CN1302254C

CN1302254C - 模块式炉子系统

Info

Publication number: CN1302254C
Application number: CNB018059031A
Authority: CN
Inventors: 戴维·布卢姆; 罗伯特·布沙尔; 戴维·S·哈维; 杰弗里·C·尼利三世; 唐纳德·A·小塞科姆; 特伦斯·王; 理查德·陶尔聪; 斯蒂芬·J·帕罗特; 保罗·埃金顿
Original assignee: BTU International Inc
Current assignee: BTU International Inc
Priority date: 2000-02-02
Filing date: 2001-02-02
Publication date: 2007-02-28
Anticipated expiration: 2021-02-02
Also published as: CN1420979A; EP1259772A4; WO2001057458A1; US20010055740A1; EP1259772B1; DE60140430D1; EP1259772A1; US6394794B2

Abstract

一种模块式炉子(10)，其由至少一个模块(12)构成，模块具有框架(14)、安装在框架上的可拆卸盖子(18)、位于框架上的外侧盖板(20)和紧固在模块内部的绝热壳(32)。输送组件(26)延伸穿过模块。模块中布置着多个处理段(40)，例如加热段和冷却段。每个处理段分别带有相关的可在现场更换的通用吹风组件(50)。每个吹风组件中的电机轴(90)上设有位于电机壳中的密封轴承(94)。每个模块中的绝热体分别被透气性织物(34)保持就位，透气性织物覆盖着罩板中的大通风口(38)，从而可在启动后将氧气从绝热体中快速排出。

Description

模块式炉子系统

相关申请的交叉参考

本发明根据35U.S.C.§119(e)而对2000年2月2日提交的美国临时专利申请No.60/179,664提出优先权要求，该申请中的内容结合在此作为参考。

本申请是美国联邦政府资助的研究开发项目

N/A

技术领域

本发明涉及一种炉子系统，尤其涉及一种模块化的炉子系统。

背景技术

对流炉用于使电子器件的表面安装结构中的焊料回流到电路板上。在这种炉子中，带有预先形成的焊料和/或焊膏图案的电路板以及电子器件在输送机上运行通过多个加热段。炉中的循环气体被位于输送机上下方的对流加热器加热，并且喷射在电路板和电子器件上，以将焊料加热到回流温度。气体通常是被气体吹送装置例如风扇带动着循环的。一个位于加热段下游的冷却段通常用于对电路板从回流温度开始降温。这种炉子通常是根据客户所需的规格专门定制的。每个加热和/或冷却段均容纳在一个整体式绝热外壳中。

炉子的加热段通常包含一个由增压箱构成的增压器，增压箱具有一个孔板，用于将高温气体流扩散到制品上。一个加热元件和诸如安全开关等各种其他元件容纳在增压箱中。热气增压器通常被设计成可在现场更换的单元，从而可以通过松开最小数量的紧固件和电气接头而将整个热气增压器拆下。通过这种方式，如果热气增压器中的某个元件例如加热器或吹风电机出现故障，或者热气增压器需要升级，则可以将整个热气增压器拆下，并将另一个热气增压器安装就位。这样的程序可以使生产线的停工时间和平均维修时间最小化。然而，由于可在现场更换的单元的重量和尺寸较大，因此，将所述单元从炉中拆出，特别是从处理室底部拆出，是很复杂的，尤其是对于单人操作而言更为如此。

在大多数情况下，用于驱动吹风机的电机安置在炉罩外侧，以保护电机不会受到热量和处理气体的作用。在这种情况下，一根轴，通常是电机轴，穿过炉罩延伸到吹风机中，一个套在轴上的密封件用于防止炉罩中的气体和热量接触电机。轴密封件通常由位于轴上的机械式接触密封构成，或者在某些情况下，由一个或多个套在轴上并且相对于电机独立的轴承构成，其中排气腔或其他器具用于确保炉罩内封装的大气与外界大气隔离。

氮气N₂常被用作惰性气体，以提高印刷电路板回流焊接的加工量。在启动后，处理室中的氧气O₂被吹出，直至N₂达到处理所需的理想纯度等级。除了处理风道中的气体以外，炉外壳的绝热材料中也含有大量的O₂。虽然容易将风道中的O₂更换成N₂，但绝热体中的O₂会被俘获在绝热体的金属罩板后面，而且还需要防止制品被绝热体纤维沾染。在没有辅助作用的情况下，炉子要经过很长时间才能使N₂的纯度等级达到理想等级，这是因为O₂是以缓慢但持续的速率散出的。普通的补救措施是利用喷头、喷管或集气管向绝热体吹气。然而，这种方式在气体消耗方面是浪费的，因此成本高且效率低。另一种可行的解决方案是使用封闭单元式的非透气性绝热体。然而，由于这种绝热体不能填充到所有空隙、角部、缝隙等中，而且会阻碍气体的流动，因此这种绝热体不能有效地用于炉中的绝热。此外，这种类型的绝热体还可能会散发出不良气体或烟尘。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能克服上述现有技术中的缺陷并且能模块化的炉子系统。

为实现上述目的，本发明提供一种炉子，包括：至少一个模块，其包含框架、安装在框架上的可拆卸的盖子、位于框架上的外侧盖板以及紧固在模块内部的绝热壳体，所述壳体中形成了一个处理区域；输送组件，其被布置得从进入区域至排出区域延伸穿过绝热壳体中的处理区域，用于输送制品通过处理区域；位于模块中的多个处理段，每个处理段中分别布置着至少一个增压器，用于引导气流吹向处理区域中的制品；以及可拆卸和可更换地布置在至少一个增压器中的至少一个吹风组件，其中吹风组件能够向任何处理段提供加热、冷却、助焊剂蒸气去除、外壳换气或空载处理功能。

另一方面，本发明还提供一种炉子，包括：至少一个模块，其包含框架、安装在框架上的可拆卸盖子、位于框架上的外侧盖板以及紧固在模块内部的绝热壳体，所述壳体中形成了处理区域；输送组件，其被布置得从进入区域至排出区域延伸穿过绝热壳体中的处理区域，用于输送制品通过处理区域；位于模块中的多个处理段，其中至少一个处理段包括冷却段，所述冷却段中包含安装在壳体内部的密封冷却增压器；以及布置在框架中的冷却单元，其中构造在密封冷却增压器与冷却单元之间的导管用于将气体引入冷却单元中，并将冷却了的气体从冷却单元引入密封冷却增压器中。

本发明提供的模块式炉子中，其由至少一个模块构成，模块中容纳着任何理想数量的处理段，例如加热段和冷却段。模块式构造使得炉结构容易在制造过程中或在现场更换。具体地讲，每个模块分别具有框架、安装在框架上的可拆卸盖子、位于框架上的外侧盖板和紧固在模块内部的绝热壳。

在本发明的另一个方面，每个处理段分别带有相关的可在现场更换的通用吹风组件，从而导致可更换元件的重量和体积下降。此外，每个吹风电机的电机轴上分别设有一个密封轴承，以使电机不需要额外的轴密封即可安装在处理室中，同时又能提供出气密性连接。每个模块中的绝热体分别被透气性织物保持就位，透气性织物覆盖着罩板中的大通风口，从而在可启动后将氧气从绝热体中快速排出。在另一个方面，可以设有一个冷却单元，用于冷却被制品加热了的气体，并且使冷却了的气体返回冷却段中。

附图说明

通过下面结合附图所作的详细描述，可以更全面地理解本发明。

图1是根据本发明的具有一个模块的模块式炉子的等角图；

图2是具有两个模块的模块式炉子的等角图；

图3是图1中的炉子的正视图；

图4是图1中的炉子的侧视图；

图5是图1中的炉子的剖视图；

图6是图1中的炉子的下壳的等角图；

图7是图6中的绝热罩板的等角图；

图8是图1中的用于容纳上壳的增压器的等角仰视图；

图9是图8中的上壳的等角俯视图；

图10是根据本发明的一种可在现场更换的吹风组件；

图11是另一种可在现场更换的吹风组件；

图12是又一种可在现场更换的吹风组件；

图13是又一种可在现场更换的吹风组件；

图14是根据本发明的电机和电机支架的等角图；

图15是图14中的电机的端视图；

图16是图14中的电机的侧视图；

图17是图14中的电机的局部图；

图18是带有一个冷却单元的炉子的示意图；

图19是带有两个冷却单元的炉子的等角局部图；

图20是一个冷却单元的等角图；

图21是两个冷却单元和带有集气管的冷却吹风组件的等角局部视图；

图22是图21中的一个冷却单元的等角仰视图。

具体实施方式

参看图1-5，炉子10由一个或多个模块12构成。每个模块分别包括结构框架14、紧固在框架上的内壳16和可拆卸的盖子18，盖子18优选铰接在框架上，因而能够翻转打开。外侧盖板20覆盖着框架，并且安装在框架或处理室上。见图2。形成了一个处理区域的内壳16优选由一个位于盖子18中的上壳22和一个位于框架14中的下壳24构成。输送组件26中设有一条输送带28，该输送带从进入区域30至排出区域32延伸穿过炉子的全长。输送带28运行通过位于上壳22与下壳24之间的处理区域，并且返回框架14底部附近。

每个内壳16分别借助于适宜的绝热体绝热，所述绝热体保持抵靠在内壳的内壁上。参看图6中的下壳24，绝热体32通过一层透气性耐热耐磨材料34(部分地显示于图6中)而紧固在一个罩板或板件36上，罩板36中带有大的通风口38。这一点还显示于图7中。通过这种方式，内壳中的绝热体32向着处理室敞开，而材料34可以防止绝热体中的纤维或颗粒弄脏制品。材料可以是例如玻璃纤维织布。如前所述，难以将O₂从安置在现有技术的金属绝热罩板后面的绝热体中排空。因此，本发明的位于罩板36中的尽可能大的通风口38对O₂从绝热体向风道中的扩散所造成的限制或阻碍可以确保最小化。大的、被覆盖着的通风口使得能够通过控制输入N₂气流而控制O₂的排空率。因此，通过在开始阶段加入高速N₂气流，以快速取代风道中的大气，再在O₂从绝热体中散出后降低N₂流速，可以使所有炉子的处理过程最优化。材料34可以通过任何适宜的方式保持就位，例如利用穿通罩板的紧固件39和/或沿着罩板延伸的托架41。所述材料可以紧固在罩板上面或下面。

每个模块中可以设有任何理想数量的处理段40，以实现例如加热、冷却、加热和冷却的组合操作或其他功能。通过在模块中安装适宜的增压箱42、吹风组件50和其他相关装置，可以构成一个所需的处理段。通常，一个上部增压箱安装在上壳22中，一个下部增压箱安装在下壳24中，但如需要，也可以只安装一个上部增压箱或只安装一个下部增压箱。作为示例，图1和3-5中示出了具有一个模块12的炉子，模块中包含七个处理段40，这七段中共装有七个上部增压箱和七个下部增压箱。图2中示出了具有两个模块12的炉子，每个模块中包含五个处理段40。

每个增压箱42可以提供加热、冷却或一种专门的功能，例如助焊剂蒸气去除、外壳换气或空载功能。作为示例，炉子可以被设计得具有六个加热段和一个冷却段，即炉子可以由六个带有适宜加热装置的加热段和一个带有适宜冷却装置的冷却段构成。适宜的加热或冷却装置可以装于吹风组件中，或者从外部容纳着处理区域并通过导管连接着处理区域。在炉子的制造过程中，炉子的结构可以被变为五个加热段和两个冷却段。通过在适宜的段中替换为适宜的冷却装置，就可以容易地实现上述变化。此后，在现场，炉子可以这样改装，即再次通过在适宜的段中替换为适宜的冷却装置，可以获得四个加热段和三个冷却段。可以理解，基于特定的应用，可以在一个模块中采用任何适宜的处理段组合，并且可以采用任何数量的模块。还可以理解，通过将加热和冷却装置安置在相邻段中，可以实现大范围的热处理参数以及柔顺性极高和范围极大的热分布模式。

上壳22充分地显示于图8和9中。为了简化，这里只讨论上壳和与之相关的元件。然而可以理解，下壳和与之相关的元件是类似的但方向相反，以便引导气流向上吹向输送带上的制品。多个增压箱42通过诸如螺栓等而整体式安装在上壳上。每个增压箱的下表面分别包括一个孔板44，孔板上带有多个小孔，用于使气体加速而形成多重喷流，从而喷射在位于增压箱下方输送带上的制品上。如果增压箱位于加热段中，则有一个加热单元容纳在增压箱中，以使流经加热单元的气体被加热到理想温度，然后再流经孔板中的孔。之后，加热了的气体将喷射到制品上。

大部分或所有增压箱42中分别设有一个相关的通用吹风组件50，以将气体通过增压箱吹向制品。每个吹风组件分别由一个可在现场更换的单元构成，其密封安装在壳22的上表面52上，并且延伸穿过该上表面中的一个相应开口54。吹风组件还密封安装在增压箱42的上表面56上，并且延伸穿过该上表面中的一个相应开口58。通过将增压箱密封，吹风机可以在增压箱中产生高压，而增压箱外的低压可以导致气体流经孔板并且在处理室中循环。通过使可在现场更换的单元最小化，即只包含吹风组件，因此同现有技术中的可在现场更换的热气增压器相比，本发明的可在现场更换的单元只有大约一半的重量和三分之一的尺寸。这样，本发明的可在现场更换的单元更容易安装和拆卸。尺寸的减小还使得本发明的可在现场更换的单元更容易运输和现场储存。

本发明的通用吹风组件50能够实现炉子中的吹风组件通常所需的许多功能。例如，吹风组件可以用于带动空气在加热元件上循环，并且向增压箱加压而将空气传送到制品上。吹风组件还可以用于从处理室外侧的冷却单元向制品传送冷却气流，并将已经被制品温暖了的空气排放回冷却单元，以便重新处理。吹风组件还可以将一定量的处理室气体传送到助焊剂管理或其他外部系统，和/或将空气从助焊剂管理或其他外部系统重新引入处理室中，这些动作通常是在加热了的空气进行循环以及对吹气箱加压的同时进行的。高压吹风组件可以传送比吹气箱中的标准增压级别更高的压力。所述更高压力可以用于例如补充PC板加工所需的高压，或者适用于客户的非标加工要求。

图10中示出了一种通用吹风组件50，其被构造得适用于使气体循环通过一个加热段。吹风组件包含一个吹风电机60，该电机安装在一张由诸如钢等材料制成的片状件或板件62上。用于阻止大气的屏蔽件设在吹风组件与壳体之间，例如，可将一个垫圈装在板件62的底表面上，以密封住壳22的上表面52。一个容纳着叶轮的风扇壳64和一个带有吸入口68的空气或气体吸入壳66安置在板件62下面。风扇壳64穿过增压箱42中的开口58而伸入增压箱中。一个承受增压箱中的高压的屏蔽件设在吹风组件与增压箱之间，例如可将一个垫圈围绕着气体吸入壳66的底表面安装，以密封住增压箱的上表面56。吹风电机60密封在板件62上，以形成气密性的密封，如后文中进一步讨论。一个绝热层在空气吸入口68上部的区域70中设在吹风组件中。可以设有一个或多个手柄72，以使组件容易抬升和装卸。一个或多个口74设置得穿通于板件62中，用于测量诸如增压箱中的大气压力或成分等参数。

图11中示出了一种用在炉子冷却段中的冷却段吹风组件50′。该组件包含导管82，用于将空气或气体传送到安置在远处的冷却单元中，并且使空气或气体从冷却单元返回。图12中示出了一种助焊剂废气吹风组件50″，其中设有导管84，用于将一定量的处理室气体传送到位于处理室外侧的助焊剂管理系统中，并且使清洁了的气体从助焊剂管理系统返回处理室中。图13中示出了一种吹风组件50，其用于通过导管86而将来自助焊剂管理系统的气体重新引入处理室中，例如引入与气体采集段不同的段中。图10中所示的加热段吹风组件50还可以由高压吹风组件构成，例如包含适宜的叶轮并且使电机高速运转。

在用于印刷电路板的焊料回流炉中，氮气N₂经常用作惰性气体，以提高加工量。其结果是，焊料回流炉必须维持一定的N₂纯度等级，而氧气O₂的污染需要保持很低，而且O₂向处理室中的泄漏率要保持在最低值。处理室中的任何机械式穿透结构或缝隙均是潜在的泄漏位置。吹风电机轴90(见图14)是很难密封的元件之一。由于炉子中的热量的作用，电机和任何附加的轴密封均必须安置在处理室外侧或者被屏蔽件保护起来。此外，电机轴的转速为1000至6000rpm，这就限制了可以使用的密封的类型。

本发明提供了一种密封式电机轴承结构，其能够使电机具有气密性，并且使得电机能够直接安装到处理室或其他任何需要密封的表面上。参看图14-17，电机轴90穿过电机端部承口92而从电机壳中的电机60上伸出。一个适于套在旋转轴上的密封式电机轴承94设在电机端部承口中。作为示例，密封式轴承是由这样类型的密封轴承构成的，即包含两个柔顺旋转唇形密封，用于容纳润滑剂并隔离尘土、脏物以及低压流体和气体。轴承可以是滚珠轴承、滚柱轴承、衬套轴承或其他类型的轴承。轴承的内径表面通过O形圈、密封胶或以其他方式密封在电机轴上，以实现轴承内径与电机轴之间的气密性，而且轴承与电机轴之间没有旋转运动。轴承的外径表面通过O形圈、密封胶或以其他方式密封在电机端板上，以实现轴承外径与电机端板中的轴承壳之间的气密性密封，而且轴承与电机端板之间没有旋转运动。轴承外径表面与电机端板中的轴承壳之间通过一个润滑式O形圈密封着，以使轴承能够在电机端板中轴向移动，同时又能够保持气密性密封。对于焊料回流炉中的应用，密封轴承必须能够在高达4英寸水柱、优选8英寸水柱的压力下保持密封。一个第二密封96设在承口端面98与电机安装架102或其他用于安装电机的表面之间。第二密封可以是一个位于端面98的槽100中的O形圈、一层垫圈材料或施加的密封胶，但不局限于此。

还为电机60设有一个柔顺支架，用于吸收电机相对于炉罩的振动和运动。如前所述，安装架102连接在电机端面98上，其中位于电机端面上的O形圈96用于向安装架提供确实可靠的气密性密封。接下来，安装架102通过弹性振动隔离套筒104而安装在板件62上，以便允许电机和轴能够有一定的振动。一个由诸如波纹或泡沫材料等制成的弹性密封或柔顺平垫圈106套在轴上并与轴相隔着安置在安装架与炉罩之间，从而完成了密封。振动隔离套筒也可以直接制作在电机上，而平垫圈106再被套在轴上并与轴相隔着安置在电机端面与电机安装表面或炉罩之间。

如前所述，用于使电子器件的表面安装结构中的焊料回流到电路板上的对流炉以及其他形式的炉子中装有冷却段，从而构成整个处理区域的一部分。对电路板实施冷却可以使焊接节点位于熔点之上的时间最小化，并因此而使节点中的金属互化物的出现率最小化，这种金属互化物能够导致节点脆化。参看图18-20，本发明中采用了冷却单元110，用于冷却高温处理气体，并且使冷却后的气体返回处理室中并直接喷射在制品上。冷却单元在处理区域和下部增压箱的下方装配在炉框架14中。冷却单元包括一个带有入口114的外壳112，这些入口连接着通向处理室的导管。还设有快拆式接头116，用于将冷却单元夹持住，从而可以快速拆下冷却单元，以便维护或更换。冷却单元可以通过任何适宜的方式安装在框架中，例如借助于沿侧面延伸的轨道。过滤组件118、热交换单元120和吹风单元122安置在外壳中。这些单元优选设置在一个滑架124上，从而容易滑出，以便维护。吹风单元122设置得用于使冷却了的气体返回适宜的处理段中。对于水冷式热交换器，优选在冷却单元中设置一个漏水探测器，以探测系统中是否漏水。参看图21和22，集气管132、134可以用在通用吹风组件50中，以将气流汇合在一起，从而使导管数量和外壳112上的口的数量最小化。

可以在冷却段中设置一个开环压力控制器，用于在选定的冷却增压箱中维持静压的高低设置值。设置值是通过软件或硬件确定的。冷却段中的吹风电机可以通过频率控制器或以其他方式而自动改变转速，从而在达到预定设置值后保持该值。这种控制还有助于在长时间内保持固定的冷却速率。在低设置值，控制器将降低增压箱中的静态压力，从而降低喷射到制品上的气体的速度，以便在诸如MELF(圆柱形无源器件)和DCA(直接芯片贴附)等应用场合中防止电子元件在制品上移动。

也可以使用设在冷却段中的闭环压力控制器，用于在选定的冷却增压箱中维持有限的静压范围，所述范围也可以通过软件确定。在闭环控制中，冷却段中的吹风电机可以通过频率控制器或以其他方式而自动改变转速，从而维持预定的增压箱静态压力。这种控制还有助于在长时间内保持固定的冷却速率。控制器可以降低增压箱中的静态压力，以降低喷射到制品上的气体的速度，从而在诸如MELF和DCA等应用场合中防止电子元件在制品上移动。压力控制比速度控制更为可取，这是因为速度控制不能确保达到特定的压力。此外，保养周期可以延长，特别是将助溶剂从冷却段的孔板中清除所需的周期可以加长。

本发明并不局限于这里特别显示和描述的内容，而是由权利求书确定。

Claims

1.一种炉子，包括：

至少一个模块，其包含框架、安装在框架上的可拆卸的盖子、位于框架上的外侧盖板以及紧固在模块内部的绝热壳体，所述壳体中形成了一个处理区域；

输送组件，其被布置得从进入区域至排出区域延伸穿过绝热壳体中的处理区域，用于输送制品通过处理区域；

位于模块中的多个处理段，每个处理段中分别布置着至少一个增压器，用于引导气流吹向处理区域中的制品；以及

可拆卸和可更换地布置在至少一个增压器中的至少一个吹风组件，其中吹风组件能够向任何处理段提供加热、冷却、助焊剂蒸气去除、外壳换气或空载处理功能。

2.如权利要求1所述的炉子，其特征在于，增压器包含孔板，所述孔板布置得能够将气流散布到处理区域上。

3.如权利要求1所述的炉子，还包括：第二模块，所述第二模块包含第二框架、安装在第二框架上的可拆卸盖子、位于第二框架上的外侧盖板以及紧固在第二模块内部的第二绝热壳体，所述模块和第二模块被紧固在一起，输送组件被布置得从进入区域至排出区域延伸穿过模块和第二模块，所述绝热壳体和第二绝热壳体紧固在一起，从而相互结合形成了处理区域；位于第二模块中的多个处理段；分别位于每个处理段中的至少一个增压器；以及分别布置在所述至少一个增压器中的至少一个吹风组件。

4.如权利要求1所述的炉子，其特征在于，绝热壳体中还包括一层透气性材料，所述透气性材料将一种绝热材料覆盖并限定在绝热壳体的内壁上。

5.如权利要求4所述的炉子，其特征在于，透气性材料包括玻璃纤维织布。

6.如权利要求4所述的炉子，其特征在于，还包括一个其中具有通风口的罩板，所述罩板安装到壳体内部，并且其中透气性材料紧固在带有通风口的该罩板上。

7.如权利要求1所述的炉子，其特征在于，吹风组件穿过所述壳体中的开口和所述增压器中的开口密封地安装着，以使气体流动通过增压器。

8.如权利要求1所述的炉子，还包括分别与每个处理段相关的至少一个第二可拆卸吹风组件。

9.如权利要求1所述的炉子，其特征在于，吹风组件包括板件、叶轮以及安装在板件一侧的电机，所述叶轮位于安装在板件另一侧的风扇壳中，并且通过电机轴连接着电机，板件密封安装在壳体上。

10.如权利要求1所述的炉子，其特征在于，吹风组件还包括导管，用于引导气体吹向和离开相关的处理段。

11.如权利要求9所述的炉子，其特征在于，电机包含密封轴承，其以密封的方式套在电机轴上。

12.如权利要求9所述的炉子，其特征在于，电机包含另一个密封件，其位于电机端板与电机安装表面之间。

13.如权利要求9所述的炉子，其特征在于，电机包含柔顺支架。

14.如权利要求9所述的炉子，其特征在于，电机包含弹性安装套筒。

15.如权利要求9所述的炉子，其特征在于，电机包含弹性密封件，其套在电机轴上并且与电机轴相隔。

16.如权利要求8所述的炉子，其特征在于，吹风组件包含抬升手柄。

17.如权利要求1所述的炉子，还包括位于模块中的至少一个冷却段，所述冷却段包含安装在壳体内部的密封冷却增压器。

18.如权利要求17所述的炉子，其特征在于，还包括布置在框架中的冷却单元，其中构造在冷却增压器与冷却单元之间的导管用于将气体吸入冷却单元中，并将冷却了的气体从冷却单元引入冷却增压器中。

19.如权利要求17所述的炉子，其特征在于，冷却单元中还包含空气吹送装置。

20.如权利要求17所述的炉子，其特征在于，冷却单元在处理区域下方安装在框架中。

21.如权利要求17所述的炉子，其特征在于，冷却单元包含用于拆卸的快拆式紧固件。

22.如权利要求17所述的炉子，还包括位于冷却单元中的热交换器。

23.如权利要求22所述的炉子，其特征在于，热交换器可滑动地安装在冷却单元中。

24.如权利要求22所述的炉子，还包括位于外壳中的漏水探测器。

25.如权利要求17所述的炉子，还包括位于冷却单元中的过滤组件。

26.如权利要求1所述的炉子，还包括布置在处理段中的用于控制处理过程的控制器。

27.如权利要求17所述的炉子，还包括位于冷却段中的开环压力控制器。

28.如权利要求17所述的炉子，还包括位于冷却段中的闭环压力控制器。

29.如权利要求1所述的炉子，其特征在于，至少一个处理段包括加热段，所述加热段包含安装在壳体内部的密封加热增压器和布置在密封加热增压器中的加热组件，所述加热组件用于引导加热了的气体吹向加热段中的位于输送组件上的处理区域。

30.一种炉子，包括：

至少一个模块，其包含框架、安装在框架上的可拆卸盖子、位于框架上的外侧盖板以及紧固在模块内部的绝热壳体，所述壳体中形成了处理区域；

位于模块中的多个处理段，其中至少一个处理段包括冷却段，所述冷却段中包含安装在壳体内部的密封冷却增压器；以及

布置在框架中的冷却单元，其中构造在密封冷却增压器与冷却单元之间的导管用于将气体引入冷却单元中，并将冷却了的气体从冷却单元引入密封冷却增压器中。

31.如权利要求30所述的炉子，其特征在于，冷却单元在处理区域下方安装在框架中。

32.如权利要求30所述的炉子，其特征在于，冷却单元中还包含空气吹送装置。

33.如权利要求30所述的炉子，还包括位于冷却单元中的热交换器。

34.如权利要求33所述的炉子，其特征在于，热交换器可滑动地安装在冷却单元中。

35.如权利要求30所述的炉子，还包括位于冷却单元中的过滤组件。

36.如权利要求30所述的炉子，还包括连接着热交换器的漏水探测器。