CN1577873A - 固体摄像器件及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种固体摄像器件,包括:框体(1),基板部(2)和矩形框状的加强肋(3)利用树脂一体成形而形成;多根金属引线片(9),埋入框体内,具有面向框体的内部空间(4)的内部端子部(9a)、露出于框体底面的外部端子部(9b)、以及露出于框体外侧面的侧面电极部(9c);摄像元件(5),在内部空间中被固定在基板部上;连接构件(10),连接摄像元件的电极(5a)和金属引线片的内部端子部;以及透光板(7),固定于加强肋的上端面。金属引线片在内部端子部的位置的厚度与基板部的厚度实质上相同,由与内部端子部位置对应的各金属片的背面形成外部端子部。在树脂成形时,可通过上下金属模夹持并卡紧金属引线片的内部端子部和外部端子部,内部端子部的表面被按压贴紧在上金属模的表面上,抑制树脂毛刺的产生。

Description

固体摄像器件及其制造方法
技术领域
本发明涉及将CCD等摄像元件装载在基座上而构成的固体摄像器件及其制造方法。
背景技术
固体摄像器件广泛用于摄像机和静像摄像机等,以将CCD等摄像元件装载在绝缘材料构成的基座上、用透光板覆盖光敏区的封装形式来提供。为了装置的小型化,摄像元件以裸片的状态装载在基座上。作为这样的固体摄像器件的现有例,日本专利特开2001-77277号公报中公开的固体摄像器件示于图10。
在图10中,41是框体,由利用树脂铸模一体成形的基板部41a和框状的加强肋41b构成,在其上面形成内部空间42。在框体41中,埋入位于基板部41a中央部的管芯焊盘(ダイパツド)43、以及位于加强肋41b下部的引线44。配置于内部空间42的中央部的摄像元件芯片45被固定在管芯焊盘43的上面。引线44包括在加强肋41b内侧的基板部41a上面露出到内部空间42的内部端子部44a、以及在加强肋41b的下部从基板部41a的底面露出的外部端子部44b。内部端子部44a和摄像元件芯片45的键合焊盘通过金属线构成的键合线46来连接。此外,在加强肋41b的上端面上,固定透明的密封玻璃板47,形成用于保护摄像元件芯片45的封装。
该固体摄像器件如图所示地以密封玻璃板47侧朝向上方的状态被装载在电路板上,外部端子部44b用于同电路板上的电极连接。虽然未图示,但在密封玻璃板47的上部,安装装配有摄像光学系统的镜筒,将与形成在摄像元件芯片45上的接收光区域的相互位置关系调整到规定精度。在进行摄像动作时,通过装配在镜筒中的摄像光学系统,将来自被摄对象的光聚光在光敏区域并进行光电转换。
具有这样结构的固体摄像器件通过露出于框体底面的外部端子部44b与电路板上的电极连接,所以与使用通过从框体侧面向下方弯曲的外部引线进行连接的结构相比,封装的高度和占有面积小,适合高密度安装。
在对图10所示形状的框体41进行树脂铸模时,在日本专利特开2001-77277号公报中公开的技术中,使用图11所示的上金属模48和下金属模49。下金属模49的上面是平坦的。在上金属模48的下面,形成与加强肋41b对应的凹部48a。在凹部48a的两侧,配置有形成内部空间42的内侧凸部48b、以及形成加强肋41b的外侧面的外侧凸部48c。引线44和管芯焊盘43作为引线框架50以一体的状态提供,并安装在上金属模48和下金属模49之间。
通过在上金属模48和下金属模49之间插入引线框架50,在上金属模48的内侧凸部48b和下金属模49之间,形成用于对基板部41a进行铸模的空腔51。在该状态下填充树脂,在打开金属模并取出成形体的状态下,形成框体41的基板部41a和加强肋41b具有完成的形状。引线框架50在铸模后,其位于加强肋41b的外侧的部分被切断。
在上述现有例的固体摄像器件中,图10所示的内部端子部44a的引线44的厚度为加强肋41b下部厚度的一半左右,内部端子部44a的下面不露出基板部41a的底面。该引线44的形状成为以下要说明的不良状况的原因。
为了将引线44埋入合适的配置中,在利用上下的金属模夹着引线44定位的状态下填充树脂。因此,需要在上金属模48和下金属模49之间卡紧引线44。可是,如上所述,位于内部空间42的引线44的内部端子部44a具有没有达到基板部41a底面的厚度,所以不能用上下金属模卡紧。
因此,在日本专利特开2001-77277号公报中公开的技术中,通过将位于引线44的外部端子部44b的外侧的部分在上金属模48的外侧凸部48c和下金属模49之间卡紧,将引线44定位。结果,内部端子部44a以没有被上下金属模卡紧的状态进行铸模。因此,不能获得上金属模48的内侧凸部48b与内部端子部44a的上面保持充分的按压力而紧密接触的状态。因此,不能避免在内部端子部44a的周边部发生树脂毛刺。产生的树脂毛刺使内部端子部44a的连接面明显变窄,有时在连接上产生不良。
下面,说明上述现有例结构的、成为小型化障碍的问题。如图11所示,在加强肋41b的外侧需要外侧凸部48c。通过外侧凸部48c形成加强肋41b的外侧面,用于在树脂成形时完成加强肋41b的形状。其结果,可用该部分卡紧引线44,但产生以下问题。
即,如上所述,在树脂成形中确定加强肋41b的形状的情况下,加强肋41b的上端面需要一定尺寸以上的宽度。这是因为,在加强肋41b的上端面需要确保涂敷用于固定密封玻璃板47的粘接材料的面积。因此,加强肋41b的宽度的下限值被限制。即,减小加强肋41b的宽度有极限,这成为半导体器件的面积小型化的障碍。此外,在将加强肋41b成形时,虽然未图示,但需要在加强肋的侧面形成用于从金属模中脱离的锥体,该锥体的存在也成为增大加强肋41b的宽度的原因。
发明内容
本发明的目的在于提供一种固体摄像器件,其中,该埋入由树脂一体成形的框体中、且具有内部端子部和外部端子部的金属引线片,具有可抑制在内部端子部的周边发生树脂毛刺的形状。
此外,本发明的目的在于提供一种将具有这样形状的引线与框体一体地树脂铸模,适合批量生产小型的固体摄像器件的制造方法。
本发明的固体摄像器件,包括:框体,基板部和矩形框状的加强肋利用树脂一体成形而形成;多根金属引线片,埋入所述框体中,分别具有面向所述框体的内部空间的内部端子部、露出于所述框体的底面的外部端子部、以及露出于所述框体的外侧面的侧面电极部;摄像元件,在所述框体的内部空间中被固定在所述基板部上;连接构件,分别连接所述摄像元件的电极和所述金属引线片的内部端子部;以及透光板,固定于所述加强肋的上端面。为了解决上述问题,所述各金属引线片在所述内部端子部的位置的厚度与所述基板部的厚度实质上相同,由与所述内部端子部位置对应的所述各金属引线片的背面形成所述外部端子部。
本发明的固体摄像器件的制造方法,在由基板部和矩形框状的加强肋形成的框体中,成一体地埋入包含多根金属引线片的金属引线片组进行树脂成形;利用所述各金属引线片分别形成面向所述框体的内部空间的内部端子部、露出于所述框体的底面的外部端子部以及露出于所述框体的外侧面的侧面电极部;在所述框体的内部空间内的所述基板部上固定摄像元件,分别通过连接构件连接所述摄像元件的电极和所述各金属引线片的内部端子部,并且,在所述加强肋的上端面固定透光板。其特征是,该制造方法包括以下步骤。
首先,使用如下形成的引线框架:与多个所述固体摄像器件对应而包括用于形成所述金属引线片组的多个引线部,所述各引线部的、相当于所述内部端子部的位置的厚度与所述基板部的厚度实质上相同。此外,用于形成所述框体的金属模具有形成与多个所述框体相当的多个框体相当部、且将相邻的所述框体相当部的两根所述加强肋结合成一根而成形的结构。
然后,安装所述引线框架,使所述各引线部配置在与所述金属模的各框体相当部对应的位置上、且与所述各引线部的内部端子部相当的部分在所述下金属模和所述上金属模之间被夹置卡紧,并进行树脂成形,由此使所述内部端子部面向所述内部空间露出、所述外部端子部露出于所述基板部的背面。
在所述各框体相当部的所述内部空间内固定所述摄像元件,通过所述连接构件来连接所述摄像元件的电极和所述各内部端子部,并在所述加强肋的上端面固定所述透明板;然后,在与所述基板部垂直的方向上、且在平面形状中平分所述各加强肋的宽度的方向上切断所述各框体相当部的每个,将所述各固体摄像器件分离成各单片。
附图说明
图1是表示本发明第一实施方式的固体摄像器件的结构的剖面图。
图2是图1所示的固体摄像器件的仰视图。
图3是图1所示的固体摄像器件的侧视图。
图4是取下图1所示的固体摄像器件的透明板后的俯视图。
图5A~图5F是表示本发明第二实施方式的固体摄像器件的制造方法的剖面图。
图6是表示该制造方法中的引线框架的俯视图。
图7是表示埋入该制造方法中的引线框架而成形的树脂成形体的俯视图。
图8A~图8C是具体地表示该制造方法中的树脂成形工序的剖面图。
图9A~图9C是表示本发明第三实施方式的固体摄像器件的制造方法的剖面图。
图10是现有例的固体摄像器件的剖面图。
图11是表示该固体摄像器件的框体成形工序的剖面图。
具体实施方式
本发明的固体摄像器件中,埋入到利用树脂一体成形的框体中的各金属引线片在内部端子部的位置具有与基板部实质上相同的厚度,在与内部端子部的位置对应的背面具有形成外部端子部的形状。由此,在树脂成形时,可将内部端子部和外部端子部通过上下金属模夹置并卡紧。因此,内部端子部的面被按压紧密接合在上金属模的表面上,抑制树脂毛刺的产生。
在上述固体摄像器件的结构中,最好是金属引线片的侧面电极部的下面被基板部的树脂覆盖。由此,使金属引线片对于框体的固定稳定。此外,最好是框体的外侧面形成相对于基板部的面实质上垂直的平面。而且,透光板的端面和侧面电极部的表面最好是与框体的外侧面实质上形成同一平面。
外部端子部的表面可以是与基板部的背面实质上形成同一平面的结构。此外,外部端子部的表面也可以是从基板部的背面凹陷的结构。此外,侧面电极部的表面可以是从框体的外侧面凹陷的结构。另外,外部端子部的表面也可以是从所述基板部的背面突出的结构。
根据本发明的固体摄像器件的制造方法,依据与对上述固体摄像器件结构论述的相同的理由,可抑制在内部端子部周边产生树脂毛刺。此外,在相邻的框体相当部之间一体地形成加强肋,在将固体摄像器件分离成各单片时在宽度方向上将加强肋切断为两半,所以可以使固体摄像器件的面积小型化。以下论述其理由。
如现有例那样单独成形一根加强肋时,加强肋上端面需要足够的宽度,以便涂敷用于固定透明板的粘接剂。与此相比,在一体地形成两根加强肋时,即使宽度比单独成形一个加强肋时宽度的2倍小,也可以确保用于涂敷粘接剂的足够宽度。因此,通过将其加强肋切断为两半,可采用以往难以实现的加强肋的宽度。此外,在单独成形加强肋时,需要在加强肋的侧面形成用于从金属模中脱离的锥体,在宽度方向上将加强肋切断成两半时,切断面垂直于基板部,没有锥体。因此,在这点上也可降低加强肋的宽度。
在上述制造方法中,固定具有跨多个框体相当部的尺寸的透明板,在切断每个框体相当部时,也可以一起切断透明板。此外,在加强肋的上端面固定透明板时,也可以在加强肋的上端面涂敷粘接材料,在相邻的透明板的端缘之间形成间隙并放置面向各框体相当部的各个透明板,通过粘结材料在各透明板的端缘间的间隙中形成倒角。
上述制造方法中,最好在框体的树脂成形时,在该树脂成形用的金属模和引线框架之间夹设用于抑制产生树脂毛边毛刺的片。此外,最好是将摄像元件固定在基板部上,并在摄像元件与基板部之间夹设绝缘性粘接胶带。
以下,参照附图具体地说明本发明的各实施方式。
(第一实施方式)
图1是第一实施方式的固体摄像器件的剖面图,图2是其仰视图,图3是其侧视图。
标记1是由环氧树脂等可塑性树脂构成的框体,通过一体成形来制作将矩形框状的加强肋3配置在平板状的基板部2上的结构。在与框体1的内部空间4面对的基板部2上,摄像元件5通过接合构件6被固定。在加强肋3的上端面,通过粘结剂8固定着例如玻璃构成的透光板7,由此将框体1的内部空间4密封,形成封装。加强肋3的高度例如设定在0.3~1.0mm的范围内。
在框体1中,成形时埋入多个金属引线片9。金属引线片9是用于从框体1的内部空间4向外部进行电气导出的构件,包括:露出在基板部2的内部空间4侧的表面上的内部端子部9a、露出在基板部2背面的、与内部端子部9a对应的位置上的外部端子部9b、以及露出在框体1的外侧面的侧面电极部9c。摄像元件5的电极5a和各金属引线片9的内部端子部9a分别通过金属细线10来连接。封装整体的厚度例如设定为不大于2.0mm。图4示出从图1的固体摄像器件中取下透光板7的状态下的平面形状。
如图1所示,在金属引线片9中,与内部端子部9a的位置对应的背面成为外部端子部9b。此外,在这些部分中金属引线片9具有与基板部2实质上相同的厚度。因此,在树脂成形时,可将内部端子部9a和外部端子部9b通过上下金属模夹持并卡紧。由此,内部端子部9a的表面被按压贴紧在上金属模的表面上,抑制树脂毛刺的产生。金属引线片9的位于加强肋3的下部的部分通过半腐蚀而变薄,下面被树脂覆盖。
如图1和图3所示,框体1的各外侧面即加强肋3的外周面形成相对于基板部2的表面实质上垂直的平面。此外,透光板7的端面和侧面电极部9c的表面与框体1的外侧面实质上形成同一平面。例如通过在制造工序中同时切断加强肋3和透明板7,可形成这样的成为同一平面的形状,从而具有良好的平坦度。
框体1的各外侧面即加强肋3的内周面形成从基板部2的表面向透光板7开口的锥体。这是为了容易进行树脂成形后的金属模的脱离,但利用该锥体,可使由加强肋3的内侧面进行的入射光的反射不对摄像功能产生实质性的不良影响。在实用上,形成加强肋3的内周面的平面的倾斜角度,在相对于与基板部2的面垂直的方向的2~12°的范围。为了减轻加强肋3的内周面造成的反射的影响,在加强肋3的内侧面上,也可以形成暗光泽面或褶皱面。
在图1中,图示出外部端子部9b的表面与基板部2的背面实质上形成同一平面,但也可以形成从基板部2的背面凹陷的形状。或者,外部端子部9b的表面也可以具有从基板部2的背面突出的形状。可根据各自用途或制造工序而适当选择。此外,侧面电极部9c的表面也可以形成从框体1的外侧面凹陷的形状。
(第二实施方式)
参照图5A~图7来说明第二实施方式的固体摄像器件的制造方法。该制造方法是制造第一实施方式所示结构的固体摄像器件的方法。
首先,如图5A所示,准备引线框架21。引线框架21呈现图6的平面形状,是连接多个用于形成图1所示的金属引线片9的引线部22。将与各引线部22的外部端子部9a对应的位置处的厚度调整为与基板部2的厚度实质上相同。引线部22在其下面具有通过半腐蚀形成的凹部23,在后面的工序中,通过切断该部分成为图1所示的金属引线片9的形状。
接着,如图5B所示,埋入引线框架21,并通过树脂的一体成形,制作包含多个由基板部24和加强肋25组成的框体相当部26的成型体。成形后的平面形状示于图7。以引线部22的上下面从各个基板部24的上下面露出的方式埋入引线部22,形成各个内部端子部9a和外部端子部9b。加强肋25由相邻的框体相当部26的加强肋结合而一体形成。
接着,如图5C所示,在由加强肋25包围的各框体相当部26的内部空间内,通过粘接材料固定着摄像元件5,通过金属细线10连接摄像元件5的焊盘电极5a和各内部端子部9a。
接着,如图5D所示,在加强肋25的上端面涂敷粘接材料28,装载并固定透明板27。
接着,如图5E所示,利用切割刀片29切断透明板27、加强肋25、引线部22和基板部24,如图5F所示,分离成形成各固体摄像器件的单片。如图5E所示,切断是在垂直于基板部24的方向、且平面形状中将各加强肋25的宽度分成一半的方向上进行。其结果,由分断后的透明板27、加强肋25、引线部22和基板部24,形成构成一个固体摄像器件的、由透明板27、基板部2和加强肋3组成的框体1,以及金属引线片9。此外,露出金属引线片9的侧面电极部9c。
根据本实施方式的制造方法,由相邻的框体相当部26的两个加强肋一体形成的一个加强肋25可设定为比单独形成一个加强肋时宽度的两倍小的宽度。因此,如果如图5E所示地将其切断为两半,则图5F所示的各片的固体摄像器件的加强肋3宽度比单独形成一个加强肋时小,使固体摄像器件的面积缩小相当于该部分的面积。
即使这样,加强肋25的宽度也可确保在涂敷用于固定透明板27的粘接材料时的足够的范围内。在极端的例子中,以单独成形时的一个的宽度来成形加强肋25,将其二分割,则可以使切断后的加强肋3的宽度达到现有例的一半。
此外,通过将加强肋25在宽度方向上切断成两半,切断面垂直于基板部24。相反,在以往那样将加强肋单独成形的情况下,在加强肋的外侧面上形成用于成形后从金属模中脱离的锥体。因此,根据本实施方式制作的加强肋的宽度可减少相当于不存在的锥体部分的尺寸。
而且,透明板27、加强肋25和引线部2通过同一切割刀片29被一次性切断,所以,由透明板27的端面、框体1的侧面和金属引线片9的端面形成的封装侧面实质上为同一平面,可以获得良好的平坦度。因此,在安装收容了光学系统的镜筒时,利用封装的侧面,可以高精度地进行光学系统相对于摄像元件5的光敏部的定位。即,通过封装的侧面和镜筒的内表面的对接,可以容易地定位水平位置。再有,可以通过电路板面和镜筒的下面之间的对接进行垂直方向的定位。
下面,参照图8A~8C来具体地说明上述制造工序的图5B所示的、利用树脂的框体成形工序。
首先,如图8A所示,在上金属模30和下金属模31之间配置引线框架,将引线部22的上下面用上金属模30和下金属模31卡紧。下金属模31的上面是平面,而在上金属模30的下面设置凹部32。通过夹持引线部22而在上金属模30和下金属模31之间形成的空间部33、上金属模30的凹部32的空间部、以及引线部22的凹部23的空间部,形成树脂成形用的空腔。
接着,如图8B所示,在空腔中填充树脂,将基板部24和加强肋25成形。然后如图8C所示,打开金属模,取出如图5B所示的、连结了框体相当部的成型体。
在该成形工序中,通过用上金属模30和下金属模31卡紧引线部22的上下面,可以稳定地获得金属模面和引线部22的上下面紧密接合的状态。此外,上金属模30的凹部32的边界部配置在引线部22的上面。以上的结果,可有效地抑制由成形产生的树脂毛刺。
此外,在框体的树脂成形时,在金属模和引线框架21之间设有用于抑制树脂毛边毛刺的产生的树脂片,则可以更有效地抑制毛刺的产生。
(第三实施方式)
参照图9A~9C来说明第三实施方式的固体摄像器件的制造方法。该制造方法与第二实施方式所示的制造方法大致相同,但不同点在于,作为透明板,不是遍及多个固体摄像器件区域的大面积的透明板,而使用单独安装的透明板。初期的工序与图5A~图5C相同,所以省略说明。
如图9A所示,在被加强肋25包围的各框体相当部26的内部空间内,将摄像元件5固定,完成利用金属细线10的连接后,在加强肋25的上端面涂敷粘接材料28。
接着,如图9B所示,装载与各框体相当部个别对应的透明板34。相邻的透明板34的周端缘被设定成在加强肋25的上端面形成规定间隙的尺寸。因此,如果在粘结材料28上装载透明板34,则粘接材料28进入透明板34之间的间隙,形成倒角35。
接着,利用切割刀片29切断倒角35、加强肋25、引线部22和基板部24,如图9C所示,分离为形成各固体摄像器件的单片。与第二实施方式的情况同样,切断是在垂直于基板部24的方向、且平面形状中的将各加强肋25的宽度分成两半的方向上进行。其结果,利用分断后的加强肋25、引线部22和基板部24,分别形成构成一个的固体摄像器件的、由基板部2和加强肋3组成的框体1,以及金属引线片9。此外,在透明板34的周端缘部残留倒角36。
根据该制造方法,即使加强肋25的宽度足够大,也可在透明板34的周端缘部形成倒角36,可靠地固定透明板34。

Claims (13)

1.一种固体摄像器件,包括:框体,基板部和矩形框状的加强肋利用树脂一体成形而形成;多根金属引线片,埋入所述框体中,分别具有面向所述框体的内部空间的内部端子部、露出于所述框体的底面的外部端子部、以及露出于所述框体的外侧面的侧面电极部;摄像元件,在所述框体的内部空间中被固定在所述基板部上;连接构件,分别连接所述摄像元件的电极和所述金属引线片的内部端子部;以及透光板,固定于所述加强肋的上端面,其特征在于,
所述各金属引线片在所述内部端子部的位置的厚度与所述基板部的厚度实质上相同,由与所述内部端子部的位置对应的背面形成所述外部端子部。
2.如权利要求1所述的固体摄像器件,其特征在于,
所述金属引线片的所述侧面电极部的下面被所述基板部的树脂覆盖。
3.如权利要求1所述的固体摄像器件,其特征在于,
所述框体的外侧面形成相对于所述基板部的面实质上垂直的平面。
4.如权利要求3所述的固体摄像器件,其特征在于,
所述透光板的端面和所述侧面电极部的表面,与所述框体的外侧面实质上形成同一平面。
5.权利要求1所述的固体摄像器件,其特征在于,
所述外部端子部的表面与所述基板部的背面实质上形成同一平面。
6.如权利要求1所述的固体摄像器件,其特征在于,
所述外部端子部的表面从所述基板部的背面凹陷。
7.如权利要求1所述的固体摄像器件,其特征在于,
所述侧面电极部的表面从所述框体的外侧面凹陷。
8.如权利要求1所述的固体摄像器件,其特征在于,
所述外部端子部的表面从所述基板部的背面突出。
9.一种固体摄像器件的制造方法,在由基板部和矩形框状的加强肋形成的框体中,成一体地埋入包含多根金属引线片的金属引线片组进行树脂成形;利用所述各金属引线片分别形成面向所述框体的内部空间的内部端子部、露出于所述框体的底面的外部端子部以及露出于所述框体的外侧面的侧面电极部;在所述框体的内部空间内的所述基板部上固定摄像元件,分别通过连接构件连接所述摄像元件的电极和所述各金属引线片的内部端子部,并且,在所述加强肋的上端面固定透光板,其特征在于,该方法包括以下步骤:
使用如下形成的引线框架:与多个所述固体摄像器件对应而包括用于形成所述金属引线片组的多个引线部,所述各引线部的、与所述内部端子部相当的位置的厚度与所述基板部的厚度实质上相同;
用于形成所述框体的金属模具有形成与多个所述框体相当的多个框体相当部、且将相邻的所述框体相当部的两根所述加强肋结合成一根而成形的结构;
安装所述引线框架,使所述各引线部配置在与所述金属模的各框体相当部对应的位置上、且与所述各引线部的内部端子部相当的部分在所述下金属模和所述上金属模之间被夹置卡紧,并进行树脂成形,由此使所述内部端子部面向所述内部空间露出、所述外部端子部露出于所述基板部的背面;
在所述各框体相当部的所述内部空间内固定所述摄像元件,通过所述连接构件来连接所述摄像元件的电极和所述各内部端子部,并在所述加强肋的上端面固定所述透明板;
然后,在与所述基板部垂直的方向上、且在平面形状中平分所述各加强肋的宽度的方向上切断所述各框体相当部的每个,将所述各固体摄像器件分离成各单片。
10.如权利要求9所述的固体摄像器件的制造方法,其特征在于,
在固定具有跨所述多个框体相当部的尺寸的所述透明板、并切断所述各框体相当部的每个时,所述透明板也被一起切断。
11.如权利要求9所述的固体摄像器件的制造方法,其特征在于,
在所述加强肋的上端面固定所述透明板时,在所述加强肋的上端面涂敷粘接材料,与所述各框体相当部对应地放置各个另外的所述透明板,并且在相邻的所述透明板的端缘之间形成间隙,由所述粘接材料在所述各透明板的端缘间的间隙中形成倒角。
12.如权利要求9所述的固体摄像器件的制造方法,其特征在于,
在所述框体的树脂成形时,在该树脂成形用的金属模和所述引线框架之间夹置用于抑制产生树脂毛边毛刺的片。
13.如权利要求9所述的固体摄像器件的制造方法,其特征在于,
将所述摄像元件固定在所述基板部上,并且在所述摄像元件与所述基板部之间夹设绝缘性粘接胶带。
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