，可举出多重管燃烧器或者多喷嘴型燃烧器等(例如参照美国专利第4810189号)一般的石英玻璃制燃烧器，其中，所述多重管燃烧器设置有许多用于合成玻璃微粒的各种气体的喷口并呈同心圆状排列，所述多喷嘴型燃烧器在按同心圆状设置的许多可燃气体等的喷口之间设置有许多助燃气体喷口。可是，近年来，随着光通信需求的增加，光纤的需求量也在逐年增长。因此，需要降低光纤的价格。为了满足该要求，实现光纤制造的高速化、光纤制造的高效率化、大量制造光纤以及降低制造成本是有必要的。其结果，为了一次性大量地制造光纤并降低制造成本，使得供给光纤的纺织中的光纤用基材倾向于大型化。
而且，随着半导体制造装置的大型化，半导体制造装置用光学玻璃也在大型化。
要大型化光纤用基材或者半导体制造装置用光学玻璃，例如，在用OVD法等的光学玻璃的制造中，提高玻璃微粒堆积在基体部件外围部分的速度(以下称为“堆积速度”)以及玻璃微粒堆积在基体部件外围部分的效率(以下称为“堆积效率”)是非常重要的课题。
为提高玻璃微粒的堆积速度，可提高玻璃微粒的合成速度。若要提高玻璃微粒的合成速度，则有必要延长玻璃原料气体的反应时间并提高反应温度。此外，在提高玻璃微粒的堆积效率时，玻璃微粒的堆积面与从玻璃合成用燃烧器喷出的火焰的温差加大，有必要最大限度地利用玻璃微粒中起的热霍雷西斯(サ一モホレシス)效应(从用于玻璃微粒合成的各种气体而得的玻璃微粒与温度梯度成比例的力的效应)。
然而，若火焰的温度过高，则被加热的玻璃合成用燃烧器的端面会熔融减少。若玻璃合成用燃烧器的端面减少，则因该玻璃合成用燃烧器不能再用于光学玻璃的制造中，而必须频繁地更换玻璃合成用燃烧器。其结果，虽然提高了玻璃微粒的堆积速度以及堆积效率，但却不能降低制造成本。
此外，玻璃合成用燃烧器的端面若因加热而减少并变形，就不能形成稳定的火焰，从而降低玻璃微粒的堆积速度以及堆积效率。进而，还具有以下问题：因为玻璃合成用燃烧器的端面减少，所以产生的玻璃屑与玻璃微粒一起堆积，该玻璃屑成为光学玻璃中产生气泡的原因，当光从光学玻璃的端部入射时，该玻璃屑会作为亮点而被观察到。
鉴于上述事实，本发明的目的在于提供一种光学玻璃的制造方法，在构成光学玻璃的玻璃微粒的合成中，防止所使用的燃烧器恶化，并得到质量稳定的光学玻璃。
发明内容
本发明者发现通过一种光学玻璃可以解决上述问题，该光学玻璃为光纤用玻璃基材或者半导体制造装置用光学玻璃，直径为0.3mm以上的残留气泡数为每单位体积0.005个/cm3以下。
此外，本发明者发现可以用以下方法来制造此光学玻璃：将玻璃原料气体、掺杂气体、可燃气体、助燃气体以及惰性气体导入到玻璃合成用燃烧器内，使玻璃原料气体在火焰中发生水解反应或者氧化反应来合成玻璃微粒，堆积该玻璃微粒来制造光学玻璃，其中：在玻璃微粒的堆积中，通过调节可燃气体或者助燃气体的流速使其为规定的流速关系，来控制玻璃合成用燃烧器的端面温度，从而可制造直径在0.3mm以上的残留气泡数为每单位体积0.005个/cm3以下的光学玻璃。
在上述光学玻璃的制造方法中，玻璃合成用燃烧器的端面温度优选在900℃以下。
此外，在上述光学玻璃的制造方法中，可燃气体的流速为VH、助燃气体的流速为V0，当其关系为VH＝V0×a时，优选a≤0.2。
此外，在上述光学玻璃的制造方法中，可燃气体的流量为VH、助燃气体的流量为V0，当其关系为V0＝VH×b时，优选0.1≤b≤0.8。
附图说明
图1是表示在本发明的光学玻璃制造方法中所用的玻璃合成用燃烧器的一例概略结构图。
图2是表示本发明的光学玻璃的制造方法的概略说明图。
图3是表示本发明的实施例以及比较例中玻璃合成用燃烧器10的端面温度与在光学玻璃内产生的气泡数之间的关系曲线图。
图4是表示本发明的实施例以及比较例中的玻璃合成用燃烧器10的端面温度与常数a、b之间的关系曲线图。
具体实施方式
下面，对本发明进行详细说明。
图1是表示在本发明的光学玻璃制造方法中所用的玻璃合成用燃烧器的一例概略结构图。
在该玻璃合成用燃烧器10的端面，其中心设有第1喷嘴1，在该第1喷嘴1的周围，设有与第1喷嘴1同轴的第2喷嘴2，进而，在该第2喷嘴2的周围设有与第1喷嘴1同轴的第3喷嘴3。此外，在第2喷嘴2和第3喷嘴3之间，在第1喷嘴1的同心圆上设有许多内径和外径相等的小口径喷嘴4、4、…。
此外，在第1喷嘴1上形成有第1喷口11，在第1喷嘴1和第2喷嘴2之间的部分上形成有第2喷口12，在第2喷嘴2和第3喷嘴3之间的部分上形成有第3喷口13，在小口径喷嘴4、4、…上形成有第4喷口14。
在通过OVD法合成玻璃微粒中，一般地从第1喷口11供给例如SiCl4等玻璃原料气体以及氧气或者氢气等掺杂气体，从第2喷口12供给氩气等惰性气体，从第3喷口13供给氢气等可燃气体，从第4喷口14供给氧气等助燃气体。
此外，玻璃合成用燃烧器10呈外径40～60mm左右的圆筒形，，一般由石英玻璃来形成。构成的玻璃合成用燃烧器10的第1喷嘴1的内径为3～6mm左右，第2喷嘴2的内径为4～7mm左右，第3喷嘴3的内径为30～35mm左右。此外，小口径喷嘴4的内径为1～2mm左右。
再者，图1表示的是在本发明的光学玻璃制造方法中所用的玻璃合成用燃烧器的一例，但在本发明的光学玻璃的制造方法中所使用的玻璃合成用燃烧器并不局限于此。用于本发明的光学玻璃的制造方法中的玻璃合成用燃烧器可以具有与图1所示的玻璃合成用燃烧器10类似的结构。
下面，对本发明的光学玻璃的制造方法进行说明。
图2是表示本发明的光学玻璃制造方法的概略说明图。
对于本发明的光学玻璃的制造方法，首先，准备由石英玻璃等构成的圆柱形基体部件21。然后，通过支持基体部件21的两端部的23来支持并水平配置基体部件21。接着，在该状态下，以其轴为中心旋转基体部件21。然后，使用一个以上的玻璃合成用燃烧器10，从玻璃合成用燃烧器10的第1喷口11供给玻璃原料气体以及掺杂气体，从第2喷口12供给惰性气体，从第3喷口13供给可燃气体，从第4喷口14供给助燃气体，通过在玻璃合成用燃烧器10的火焰中发生水解反应或者氧化反应，来合成玻璃微粒。然后，将玻璃合成用燃烧器10沿基体部件21的长度方向(图中箭头所示方向)平行移动，使玻璃微粒堆积在旋转的基体部件的外围部分而得到多孔材料22，通过对多孔材料22进行烧结而使其透明玻璃化，得到光学玻璃。此外，虽然图2中表示了光学玻璃制造方法的一例，但是本发明的光学玻璃制造方法并不局限于此。
可是，为了提高玻璃微粒的堆积速度或堆积效率，采取加大玻璃合成用燃烧器10的横截面积的方法作为增大从玻璃合成用喷嘴10喷出的火焰的方法。然而，若加大了玻璃合成用燃烧器10的横截面积，那么，用于玻璃微粒的合成中各种气体的流速会延缓。然后，气体的流速变缓时，则会在玻璃合成用燃烧器10的端面附近形成火焰的同时，引起水解反应或者氧化反应。因此，在玻璃合成用燃烧器10的端面附近会产生热量，从而会减少玻璃合成用燃烧器10的端面。
因此，对于本发明的光学玻璃的制造方法来说，在玻璃微粒的堆积中，对从第3喷口13喷出的可燃气体以及从第4喷口喷出的助燃气体的流速或者流量进行调节。因此，可以使火焰的形成位置从玻璃合成用燃烧器10的端面上离开，防止在玻璃合成用燃烧器10的端面附近产生高温。
如果这样，可以防止因火焰的热量而引起的玻璃合成用燃烧器10的端面的减少或恶化，从而可以减少玻璃合成用燃烧器10的更换次数。而且，因为预防了玻璃合成用燃烧器10因热而引起的变形，所以通常可以形成稳定的火焰，从而能够防止玻璃微粒的堆积速度以及堆积效率的降低。此外，还可以防止因玻璃合成用燃烧器的端面的减少而产生的玻璃屑与玻璃微粒的同时堆积，以及防止在通过烧结多孔材料而得到的光学玻璃中混入气泡。
此外，对于本发明的光学玻璃制造方法来说，在玻璃微粒的堆积中，通过对从第3喷口13喷出的可燃气体以及从第4喷口喷出的助燃气体的流速或者流量进行调节，玻璃合成用燃烧器10的端面温度优选900℃以下，最优选为800℃以下。如果这样，可防止因氢氧火焰的热量而导致玻璃合成用燃烧器10的端面的减少或恶化。另外，可防止通过本发明的光学玻璃制造方法而得到的光学玻璃中混入气泡。
此外，对于本发明的光学玻璃的制造方法来说，在玻璃微粒的堆积中，调节可燃气体或者助燃气体的流速。此时，设可燃气体的流速为VH、助燃气体的流速为V0，当其关系为VH＝V0×a时，优选a≤0.2。因此，在本发明的光学玻璃的制造方法中，在规定的范围内，通常优选使可燃气体的流速VH比助燃气体的流速V0慢。
若a超过0.2，则在玻璃合成用燃烧器10的端面附近形成火焰的同时，引起水解反应或者氧化反应。因此，在玻璃合成用燃烧器10的端面附近会产生热量，从而熔化玻璃合成用燃烧器10，减少其端面。
或者，在玻璃微粒的堆积中，设可燃气体的流量为VH、助燃气体的流量为V0，当其关系为V0＝VH×b时，优选0.1≤b≤0.8。因此，在本发明的光学玻璃的制造方法中，在规定的范围内，通常优选助燃气体的流量V0比可燃气体的流量VH小。
当b小于0.1时，在玻璃合成用燃烧器10的端面附近形成火焰的同时，会引起水解反应以及氧化反应。因此，在玻璃合成用燃烧器10的端面附近会产生热量，从而熔化玻璃合成用燃烧器10，减少了其端面。另一方面，若b超过0.8，则助燃气体的流速过快，火焰不集中，所以会降低玻璃微粒的堆积速度、堆积效率。
此外，对于通过本发明的光学玻璃制造方法而得到的光学玻璃来说，其中所含有的直径为0.3mm以上的残留气泡数为每单位体积0.005个/cm3以下。再者，直径为0.3mm以下的气泡不会给其后的加工以及光学特性带来很大影响。因此，通过本发明的光学玻璃的制造方法可以得到良好的光学玻璃。再者，从光学玻璃的一端射入光时，使用画好的直径为0.3mm的圆的刻度尺来比较残留气泡的大小进行调查。
下面，通过图1以及图2所示的具体实施例来对本发明的效果进行说明。
实施例1
准备图1所示的具备玻璃合成用燃烧器的光学玻璃制造用燃烧器装置。
然后，准备外径为30mm、长为1500mm的由石英系玻璃构成的圆柱形基体部件。
接着，通过支持工具支持该基体部件的两端来水平配置基体部件。
然后，以其中心轴为中心旋转该基体部件，同时，使用上述玻璃合成用燃烧器来合成玻璃微粒，沿基体部件的长度方向平行移动玻璃合成用燃烧器，使玻璃微粒堆积在旋转的基体部件的外围部分，在基体部件的周围堆积起由SiO2形成的玻璃微粒12kg，从而得到圆柱形的多孔材料22。
此时，基体部件的旋转速度为30rpm。此外，以5升/分从第1喷口11喷出作为玻璃原料气体的SiCl4、以3升/分喷出作为掺杂气体的氧气，以1升/分从第2喷口12喷出氩气。此外，从第3喷口13喷出氢气，并对应多孔材料22的外径的增加来对其流量进行调节，使得其流速为1.0～1.3m/秒，从第4喷口14喷出氧气，并对其流量进行调节使得其流速为12.0m/秒。此时，在VH＝V0×a的关系中，a＝0.05～0.065。
在该条件下，通过非接触式的放射温度计观察在玻璃微粒的堆积中，玻璃合成用燃烧器10的端面温度为400～600℃。
此外，烧结用上述制造方法制造出的多孔材料，得到光学玻璃，当从其一端射入光时，可以确认在光学玻璃中，超过直径为0.3mm圆的范围的残留气泡数为0.0007个/cm3。
进而，即使在该条件下反复进行多孔材料的制造，也可以确认在任何一个多孔材料烧结后的光学玻璃中的气泡数都在0.005个/cm3以下。而且，观察不到玻璃合成用燃烧器10的端面有所减少。
实施例2
以5升/分从第1喷口11喷出作为玻璃原料气体的SiCl4、以3升/分喷出作为掺杂气体的氧气，以1升/分从第2喷口12喷出氩气，同时，从第3喷口13喷出氢气，并对应多孔材料22的外径的增加而对其流量进行调节，使得其为40～80升/分，以20升/分从第4喷口14喷出氧气，除此以外，与实施例1同样来制造多孔材料22。此时，在V0＝VH×b的关系中，b＝0.23～0.50。
在该条件下，通过非接触式的放射温度计观察在玻璃微粒的堆积中，玻璃合成用燃烧器10的端面温度为600～850℃。
此外，烧结用上述制造方法制造的多孔材料，得到的光学玻璃，当从其一端射入光时，可以确认在光学玻璃中，超过直径为0.3mm的圆的范围的残留气泡数为0.0018个/cm3。
进而，即使在该条件下反复进行多孔材料的制造，也可以确认任何一个多孔材料烧结后的光学玻璃中的气泡数都在0.005个/cm3以下。此外，观察不到玻璃合成用燃烧器10的端面有所减少。
实施例3
以5升/分从第1喷口11喷出作为玻璃原料气体的SiCl4、以3升/分喷出作为掺杂气体的氧气，以1升/分从第2喷口12喷出氩气，同时，从第3喷口13喷出氢气，并对其流量进行调节使得其流速为1.2m/秒，从第4喷口14喷出氧气，并对应多孔材料22的外径的增加而对其流量进行调节，使得其流速为6～16m/秒，除此以外，与实施例1同样来制造多孔材料22。此时，在VH＝V0×a的关系中，a＝0.075～0.2。
在该条件下，通过非接触式的放射温度计观察在玻璃微粒的堆积中，玻璃合成用燃烧器10的端面温度为600～900℃。
此外，烧结用上述制造方法制造出的多孔材料，得到的光学玻璃，当从其一端射入光时，可以确认在光学玻璃中，超过直径为0.3mm的圆的范围的残留气泡数为0.0030个/cm3。
进而，即使在该条件下反复进行多孔材料的制造，也可以确认任何一个多孔材料烧结后的光学玻璃中的气泡数都在0.005个/cm3以下。此外，观察不到玻璃合成用燃烧器10的端面有所减少。
实施例4
以5升/分从第1喷口11喷出作为玻璃原料气体的SiCl4、以3升/分喷出作为掺杂气体的氧气，以1升/分从第2喷口12喷出氩气，以60升/分从第3喷口13喷出氢气，从第4喷口14喷出氧气，并对应多孔材料22的外径的增加而对其流量进行调节，使得其为25～45升/分，除此以外，与实施例1同样来制造多孔材料22。此时，在V0＝VH×b的关系中，b＝0.42～0.75。
在该条件下，通过非接触式的放射温度计观察在玻璃微粒的堆积中，玻璃合成用燃烧器10的端面温度为400～700℃。
此外，烧结使用上述制造方法制造出的多孔材料，得到光学玻璃，当从其一端射入光时，可以确认在光学玻璃中，超过直径为0.3mm的圆的范围的残留气泡数为0.0006个/cm3。
进而，即使在该条件下反复进行多孔材料的制造，也可以确认任何一个多孔材料烧结后的光学玻璃中的气泡数都在0.005个/cm3以下。此外，观察不到玻璃合成用燃烧器10的端面有所减少。
比较例1
以5升/分从第1喷口11喷出作为玻璃原料气体的SiCl4、以3升/分喷出作为掺杂气体的氧气，以1升/分从第2喷口12喷出氩气，从第三喷口13喷出氢气，并对应多孔材料22的外径的增加而对其流量进行调节，使得其流速为0.8～1.3m/秒，从第4喷口14喷出氧气，并对其流量进行调节，使得流速为3.0m/秒，除此以外，与实施例1同样来制造多孔材料22。此时，在VH＝V0×a的关系中，a＝0.27～0.43。
在该条件下，通过非接触式的放射温度计观察在玻璃微粒的堆积中，玻璃合成用燃烧器10的端面温度为950～1050℃。
此外，烧结用上述制造方法制造出的多孔材料，得到光学玻璃，当从其一端射入光时，可以确认在光学玻璃中，超过直径为0.3mm的圆的范围的残留气泡数为0.008个/cm3。另外，在该条件下反复进行多孔材料的制造时，玻璃合成用燃烧器10的端面温度慢慢上升，显示为1000～1100℃。进而，可以确认在多孔材料烧结后的光学玻璃中的气泡数有所增加，为0.012个/cm3。此外，玻璃颗粒的堆积速度以及堆积效率都慢慢降低。而且，当制造多孔材料50次后再观察玻璃合成用燃烧器10时，可以确认其端面有所减少。
比较例2
以5升/分从第1喷口11喷出作为玻璃原料气体的SiCl4、以3升/分喷出作为掺杂气体的氧气，从第2喷口12以1升/分喷出氩气，从第3喷口13喷出氢气，并对应多孔材料22的外径的增加而对其流量进行调节，使得其流速为1.2～1.5m/秒，从第4喷口14喷出氧气，并对其流量进行调节，使得其流速为2.8～3.2m/秒，除此以外，与实施例1同样来制造多孔材料22。
此时，在VH＝V0×a的关系中，a＝0.33～0.50。
在该条件下，通过非接触式的放射温度计观察在玻璃微粒的堆积中，玻璃合成用燃烧器10的端面温度为980～1120℃。
此外，烧结用上述制造方法制造出的多孔材料，得到光学玻璃，当从其一端射入光时，可以确认在光学玻璃中，超过直径为0.3mm的圆的范围的残留气泡数为0.010个/cm3。另外，在该条件下反复制造多孔材料时，玻璃合成用燃烧器10的端面温度慢慢上升，显示为1150～1300℃。而且，可以确认多孔材料烧结后的光学玻璃的气泡数有所增加，为0.015个/cm3。此外，玻璃颗粒的堆积速度以及堆积效率都慢慢降低。进而，当制造多孔材料50次后再观察玻璃合成用燃烧器10时，可以确认其端面有所减少。
比较例3
以5升/分从第1喷口11喷出作为玻璃原料气体的SiCl4、以3升/分喷出作为掺杂气体的氧气，以1升/分从第2喷口12喷出氩气，以70～110升/分从第3喷口13喷出氢气，以10～20升/分从第4喷口14喷出氧气，除此以外，与实施例1同样来制造多孔材料22。
此时，在V0＝VH×b的关系中，b＝0.09～0.29。
在该条件下，通过非接触式的放射温度计观察在玻璃微粒的堆积中，玻璃合成用燃烧器10的端面温度为780～1150℃。此外，在V0＝VH×b的关系中，当b＜0.1时，可以确认玻璃合成用燃烧器10的端面处于红热状态。
然后，烧结用上述制造方法制造出的多孔材料，得到光学玻璃，当从其一端射入光时，可以确认在光学玻璃中，超过直径为0.3mm的圆的范围的残留气泡数为0.012个/cm3。另外，在该条件下反复进行多孔材料的制造时，玻璃合成用燃烧器10的端面温度慢慢上升，显示为1000～1200℃。进而，可以确认在多孔材料烧结后的光学玻璃中的气泡数有所增加，为0.018个/cm3。此外，玻璃颗粒的堆积速度以及堆积效率都慢慢降低。而且，当多孔材料制造50次后再观察玻璃合成用燃烧器10时，可以确认其端面有所减少。
比较例4
以5升/分从第1喷口11喷出作为玻璃原料气体的SiCl4、以3升/分喷出作为掺杂气体的氧气，以1升/分从第2喷口12喷出氩气，以35～80升/分从第3喷口13喷出氢气，以30～60升/分从第4喷口14喷出氧气，除此以外，与实施例1同样来制造多孔材料22。
其结果，在玻璃微粒的堆积中，在V0＝VH×b的关系中，当b＞0.8时，火焰不集中，不能使玻璃微粒堆积。
图3表示的是上述实施例1～4以及比较例1～4的玻璃合成用燃烧器的端面温度与在通过烧结多孔材料而得到的光学玻璃内产生的气泡数之间的关系。
此外，图4表示的是式子VH＝V0×a中的常数a以及式子V0＝VH×b中的常数b与玻璃合成用燃烧器的端面温度之间的关系。
从图3可以看出，随着玻璃合成用燃烧器10的端面温度的上升，可以确认在通过烧结多孔材料而得到的光学玻璃内部的气泡数也在增加。此外，从图4可知，通过调节助燃气体或可燃气体的流量以及流速，可以调节玻璃合成用燃烧器10的端面温度。由此，通过调节玻璃合成用燃烧器10的端面温度，可以抑制通过烧结多孔材料而得到的光学玻璃中气泡的混入。

Claims (11)

1.一种光学玻璃，为光纤用玻璃基材或者半导体制造装置用光学玻璃，其中：直径0.3mm以上的残留气泡数为每单位体积0.005个/cm3以下。
2.一种光学玻璃的制造方法，其将玻璃原料气体、掺杂气体、可燃气体、助燃气体以及惰性气体导入玻璃合成用燃烧器内，使玻璃原料气体在火焰中发生水解反应或者氧化反应来合成玻璃微粒，堆积该玻璃微粒来制造光学玻璃，其中：在所述玻璃微粒的堆积中，通过调节所述可燃气体或者所述助燃气体的流速使其为规定的流速关系，来控制所述玻璃合成用燃烧器的端面温度，从而制造直径在0.3mm以上的残留气泡数为每单位体积0.005个/cm3以下的光学玻璃。
3.一种光学玻璃的制造方法，其将玻璃原料气体、掺杂气体、可燃气体、助燃气体以及惰性气体导入玻璃合成用燃烧器内，使玻璃原料气体在火焰中发生水解反应或者氧化反应来合成玻璃微粒，堆积该玻璃微粒来制造光学玻璃，其中：在所述玻璃微粒的堆积中，通过调节所述可燃气体或者所述助燃气体的流量使其为规定的流量关系，来控制所述玻璃合成用燃烧器的端面温度，从而制造直径在0.3mm以上的残留气泡数为每单位体积0.005个/cm3以下的光学玻璃。
4.根据权利要求2所述的光学玻璃的制造方法，其中：所述玻璃合成用燃烧器的端面温度在900℃以下。
5.根据权利要求3所述的光学玻璃的制造方法，其中：所述玻璃合成用燃烧器的端面温度在900℃以下。
6.根据权利要求2所述的光学玻璃的制造方法，其中：所述可燃气体的流速为VH，所述助燃气体的流速为V0，当其关系为VH＝V0×a时，a≤0.2。
7.根据权利要求4所述的光学玻璃的制造方法，其中：所述可燃气体的流速为VH，所述助燃气体的流速为V0，当其关系为VH＝V0×a时，a≤0.2。
8.根据权利要求5所述的光学玻璃的制造方法，其中：所述可燃气体的流速为VH，所述助燃气体的流速为V0，当其关系为VH＝V0×a时，a≤0.2。
9.根据权利要求3所述的光学玻璃的制造方法，其中：所述可燃气体的流量为VH，所述助燃气体的流量为V0，当其关系为V0＝VH×b时，0.1≤b≤0.8。
10.根据权利要求4所述的光学玻璃的制造方法，其中：所述可燃气体的流量为VH，所述助燃气体的流量为V0，当其关系为V0＝VH×b时，0.1≤b≤0.8。
11.根据权利要求5所述的光学玻璃的制造方法，其中：所述可燃气体的流量为VH，所述助燃气体的流量为V0，当其关系为V0＝VH×b时，0.1≤b≤0.8。
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