CN1485191A - 压力装置 - Google Patents

Abstract

一种压力装置，该压力装置具有下侧加压块(30)与上侧加压块(16)。在下侧加压块(30)与上侧加压块(16)之间搬入表面保持有薄膜状材料(12)的基板(11)。第1驱动装置(35)使下侧加压块(30)移动、向上侧加压块(16)上升，在双方的加压块之间对基板(11)及薄膜状材料(12)加压而使其紧密层压。具有驱动缸(25)、缸杆(26)及杠杆(27)的第2驱动装置(24)被设在基座部件(13)与支撑上侧加压块(16)的上侧支撑部件(17)之间。通过使第2驱动装置(24)动作来使上侧加压块(16)产生转动，从而可扩大下侧加压块(30)与上侧加压块(16)之间的空间，使维护保养变得容易。

Description

压力装置

技术领域

本发明涉及一种通过加热及加压，将薄膜状材料层压在基板上、或使基板上的薄膜状材料平坦化用的压力装置。

背景技术

图4是表示通过加压及加热，把薄膜状材料层压在基板上、或使基板上的薄膜状材料平坦化的现行的压力装置的一例的侧视图。上述的压力装置，例如，被使用在具有凹凸的印刷线路用基板等的表面上紧密粘贴如绝缘材或感光材那样的薄膜状材料的情况。

图示的压力装置，具有下部的基座部件1和从基座部件1向上方延伸的多根支柱2。在支柱2的上端安装有形成压力装置的上部的支撑部件3。在支撑部件3的下面安装有上侧加压块4。上侧加压块4由加热板5及绝热材6构成。压力装置，在与固定的上侧加压块4相对向的位置，具有可动的下侧加压块7。下侧加压块7也与上侧加压块4相同，由加热板5及绝热材6构成。下侧加压块7安装在下侧支撑部件8上。下侧支撑部件8经引导部件9可滑动地安装在支柱2上。

在下侧支撑部件8与基座部件1之间，设置有驱动装置10。在图示例中，驱动装置10被设为多个油压缸装置。通过使驱动装置10工作，而可使被支撑在下侧支撑部件8上的下侧加压块7相对上侧加压块4进行升降。

对现行的压力装置的动作进行说明。首先，如图4所示，当下侧加压块7为处于下方位置的状态时，通过搬送装置(未图示)将表面保持有薄膜状材料12的基板11搬入到上侧加压块4与下侧加压块7之间。然后，通过驱动装置10使下侧加压块7上升，以上侧加压块4及下侧加压块7与基板11表面的薄膜状材料12相接触或相接近的状态由上下的加压块4、7的加热板5将基板11及薄膜状材料12加热到规定的温度。据此，使薄膜状材料12适当变得柔软。

达到上述规定的温度后，由驱动装置10使下侧加压块7进一步上升，基板11及薄膜状材料12在上下的加压块4、7之间由规定的压力进行加压。

在进行规定时间的加压后，下侧加压块7由驱动装置10驱动下降，自上侧加压块4远离、达到图4所示的位置。紧密层压有薄膜状材料12的基板11由搬送装置从压力装置中搬出。

上述结构的现行的压力装置，在维护保养方面存在问题。即，在现行的压力装置的结构中，由于用于升降下侧加压块的驱动装置的上下行程不能设得很大，故在上侧加压块与下侧加压块之间不能得到充分大小的空间。这样，上下加压块的加压面的清扫及部件的更换等维护保养作业性明显变差，且，也难以通过目视进行加压面的损伤等的状态确认。当忽略了加压面的损伤等时，其结果会给加压后的制品的质量造成影响。

发明内容

本发明为解决上述问题，其目的在于提供一种具有能够容易进行维护保养的结构的压力装置。

为了解决上述问题点，本发明提供一种压力装置，是一种在基板上层压薄膜状材料或将基板上的薄膜状材料平坦化的压力装置，包括：

下侧加压块，是具有对基板及薄膜状材料进行加热用的加热器的下侧加压块；

设在上述下侧加压块的上方的上侧加压块，也是具有对基板及薄膜状材料进行加热用的加热器的上侧加压块；

通过使上述下侧加压块相对上述上侧加压块移动，而使双方的加压块相靠近、对上述薄膜状材料及上述基板进行加压用的第1驱动装置；

通过在使上述上侧加压块产生转动而扩大上述下侧加压块与上述上侧加压块之间的空间用的第2驱动装置。

上述压力装置，进一步具有用于支撑上述下侧加压块的下侧支撑部件、用于支撑上述上侧加压块的上侧支撑部件、形成压力装置的下部的基座部件、形成压力装置的上部的框架部件、和在上述框架部件与上述基座部件之间延伸的支柱，

上述第1驱动装置被设在上述下侧支撑部件与上述基座部件之间，

上述上侧支撑部件由枢轴部件可转动地安装在上述框架部件上，且可解除地锁固在上述框架部件上，

上述第2驱动装置，为了在解除与上述框架部件的锁固状态时，可使上述上侧加压块产生绕上述枢轴部件的转动，而被设在上述上侧支撑部件与上述基座部件之间。

上述上侧支撑部件与上述框架部件之间的上述可解除的锁固，由可出入设在上述上侧支撑部件与上述框架部件双方上的相互可对准的孔内的销来实现。

也可将上述下侧加压块及上述上侧加压块设在真空容器内，以在上述真空容器的减压环境内进行上述薄膜状材料及上述基板的加压。

另外，也可将上述下侧加压块及上述上侧加压块设在真空容器内，并且将上述上侧支撑部件形成为上述真空容器的一部分，以在上述真空容器的减压环境内进行上述薄膜状材料及上述基板的加压。

也可使上述枢轴部件及上述销分别具有扩大径部及缩小径部，当上述上侧支撑部件与上述框架部件处于相互锁固的状态并对上述薄膜状材料及上述基板进行加压时，具有从会在上述支柱的上端产生力矩的上述上侧支撑部件、经上述枢轴部件及上述销向上述框架部件施加的力的作用点的、上述扩大径部与上述缩小径部之间的交界面，被定位在上述支柱的中心轴附近。

附图说明

图1是本发明的一实施例的压力装置的侧视图，(a)表示正常作业时的状态、(b)表示维护保养时的状态。

图2是图1的实施例的压力装置的俯视图并进行了局部剖视，(a)表示上侧加压块相对框架部件锁合固定的状态、(b)表示上侧加压块被解除与框架部件的锁合可进行转动的状态。

图3是表示销的变形例与其周边部件的局部剖开放大图。

图4是表示现行的压力装置的结构的侧视图。

图中：13—基座部件，14—支柱，15—框架部件，15a、15b—杆部件，16—上侧加压块，17—上侧支撑部件，18—贯通孔，19、21a、21b、22a、22b—孔，20—轴(枢轴部件)，23a、23b、23c—销，23d、23e—扩大径部，23f—缩小径部，24—驱动装置(第2驱动装置)，25—驱动缸，26—缸杆，27—杠杆，27a—杠杆的一端，27b—杠杆的另一端，28—加热板，29—绝热材，30—下侧加压块，31—凝胶状材料，32—下侧支撑部件，33—引导部件，34—油压缸装置，35—驱动装置(第1驱动装置)，S—作用点，S1—假想作用点。

具体实施方式

图1是本发明的一实施例的压力装置的侧视图。(a)表示正常作业时的状态、(b)表示维护保养时的状态。图2是图1的压力装置的俯视图，(a)表示上侧加压块被锁合固定的状态、(b)表示上侧加压块被解除锁合可进行转动的状态。

压力装置，具有下部的基座部件13、和从基座部件13向上方延伸的多根支柱14。在支柱14的上端，安装有形成压力装置的上部的框架部件15。从图2可知，该实施例的框架部件15，具有分别安装在2根支柱14的上端的一对的杆部件15a及15b。但是，框架部件15也可由一体的框体构成，另外，也可为至少在一个位置进行连接的结构。

在框架部件15上轴接有在下面安装着上侧加压块16的上侧支撑部件17。详细地讲，在上侧支撑部件17的一侧部、即在图1及图2中右侧的侧部，设置有贯通孔18。在与上侧支撑部件17的该一侧部相邻接的框架部件15的一对杆部件15a及15b的一侧部，也分别形成有与贯通孔18相对准的孔19。在贯通孔18及一对的孔19中插入轴20。贯通孔18、孔19及轴20的直径，被设定为该轴20可具有上侧支撑部件17用的枢轴部件的功能、且能够承受加压时的负载。

在上侧支撑部件17的与上述一侧部相对向的侧部，即在图1及图2中的左侧的侧部，设置有一对的孔21a、21b。另外，在与该上侧支撑部件17的左侧的侧部相邻接的框架部件15的一对杆部件15a、15b上，分别设置有与孔21a、21b相对准的孔22a、22b。在这些孔21a及22a与孔21b及22b中，分别可插入用于锁固的销23a、23b。在使上侧支撑部件17不绕轴20转动时，如图2(a)所示，各个销23a、23b经过上侧支撑部件17的孔21a、21b与框架部件15的一对的杆部件15a、15b的孔22a、22b的双方延伸出进行定位，以固定上侧支撑部件17与框架部件15。在这种状态下，能够使装置具有与现行的压力装置同等的刚性。另一方面，在允许上侧支撑部件17绕轴20转动时，如图2(b)所示，把销23a、23b分别向内方拉入，达到从一对杆部件15a、15b的孔22a、22b错开的位置。据此，上侧支撑部件17解除与框架部件15的锁固，可绕轴20转动。此外，也可把销23a、23b向外方拔出，通过从上侧支撑部件17的孔21a、21b错开使上侧支撑部件转动。

使上侧支撑部件17转动的装置，为设在基座部件13与上侧支撑部件17之间的驱动装置24。驱动装置24包括具有驱动缸25及缸杆26的驱动缸装置26、和杠杆27。驱动缸25的下端，轴接在基座部件13上。杠杆27的一端27a，轴接在缸杆26的上端。杠杆27的另一端27b被固定在上侧支撑部件17的上面。

如图2(b)所示，当销23a、23b处在解除上侧支撑部件17与框架部件15的锁固状态的位置时，若使驱动缸装置工作来缩短缸杆26，则上侧支撑部件17如图1(b)所示绕轴20向上方转动。

被支撑在上侧支撑部件17上的上侧加压块16，具有加热板28及绝热材29。在与该上侧加压块16相对向的位置，设置有下侧加压块30。下侧加压块30也具有加热板28及绝热材29，但进一步在加热板28与绝热材29之间具有凝胶状材料31。

下侧加压块30，被安装在下侧支撑部件32上，以此被支撑。下侧支撑部件32，经引导部件33可滑动地安装在支柱14上。

在下侧支撑部件32与基座部件13之间，设置有由至少1个油压缸装置34构成的驱动装置35。驱动装置35通过进行工作，能够使被支撑在下侧支撑部件32上的下侧加压块30相对上侧加压块16移动，同时进行升降。

通过使驱动装置35工作来使下侧加压块30靠近设在其上方的上侧加压块16，而对被搬入下侧加压块30与上侧加压块16之间的、表面保持有薄膜状材料12的基板11进行加热及加压，并且用来将薄膜状材料12紧密层压在基板11上的一连串动作，因为与现行的压力装置的情况几乎没有改变的地方，所以省略其详细说明。如果说是不同之处，在本发明实施例的压力装置上，由于下侧加压块30具有凝胶状材料31，所以无论是由单一的油压缸装置34构成驱动装置35、还是由多个油压缸装置34构成驱动装置35，均可通过凝胶状材料31均一地分散加压力。从而，可以对基板11及薄膜状材料12以均匀的压力分布进行加压。此外，在本实施例中，虽然仅在下侧加压块30上具有凝胶状材料31，但也可在上下加压块16、30双方上均具有凝胶状材料31、或者仅在上侧加压块16上具有凝胶状材料31，也可取代凝胶状材料31，通过使用溶胶状材料或封入液体的部件，也能得到同样的分散压力的效果。

在进行压力装置的维护保养时，如上所述，通过从上侧支撑部件17的孔21a、21b或框架部件15的孔22a、22b拔出销23a、23b，而解除上侧支撑部件17与框架部件15之间的锁固。然后，使驱动装置24工作，使被支撑在上述支撑部件17上的上侧加压块16产生绕轴20的转动，扩大下侧加压块30与上侧加压块16之间的空间。以此，能够容易地进行上下加压块的加压面的清扫、或由目视确认加压面的损伤等的状态。

图3是表示销的变形例23c与其周边的部件的局部放大图。销23c包括具有直径D的2个扩大径部23d、23e、并形成在它们之间的具有直径d的缩小径部23f。在图示状态中，销23c处在插入设在上侧支撑部件17及框架部件15上的孔21a、22a内、使上侧支撑部件17及框架部件15相互锁固的位置。此时，若对薄膜状材料及基板进行加压，则从在支柱14的上端会产生力矩的上侧支撑部件17、经销23c向框架部件15施加的力，会作用在扩大径部23d与缩小径部23f之间的交界面的作用点S上。假如销没有形成缩小径部而具有均一的直径D，则经过上述销加在框架部件15上的力、会作用在插入销的框架部件15的孔22a的端面上的作用点S1上。试着对这两种情况进行比较，作用点S为比作用点S1更靠近支柱14的中心轴的位置。从而，使用具有缩小径部23f的销23c情况，产生在支柱14的上端的力矩M的力臂的长度变短，可减小力矩M的值。

图3所示的销23c的形状，也可适用在孔19内的枢轴部件20上。即，枢轴部件20也可设成为具有缩小径部与除此之外的扩大径部，并且将该缩小径部与扩大径部的交界面定位在支柱14的中心轴附近。在这种情况下，当上侧支撑部件17与框架部件15处于相互锁固的状态并对薄膜状材料及基板进行加压时，会从在支柱14的上端产生力矩的上侧支撑部件17、经枢轴部件20向框架部件15施加的力的作用点，为支柱14的中心轴附近、处在位于孔19内的扩大径部与缩小径部之间的交界面上。假如在枢轴部件20上没有缩小径部，则作用点预计会存在于孔19的端面处。与上述的销23c的情况相同，通过在枢轴部件20上形成缩小径部，而缩短产生在支柱14的上端的力矩的力臂的长度，从而可减小力矩。

这样，通过在销及枢轴部上施以减小产生在支柱14的上端的力矩的方法，而无需承受大的力矩的支柱14，可减小其直径，进而能够实现装置整体的轻量化。

本发明的压力装置可应用在真空压力装置上。这时，下侧加压块及上侧加压块被设在真空容器内，基板及层压在其上的薄膜状材料的加压，在真空容器的减压环境内进行。

对于真空容器的构成上，也可以将上侧支撑部件形成为真空容器的一部分。

(发明效果)

根据本发明的压力装置，由于维护保养时可在上侧加压块与下侧加压块之间形成充分大的开口部，故容易进行上下加压块的加压面的清扫、或部件的更换、由目视确认加压面的损伤等状态，使维护保养作业性提高。

Claims (6)

1.一种压力装置，在基板上层压薄膜状材料或将基板上的薄膜状材料平坦化，其特征在于，包括：

下侧加压块，是具有对基板及薄膜状材料进行加热用的加热器的下侧加压块、

设在所述下侧加压块的上方的上侧加压块，也是具有对基板及薄膜状材料进行加热用的加热器的上侧加压块、

通过使所述下侧加压块相对所述上侧加压块移动而使双方的加压块相靠近、对所述薄膜状材料及所述基板进行加压用的第1驱动装置、和

通过在使所述上侧加压块产生转动而扩大所述下侧加压块与所述上侧加压块之间的空间用的第2驱动装置。

2.如权利要求1所述的压力装置，其特征在于：进一步具有用于支撑所述下侧加压块的下侧支撑部件、用于支撑所述上侧加压块的上侧支撑部件、形成压力装置的下部的基座部件、形成压力装置的上部的框架部件、和在所述框架部件与所述基座部件之间延伸的支柱，

所述第1驱动装置，被设在所述下侧支撑部件与所述基座部件之间，

所述上侧支撑部件，通过枢轴部件可转动地安装在所述框架部件上，且可解除地锁固在所述框架部件上，

所述第2驱动装置，为了在解除与所述框架部件的锁固状态时，可使所述上侧加压块产生绕所述枢轴部件的转动，而被设在所述上侧支撑部件与所述基座部件之间。

3.如权利要求2所述的压力装置，其特征在于：所述上侧支撑部件与所述框架部件之间的所述可解除的锁固，由可出入设在所述上侧支撑部件与所述框架部件双方上的、相互可对准的孔内的销来实现。

4.如权利要求1～3中任意一项所述的压力装置，其特征在于：所述下侧加压块及所述上侧加压块被设在真空容器内，以在所述真空容器的减压环境内进行所述薄膜状材料及所述基板的加压。

5.如权利要求2或3所述的压力装置，其特征在于：所述下侧加压块及所述上侧加压块被设在真空容器内，并且所述上侧支撑部件，形成所述真空容器的一部分，以在所述真空容器的减压环境内进行对所述薄膜状材料及所述基板的加压。

6.如权利要求3所述的压力装置，其特征在于：所述枢轴部件及所述销分别具有扩大径部及缩小径部，当所述上侧支撑部件与所述框架部件处于相互锁固的状态并对所述薄膜状材料及所述基板进行加压时，具有从会在所述支柱的上端产生力矩的所述上侧支撑部件、经所述枢轴部件及所述销向所述框架部件施加的力的作用点的、所述扩大径部与所述缩小径部之间的交界面，被定位在所述支柱的中心轴附近。

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