CN1459616A - 测量仪、编码器及编码器的制造方法 - Google Patents

测量仪、编码器及编码器的制造方法 Download PDF

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Abstract

一种测量仪，用含有碳毫微纤维的合成树脂而形成测量仪的组成构件，比如游标卡尺(1)的本尺(11)和游标(12)，通过形成按规定的间距排列在所述本尺(11)的表面上的导电性的电极(15)，从而可简化制造工序，并强化组成构件的合成，降低线膨胀，提高耐磨损性，在提高测量精度的同时，可延长耐用年数。

Description

测量仪、编码器及编码器的制造方法
技术领域
本发明涉及测量仪、用于测量仪的编码器及编码器的制造方法。
背景技术
现有各种测量距离、长度、角度等的测量仪。比如，测量长度的测量仪有游标卡尺。游标卡尺的结构包括：具有一方的测爪的本尺；沿该本尺的长度方向滑动自如地设置、具有与所述一方的测爪一起与被测物抵接的测爪的游标。
这种游标卡尺，可长期维持其测量精度是很重要的。因此，本尺及游标最好由可精密加工且耐滑动的材料构成。为此，一般游标卡尺的本尺及游标，由线膨胀系数小、且具有耐磨性的经热处理的金属(诸如不锈钢等)形成。
但是，将金属机械性加工成所需的形态需花费大量的时间和费用。为了使本尺和游标有良好的滑动性，不得不用研磨加工等对本尺和游标的滑动面进行精加工。这种工序，对游标卡尺以外的精密测量仪器也是必须的。经过如此多的精加工制造所得到的测量仪器存在着生产线复杂化和高成本等的问题。
为了维持测量精度，需要将线膨胀控制在一定的范围内。为此，一般的测量仪，作为测量条件，比如通过将温度限制在20度即可抑制线膨胀引起的误差。但是，在高温和低温等严酷的测量环境下，就会产生线膨胀引起的测量误差的问题。
在用手握住测量仪的场合，因手的热量引起的温度分布，不同的地方出现不同的线膨胀，存在着容易产生测量误差的问题。
如游标卡尺那样具有滑动机构的测量仪中，还是存在重复使用引起的磨损问题。为了降低磨损、维持光滑的滑动，而不得不使用润滑剂等，但在使用了润滑剂的场合，会产生垃圾等粘附其上的问题。
另外，数字式的测量仪，诸如数字式游标卡尺和数字式千分尺等，在本尺与游标的滑动面上具有对可动构件相对于固定构件的移动量进行检测的编码器。
编码器如图13所示，其包括：具有将导电部141及绝缘部142沿本尺11的长度方向按规定的间距交替排列的电极结构的主尺15；设置在游标12上、与所述主尺15静电容量结合而对游标相对于本尺的相对移动量进行检测的检测头125。
主尺15具有：绝缘构件161(比如，玻璃和聚碳酸酯等)；以规定的间距设置在该绝缘构件161的导电部141。绝缘构件161借助162固定于本尺1上(粘贴)。
来自检测头125的检测值，在被输出至电路126进行运算处理后，作为测量值显示在未图示的显示部上。
但是，因为将主尺15粘接在本尺11上，故有可能主尺15产生弯曲，或主尺15从本尺11上剥离。其结果，容易引起检测误差的问题。
另外，主尺15产生的线膨胀、手的热量引起的不均匀的温度分布等问题与通常的测量仪的场合相同。
以上问题不局限于数字式游标卡尺，也是数字式千分尺和数字式度盘式指示器等、具有检测可动构件相对于固定构件的相对移动量的编码器的测量仪中产生的问题。
发明内容
本发明的第1目的在于提供一种测量仪，能解决传统的问题，制造简便且具有高性能。
为了达到上述目的，本发明的测量仪，其特征在于，至少一部分具有由含有毫微级物质的合成树脂所形成的组成构件。
在此，测量仪，是测量长度、距离、角度等物理量的测量仪，诸如游标卡尺、千分尺、度盘式指示器等。组成构件，是构成测量仪的构件，诸如游标卡尺的本尺和游标、千分尺的框架和测量轴、度盘式指示器的外壳本体和齿轮及测量轴等。
一般合成树脂，是脆弱的，且线膨胀率大，但将毫微级物质(比如碳毫微纤维)添加在合成树脂的母材(比如，聚苯乙烯)中，通过设定合适的条件，能得到刚性强化、抑制线膨胀、提高耐磨性能、摩擦系数下降、提高导热系数、付与导电性或绝缘性的效果。尽管其理由还不太明确，但一般认为是毫微物质在合成树脂内构筑网络引起的。
因此，具有由含有毫微级物质的合成树脂构成的组成构件的测量仪，比如，本尺和游标用毫微物质的合成树脂形成的游标卡尺中，由于可减小线膨胀系数，故可排除线膨胀引起的误差，进行精密的测量。如线膨胀小，则不受测量温度限制，即使在高温和低温等严酷的条件下也能进行精密的测量。
因为耐磨性能提高，故即使重复使用也不会磨损，可维持测量精度。
因为摩擦系数小，故滑动性好，即使无润滑剂也可作为滑动机构使用。因此，污垢和垃圾不易粘附。
因为导热系数好，即使用手握住测量仪进行测量的场合，手的热量瞬间扩散，不会因地方不同而产生膨胀的差异。因此，即使是用手握着使用的手持式测量仪，也不会因手的热量而产生测量误差，可进行精密测量。
因为强化了刚性，故可抑制测量仪的组成构件的变形。尤其是，夹持被测物进行测量的测量仪，比如，即使游标卡尺和千分尺，也可抑制按压力引起的变形，可提高测量精度。
因为强化了刚性，也可在维持刚性的同时使组成构件薄形化、小型化。
因为是合成树脂，故测量仪可做得很轻。因是合成树脂，故比金属更适合于手，而不用担心金属过敏等。
所述至少一部分由含有毫微级物质的合成树脂形成的组成构件，最好由注塑成型形成。
如将含有毫微级物质的合成树脂进行注塑成型，则不需要机械加工，可简便地进行制造。因此，可使生产线和制造工序简略化，降低成本。含有毫微级物质的合成树脂，其成型性能优越，模具的复制性好，注塑成型后不需要对表面进行精加工等。
测量仪中设有具有基部、相对于所述基部设成滑动自如的滑动体的滑动机构的场合，所述基部及所述滑动体的至少某一方最好由包括所述毫微级物质的合成树脂形成。
这里，也可是由包括所述毫微级物质的合成树脂形成滑动机构的基部及滑动体双方或其中某一方。含有毫微级物质的合成树脂由于提高了耐磨性能，故即使重复使用也不会磨损，另外，摩擦系数小，故滑动性好，即使无润滑剂也可作为滑动机构使用。
具有：基部；相对于所述基部设成滑动自如的滑动体；设置在所述基部及所述滑动体的相对面的任何一方、且与另一方抵接并引导所述滑动体的滑动引导构件，所述滑动引导构件，最好由所述含有毫微级物质的合成树脂形成。
通过滑动机构中抵接的滑动引导构件由含有毫微级物质的合成树脂形成，可提高滑动机构的滑动性、耐磨性。
如将毫微级物质用作为导电性附加剂，则滑动引导构件具有导电性。这样，可防止滑动面带静电。因此，即使在该滑动机构设置线性编码器等，也可防止带电，可防止编码器的破损和错误动作，能进行精密的测量。
在测量仪具有电路等的场合，设有内部具有电路的外壳体，所述外壳体最好由含有毫微级物质的合成树脂形成。
毫微级物质，相对于合成树脂可起到导电性附加剂或绝缘性附加剂的作用。为此，利用毫微级物质的作为导电性附加剂的作用，而将电路收纳在由含有毫微级物质的合成树脂形成的外壳体内。外壳体本身构成电磁屏蔽。其结果，可将带有电路的测量仪、比如数字式游标卡尺、数字式千分尺等的电路从外部磁场及外部电场进行保护。此时，外壳体本身起到电磁屏蔽的功能，没有必要另外设置电磁屏蔽构件等，可实现测量仪的小型化和低成本化。
在测量仪具有传递动力的动力传递构件的场合，所述动力传递构件最好由含有毫微级物质的合成树脂形成。
作为动力传递构件，比如，通过齿条和齿轮列等由含有毫微级物质的合成树脂形成，则动力传递构件的刚性、耐磨性得到提高。因此，可成为经得起重复使用的动力传递构件。因为强化了刚性，可使动力传递构件小型化、薄形化，其结果，可使测量仪本身小型化、轻量化。
测量仪，在具有装载被测物的载物台的场合，最好所述载物台由含有毫微级物质的合成树脂形成。
测量仪，比如表面形状测量仪等的载物台，需要具有精密的表面精加工、和长时间无形状(尺寸)变化的刚性及低线膨胀系数。含有毫微级物质的合成树脂，由于具有长年累月不变的刚性和低线膨胀系数，故作为载物台有许多优点。与传统的金属和石头(花岗岩)形成的载物台相比，由含有毫微级物质的合成树脂形成的载物台较轻，可使测量仪本身轻量化。
另外，含有毫微级物质的合成树脂，模型复制性好，注塑成型后不需进行表面加工，使制造工序简单化，实现低成本。即使是进行更高精度的精加工的场合，其精加工工序也比传统技术有很大的缩短。
本发明的第2个目的，在于提供一种在提高检测精度的同时，实现小型化、轻量化，低成本制造的编码器及制造该编码器的编码器制造方法。
本发明的编码器，具有固定构件、相对于所述固定构件可相对移动而设置的可动构件，对所述可动构件相对于所述固定构件的相对移动量进行检测的编码器，其特征在于，所述固定构件及所述可动构件的至少某一方，其结构具有由含有毫微级物质的合成树脂构成的绝缘构件所形成的本体、按规定的间距排列在所述本体表面上的导电性的电极。
将毫微级物质(比如碳毫微纤维)添加至合成树脂内，通过合理设定各条件，可对合成树脂的母材(比如，聚苯乙烯)附加导电性或绝缘性。一般，合成树脂是脆弱的，且线膨胀率大，但通过将毫微级物质添加至合成树脂内，能得到刚性强化、抑制线膨胀、降低摩擦系数、提高导热系数等的效果。尽管其理由还不太明确，但一般认为是毫微物质在合成树脂内构筑网络引起的。
为此，固定构件及可动构件的至少某一方是由含有毫微级物质的绝缘体的合成树脂形成，以此作为本体。而且，在该本体的表面按规定的间距设置导电性的电极。这样，在本体的表面，本体本身即绝缘部与设置在表面的导电部被交替排列。因此，可将该表面排列了导电部的本体本身作为编码器的刻度。
这里，电极可是金属性，也可是含有毫微级物质的合成树脂且具有导电性的材料。
以往，将玻璃等绝缘体的表面上形成导电性电极的刻度粘接在固定构件或可动构件的表面上。因此，除了需要粘接工序以外，还会产生刻度弯曲和剥离等。
但是，本发明中，由于固定构件或可动构件本身成为刻度，故不需粘接另外形成的刻度。因此，可简化编码器的制造工序，实现低成本化。因固定构件或可动构件本身成为刻度，故刻度不会产生弯曲和剥离。其结果，在提高编码器的检测精度的同时，可长期维持检测精度。因固定构件或可动构件本身成为了刻度，故使用编码器的测量仪可小型化。
可使含有毫微级物质的合成树脂线膨胀系数小，因而也可使本体的线膨胀小。即，刻度的线膨胀减小。因此，可排除线膨胀引起的误差、成为具有精密测量精度的编码器。如刻度的线膨胀系数小，则不受测量温度限制，成为即使在高温和低温等严酷的条件下也能进行精密的测量的编码器。
含有毫微级物质的合成树脂的导热系数好。因此，即使作为用手握住本体进行测量的测量仪而使用该编码器的场合，手的热量瞬间扩散，不会因地方不同而产生膨胀的差异。因此，即使是用手握着使用的手持式测量仪，也不会因手的热量产生测量误差，可进行精密测量。
含有毫微级物质的合成树脂的刚性得到了强化。故可在维持刚性的同时使本体薄形化、小型化。其结果，可使装入该编码器的测量仪薄形化、小型化。
在以上的编码器中，所述本体最好用含有毫微级物质的合成树脂通过注射成型形成。
含有毫微级物质的合成树脂，成型性能优良、模型复制性好。故通过注射成型形成的固定构件或可动构件的本体可形成可用作为编码器的刻度的精度。在此场合，注射成型后，不需要机械加工和表面精加工等，非常简便。因此，可使生产线和制造工序简略化，降低成本。
以上的编码器中，所述电极最好由含有毫微级物质的合成树脂形成。
毫微级物质可作为导电性附加剂给予合成树脂以导电性。为此，在固定构件或可动构件的本体表面，形成含有该毫微级物质且附加有导电性的合成树脂的电极。这样，利用含有毫微级物质的合成树脂的性质，可形成具有刚性强化、抑制线膨胀、提高耐磨性、降低摩擦系数、提高导热系数等效果的电极。尤其是，能得到耐磨性的提高和摩擦系数的降低，即使在编码器的滑动面直接接触进行滑动的场合，可得到电极不会磨损、具有光滑的滑动性的编码器。
本发明的编码器制造方法，具有固定构件、相对于所述固定构件可相对移动而设置的可动构件，制造对相对于所述固定构件的所述可动构件的相对移动量进行检测的编码器，其特征在于，包括：通过含有毫微级物质的合成树脂构成的绝缘构件、而将所述固定构件及可动构件中的至少某一方的本体进行注射成型的本体形成工序；在所述本体的表面层叠导电层的导电层形成工序；将所述导电层按规定间距进行剥离的剥离工序。
首先，在本体形成工序中，通过含有毫微级物质的合成树脂的注射成型，将固定构件或可动构件的本体形成为绝缘体。在导电层形成工序中，在该本体表面形成导电层。该导电层也可在本体表面电镀薄层状的金属。另外，也可在本体表面设置薄层状的含有毫微级物质且具有导电性的合成树脂。剥离工序中，按规定间距剥离导在电层形成工序中所形成的导电层，形成电极结构。
采用这种结构，可在形成绝缘性的固定构件或可动构件的本体上直接形成电极。即，固定构件或可动构件的本体本身成为编码器的刻度。故没有必要像传统技术那样将另外形成的刻度粘贴在固定构件或可动构件的本体上，本发明中，可简便地形成编码器。其结果，可简化制造线，降低成本。而且，由于本体本身成为刻度，故不会像传统技术那样刻度会产生弯曲、或刻度剥离，可提高测量精度。
由于本体本身由注射成型形成，故非常简便，同时，含有毫微级物质的合成树脂的成型性能优良、模型复制性好，故注射成型后不需要机械加工和表面精加工。
在以上的编码器制造方法中，所述导电层形成工序，最好是将含有毫微级物质的导电性的合成树脂注射成型在所述本体上。
首先，在本体形成工序中，利用含有毫微级物质且导电性的合成树脂通过注射成型形成本体。然后，在该本体上，利用含有毫微级物质且是导电性的合成树脂通过注射成型而双重成型导电层。如此结构，与在本体上电镀金属相比是非常简便的，可利用制造工序的简化，来提高制造效率。
由于通过本体与导电构件都是含有毫微级物质的合成树脂而使结合面的相性良好(浸湿性好)，故不易产生导电层的剥离，成为能长期维持测量精度的编码器。
本发明的编码器制造方法，具有固定构件、相对于所述固定构件可相对移动而设置的可动构件，制造对相对于所述固定构件的所述可动构件的相对移动量进行检测的编码器，其特征在于，包括：通过含有毫微级物质的合成树脂构成的绝缘构件、而将所述固定构件及可动构件中的至少某一方的本体进行注射成型的本体形成工序；在所述本体的表面按规定间距形成槽的槽形成工序；将含有毫微级物质的导电性的合成树脂注射成型在所述本体上而在所述本体表面的槽内形成电极的槽充填工序。
首先，在本体形成工序中，由含有毫微级物质且绝缘性的合成树脂通过注塑成型而形成本体。然后，在槽形成工序中，对应于电极形成位置，在该本体的表面以规定的间距形成槽。在槽充填工序中，将含有毫微级物质且绝缘性的合成树脂通过注射成型充填在槽形成工序中所形成的槽内。这样，充填至槽内的合成树脂成为电极，可形成编码器的刻度。
这里，槽形成工序，也可切削本体的表面形成槽。含有碳毫微级物质的合成树脂具有与金属同等的刚性，可由机械加工进行精密成型。
槽形成工序，也可通过在注射成型本体的模具内设置形成槽的凸部，从而在本体表面形成槽。碳毫微级物质的成型性能优良、模型复制性好，即使是注塑成型，也能以精密的间距形成槽。然后在槽充填工序中，若采用双重成型形成电极，则非常简便，可使制造线简化，提高制造效率。
由于设有槽、并在该槽内形成电极，故可作成无电极凹凸的刻度。这样，可将该刻度部分作为滑动面。含有毫微级物质的合成树脂具有耐磨性提高、摩擦系数低下等的性质。故即使让该刻度部分滑动的场合，也不会产生磨损，并能进行光滑的滑动。
本发明的编码器制造方法，具有固定构件、相对于所述固定构件可相对移动而设置的可动构件，制造对所述可动构件相对于所述固定构件的相对移动量进行检测的编码器，其特征在于，包括：通过含有毫微级物质的合成树脂构成的绝缘构件、而将所述固定构件及可动构件中的至少某一方的本体进行注射成型的本体形成工序；在基材上通过含有毫微级物质且绝缘性的油墨印刷电极层的电极印刷工序；在所述电极层上形成粘接层的粘接层形成工序；将所述基材借助所述粘接层而粘贴在所述本体上的基材粘贴工序。
即使利用该编码器制造方法，也能得到性能优越的编码器。
本发明的编码器，具有固定构件、相对于所述固定构件可相对移动而设置的可动构件，制造对相对于所述固定构件的所述可动构件的相对移动量进行检测的编码器，其特征在于，包括：对所述可动构件向所述固定构件施力的施力装置；设置在所述固定构件及所述可动构件的相对面中的任何一方并与另一方的相对面抵接、将所述间隔维持一定的间隔保持装置，所述间隔保持装置由含有毫微级物质的合成树脂形成。
如此结构中，固定构件与可动构件之间设有保持间隔的间隔保持装置，同时，可动构件由施力装置朝固定构件施力。则，设置在固定构件与可动构件之间的编码器，比如使固定构件侧的刻度与可动构件侧的检测头始终保持一定的间隔而滑动，以维持编码器的检测精度。
间隔保持装置，是从固定构件及可动构件的任何一方与另外一方侧进行抵接用的，比如，只要是在可动构件的检测头周围设置规定个数的凸部，通过凸部的前端与固定构件的抵接而能保持固定构件与可动构件的间隔即可。这种间隔保持装置，通过由含有毫微级物质的合成树脂形成，从而可获得耐磨损性提高、摩擦系数低下等的效果。这样，间隔保持装置不会磨损，可长期保持间隔一定。其结果，可长期维持测量精度。因摩擦系数下降，故可使固定构件与可动构件的滑动光滑，不需要使用润滑剂等。
以上的编码器中，所述施力装置，是相对于滑动面大致平行且从所述可动构件突设的推压力传递构件，可动构件及所述推压力传递构件，最好由含有毫微级物质的合成树脂一体成型。
可对含有毫微级物质的合成树脂赋予弹性。因此，当用含有毫微级物质的合成树脂形成诸如薄片构件、对该薄片构件向规定的方向施加力的作用时，则像板簧那样产生作用。当将该薄片构件设置在可动构件上、向该薄片构件作用推压力时，则该薄片构件作为推压力传递构件而传递推压力，使可动构件受到施力。
以往，施力装置是另外形成的，并通过附设在可动构件上以将可动构件施力在固定构件上。但是，通过将推压力传递装置与可动构件一起用含有毫微级物质的合成树脂一体注射成型，则可简化制造工序(组装工序)。由此，在提高制造效率的同时，可实现低成本化。
本发明的编码器，具有固定构件、相对于所述固定构件可相对移动而设置的可动构件，对所述可动构件相对于所述固定构件的相对移动量进行检测的编码器，其特征在于，所述固定构件及所述可动构件的至少某一方，具有由含有毫微级物质及磁性材料的合成树脂形成的本体、按规定的间距交替排列在所述本体表面上的磁极。
通过在含有毫微级物质的合成树脂中进一步添加磁性材料，则可对其附加磁性。通过将用含有毫微级物质及磁性材料的合成树脂形成的本体表面按规定的间距磁化成N极及S极，从而可形成电磁式编码器的传感器结构。这种结构，在由注射成型形成本体后，仅进行磁化，非常简便，故可提高制造效率及降低成本。
本发明的编码器，具有固定构件、相对于所述固定构件可相对移动而设置的可动构件，对所述可动构件相对于所述固定构件的相对移动量进行检测的编码器，其特征在于，所述固定构件及所述可动构件的至少某一方，具有由含有毫微级物质的合成树脂形成且表面呈镜面状的本体、按规定的间距形成在所述本体表面上的非反射光部。
含有毫微级物质的合成树脂，其表面可做成镜面状。因此，若用含有毫微级物质的合成树脂形成具有镜面状表面的本体，在该表面上按规定的间距形成不反射光的非反射光部，即可形成光电式编码器的刻度。非反射光部，在注射成型了本体后，也可将含有毫微级物质的合成树脂在本体表面上提高双重成型而形成非反射。非反射光部也可在本体表面粘贴不反光构件，也可切削表面使其不反光。这样的结构，可简便地形成反射型的光电式编码器，在提高制造效率的同时，实现低成本化。
在以上的测量仪、编码器或编码器的制造方法中，所述含有毫微级物质，最好是由碳毫微纤维或碳毫微管为代表的碳毫微级物质的任何一种。
碳毫微级物质表示以碳毫微纤维为代表，碳毫微管、弗拉棱(日文：フラ-レン)等碳原子构成的毫微级物质。将如此碳毫微级物质添加到合成树脂(比如，聚苯乙烯等)的母材中，能得到刚性强化、抑制线膨胀、提高耐磨性能、降低摩擦系数、提高导热系数等的效果。另外，通过合理地设定各条件，可附加导电性或绝缘性。故通过使用如此含有碳毫微级物质的合成树脂来形成固定构件或可动构件的本体和电极等，可提高编码器的性能。因是合成树脂，可可通过注射成型进行成型。其结果，可简化制造工序，实现低成本化。
附图的简单说明
图1是表示本发明的第1实施例的测量仪即数字式游标卡尺。
图2是表示所述第1实施例中主尺的放大图。
图3是表示所述第1实施例中编码器的制造方法。
图4是表示本发明的第2实施例的度盘式指示器。
图5是表示在所述测量轴上形成刻度的例子。
图6是表示作为本发明的第3实施例的测量仪的移动量测量仪的线性编码器的剖视图。
图7是表示所述线性编码器的游标。
图8是表示本发明的第4实施例的具有推压力传递构件及间隔保持部的测量仪。
图9是表示本发明的变形例的编码器及编码器的制造方法。
图10是表示本发明的变形例的编码器及编码器的制造方法。
图11是表示本发明的变形例的光电式编码器的主尺。
图12是表示本发明的变形例的磁式编码器的主尺。
图13是表示传统的编码器。
具体实施例
以下利用附图对本发明的实施例作说明。
(第1实施例)
图1是表示作为本发明的第1实施例，使用了本发明的编码器的数字式游标卡尺1。
该游标卡尺1，由作为基部的长杆状的本尺11、设置成可沿该本尺11长度滑动的作为可动构件(滑动体)的游标12构成。
本尺11，由设置在纵向一端侧的外侧用测量爪111及内侧用测量爪112、沿本尺11的纵向设置的静电容量式编码器的主刻度14构成。
本尺11，包括外侧用测量爪111及内侧用测量爪112，由作为含有毫微级物质的含有碳毫微纤维的聚苯乙烯的合成树脂通过注射成型而一体成型。
主刻度14如图2的放大图所示，是由沿本尺11的纵向按规定间距形成的、作为电极的导电部141及绝缘部142构成的电极结构。该主刻度14由注射成型形成，详细用图3后述。
游标12具有：游标本体121；设置在该游标12的一端侧、与本尺11的外侧用测量爪111及内侧用测量爪112一起与被测量物的被测量部位抵接的外侧用测量爪122及内侧用测量爪123。游标本体121的内部，设有与主刻度14的电极机构静电结合并对相对于主刻度14的相对移动量进行检测的检测头125；对来自检测头125的检测值进行运算处理的电路126；将运算处理结果作为测量值进行显示的显示部124。有关检测头125及电路126与背景技术的图13所示的相同。游标12，包括游标本体121、外侧用测量爪122及内侧用测量爪123，由含有碳毫微纤维的合成树脂(聚苯乙烯)通过注射成型一体成型。构成游标12的含有碳毫微纤维的合成树脂，通过添加碳毫微纤维，而可被赋予导电性。
这里，由本尺11的主刻度14和游标12的检测头25构成静电容量式编码器。
(主尺的制造方法)
现参照图3对本尺11的主刻度14的制造方法作说明。
主刻度14的制造方法，具有：形成本尺11的本尺形成工序(本体形成工序)；在本尺11表面层叠导电层143的导电层形成工序；将导电层143按规定的间距进行剥离的剥离工序。
本尺形成工序中，本尺11由含有碳毫微纤维且绝缘性的合成树脂来注射成型(参照图3(A))。此时，本尺11包括外侧用测量爪111及内侧用测量爪112而一体注射成型。
含有碳毫微纤维的合成树脂的成型性能优良、模型复制性好，注射成型后不需要进行机械加工和表面精加工。
在导电层形成工序中，接着本尺形成工序，将含有碳毫微纤维且导电性的合成树脂注射成型(双重成型)为薄层状(参照图3(B))。导电层143，形成于以本尺11的纵向部分与游标12的检测头125相对的面上。
在剥离工序中，将导电层形成工序中形成的导电层143沿本尺11的纵向按规定的间距剥离。这样，本尺11即绝缘部142显现在导电部141之间。由此，在本尺11上直接形成静电容量式编码器的主刻度14。
(第1实施例的效果)
如此结构，能起到以下效果。
本尺11及游标12，由于由含有碳毫微纤维的合成树脂形成，故能得到刚性强化、抑制线膨胀、提高耐磨性能、降低摩擦系数、提高导热系数、赋予导电性或绝缘性等的效果。
由于刚性得到强化，故可在将测量爪(本尺11的外侧用测量爪111及内侧用测量爪112、游标12的外侧用测量爪122及内侧用测量爪123)保持刚性的同时能形成薄形。因此，即使是狭窄的待测量部位，也可进行测量。另外，如提高了测量爪的刚性，即使将测量爪与被测量物抵接的场合，也不会产生塑性(日文：レなり)等的变形，可提高测量精度。
由于线膨胀系数小，故可抑制线膨胀引起的本尺11及主刻度14的变形。因而可进行精密的测量。由于线膨胀系数小，故不受测量的温度限制，不受高温和低温等周围环境的影响，可进行精密的测量。
由于耐磨性能提高，故即使将游标12相对于本尺11重复滑动也不会磨损，耐用年数长且可长期维持测量精度。尤其是，由于可使游标12相对主刻度14直接接触滑动，故不需要维持主刻度14与游标12之间间隔等的机构。
因摩擦系数小，故本尺11与游标12的滑动性好，在无润滑剂的情况下可使用。因此，污垢和垃圾不易粘附。
因为导热系数好，即使是用手握住本尺11进行测量的场合，手的热量瞬间也向整体扩散，不会因本尺11(主刻度14)的地方不同而产生膨胀的差异。因此，不会因手的热量产生测量误差，可进行精密测量。
由于本尺11及游标12都是由合成树脂形成的，故游标卡尺1可做得很轻。故移动和操作性优良。因是合成树脂，故与金属相比，握住本尺11时手感好，不用担心金属过敏等。
由于可由注射成型形成，故游标卡尺1的制造简便，能以低成本进行生产。此时，含有碳毫微纤维的合成树脂，其模型复制性好，故注射成型后不需要机械加工和表面精加工，非常简便。
由于游标本体121具有导电性，故游标本体121可起到电磁屏障的功能，内部电路与外部磁场及外部电场进行屏蔽。其结果，游标本体121的内部电路得到保护，可防止破损和误动作。
本尺11本身是绝缘部142，导电部141也直接形成在本尺11上。即，在本尺11本身直接形成有主刻度14。因此，与将同本尺11分别形成的刻度用粘接剂进行粘贴的场合不同，主刻度14不会产生弯曲和主尺从本尺11上剥离。其结果，可提高编码器的检测精度，而且，可长期维持检测精度。
本尺11注射成型后，进一步注射成型形成导电层143。因而可简便地形成主刻度14，提高制造效率，降低成本。本尺11及导电层143都是含有碳毫微纤维的合成树脂，故浸湿性好，导电层143(电极)不易从本体上剥离。因而可延长编码器的使用年数。
由于本尺11及游标12都是由含有碳毫微纤维的合成树脂形成的，故能得到刚性强化、抑制线膨胀、提高耐磨性能、降低摩擦系数、提高导热系数等的效果。
由于游标12具有导电性，故游标12与本尺11之间不会带静电，可防止主刻度14及检测头的破损和误动作。通过防止带电，可防止静电引起垃圾粘附等。其结果，可保持精密的测量精度。
(第2实施例)
图4是作为本发明的测量仪的第2实施例的度盘式指示器2。图4是拆去度盘式指示器2后盖后的图。本实施例列举了度盘式指示器，千分尺等也可是相同的结构。
该度盘式指示器2，具有外壳本体21、贯穿该外壳本体21的外周壁并沿轴向滑动自如地被支承的作为滑动体的测量轴22、将该测量轴22的位移进行动力传递的动力传递部23、将通过动力传递部23传递来的动力作为测量轴22的变位量进行显示的显示部(未图示)。
外壳本体21，具有将测量轴22沿轴向进行滑动引导的作为滑动引导构件的轴套211A、在图4中朝下方突设的管212。外壳本体21上，在内周沿着测量轴22的滑动方向形成有卡合槽213。在管212内，设有作为测量轴22的滑动引导构件的轴套211B。外壳本体21、轴套21A、管212及轴套211B都由含有碳毫微纤维的合成树脂注射成型形成的。
测量轴22，具有沿轴向设置的齿条221、设置在前端的接触部222。在测量轴22的轴向中间部分设有与测量轴22的轴垂直的卡合销223，该卡合销223与外壳本体21的卡合槽213卡合。该测量轴22包括齿条221和接触部222，都由含有碳毫微纤维的合成树脂通过注射成型一体形成。卡合销223由含有碳毫微纤维的合成树脂注射成型。
动力传递部23，由从测量轴22的齿条221将动力进行传递的作为动力传递构件的齿轮列构成。齿轮列，具有与测量轴22的齿条221啮合的小齿轮231、与该小齿轮231一体旋转的大齿轮232、与该大齿轮232啮合并旋转显示部的指针241的指针轴233、与指针轴233啮合以防止齿隙的齿隙防止齿轮234。该齿轮列的各个齿轮，由含有碳毫微纤维的合成树脂通过注射成型形成。
如图5(A)所示，沿测量轴22的轴向形成有静电容量式编码器的主刻度25。
以轴为中心的环状导电部141，在由含有碳毫微纤维且绝缘性的合成树脂形成的测量轴22的表面上沿轴向以规定的间距形成。主刻度25的制造方法与第1实施例相同。
图5(B)中，在测量轴22的圆周形成有静电容量式编码器的主刻度26。
沿轴向延伸的导电部141，在由含有碳毫微纤维且绝缘性的合成树脂形成的测量轴22的表面、在以轴为中心的圆周上按规定间隔形成。主刻度26的制造方法与第1实施例相同。
本实施例中形成的是静电容量式编码器的刻度，也可是光电式编码器的刻度、或磁式编码器的刻度。
刻度也可是以测量轴的轴为中心形成螺旋状。
这种度盘式指示器2具有以下效果。
外壳本体21、测量轴22、动力传递部23，都由含有碳毫微纤维的合成树脂形成，故具有刚性，线膨胀系数小、滑动性好，耐磨损性能得到提高。因此，提高了测量精度的同时延长了耐用年数。尤其是，提高了测量轴22与轴套211A、211B之间的滑动性、耐磨损性。
动力传递部23的各齿轮，由于由含有碳毫微纤维的合成树脂形成，故在维持刚性的同时，可使齿轮(小齿轮231、大齿轮232、指针轴233、齿隙防止齿轮234)小型化、薄形化。因而能使度盘式指示器2本身小型化。
另外，也可在千分尺和度盘式指示器的测量轴22上直接形成编码器的主刻度25、26。因而对于千分尺和度盘式指示器等测量轴的移动量进行测量的测量仪，可简便地组装编码器，使其成为数字式。
主刻度25、26在同一面上形成，故该主刻度25、26的部分也可用作滑动部。这样，不必避开刻度部分以确保滑动部分，可使测量轴缩短。以往，无法使测量轴的刻度成为滑动部，故测量轴不得不具有刻度长度再加上滑动部分。但是，主刻度可用作滑动部，则测量轴可缩短。其结果，可使千分尺和度盘式指示器小型化。
(第3实施例)
图6是表示作为本发明的测量仪的用于移动量测量仪的线性编码器3。图6是该线性编码器3的剖视图。
该线性编码器3具有：作为基部的框架31；设置在该框架31内的刻度32；相对于框架31滑动自如而设置的作为滑动体的滑块33；与该滑块33一体移动并对相对于刻度32的相对移动量进行检测的检测部34；设置在滑块33上、与框架31及刻度32抵接并引导滑块33滑动的作为滑动引导构件的滚子型滑动构件35。图6中，滑块33的滑动方向与纸面垂直。另外，图7表示滑块33的侧视图。
框架31、滑块33及滑动构件35，都由含有碳毫微纤维的合成树脂通过注射成型形成。这里，滑动构件35由含有碳毫微纤维的合成树脂形成，具有导电性。
滑动构件35，在保持刻度32与检测部34的间隔为一定的同时引导滑块33的滑动。
本实施例的测量仪的编码器结构与第1实施例相同。
如此结构具有以下效果。
由于框架31及滑块33由含有碳毫微纤维的合成树脂形成，故具有刚性，线膨胀系数小、滑动性好，耐磨损性能得到提高。因此，提高了测量精度的同时延长了耐用年数。
另外，由注射成型形成，简便，可实现低成本化。
滑动构件35由含有碳毫微纤维的合成树脂形成，故滑动性好、耐磨损性得到提高。因此，经得住重复使用。
滑动构件35是由通过添加碳毫微纤维而具有导电性的合成树脂所形成，故可防止带静电。因此，可防止带静电引起的线性编码器3的破损和错误动作，还可防止静电引起的垃圾粘附。
由于框架31由含有碳毫微纤维的合成树脂形成，故可对该框架31附加导电性。这样，该框架作为外壳体成为将内部的刻度32、检测部34与外部磁场及外部电场进行屏蔽的电磁屏蔽构件。因而可防止刻度32及检测部34的误动作及破损，可长期维持测量精度。
(第4实施例)
图8是本发明的测量仪的第4实施例。
该测量仪具有：固定构件51；设置在该固定构件51上的主刻度511；相对于固定构件51可相对移动的可动构件61；设置在该可动构件6上、与主刻度511静电容量结合而对相对于主刻度511的相对移动量进行检测的检测头62。图8中，可动构件61的滑动方向是与纸面正交方向。
可动构件61上设有间隔保持部63，该间隔保持部63从可动构件61向固定构件51侧凸状形成，作为用来保持主刻度511与检测头之间间隔的间隔保持装置。间隔保持部63夹着检测头设置在两侧。
可动构件61上设有与可动构件61的移动面大致平行且形成薄片状的作为施力装置的推压力传递构件64。可动构件61包括间隔保持部63及推压力传递构件64，由含有碳毫微纤维的合成树脂一体形成。推压力传递构件64的端部641被从固定的构件81向可动构件61侧以力F1推压。推压力传递构件64通过在其中途固定的支承构件71固定支承，可动构件6被力F2朝固定构件51施力。
本实施例的测量仪的编码器结构与第1实施例相同。
如此结构具有以下效果。
间隔保持部63由含有碳毫微纤维的合成树脂形成。含有碳毫微纤维的合成树脂，耐磨损性好、摩擦系数小，故间隔保持部63不会磨损，可长期维持主刻度511与检测头之间的间隔。因而可长期维持检测精度。
由于间隔保持部63与可动构件61一体成型，故与将间隔保持机构等另外设置的场合相比，不需要组装工序，因而简便。由于作为施力装置的推压力传递构件64与可动构件61设成一体，故与将施力装置与可动构件61分别设置的场合相比，零件个数减少且简便。如此，间隔保持部63及推压力传递构件64与可动构件61一体成型，故装置工序大大简化，同时没有必要另外设置间隔保持机构和施力装置等，可实现小型化。
(变形例)
本发明的测量仪，并不局限于所述实施例。在不脱离本发明的宗旨范围内可进行各种变更。
本发明，并不局限于游标卡尺和度盘式指示器，也可适用于千分尺、测径仪、三维测量仪、表面形状测量仪等各种测量仪。应用本发明，可提高刚性、线膨胀、滑动性、耐磨损性，并且通过注射成型，得到能简便和低成本制造的测量仪。
三维测量仪和表面形状测量仪中，载放被测量物的载放台也可用含有碳毫微纤维的合成树脂形成。另外，块规也可由含有碳毫微纤维的合成树脂形成。可得到耐用年数长、无变形的载物台和块规。
第2实施例中，轴套211A也可与外壳本体21一体形成。含有碳毫微纤维的合成树脂，具有刚性、滑动性、耐磨损性，故外壳本体21本身可兼作滑动轴承。因此，不必另设轴套211，可简化制造工序，降低成本。
第3实施例中，滑动构件35也可不是滚子，而是具有与框架31抵接的单纯凸面的构件。如用含有碳毫微纤维的合成树脂形成滑动构件35，则可提高耐磨损性和滑动性，故不必需要滚子。
所述实施例中，本尺1与滑块12、测量轴22与轴套211等滑动机构的基部及滑动体都由含有碳毫微纤维的合成树脂形成，但并不一定要双方都是，仅其中一方由含有碳毫微纤维的合成树脂形成也可以。另外，动力传递部23中，一部分也可由含有碳毫微纤维的合成树脂形成。含有碳毫微纤维的合成树脂是刚性、成型性能、线膨胀、耐磨损性、滑动性等高性能材料，即使是测量仪的组成构件的一部分是含有碳毫微纤维的合成树脂的场合，测量仪的测量精度、耐用年数等各方面也能得到提高。
第1实施例的导电层形成工序中，导电层143是由含有碳毫微纤维且导电性的合成树脂通过注射成型而形成的，也可在本尺11的表面电镀金属形成导电层143。
第4实施例中，间隔保持部63是设置在可动构件61侧的，但间隔保持部63也可设置在固定构件51侧。即，也可夹着刻度沿可动构件61的滑动方向设置间隔保持部63。该场合，最好间隔保持部63与固定构件51一起由含有碳毫微纤维的合成树脂一体成型。
另外，第4实施例中，对直线滑动的编码器进行了说明，但转动编码器等滑动面也可是旋转面。比如，作为转子和定子之间的间隔保持装置，如使用含有碳毫微纤维的合成树脂，则可起到与第4实施例相同的效果。
以上，主要对在固定构件侧形成编码器的刻度的场合进行了说明，当然也可在可动构件侧形成编码器的刻度。即，可动构件的本体由含有碳毫微纤维的合成树脂形成，也可在其表面形成刻度结构。
毫微级物质并不局限于碳毫微纤维，也可使用以碳毫微管、フラ-レン等碳为主要组成元素的毫微级物质。
作为合成树脂的母材，可使用聚苯乙烯和聚碳酸酯等。
而且，第1实施例的主刻度也可用以下方法进行制造。
如图9(C)所示，该主刻度14A基本上与第1实施例的主刻度14相同。即，由含有碳毫微纤维且导电性的合成树脂形成的导电部141，在由含有碳毫微纤维且具有绝缘性的合成树脂形成的本尺11的表面上按规定的间距进行排列。该变形例1与第1实施例的不同点如下。即，导电部141充填于本尺11上形成的槽113内。因此，本尺11的表面不存在导电部141的凸部，而为平面状。在本尺11的表面设有绝缘性的绝缘膜144。
下面对该主刻度14A的制造方法作说明。
主刻度14A的制造方法是，具有形成本尺11的本尺形成工序(本体形成工序)、在本尺11的表面以规定的间距形成槽113的槽形成工序、将导电构件充填至该槽113内的槽充填工序。
本尺形成工序中，与第1实施例相同，本尺11由含有碳毫微纤维且绝缘性的合成树脂通过注射成型而形成。不过，在进行该本尺形成工序的注射成型的模具内，在与形成导电部141的间距相对应的位置设有凸部。即，在本尺形成工序的同时，进行在本尺11的表面上按规定的间距形成槽13的槽形成工序(参照图9(A))。
槽充填工序中，接着本尺形成工序，进行将含有碳毫微纤维且导电性的合成树脂充填至槽113内的注射成型(双重成型)。这样，埋掉槽113，导电部141按规定的间距形成(参照图9(B))。而且，在本尺11的表面粘贴绝缘膜144(参照图9(C))。这样，成为静电容量式的主刻度14A。
以上，槽形成工序，是与本尺11注射成型同时进行的，但也可将本尺11注射成型后，经机械加工切削形成槽113。这是因为含有碳毫微纤维的合成树脂具有金属的刚性，因而可进行机械加工。
如此变形例1，除了与第1实施例相同的效果以外，还具有以下效果。
导电部141埋入槽内而形成，故主刻度14A的表面形成平面状。而且，在主刻度14A的表面设有绝缘膜144。因此，夹着绝缘膜144直接将游标12在主刻度14A上滑动。
只要注射成型即可，非常简便，简化制造线，可实现低成本化。为了形成电极，不需要第1实施例那样剥离电极等的工序，故非常简便。
而且，也可由图10所示的方法制造主刻度。
图10(A)所示的主刻度14B，在带状的基材151上设有装饰印刷层152、电极层153、粘接层154。
基材151是将具有柔软性的薄的涤纶制的透明薄膜按规定的形状裁断而成，具有绝缘性。
装饰印刷层152，是在基材151的表面上直接印刷的油墨的层，可印刷文字和图案。印刷的文字和图案，可借助透明的基材151进行观察。
电极层153是将具有含有碳毫微纤维的合成树脂的导电性油墨在装饰印刷层152上进行印刷形成的。通过该电极层53，与图2所示的相同的电极沿长度方向大量形成。
粘接层154是涂在电极层153上的例如双面胶带等的粘接材料的层。粘接层154进入各电极之间，电极层153中无电极的部分153A，粘接层154到达装饰印刷面152的表面。
如图10(B)所示，该主刻度14B借助粘接层154粘贴在含有碳毫微纤维且绝缘性的合成树脂制的本尺11上。
根据该方法，将主刻度14B通过事先印刷可简易地制造。
所述实施例中，是以静电容量式的编码器为例的，也可利用其他编码器。
图11是一例使用光电式编码器的主刻度。
使用该光电式编码器的主刻度14C具有由反光部171和非反射光部172构成的光栅。
该主刻度14C是由含有碳毫微纤维的合成树脂形成的表面呈镜面状的本尺11(本体)的表面按规定的间距形成的非反射光部172。该非反射光部172是将表面粗切削以使不反射光。
游标12的检测头只要具有将光照射到主刻度14C的光源、接收从主刻度14C反射的光的感光部即可。
以上，非反射光部172是将本尺11的表面进行切削而不反射光的，但也可粘贴不反射光的构件，也可涂上不反射光的涂料。
另外，将本尺11以不反射光的表面粗糙度注射成型后，也可将反光部171在本尺11表面上形成。
如此结构，除了与第1实施例相同的效果以外，还能简便地形成光电式编码器，提高制造效率的同时，可实现低成本化。
图12是主刻度使用了磁式编码器的例子。
使用了该磁式编码器的主刻度14D具有将N极181及S极182按规定的间距交替排列的结构。
该主刻度14D，是进一步向含有碳毫微纤维的合成树脂添加磁性材料后、经注射成型而形成的本尺11(本体)。磁极是在形成本尺11后，比如，按磁记录媒介物磁化的要领，将电磁铁或磁铁靠近进行磁化即可。
游标12的检测头，只要是具有因主刻度14D的磁性引起感应电流变化的线圈的结构即可。
如此结构，除了与第1实施例相同的效果以外，由于由注射成型形成本体后，只要进行磁化，故非常简便，可提高制造效率和实现低成本化。

Claims (21)

1.一种测量仪，其特征在于，至少一部分是由含有毫微级物质的合成树脂形成的组成构件。
2.根据权利要求1所述的测量仪，其特征在于，所述组成构件由注射成型形成。
3.根据权利要求1或2所述的测量仪，其特征在于，包括：基部；具有相对于所述基部设成滑动自如的滑动体的滑动机构，
所述基部及所述滑动体的至少某一方由含有毫微级物质的合成树脂形成。
4.根据权利要求1或2所述的测量仪，其特征在于，具有：基部；相对于所述基部设成滑动自如的滑动体；设置在所述基部及所述滑动体的相对面的任何一方并与另一方抵接、引导所述滑动体的滑动引导构件，
所述滑动引导构件由含有毫微级物质的合成树脂形成。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的测量仪，其特征在于，设有内部具有电路的外壳体，所述外壳体由含有毫微级物质的合成树脂形成。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的测量仪，其特征在于，具有传递动力的动力传递构件，所述动力传递构件由含有毫微级物质的合成树脂形成。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的测量仪，其特征在于，具有用于装载被测物的载物台，所述载物台由含有毫微级物质的合成树脂形成。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的测量仪，其特征在于，所述毫微级物质，是由碳毫微纤维或碳毫微管为代表的碳毫微级物质中的任何一种。
9.一种编码器，具有固定构件、相对于所述固定构件设成可相对移动的可动构件，对所述可动构件相对于所述固定构件的相对移动量进行检测的编码器，其特征在于，
所述固定构件及所述可动构件的至少某一方，具有由含有毫微级物质的合成树脂构成的绝缘构件形成的本体、按规定的间距排列在所述本体表面上的导电性的电极。
10.根据权利要求9所述的编码器，其特征在于，
所述本体由含有毫微级物质的合成树脂经注射成型形成。
11.根据权利要求9或10所述的编码器，其特征在于，
所述电极由含有毫微级物质的合成树脂形成。
12.一种编码器，具有固定构件、相对于所述固定构件而设成一边维持规定的间隔一边相对移动的可动构件，对所述可动构件相对于所述固定构件的相对移动量进行检测的编码器，其特征在于，包括：
将所述可动构件朝所述固定构件方向施力的施力装置；
所述固定构件及所述可动构件的相对面中的任何一方设有与另一方的相对面抵接、并将所述间隔维持一定的间隔保持装置，
所述间隔保持装置由含有毫微级物质的合成树脂形成。
13.根据权利要求12所述的编码器，其特征在于，
所述施力装置，是相对于滑动面大致平行地从所述可动构件突设的推压力传递构件，
可动构件及所述推压力传递构件，由含有毫微级物质的合成树脂一体成型。
14.一种编码器，具有固定构件、相对于所述固定构件而设成可相对移动的可动构件，对所述可动构件相对于所述固定构件的相对移动量进行检测的编码器，其特征在于，
所述固定构件及所述可动构件的至少某一方，具有由含有毫微级物质及磁性材料的合成树脂所形成的本体、按规定的间距交替排列在所述本体表面上的磁极。
15.一种编码器，具有固定构件、相对于所述固定构件而设成可相对移动的可动构件，对所述可动构件相对于所述固定构件的相对移动量进行检测的编码器，其特征在于，
所述固定构件及所述可动构件的至少某一方，具有由含有毫微级物质的合成树脂形成的表面呈镜面状的本体、按规定的间距形成在所述本体表面上的非反射光部。
16.根据权利要求9～15中任一项所述的编码器，其特征在于，所述毫微级物质，是由碳毫微纤维或碳毫微管为代表的碳毫微级物质中的任何一种。
17.一种编码器的制造方法，对具有固定构件和相对于所述固定构件而设成可相对移动的可动构件、检测所述可动构件相对于所述固定构件的相对移动量的编码器进行制造，其特征在于，包括：
通过含有毫微级物质的合成树脂构成的绝缘构件，将所述固定构件及所述可动构件中的至少某一方的本体进行注射成型的本体形成工序；
在所述本体的表面层叠导电层的导电层形成工序；
将所述导电层按规定间距进行剥离的剥离工序。
18.根据权利要求17所述的编码器的制造方法，其特征在于，所述导电层形成工序是在所述本体上注射成型含有毫微级物质的导电性的合成树脂。
19.一种编码器的制造方法，对具有固定构件和相对于所述固定构件而设成可相对移动的可动构件、检测所述可动构件相对于所述固定构件的相对移动量的编码器进行制造，其特征在于，包括：
通过含有毫微级物质的合成树脂构成的绝缘构件，将所述固定构件及所述可动构件中的至少某一方的本体进行注射成型的本体形成工序；
在所述本体的表面按规定的间距形成槽的槽形成工序；
将含有毫微级物质的导电性的合成树脂注射成型在所述本体上、在所述本体表面的槽内形成电极的槽充填工序。
20.一种编码器的制造方法，对具有固定构件和相对于所述固定构件而设成可相对移动的可动构件、检测所述可动构件相对于所述固定构件的相对移动量的编码器进行制造，其特征在于，包括：
通过含有毫微级物质的合成树脂构成的绝缘构件，将所述固定构件及所述可动构件中的至少某一方的本体进行注射成型的本体形成工序；
在基材上利用含有毫微级物质的绝缘性的油墨印刷电极层的电极印刷工序；
在所述电极层上形成粘接层的粘接层形成工序；
将所述基材借助所述粘接层而粘贴在所述本体上的基材粘贴工序。
21.根据权利要求18～20中任一项所述的编码器的制造方法，其特征在于，
所述毫微级物质，是由碳毫微纤维或碳毫微管为代表的碳毫微级物质中的任何一种。
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