DE102021118835B4 - Lüftermodul für eine Lötanlage, insbesondere für eine Reflowlötanlage und Reflowlötanlage - Google Patents

Lüftermodul für eine Lötanlage, insbesondere für eine Reflowlötanlage und Reflowlötanlage Download PDF

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Abstract

Lüftermodul (26) für eine Lötanlage (10), insbesondere für eine Reflowlötanlage, zur Umwälzung von Luft in einem Prozesskanal (16) der Lötanlage (10), mit einem gehäuseartigen Trägerteil (31), mit einem ersten, im oder am Trägerteil (31) vorgesehenen Wellenlager (32), mit einem Motor, der einen Stator (34) und einen mit dem Stator (34) zusammenwirkenden Rotor (38) umfasst, mit einer am Rotor (38) vorgesehenen Rotorwelle (36), mit einem an der Rotorwelle (36) vorgesehenen Lüfterrad (50) und mit einem zweiten Wellenlager (42) zur Lagerung der Rotorwelle (36), dadurch gekennzeichnet, dass das Lüftermodul (26) eine Flanschplatte (30) umfasst, die im montierten Zustand eine Kanalöffnung (72) im Prozesskanal (16) abdeckt und die einen Durchbruch (40) umfasst, in oder an dem das zweite Wellenlager (42) vorgesehen ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Lüftermodul für eine Lötanlage, insbesondere für eine Reflowlötanlage, zur Umwälzung von Luft in einem Prozesskanal der Lötanlage, mit einem gehäuseartigen Trägerteil, mit einem ersten, im oder am Trägerteil vorgesehenen Wellenlager, mit einem Motor, der einen Stator und einen mit dem Stator zusammenwirkenden Rotor umfasst, mit einer am Rotor vorgesehenen Rotorwelle, mit einem an der Rotorwelle vorgesehenen Lüfterrad und mit einem zweiten Wellenlager zur Lagerung der Rotorwelle. Beim bekannten Stand der Technik befindet sich das zweite Wellenlager an einem separaten Lagerschild, welches am Trägerteil befestigt ist und den Motor gegenüber der Umwelt abkapselt.
  • Mittels Reflowlötanlagen, wie sie beispielsweise aus der DE 10 2019 128 780 A1 oder der US 2001/0055740 A1 bekannt sind, werden insbesondere sogenannte SMD-Bauteile (Surface Mounted Devices) mittels Lotpaste auf die Oberfläche von Leiterplatten aufgelötet. Die Lotpaste, die insbesondere eine Mischung aus Lotmetallgranulat, Flussmittel und pastösen Bestandteilen ist, wird zum Reflowlöten auf die Oberfläche der Leiterplatten aufgetragen oder aufgedruckt. Anschließend werden die zu lötenden Bauteile in die Lotpaste gesetzt. Im Reflowlötprozess wird das Lötgut, also die Baugruppe bestehend aus Leiterplatte, Lotpaste und zu verlötenden Bauteilen, entlang des Prozesskanals in der Vorheizzone vorgewärmt und in der Lötzone auf eine Temperatur aufgeheizt, welche oberhalb des Schmelzpunktes der Lotpaste liegt. Dadurch schmilzt die Lotpaste und die Lötstellen bilden sich aus. In der Kühlzone wird das Lötgut abgekühlt, bis das aufgeschmolzene Lot erstarrt, bevor es aus der Reflowlötanlage entnommen wird.
  • Bei Reflowlötanlagen werden im Prozesskanal das in der jeweiligen Zone erforderliche Temperaturprofil und entsprechende Atmosphären bereitgestellt. Ferner bilden sich im Prozesskanal Prozessgase, die aus dem Prozesskanal abgeführt, gereinigt und wieder zugeführt werden.
  • Mit den eingangs genannten Lüftermodulen wird im Prozesskanal eine definierte Luftströmung erzielt. Insbesondere wird das Prozessgas abgeleitet, durch einen Filter mit Kondensator hindurchgeleitet und dem Prozesskanal wieder zugeführt. Der Prozesskanal als solcher wird durch den Prozesskanal bildende Kanalbauteile, wie beispielsweise isolierte Kanalbleche, bereitgestellt.
  • In bekannten Lötanlagen - wie beispielsweise in der von der Anmelderin zum Zeitpunkt der Anmeldung vertriebenen Maschine Ersa HOTFLOW® 3 - finden Lüftermotoren Verwendung, die an der Außenseite von den Prozesskanal bildenden Kanalbauteilen oder Flanschplatten angeflanscht sind. Die Kanalbauteile oder Flanschplatten weisen dabei einen Durchbruch mit einer Radialwellendichtungen auf, durch die die Rotorwelle des Lüftermotors ragt, so dass sich das Lüfterrad innerhalb des Prozesskanals befindet. Dabei muss die Positionierung der Lüftermotoren gegenüber den Kanalbauteilen oder den Flanschplatten vergleichsweise genau erfolgen, damit die jeweilige Rotorwelle koaxial zur jeweiligen Radialwellendichtungen verlaufend angeordnet ist. Zudem ist nach dem Hindurchführen der Rotorwelle durch die Kanalbauteile bzw. die Flanschplatte das Lüfterrad am freien Ende der Rotorwelle anzubringen. Sollte die jeweilige Rotorwelle und die zugehörige Radialwellendichtungen nicht koaxial verlaufen, so kann es zu einem ungewollten und gefährlichen Austritt von Prozessgas aus dem Kanal kommen. Auch das Anbringen des Lüfterrads am freien Ende der Rotorwelle ist mit erheblichem Aufwand verbunden.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Lüftermodule und eine Lötanlage mit Lüftermodulen bereitzustellen, die eine einfache und dennoch funktionssichere Montage und Anordnung der Lüftermodule ermöglichen.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Lüftermodul mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1.
  • Folglich ist also insbesondere vorgesehen, dass das Lüftermodul eine Flanschplatte umfasst, die im montierten Zustand eine Kanalöffnung im Prozesskanal abdeckt und die einen Durchbruch umfasst, in dem das zweite Wellenlager und insbesondere auch ein Wellendichtring, beispielsweise ein Radialwellendichtring, zur Abdichtung der Rotorwelle vorgesehen sind. Dadurch, dass die Flanschplatte vorgesehen ist, entfällt eine Zentrierung der Lüftermodule an den Kanalbauteilen der Lötanlage. Dadurch, dass die Flanschplatte das zweite Wellenlager und insbesondere auch die Wellendichtung umfasst, kann das Lüftermodul durch Einsetzen der Flanschplatte in die Kanalöffnung auf einfache Art und Weise montiert werden. Das Einsetzen der Flanschplatte in die Kanalöffnung ist dabei vergleichsweise einfach, weil hier keine genauen Fertigungstoleranzen bzw. keine Ausrichtung hin zu einer Achse oder Welle erforderlich ist. Insgesamt wird dadurch die Montage und der Zusammenbau der als eigene Einheiten handhabbaren Lüftermodule erheblich vereinfacht. Zudem wird stets gewährleistet, dass die Rotorwelle koaxial zum Durchbruch und insbesondere auch zur Wellendichtring ausgerichtet ist, da das Lüftermodul als eigene Einheit vormontiert zum Einbau in die Lötanlage bereitgestellt werden kann.
  • Ferner ist vorteilhaft, wenn die Flanschplatte sich in senkrecht zur Rotorwelle erstreckenden Richtungen größer ausgebildet ist als das Lüfterrad. Da die Flanschplatte mit der Kanalöffnung korrespondiert, wird dadurch erreicht, dass das Lüfterrad auf einfache Art und Weise in die Kanalöffnung, und damit in den Prozesskanal, eingesetzt und herausgenommen werden kann. Eine Montage des Lüfterrads innerhalb des Prozesskanals entfällt.
  • Ferner ist vorteilhaft, wenn die Flanschplatte Öffnungen zum Zu- und Abführen von Prozessgasen aufweist. Beispielsweise kann gefiltertes Prozessgas durch eine Öffnung in den Prozesskanal eingeleitet werden und verunreinigtes Prozessgas aus einer anderen Öffnung herausgeleitet werden.
  • Weiterhin ist vorteilhaft, wenn die Flanschplatte, insbesondere auf der dem Prozesskanal zugewandten Seite eine Dichtung zur Abdichtung der Flanschplatte gegen den Prozesskanal bildende Kanalbauteile aufweist. Die Dichtung kann beispielsweise als umlaufende, geschlossene Ringdichtung oder auch als Lippendichtung ausgebildet sein. Dadurch wird gewährleistet, dass nach dem Einsetzen der Flanschplatte in die Kanalöffnung kein Prozessgas zwischen Flanschplatte und Kanalöffnung austreten kann.
  • Weiterhin ist vorteilhaft, wenn die Flanschplatte Verriegelungsabschnitte zur Befestigung an dem den Prozesskanal bildenden Kanalbauteile aufweist. Derartige Verriegelungsabschnitte können beispielsweise Bohrungen, Aussparungen, Gewindeabschnitte, Gewindebolzen, Schnellverschlüsse oder dergleichen sein.
  • Weiterhin ist vorteilhaft, wenn die Flanschplatte Befestigungsabschnitte zur Befestigung von Heizelementen und/oder von weiteren sich im Prozesskanal befindenden Bauteile aufweist. Je nach Art und Ausbildung der Heizelemente bzw. der sich weiteren im Prozesskanal befindenden Bauteile kann die Flanschplatte entsprechend ausgebildete Befestigungsabschnitte wie beispielsweise flache Ebenen, Hinterschnitte, Bohrungen, Haken, Gewinde etc. aufweisen.
  • Weiterhin ist denkbar, dass die Flanschplatte auf der dem Stator abgewandten Seite, also auf der dem Prozesskanal zugewandten Seite, eine Isolierung aufweist. Die Isolierung erstreckt sich dabei vorzugsweise weitestgehend über die gesamte Innenseite der Flanschplatte und kann als Isolierplatte ausgebildet sein. Durch die Isolierung kann ein kontrolliertes Erwärmen oder auch Abkühlen des Prozessgases erreicht werden.
  • Weiterhin ist von Vorteil, wenn die Flanschplatte auf der dem Stator abgewandten Seite ein Trennblech aufweist, das den inneren Raum des Prozesskanals von einem Saugraum bzw. Saugkanal trennt. Dabei kann die Isolierung zwischen der Flanschplatte und dem Trennblech vorgesehen sein. Durch Vorsehen eines solchen Trennbleches kann beispielsweise innerhalb des Prozesskanals ein Saugkanal bereitgestellt werden, über den gefiltertes Prozessgas angesaugt werden kann. Zudem kann das Lüftermodul ohne Demontage des Lüfterrads demontieren werden, obwohl ein Saugkanal zwischen Flanschplatte und Lüfterrad vorgesehen ist.
  • Ferner ist vorteilhaft, wenn das Trennblech einen weg von der Flanschplatte weisenden, umlaufenden Kragen zur Führung des Luftstroms hin zum Lüfterrad aufweist. Der Kragen ist vorzugsweise im Querschnitt gerundet ausgebildet und verläuft wenigstens abschnittsweise entlang einer Kreisbahn. Über einen derartigen Kragen kann das Prozessgas vorteilhaft dem Lüfterrad zugeführt werden.
  • Dabei ist vorteilhaft, wenn das Lüfterrad einen mit dem Kragen korrespondierenden umlaufenden Bund aufweist. Der umlaufende Bund kann dabei entsprechend dem Kragen im Längsschnitt gerundet ausgebildet sein und wenigstens abschnittsweise entlang einer Kreisbahn verlaufen. Vorzugsweise geht der umlaufende Kragen im Längsschnitt in den umlaufenden Bund über. Auch hierdurch kann eine Optimierung des Luftstroms innerhalb des Lüftermoduls erreicht werden.
  • Weiterhin ist vorteilhaft, wenn die Flanschplatte im Druckgussverfahren hergestellt ist. Eine derart hergestellte Flanschplatte kann auf vergleichsweise kostengünstige Art und Weise bereitgestellt werden und den an die Flanschplatte genannten Anforderungen gerecht werden.
  • Die eingangs genannte Aufgabe wird ebenfalls gelöst durch eine Lötanlage, insbesondere durch eine Reflowlötanlage, mit einem oder mehreren erfindungsgemäßen Lüftermodulen.
  • Weitere Einzelheiten und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind der nachfolgenden Beschreibung zu entnehmen, anhand derer ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher beschrieben und erläutert ist.
  • Es zeigen:
    • 1 eine Ansicht auf eine Reflowlötanlage;
    • 2 ein Lüftermodul der Reflowlötanlage nach 1 in isometrischer Ansicht;
    • 3 das Lüftermodul gemäß 2 in Seitenansicht;
    • 4 einen Längsschnitt durch das Lüftermodul gemäß 3 entlang der Linie IV; und
    • 5 einen Längsschnitt durch ein in der Reflowlötanlage nach 1 verbautes Lüftermodul.
  • In der 1 ist eine Lötanlage 10 gezeigt, die als Reflowlötanlage ausgebildet ist. Die Lötanlage 10 ist ohne eine Abdeckung gezeigt, so dass unter der Abdeckung liegende Bauteile der Lötanlage gut sichtbar sind.
  • Die Lötanlage dient zum Durchlauflöten von Lötgut und weist einen Eingang 12 und einen Ausgang 14 auf. Über den Eingang gelangt das zu lötende Lötgut in die Lötanlage 10 und über den Ausgang wird das gelötete Lötgut aus der Lötanlage 10 abgeführt. Das Lötgut wird dabei durch einen sich über die gesamte Länge der Lötanlage 10 erstreckenden Prozesskanal 16 entlang einer Transportrichtung 18 durch die Lötanlage 10 transportiert.
  • Im Prozesskanal 16 ist eine Vorheizzone 20, eine Lötzone 22 und eine Kühlzone 24 vorgesehen. Während des Betriebs der Lötanlage 10 wird das Lötgut, also die mit Lötpaste versehene und mit elektronischen Bauteilen bestückte Leiterplatte, zunächst in der Vorheizzone 20 aufgeheizt auf eine Temperatur, die unterhalb der Schmelztemperatur der Lötpaste liegt. In der Lötzone 22 wird die Leiterplatte für eine bestimmte Dauer auf eine Prozesstemperatur erwärmt, welche oberhalb des Schmelzpunktes der Lötpaste liegt, so dass diese in der Lötzone schmilzt, um die elektrischen Bauteile mit der Leiterplatte zu verlöten. In der Kühlzone 24 wird das Lötgut abgekühlt, so dass das flüssige Lot erstarrt, bevor das Lötgut am Ausgang 14 der Lötanlage 10 entnommen wird.
  • Wie aus 1 deutlich wird, sind an der Oberseite des Prozesskanals 16 mehrere Lüftermodule 26 vorgesehen. Entsprechend sind ebenfalls an der Unterseite des Prozesskanals 16 Lüftermodule 26 vorgesehen, die in der Ansicht gemäß 1 vom Prozesskanal 16 verdeckt, und deshalb nicht zu sehen sind. Mit den Lüftermodulen 26 kann im Prozesskanal 16 in den jeweiligen Zonen 20, 22, 24 eine definierte Belüftung bzw. Luftströmung zur Erzielung einer jeweils vorzusehenden Atmosphäre bereitgestellt werden.
  • Die in der 1 gezeigten Lüftermodule 26 sowie die in der 1 nicht zu sehenden, an der Unterseite des Prozesskanals 16 vorgesehenen Lüftermodule, sind jeweils identisch aufgebaut.
  • Eines dieser Lüftermodule 26 ist in den 2, 3 und 4 als Einzelmodul gezeigt. Wie aus den 2, 3 und 4 deutlich wird, weist das Lüftermodul 26 eine Abdeckung 28 auf, die auf einer Flanschplatte 30 sitzt. Unter der Abdeckung 28 ist, wie aus dem Schnitt gemäß 4 deutlich wird, ein gehäuseartiges Trägerteil 31 vorgesehen, in dem ein erstes Wellenlager 32 vorgesehen ist. Ferner ist im Trägerteil 31 ein Stator 34 befestigt, der mit einem an einer Rotorwelle 36 drehfest angeordneten Rotor 38 elektromotorisch zusammenwirkt. Die Rotorwelle 36 erstreckt sich dabei entlang einer Drehachse 37. Der Stator 34 kann elektromagnetische Spulen und der Rotor 38 kann mit den Spulen zusammenwirkende Magnete, Käfige oder Blechpakete vorsehen. Die Anordnung ist dann derart, dass bei einer Bestromung der Spulen eine Drehung des Rotors 38, und damit der Rotorwelle 36, erfolgt.
  • Wie aus dem Schnitt gemäß 4 deutlich wird, weist die Flanschplatte 30 einen Durchbruch 40 auf, durch den sich die Rotorwelle 36 hindurch erstreckt. Im Durchbruch 40 ist ein zweites Wellenlager 42 vorgesehen, welches gemeinsam mit dem ersten Wellenlager 32 letztlich die Rotorwelle 36 lagert. Im Durchbruch 40 ist neben dem Wellenlager 42 eine Wellendichtung 44 zur Abdichtung des Stators 34 und Rotors 38 vorgesehen. Eine weitere Wellendichtung 45 ist zwischen dem Trennblech 46 und der Isolierplatte 60 vorgesehen.
  • Bei der in der Figur gezeigten Ausführungsform ist die Wellendichtung 44 auf der dem ersten Wellenlager 32 zugewandten Seite des zweiten Wellenlagers 42 vorgesehen; gemäß der Erfindung ist auch denkbar, dass die Wellendichtung 44 auf der dem ersten Wellenlager 32 abgewandten Seite des zweiten Wellenlagers 42 angeordnet ist.
  • Die Flanschplatte 30 ist so ausgebildet, dass sie im montierten Zustand, der in 1 und 5 gezeigt ist, eine Kanalöffnung im Prozesskanal 16 vollständig abdeckt und verschließt. Zur sicheren Abdichtung des Prozesskanals weist die Flanschplatte 30 auf ihrer dem Stator 34 abgewandten Seite eine Dichtung 46 auf, die als in einer Nut 48 liegende, umlaufende Ringdichtung ausgebildet ist.
  • Wie weiter aus insbesondere 4 deutlich wird, ist an der Rotorwelle 36, auf der dem ersten Wellenlager 32 abgewandten Seite, ein Lüfterrad 50 drehfest an der Rotorwelle 36 angeordnet. Durch Drehen der Rotorwelle 36 wird folglich eine Luftströmung über das Lüfterrad 50 erzeugt.
  • Dabei ist die Flanschplatte 30 in senkrecht zur Rotorwelle 36 verlaufender Richtung größer ausgebildet als das Lüfterrad 50. Die Flanschplatte 36 steht folglich mit ihrem äußeren Rand 52 in radialer Richtung über das Lüfterrad 50 über. Dadurch wird sichergestellt, dass das Lüftermodul 26 in eine Kanalöffnung im Prozesskanal 16 eingesetzt werden kann, welche dann im montierten Zustand von der Dichtung 46 prozesssicher abgedichtet wird.
    Wie weiter aus den 2, 3 und 4 deutlich wird, ist ein das Lüfterrad 50 in radialer Richtung umgebendes Heizelement 54 vorgesehen. Das Heizelement 54 verläuft dabei entlang einer Schraubenlinie und kann insbesondere als Widerstandsheizelement ausgebildet sein. Das Heizelement ist dabei vorzugsweise an der Flanschplatte 30 befestigt.
  • Wie aus der Ansicht gemäß 2 deutlich wird, weist die Flanschplatte 30Öffnungen 56 auf, die zur Zuführung und/oder Abführung von Prozessgas dienen. Ferner sind an der Flanschplatte 30 Verriegelungsabschnitte 58 vorgesehen, mittels welchen die Flanschplatte 30, und damit das gesamte Lüftermodul 26, an den Prozesskanal 16 bildenden Kanalbauteilen befestigt werden kann. Gemäß 2 weisen die Verriegelungsabschnitte 58 Löcher auf, durch welche Befestigungsschrauben hindurchgeführt werden können.
  • Die Flanschplatte 30 weist auf der dem Stator abgewandten Seite eine Isolierplatte 60 auf, um den Prozesskanal 16 hin zur Außenseite thermisch zu isolieren. Ferner ist an der Flanschplatte 30 ein Trennblech 62 vorgesehen, das den Innenraum des Prozesskanals 16 von einem durch das Trennblech 62 gebildeten Saugkanal 64 abtrennt. Wie insbesondere aus den 3 und 4 deutlich wird, liegt die Isolierplatte 60 zwischen der Flanschplatte 30 und dem Trennblech 62.
  • Wie weiter insbesondere aus 3 und 4 deutlich wird, ist am Trennblech 62 ein sich hin zum Lüfterrad 50 erstreckender, umlaufender Kragen 66 vorgesehen, der zur Führung des Luftstroms hin zum Lüfterrad 50 dient. Der Kragen 66 ist, wie insbesondere aus den 3 und 4 deutlich wird, im Längsschnitt gerundet ausgebildet.
  • Das Lüfterrad weist einen mit dem Kragen 66 korrespondierenden, umlaufenden Bund 68 auf, der entsprechend dem Kragen 66 gerundet ausgebildet ist. Hierdurch wird eine vorteilhafte Luftströmung vom Kragen 66 hin zum Bund 68 erreicht. Im Betrieb dreht sich der Bund 68, im Gegensatz zum Kragen 66, zusammen mit dem Lüfterrad 50.
  • In der 5 ist die Einbausituation eines Lüftermoduls 26 in der Lötanlage 10 im Schnitt gezeigt, wobei einige Bauteile des Lüftermoduls 26 der Übersichtlichkeit halber nicht dargestellt sind. Deutlich zu erkennen ist, dass die Flanschplatte 30 mit der Dichtung 46 dichtend an Kanalbauteilen 70 anliegt. Die Flanschplatte 30 verschließt dabei eine Kanalöffnung 72, durch welche das Lüfterrad in dem Prozesskanal 16 hindurchragt. Dabei liegt die Isolierplatte 60 zur thermischen Isolierung innerhalb der Kanalöffnung 72. Ferner ist erkennbar, dass das Trennblech 62 in einer Ebene mit weiteren, den Saugraum 64 bildenden Kanalblechen 74 liegt. Im Prozesskanal 16 sind zudem Diffusorbleche 76 erkennbar, welche eine gleichmäßige Luftströmung im Prozesskanal bereitstellen sollen.
  • Das beschriebene Lüftermodul 26 kann auf einfache Art und Weise in die Lötanlage 10 ein- und ausgebaut werden. Dazu wird die Flanschplatte 30 auf die jeweils vorzusehende Kanalöffnung 72 aufgesetzt, so dass das Lüfterrad 50 mit den Heizelementen 52 in den Prozesskanal 16 ragt. Danach ist das Lüftermodul 26 lediglich mit den Verriegelungsabschnitten 58 an den Kanalbauteilen 70 zu befestigen und die elektrischen Verbindungen sind herzustellen. Eine exakte Ausrichtung oder Justierung der Rotorwelle 36 oder der Wellendichtungen 44, 45 ist nicht erforderlich, da das gesamte Modul 26 als vorgefertigte Einheit in die Lötanlage 10 eingesetzt werden kann. Auch dann, wenn wie in 1 gezeigt, eine Vielzahl von Lüftermodulen 26 Verwendung finden, können diese vergleichsweise schnell montiert oder demontiert werden. Ein aufwendiges Ausrichten und Abdichten der Rotorwelle 36 beim Einbau in die Anlage 10 ist nicht erforderlich.

Claims (13)

  1. Lüftermodul (26) für eine Lötanlage (10), insbesondere für eine Reflowlötanlage, zur Umwälzung von Luft in einem Prozesskanal (16) der Lötanlage (10), mit einem gehäuseartigen Trägerteil (31), mit einem ersten, im oder am Trägerteil (31) vorgesehenen Wellenlager (32), mit einem Motor, der einen Stator (34) und einen mit dem Stator (34) zusammenwirkenden Rotor (38) umfasst, mit einer am Rotor (38) vorgesehenen Rotorwelle (36), mit einem an der Rotorwelle (36) vorgesehenen Lüfterrad (50) und mit einem zweiten Wellenlager (42) zur Lagerung der Rotorwelle (36), dadurch gekennzeichnet, dass das Lüftermodul (26) eine Flanschplatte (30) umfasst, die im montierten Zustand eine Kanalöffnung (72) im Prozesskanal (16) abdeckt und die einen Durchbruch (40) umfasst, in oder an dem das zweite Wellenlager (42) vorgesehen ist.
  2. Lüftermodul (26) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in oder an dem Durchbruch (40) eine Wellendichtung (44) zur Abdichtung der Rotorwelle (36) vorgesehen ist.
  3. Lüftermodul (26) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Flanschplatte (30) in senkrecht zur Rotorwelle (36) erstreckenden Richtungen größer ausgebildet ist als das Lüfterrad (50).
  4. Lüftermodul (26) nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Flanschplatte (30) Öffnungen (56) zum Zu- und Abführen von Prozessgas aufweist.
  5. Lüftermodul (26) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Flanschplatte (30) eine Dichtung (46) zur Abdichtung der Flanschplatte (30) gegen den Prozesskanal (16) bildende Kanalbauteile (70) aufweist.
  6. Lüftermodul (26) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Flanschplatte (30) Verriegelungsabschnitte (58) zur Befestigung an dem den Prozesskanal (16) bildenden Kanalbauteile (70) aufweist.
  7. Lüftermodul (26) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Flanschplatte (30) Befestigungsabschnitte zur Befestigung von Heizelementen (54) und/oder von weiteren sich im Prozesskanal befindenden Bauteile aufweist.
  8. Lüftermodul (26) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Flanschplatte (30) auf der dem Stator (34) abgewandten Seite eine Isolierung (60) aufweist.
  9. Lüftermodul (26) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Flanschplatte (30) auf der dem Stator (34) abgewandten Seite ein Trennblech (62) aufweist, das den Innenraum des Prozesskanals (16) von einem Saugkanal (64) trennt.
  10. Lüftermodul (26) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Trennblech (62) einen weg von der Flanschplatte (30) weisenden, umlaufenden Kragen (66) zur Führung des Luftstromes hin zum Lüfterrad (50) aufweist.
  11. Lüftermodul (26) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass Lüfterrad (50) ein mit dem Kragen korrespondierenden, umlaufenden Bund (68) aufweist.
  12. Lüftermodul (26) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Flanschplatte (30) im Druckgussverfahren hergestellt ist.
  13. Lötanlage (10), insbesondere Reflowlötanlage, mit einem oder mehreren Lüftermodulen (26) nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche.
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