CN1270672A

CN1270672A - 用于集成电路测试系统的生产界面

Info

Publication number: CN1270672A
Application number: CN98809199A
Authority: CN
Inventors: 丹尼尔C·普罗斯考尔
Original assignee: Teradyne Inc
Current assignee: Teradyne Inc
Priority date: 1997-09-16
Filing date: 1998-08-03
Publication date: 2000-10-18
Anticipated expiration: 2018-08-03
Also published as: US5828674A; EP1012614B1; JP2001516885A; CN1192243C; DE69828800D1; US5938781A; WO1999014609A1; DE69828800T2; KR20010024015A; EP1012614A1

Abstract

使用自含式ActiveX控件创建一种生产操作者界面,其中每个ActiveX控件提供到整个测试系统的一个特定部分的接口。这些控件自动地相互通信。该生产界面使用ActiveX“测试器控件”,其提供到软件控制系统的其它部分的应用编程接口。提供一个自含式ActiveX控件库,其包含可以被“拖放”到操作者窗口中的“操作者控件”,从而向操作者提供信息和控制测试系统的能力。此外,半导体测试系统需要适于与一个或多个不同的封装器件操作装置或晶片探测器协同工作,其中操作装置或晶片探测器用于放置半导体器件来由测试器进行测试。ActiveX操作者控件允许操作者从操作装置驱动程序库中选择操作装置驱动程序。

Description

用于集成电路测试系统的生产界面

本发明涉及用于半导体制造中的自动测试设备，具体涉及测试系统的生产界面和操作装置驱动程序。

自动测试设备被广泛用于半导体制造过程。通常，在制造过程中，半导体至少测试一次；而有时，要完成更多步测试。由于每一个元件都要测试，对于半导体制造的经济性来说，快速测试至关重要，测试速度慢会阻碍生产半导体元件所需的昂贵生产设备的充分利用。现代半导体元件非常复杂，并且存在许多操作状态。必须逐一经过这些操作状态，才能完成整个测试过程。因此，采用自动测试设备将测试数据分配给一个半导体器件，并在生产过程中非常快速地进行大量测量。

图1示出了现有的一种通用自动测试系统。为了实现全面快速测试，该自动测试系统通常包含：一个测试器主体112、一个计算机工作站110和一个操作装置114。计算机工作站110同时控制操作装置114和测试器主体112。它控制操作装置114将半导体器件(图中未示出)定位在与测试器主体112上的大量测试探针118接触的位置。通常，一个测试器会包括一个含有测试探针118的独立的测试头。然而，这个特点对于本发明并不重要。

然后，计算机工作站110控制测试器主体112对测试中的器件进行一系列测试。每个测试过程通常都包含一个设置部分，在该设置部分控制信号从计算机工作站110传输到测试主体112。控制信号通常是通过总线116传输的数字信号，它配置测试主体112的硬件以便为测试过程进行所需的测量。根据控制信号，测试主体112的硬件提供激励并测量在测器件的响应。

如图1所示，测试主体112的硬件包含大量表示为引脚124的电路。每个引脚124均产生信号或对测试探针118的某一个进行测量。每个引脚124均可提供或测量静态信号或直流信号。另外，每个引脚124可以提供或测量有时称为“脉冲串”的交替数据。

在一个脉冲串期间，测试主体112由时序电路120控制。时序电路120使得每个引脚124从相关的存储器128读取一个数据值序列。每个数据值均表示引脚在特定点的对应测试探针118上随时使用的或准备测量的信号的信号类型。如果该引脚将测量值和一个期望值作比较，其比较结果也可被存入存储器128。

所有引脚124在某一时刻应提供的数值或希望测量的数值由数据值集定义，该数据值集被称作“向量”。在一个脉冲串期间，要执行许多向量。这些向量必须以很高的速率执行，以便模拟在测器件的实际操作条件。测试半导体器件所需的脉冲串通常需要有几百万个向量来定义。当设定测试系统测试某种特定类型的元件时，将这些向量按特定方式装载到存储器128。该装载过程可能持续几分钟，并且对每个脉冲串只装载一次。相反地，对每个脉冲串，计算机工作站110发送命令指明哪些向量作为脉冲串的一部分将被执行。一旦该脉冲串结束，计算机工作站110就从存储器128或时序电路120读取脉冲串的结果。

此外，测试器主体112包括一个或多个测试仪器126。一个测试仪器126完成某个特定的测试功能。例如，它可以产生一个特定的测试信号，如正弦波信号。另一方面，测试仪器126可以以高速率采样信号，这样该信号随后就能由数字信号处理器进行分析。这些功能可以作为脉冲串的一部分被执行，也可以独立于脉冲串执行。

对一个元件的完整测试，有时称为一个“作业”，它包含一系列间或有直流测量值或测试仪器126所得测量值的脉冲串。这些脉冲串可用于测量在测器件的特定功能特性。另一方面，每一个脉冲串仅能将在测器件置于可获得直流测量值的状态。执行这些测试环节命令的过程，常常称为“流程”，它由计算机工作站110的软件监控。

一旦，一个器件完成全面测试，或在确定有缺陷的点完成测试后，则计算机工作站110向操作装置114发送控制信号，然后操作装置114将下一个要测试的器件送到测试主体112并重复上述过程。计算机工作站110还采集有关特定器件合格或不合格的数据，并且能够处理此数据以便丢弃有缺陷的器件，或者完成诸如对具有不合格趋势的数据进行分析的其它功能。

对生产来说，帮助操作者控制测试器的软件如果易于学习和使用将是非常有益的。生产测试环境所需的是一个非常简单的操作者界面，它能连接测试系统的其它部分。此外，该界面必须具有灵活性并易于修改，因为每个用户对这个界面都有不同的要求。

本发明提供了一种方法能够创建简单的而又非常灵活的用于测试系统的操作者界面。生产操作者界面是用自含式ActiveX控件创建的，每个控件提供了到整个测试系统中某个特定部分的接口。这些控件相互之间自动地进行通信。生产界面使用了ActiveX“测试器控件”，它为软件控制系统的其它部分提供了应用编程接口。本发明还提供一个自含式ActiveX控件库，它含有“操作者控件”，该控件能被“拖放”到操作者窗口以向操作者提供信息并使操作者能控制测试系统。该ActiveX操作者控件通过ActiveX测试器控件连接到测试系统的其它部分。

此外，半导体测试系统还需要能适于与一个或多个不同的封装器件操作装置或晶片探测器协同工作，它们是用来放置半导体器件以便于测试器进行测试。ActiveX操作者控件允许操作者从操作装置驱动程序库里选择操作装置驱动程序。每个操作装置驱动程序使用了一个ActiveX操作装置测试器控件，它用作操作装置和ActiveX测试器控件之间的接口(从而也就将操作装置连接到测试系统的其它部分)。

图1是现有技术测试器的硬件框图。

图2是本发明生产界面的功能框图。

图3是一个非常简单的产品操作者界面的例子。

图2是本发明整个测试系统的详细功能框图。这个系统包括PC工作站2000，测试器2002，操作装置2004和主机2006。工作站2000的软件包括生产界面2008和测试开发和执行程序2010(一般称为软件控制系统)。

生产界面2008用作操作者与测试开发和执行程序2010，主机2006以及操作装置2004之间的接口。为了能在生产测试环境中控制该设备，有必要为设备操作者提供一个简单的控制界面。然而，不同的用户对该界面有许多不同的要求，甚至同一个用户在不同的位置也会有不同的要求。此外，测试设备还经常因有各种不同需要而必须与其它计算机控制系统相交互。提供一种简单而又具有灵活性，能符合所有用户需要，并且可以与其它计算机控制程序相交互的界面是一个非常困难的问题。在此之前都是用C/C++实现。

生产界面2008通过使用以下称之为“控件”的自含式控制对象解决了这个问题，每个这种控件都提供了到整个测试系统的一个特定部分的接口，其中整个测试系统包括测试开发和执行程序2010，主机2006和操作装置驱动程序2024。这些控件相互之间自动地进行通信。

在优选实施例中，这些控件都是用来自Microsoft Corporation ofRedmond，WA的Visual Basic(以下称为VB)编写的“ActiveX”控件。用Visual Basic能很快也很容易地将这些控件结合到图形用户界面(GUI)当中，也可以在不用GUI时作为编程接口使用。该ActiveX控件允许操作者启动测试开发和执行程序2010，主机2000或操作装置2004中的一个动作。操作者在产品测试过程中使用了一个ActiveX控件与执行器2016通信。此外，操作者还可以通过操作装置2004和主机2006启动其它伴随动作，或者生产界面能响应操作装置2004或主机2006的请求自动地启动测试开发和执行程序2010中的动作(通过执行器2016)。

ActiveX控件接口由属性，事件和方法所定义。方法是Visual Basic的函数，它能在控件里调用。函数可以带参数并返回值，与C/C++库中的函数定义相类似。属性基本上是控件里的全局变量，对其值的读取和/或设置是由访问函数提供的。属性在设计时和运行时都是可编程的，VB自动地处理将被设定的属性值作为生产界面执行程序的一部分保存下来这一过程。事件是由控件启动的信号，它被传递给容纳该控件的对象。如果需要，容器(在本优选实施例中是生产界面)可以包含一个该事件的处理程序。

在本优选实施例中有四种ActiveX控件：

● 测试器控件2014。向系统的其它部分提供应用编程接口(API)。

● 操作者控件2022。它们是GUI构件，使得操作者能在测试器控制台执行各种动作或察看状态。

● 操作装置测试器控件2026。它是定义了到任何操作装置2004的接口的ActiveX控件。它用作操作装置驱动程序2024与生产界面的测试器控件2014之间的单一连接点。任何包含了该控件的对象都可以被生产界面2008用作操作装置驱动程序2024。

● 主机接口控件2021。该控件将测试器控件2014API转换成用于主机2006发送或接收的标准消息。

生产控件这个词是指所有用以创建生产操作者界面和/或操作装置驱动程序的ActiveX控件。它包括测试器控件，操作者控件，操作装置测试器控件和主机接口控件。

为了在半导体生产环境中操作测试器需要有多种不同的窗口，操作者会根据所执行的测试调用相应的窗口到他的显示器上。为了创建这些窗口，程序员可以从ActiveX控件库里把控件“拖放”到操作者窗口。ActiveX控件是自含式的，所以能被拖放到任何程序中。“拖放”这个词一般指选择一个对象并把该对象放到容器中的动作。容器这个词一般指能容纳其它对象的实体。在本优选实施例中，容器是操作者窗口，被容纳的对象是ActiveX控件。其好处是可以很简单的在操作者界面中创建不同的窗口。在此之前，所有的这些窗体都要分别用C/C++编程实现，这样做难度大而且浪费时间。在半导体测试中应用ActiveX控件作为操作者控件完全是一种创新。

另一个好处是操作者工作站中的特定窗口中的ActiveX控件都互相进行交互的方式。每个ActiveX控件都被设计成能进行这样的操作：在初始化时，每个操作者控件将搜索窗口中的其它操作者控件和测试器控件，并建立与每个其它ActiveX控件的通信链路，使得每个控件都能和其它任一控件进行交互。

更进一步说明，如图3示出了生产操作者界面的一个示例。Operator Interface(操作者界面)3000包含一个测试器控件3030，一个收集显示区(bin display)3010，和一个开始按钮3020。收集显示区和开始按钮是操作者控件的例子。下面所示的是一个搜索例程的例子，它用来识别窗口中所有的收集显示区。所用的方法是遍历父窗口中所有的控件找出类型为“BinDisplay”的控件。当找到一个收集显示区时，该控件的对象句柄就被保存下来以便将来与之进行通信。此搜索例程很难确定，下面这段用Visual Basic编写的程序是已知的实现搜索的最好的方式。

′Note 1：This routine currently looks up exactly one level，it
′    should be extended to walk through an arbitrary number of
′    levels.
′Note 2：This routine is called whenever communication with a bin
′    display is needed(see note 3).Since the number of
′    controls cannot change at run time(see note 4)，for
′    optimization，if bin displays have already been found，
′    the routine simply exits.
′Note 3：This routine is called multiple times because there is not
′    an appropriate initialization event for the user control
′    when it can be called.Neither UserControl_Initialize or

      UserControl_InitProperties works for different reasons.
′    This should be corrected when possible.
′Note 4：Controls can actually be added at run time.We are assuming
′    that this will not happen.This may not strictly be a safe
′    assumption.

        Private Sub BinDisplayInit()
Dim thisControl As Object
  If Not IsEmpty(BinDisplayHandleSet)Then Exit Sub
  BinDisplayHandleSet＝True
  FoundBinDisplays＝False
  For Each thisControl In UserControl.Parent.Controls

    If TypeOf thisControl Is Binisplay Then

       If FoundBinDisplays Then

          ReDim Preserve BinDisplayHandle(UBound(BinDisplayHandle)-

            LBound(BinDisplayHandle)+1)

       Else

          ReDim BinDisplayHandle(1)

          FoundBinDisplays＝True

       End If

       Set BinDisplayHandle(UBound(BinDisplayHandle))＝thisControl

    End If
  Next thisControl
End Sub

下面是一个ActiveX控件如何相互通信的例子，当操作者想要启动一个测试时，他将使用操作者控件2022中的ActiveX开始控件。开始控件被编程为与ActiveX测试器控件2014中的一个方法互相通信，该方法将通过执行器2016启动测试的开始。测试程序将运行并得到结果。测试开发和执行程序2010将发回一个测试结束的指示。测试器控件2014将从执行器2016请求测试结果。然后，测试器控件2014将测试结果通知所有收集显示区。

操作者界面中所有ActiveX控件都通过ActiveX测试器控件与测试系统的其它部分相通信。只有一个测试器控件2014。

操作者控件2022还有一个ActiveX操作装置控件，它使操作者能从可用操作装置驱动程序的菜单里选择一种操作装置，与之相连，并使之可用。这里的操作装置一般是指封装器件操作装置或晶片探测器。操作装置驱动程序2024的设计是与已有技术最大不同之所在。在已有技术的测试器中，对操作装置的支持是由单个高度可配置的库组成，它试图支持所有可能的设备。实践证明这很难为用户使用。配置设备的特定部分是很复杂的工作，因为该界面中有许多可编程的设置，但只有一部分是必要的。如果新的操作装置所需的特征没有包含在库里，那么就需要对系统软件进行升级，而这不是终极用户所能做的。并且，该库还容易出现错误，因为为支持新操作装置而做的修改有可能在现存的操作装置中引入错误。

在优选实施例中，每个操作装置都有它自己的驱动程序，它只包含操作该特定操作装置必须的代码。运行时，操作该操作装置所需的驱动程序被动态地加载到生产界面中。与已有技术的方法相比它有几个重要的优点：

—由于每个驱动程序模块仅含有它所需的代码，所以它很小并且简单。

—Visual Basic开发环境使得在现场组织或用户自己能很容易地创建新的驱动程序而不需要制造商软件包的支持。优选实施例中包括了一些驱动程序，它们可以被拷贝作为起始点。

—本发明软件开发引起错误的风险几乎没有，不象单个库那样为了加入新的特征而不断的做修改。

优选实施例将提供一个操作装置驱动程序库，用户可以直接使用它，也可以以它为基础来开发新的驱动程序。开发新的驱动程序，通常从拷贝优选实施例已提供的驱动程序开始。驱动程序包含一个VB窗体，它至少含有一个操作装置测试器控件2026和对通信接口2028的调用。操作装置测试器控件2026定义了与操作装置2004的接口。用户定义的代码可以使用控件的属性，事件和方法，还能通过通信接口2028适当地对操作装置编程。

更具体地说，操作装置测试器控件2026是一个ActiveX控件，它定义了到任何操作装置2004的接口。它用作操作装置驱动程序2024与生产界面2008其它部分之间的单一连接点。任何包含了该控件的对象都可以被生产界面2008作为操作装置驱动程序2024来使用。

通信接口2028定义了测试器控件2014与其它外围设备之间的网络传输层。操作装置驱动程序2024使用了一个或多个通信接口2028对操作装置或探测器2004进行实际的读和写。

生产界面2008还有一个ActiveX主机接口控件2021，它使操作者能将主机2006连接到测试器2002。在生产场地上，测试器2002有时候要连接到主机2006，后者监控测试器状态，收集测试结果，并能直接地控制测试过程。

主机接口控件2021将测试器控件2014API转换成由主机2006发送或接收的标准消息。主机接口控件2021有两个部分。主机消息控件2030负责将测试器控件2014API转换成标准形式的消息以便主机的理解。网络接口2032进行与主机的实际网络通信。

主机消息控件2030是ActiveX控件，它等待测试器控件2014的事件，并能执行它的属性和方法。当收到需要发送消息到主机2006的测试器控件2014事件时，它产生一个描述该事件的主机消息并触发“消息就绪”事件。当利用“消息接收”方法收到来自主机2006的消息后，它访问合适的测试器控件方法和属性来执行该请求。网络接口2032由生产界面中的代码来控制，生产界面与主机消息控件进行交互。

测试开发和执行程序2010运行在Windows NT操作系统下，它由划分成组件的软件组成，它们用于1)测试开发和分析阶段，以及2)测试执行阶段。Excel工作簿308是用于程序中在测试开发和分析阶段开发测试的部分。Excel是一种允许开发应用程序的电子数据表格程序。Visual Basic内嵌在Excel中的编程语言，可用它来编写测试模板并控制测试的执行。

在优选实施例中，器件数据开发和流程开发工具310就是在Excel工作簿308中用定制的电子数据表格来实现的。有三种类型的测试数据需要在电子数据表格里说明：器件数据，测试流程数据，测试实例数据。器件数据是一些有关定时设置，通道映射，边沿设置或引脚映射的电子数据表格。每个电子数据表格都是一个数据集。测试实例数据电子数据表格规定了关于测试模板以及相关的器件数据集。一个测试模板就是一个测试算法。在优选实施例中，测试模板是用Visual Basic编写的。测试模板及相关数据集被称为“实例”。测试流程数据可以是规定了一系列将被执行的测试步骤的电子数据表格。这一系列测试步骤可能就是一系列测试模板的执行，它们每个都用到了相关的器件数据集。

总而言之，Excel电子数据表格信息312包括：器件数据集；测试实例信息，它定义了哪些模板及其相关的数据集将被使用；和测试流程信息，它定义了将被执行的测试实例的序列。

测试模板320是用Visual Basic编写的，一般由厂商提供。在生产测试的测试执行时间之前的测试开发和分析阶段，将用到器件数据与流程开发工具310，Excel工作薄312和厂商提供的测试模板320。测试模板320和Excel工作薄312还将在生产测试中用到。

在测试开发和执行程序2010中，生产测试的测试执行阶段还会用到的其它软件包括执行器2016，流程控制软件314，数据管理器316和设备驱动程序328。所有这些软件都在Windows NT操作系统环境下工作。

在优选实施例中，测试器控件2014启动测试程序的加载。Excel被启动，工作簿308被打开。数据从工作薄312输入数据管理器316。执行器2016响应测试器控件2014并调用流程控件314和仪器驱动程序328。它们向数据管理器316请求数据。现在测试已准备就绪，所有的功能都处于空闲状态。当测试程序准备运行时，测试器控件通知执行器2016启动测试过程。执行器通知流程控件314执行程序。流程控件决定哪个实例将被执行并从模板库320中调用模板。该模板向数据管理员316请求器件数据(也就是参数)然后调用驱动程序328。

设备驱动程序328向测试器2002提供信号以对待测器件(DUT)进行完全测试，或者说执行“作业”。完全测试包括对DUT的直流电平，功能性和串行/扫描测试。对半导体来说，测试器可以是当前技术水平的任何一种测试器。美国专利No.5606568就是测试器的一个例子，它被转让给相同受让人Teradyne，包含在本文中作为参考。

测试器2002完成模板测试后，将判断测试是否通过并将控制权交给流程控件314。流程控件判断是否需要执行更多的实例还是整个流程已经完成。如果流程已经结束，测试系统就进入空闲状态。

测试开发和执行模块2010在转让给相同受让人Teradyne的共同待审专利申请“LOW COST，EASY TO USE AUTOMATIC TESTSYSTEM SOFTWARE”中有更全面的说明，该申请的发明人是Daniel C.Proskauer和Predeep B.Deshpande，提交于1997年6月13日，序列号为08/874,615，其被包含在本文中作为参考。

附录A将对生产界面2008，操作装置驱动程序2024和主机接口控件2022做更为详细的说明。

包括版权在内的附录A中材料的所有权利，都属于本发明的受让人Teradyne所有。Teradyne持有并保留所有附录A中的权利，并且仅允许对该材料进行有关在该专利授权后的复制，而不能以其它目的进行复制。

本发明的优选实施例已被演示并描述，本领域技术人员可据此得到许多变化和替换实施例。因此，应仅以所附权利要求来限制本发明的范围。

附录A

IG-XL产品软件

1. 介绍 1

1.1 结构概要

1.2 开放式设计概念

1.3 ActiveX控件

2. 测试器控件 4

3. 操作者控件 6

3.1 操作装置控件

3.2 工作台控件

3.3 收集显示区控件

3.4 开始按钮控件

3.5 合格率监控器控件

4. 操作装置驱动程序 8

4.1 驱动程序模块

4.2 内置驱动程序

4.3 开发一个驱动程序

4.4 操作装置驱动程序向导

4.5 测试一个驱动程序

5. 主机接口 13

5.1 主机消息控件

5.2 网络接口

6.项目列表 15

IG-XL产品软件修订历史

1997年6月16日 Jon Vollmar：加入了ActiveX，主机控件部分

1997年5月14日 Jon Vollmar：第一个版本，基于Ed的“Aurora Production Software”相关文档“Aurora Production Software”，Ed Gilbert，8/2/96\\aurorant\aurora\Documents\Productin SW\ProposalProductionSoftware.doc介绍结构概要

本文介绍了IG-XL的产品软件。如图1所示，产品测试需要四个物理部件。测试器由一台运行IG-XL的PC及其相关测试硬件组成。操作装置把器件插入进行测试并根据测试结果将它们分类收集(注：本文中的“操作装置”应理解为“操作装置或探测器”)。最后，测试器通常连接到主机(服务器)上，该主机收集并存储测试结果，而且可能直接控制测试过程。在后一种情况中，主机经常被称为单元控制器。

图1：IG-XL生产软件

在IG-XL中，有两个Windows NT进程。Microsoft Excel是装载，运行和调试该程序的接口。在生产过程中，Excel仍然执行这些功能，只不过没有可视的窗口，除非操作者进入工程模式。

另一进程提供生产界面。这是用Microsoft Visual Basic编写的可执行程序。它是由包含在IG-XL中的称为ActiveX控件的构件块组成。有三种类型的控件：

—测试器控件，其提供到IG-XL可执行程序和作业的API

—操作者控件，它们是GUI构件，使得操作者能在测试器控制台执行各种动作或察看状态。

—主机接口控件，该控件将测试器控件的API转换成向主机发送或从主机接收的标准消息。这些标准的例子有由SEMI定义的SECS II和由Teradyne定义的SEMF。

生产界面还包括操作装置驱动程序，它含有关于如何操作特定操作装置或探测器的设备专用信息。在运行时某个驱动程序将被选取并装载。IG-XL包括了标准接口以及常用设备的驱动程序。用户也很容易创建定制的操作装置驱动程序而不用对IG-XL做任何修改。开放式设计概念

操作者界面必须很容易按用户要求定制。每个用户都希望创建他们自己的，按他们的工厂场地特制的接口。为了满足这个要求，测试器软件一般提供对大多数用户都有用的基本显示工具，然后还提供API让用户创建自己的工具。但是想要创建工具的用户不能从修改系统开始，因为重建系统软件开发环境是困难而又昂贵的，并且让它运转起来所需的接口往往是没有被输出或者提供文档说明。

选择Visual Basic使另一种不同的设计模型成为可能。VB开发环境既强大到足以开发系统软件，又容易使用和价格便宜，用户也可以使用它。

IG-XL包含了生产界面的示例，它既可以直接使用也可以拷贝和定制以后再使用。分发的标准版软件中包括了操作者控件，主机接口控件和操作装置驱动程序的源代码和文档。只要购买了Visual Basic，用户将具有象IG-XL软件包一样的能力来创建生产界面。ActiveX控件概述

ActiveX是来自Microsoft的软件技术，它用于开发独立于语言的软件成分，称为控件。用它能创建单个控件，比如说收集显示区。控件以二进制文件的形式发送，同时附随了代码和GUI信息，该控件可以加入到任何支持ActiveX的开发环境中，而与原来开发该控件的环境无关。

在Visual Basic V5.0之前，ActiveX控件是用C++开发的(称为OLE自定义控件)。ActiveX的C++接口很难使用，而且需要专业Microsoft C++/MFC程序员。VB5.0加入了创建和使用ActiveX控件的功能，并且更容易使用，使这一技术为更广范围的程序员所接受。

属性，事件和方法(Properties，Events，and Methods)

传统的C/C++库所提供的特性包括类定义，函数调用转换，如果设计不合理的话，还有全局变量。ActiveX控件接口由属性，事件和方法所定义。

方法就是控件中可以调用的Visual Basic的函数。函数可以带参数并返回值，与C/C++库的函数定义相类似。

属性基本上是控件中的全局变量，它的值由所提供的访问函数进行读取和/或设置。属性在设计时或运行时都是可编程的，VB自动地处理将被设定的属性值作为生产界面执行程序的一部分保存下来这一过程。

事件是由控件启动的信号。容器(生产界面)可以包含事件的处理程序。比如，测试器控件含有一个称为测试完成的事件，它在一个作业结束后被发送。生产界面可以有该事件的处理程序，当事件发生后它会被自动调用。测试器控件

测试器控件是到测试器的API。它用作IG-XL与外界的单独连接点。通过它，另外的控件可以装载并运行程序和接收结果。一个生产界面必须有且仅有一个测试器控件。有关测试器控件接口的文档会发给用户，但它的源代码不会给用户，因为不想把它到Excel和exec的连接透露给普通用户。

属性

● 程序名

● 程序状态一已装载，已验证，运行，中断

● DIB ID

● 探针卡ID

● 收集结果

● 工程模式口令

● 批量ID

● 晶片坐标

● 操作者姓名

● 活动位置列表—正进行测试的位置映射表

● 最大位置—程序的通道映射表中位置的数量

● 校准状态

● 程序句柄—允许在程序和用户控件之间任意调用

事件：

● 操作者登录/退出

● 装载开始

● 装载结束

● 装载异常中止

● 测试开始

● 测试结束

● 测试异常中止

● 校准开始

● 校准结束

● 校准异常中止

● 开始新的批量

● 批量结束

● 晶片开始

● 晶片结束

● 作业删除

方法：

● 操作者登录/退出

● 装载测试程序

● 删除测试程序

● 开始一个批量

● 结束一个批量

● 测试单个器件

● 失败循环(为了验证连续性)

● 重新测试

● 操作装置/探测器配置

● 使能/禁止从操作装置/探测器启动

● 激活/挂起一个位置

● 异常中止操作者控件

操作装置控件

操作装置控件使得操作者能从可用操作装置驱动程序菜单中选择一个操作装置，连接它并使其就绪。

属性：

● 操作装置驱动程序句柄

方法：

● 选择操作装置驱动程序

● 连接操作装置

● 断开操作装置

● 使操作装置可用

● 使操作装置不可用

位置控件

该控件显示作业通道映射表中的位置数目，并允许激活和挂起特定测试位置。

收集显示区

显示特定位置的最新收集结果

开始按钮

该控件是一个启动作业运行的按钮

合格率监控器

合格率监控器控件监控某个位置上器件测试的结果(通过/失效)，并可以跟踪合格率。它提供合格率随时间的图形显示，它还包括可编程的合格率限制，如果超出限制将触发事件。

属性：

● 位置—该显示将监控哪个位置

● 每单元器件—集合到一个单元的器件的数量

● 单元数—多少单元被追踪

● 单元计数—单元有多满

● 单元合格率—器件的特定单元的合格率数

● 单元显示可用—显示单元合格率的柱状图

● 累积显示可用—显示各单元累积合格率的线图

● 图表版式—水平或垂直

● 上限警报—合格率阈值，超过它将触发高警报事件

● 下限警报—合格率阈值，低于它将触发低警报事件

事件：

● 合格率高警报

● 合格率低警报

方法：

● 重置—清除所有单元操作装置驱动程序

IG-XL中操作装置驱动程序的设计是与VTD和ICD最大的不同。在后两个系统中，支持这些测试器的操作装置/探测器是由单一的，高度可配置的库组成，该库试图支持所有可能的设备。实践证明这很难为用户使用。配置设备的任何特定部分是很复杂的工作，因为该接口里有许多可编程的控件，但只有一部分是必要的。如果新的操作装置所需的特征没有包含在库里，那么就需要对系统软件进行升级，而这不是用户所能做的。并且，该库还容易出现错误，因为为支持新操作装置而做的修改有可能在现存的库中引入错误。驱动程序模型

在IG-XL中，每个操作装置都有它自己的驱动程序，它只包含操作该操作装置必须的代码。运行时，操作使用中的操作装置所需的驱动程序被动态地加载到生产界面中。与VTD/ICD的方法相比它有几个重要的优点：

—由于每个驱动程序模型仅含有它所需的代码，所以它很小并且简单。

—Visual Basic开发环境使得Teradyne现场工作组织或用户自己能很容易的创建新的驱动程序而不需要制造商软件包的支持。IG-XL系统包括了一些驱动程序，它们可以被拷贝作为起始点。

—Teradyne软件开发引起错误的风险几乎没有，不象单个库为了加入新的特征而不断的做修改。内置驱动程序

IG-XL提供一个操作装置驱动程序库，用户可直接使用它，也可以以它为基础来开发新的驱动程序。我们将提供以下驱动程序：

—P849，这是一个IEEE标准，用于通过RS232接口与操作装置或探测器通信。在Teradyne中有时候称之为RDP。任何符合该标准的外围设备都可以不加修改的使用此内置驱动程序。

—SECS II/HSEM(操作装置专用设备模型)，这是一个SEMI标准，用于根据SECS II通信标准与操作半导体的设备连接。该驱动程序将支持任何符合该规范的设备。

—Teradyne用户常用的专用操作装置/探测器(列表待定)。开发驱动程序

为开发新的驱动程序，通常从拷贝IG-XL已提供的驱动程序开始。驱动程序包含一个VB窗体，它至少含有一个操作装置测试器控件和对通信接口的调用。操作装置测试器控件定义了与IG-XL的接口。该窗体中的用户定义代码可以使用控件的属性，事件和方法，还能适当地通过通信接口对操作装置编程。

图2显示了操作装置驱动程序的结构：

图2：操作装置驱动程序内部构件操作装置测试器控件

操作装置测试器控件是由IG-XL提供的定义了到任何操作装置的接口的ActiveX控件。它用作操作装置驱动程序与IG-XL其它部分之间的单一连接点。任何包含了该控件的对象都可以被拖放到生产界面中作为操作装置使用。

属性：

● 可用

● 连接

● 收集结果

● ErrorCode

● ErrorMessage

● DutID

● HandlerProberID

● OutputTubeStatus(仅对操作装置)

● InputTubeStatus(仅对操作装置)

● WaferStatus(仅对探测器)

● InputCassetteStaus(仅对探测器)

● Xcoord(仅对探测器)

● Ycoord(仅对探测器)

事件：

● 测试结束

● 可用

● 不可用

● 连接

● 断开

● 晶片完成(仅对探针)

方法：

● 开始测试

● 使操作装置可用

● 使操作装置不可用

● 连接操作装置

● 断开操作装置

● WaitForStart

● BinDispatch

● LoadSetup

● SendCommand

● SendRequest

● BreakContact(仅对操作装置)

● MakeContact(仅对操作装置)

● LoadWafer(仅对探测器)

● UnloadWafer(仅对探测器)

● ProbeWafer(仅对探测器)

● AbortProbing(仅对探测器)

● MoveToAbsoluteDie(仅对探测器)

● MoveRelativeDie(仅对探测器)

● MoveRelativePosition(仅对探测器)

● MoveTowardContact(仅对探测器)

● MoveAwayFromContact(仅对探测器)

● MoveToGivenHeight(仅对探测器)

● AssignGoodDieBins(仅对探测器)

● AssignLogicalInkCodes(仅对探测器)通信接口

通信接口定义了测试器与任何外围设备之间的网络传输层。操作装置/探针驱动程序使用了一个或多个这种通信接口对操作装置或探测器进行实际读和写。

我们支持五种接口：

—RS232，这是标准的串行接口。Microsoft的Visual Basic提供了串行端口控制器，我们希望使用它。我们还有一个Ed Gilbert开发的更为复杂的，多线程的控件。

—GPIB，这是一种标准的并行接口，它广泛地应用于测试和测量仪器中。我们希望从National Instruments购买到PC GPIB。

—专用并行接口，这是一种特殊的并行接口，专门为快速测试器处理通信而设计的，其中的每一线路都执行一个特定的测试功能(不是PC上的并行接口)。VTD生产一种并行接口控制器产品，它连接到计算机的RS232端口上，并产生必要的并行信号。我们希望用这种产品来实现对并行接口的支持。

—以太网，在新设备中出现了以太网接口，我们需要支持这种接口。不过目前还没有计划。

—并行串行的组合，有些机器同时包括了专用并行接口，用于快速连接，和RS232端口，用于在需要时的更复杂的通信。由于操作装置驱动程序能通过任何或所有上述的接口进行通信，所以对此的支持不需要特殊的工作。

如果通信接口是ActiveX控件将会很方便，但不是一定要这样。它也可以是C/C++DLL，或任何可以从Visual Basic代码里调用的对象。操作装置驱动程序向导

Windows软件有一个“向导”的概念，它可以帮你开始一个开发任务，它会问你一系列你想要做什么的问题，然后自动生成项目的代码框架，你要手动地往框架里填充其它代码，就可以完成项目的开发。这使新手能很容易就开始一个项目，就是对有经验的驱动程序编写人员来说也能有一个很方便的开始来编写其程序代码。

我们将创建一个便于操作装置驱动程序开发的操作装置驱动程序向导。它将提出这样一些问题：

● 该驱动程序是针对操作装置还是对探测器？

● 将使用哪种通信接口？

● 是并行的测试操作装置吗？有多少位置？

● 支持多少收集器？测试驱动程序

对生产界面的测试一般需要用到工作测试程序和测试器。这使得同时进行产品软件和测试程序软件的开发受到限制。

在IG-XL中产品软件的模块化设计允许将对生产界面的测试与对新操作装置驱动程序的测试分开来进行。已经有标准的PC卡使PC能直接与操作装置进行通信，而不需要有测试器存在。我们将提供一种专用的软件测试工具，它能连接到测试器控件而不是Excel。该工具有一个最小的可执行过程，它看上去能装载和运行一个程序并返回随机的或预设定的收集结果。它使得工程师能利用安装了IG-XL的膝上电脑、操作装置和接口卡来开发生产界面以执行很深入的测试。主机接口控件

在生产场地上，测试器一般要连接到主机上，后者监控测试器状态，收集测试结果，并能直接地控制测试过程。IG-XL产品软件将通过主机接口来支持这些功能，如图3所示：

图3：主机接口控件内部构件

主机接口有两个部分。主机消息控件负责将IG-XL测试器控件API转换成标准形式的消息以便主机的理解。网络接口与主机进行实际的网络通信。主机消息控件

主机消息控件是ActiveX控件，它等待测试器控件的事件，并能执行它的属性和方法。当收到需要发送消息到主机的测试器控件事件时，它就产生一个描述该事件的主机消息并触发“消息就绪”事件。当通过“消息接收(message received)”方法由主机接收到消息后，它访问适当的测试器控件方法和属性来完成该请求。

属性：

● 可用—该控件能被设为不可用，使其暂停发送消息

事件：

● 主机消息就绪—测试器有消息要发送到主机。生产界面中的事件处理器将消息通过网络传送出去。

方法：

● 执行主机消息—生产界面通过网络接口接收需要被处理的主机消息。

IG-XL提供两个专用的主机消息控件：

● SEMF(标准事件消息格式)，这是由Teradyne开发的标准。它包含了主要从测试器发送到主机以报告其状态的文本消息。

● SECS II/TSEM，SECS(SEMI设备通信标准)是描述主机与任何半导体设备之间消息传送细节的标准。TSEM(测试器专用设备模型)是对该标准的补充，它是专门针对测试设备的。网络接口

到网络的接口是由生产界面中的代码处理的，它与主机消息控件相互作用。Windows NT提供了多种与主机进行通信的选项：

● Winsock控件，Visual Basic包括标准的ActiveX控件，能用TCP建立到网络中任何一个也支持套接字的节点的套接字通信。

● RPC(远程过程调用)，此标准允许一台计算机能执行网络中另一机器上的子程序调用。在Visual Basic中使用它比使用套接字要困难，但它是使生产界面能在网络中做任何事情的一利选择方法。

● 分布式ActiveX，在Windows操作系统环境里，位于不同机器上的ActiveX控件可以直接互相调用，就象在一个进程里通信一样容易。我们还没有非常彻底地研究这种可能性。项目列表

产品用户控件：

—测试器控件

—位置控件，收集显示区，操作装置控件，开始按钮

—合格率监控器

主机通信

—SEMF主机消息控件

—SECS II/TSEM主机消息控件

操作装置驱动程序

—操作装置测试器控件

—P849驱动程序

—SECS II/HSEM驱动程序

—专用操作装置/探测器#1

—专用操作装置/探测器#2

—RS232接口

—GPIB接口

—以太网接口

—操作装置驱动程序向导

—测试工具

生产界面示例

—示例#1

—示例#2

这些项目将和IG-XL的标准部分一起发送，包括源代码以在用户开发需要时作为参考的例子。

Claims

1.一种半导体测试系统，包括：

软件控制系统，

自含式控件对象库，

操作者窗口，

一个或多个所述自含式控件对象适于创建所述软件控制系统的生产界面，所述生产界面具有1)自含式测试器控件，用于提供到所述软件控制系统的应用编程接口，和2)自含式操作者控件，用于提供所述操作者窗口与所述自含式测试器控件之间的接口，

所述控件库中的所述自含式操作者控件是“拖放”控件，适于被“拖放”到所述操作者窗口中。

2.根据权利要求1的半导体测试系统，其中所述操作者窗口中的所述自含式对象都能相互通信。

3.根据权利要求2的半导体测试系统，其中每个自含式控件对象都被设计成能进行这样的操作：在初始化时，每个自含式控件对象将搜索窗口中的其它自含式控件对象，并与每一个其它自含式控件对象建立通信链路，使得每个自含式控件对象都能和其它任一个自含式控件对象进行交互。

4.根据权利要求3的半导体测试系统，其中所述自含式控件是ActiveX控件。

5.根据权利要求4的半导体测试系统，其中所述ActiveX控件是用Visual Basic编程语言进行编程。

6.根据权利要求2的半导体测试系统，其中所述自含式测试器控件对象和所述自含式操作者控件对象同在所述操作者窗口中，并且相互通信。

7.根据权利要求1的半导体测试系统，其中所述操作者窗口中的所述自含式操作者ActiveX控件都能相互通信。

8.根据权利要求6的半导体测试系统，其中每个ActiveX控件都适于进行这样的操作：在初始化时，每个ActiveX控件将搜索窗口中的其它ActiveX控件，并与每一个其它ActiveX控件建立通信链路，使得每个ActiveX控件都能和其它任一个ActiveX控件进行交互。

9.一种半导体测试系统，包括：

软件控制系统，

ActiveX控件库，

操作者窗口，

一个或多个所述ActiveX控件适于创建所述软件控制系统的生产界面，所述生产界面具有1)ActiveX测试器控件，用于提供到所述软件测试程序的应用编程接口，和2)ActiveX操作者控件，用于提供所述操作者窗口与所述ActiveX测试器控件之间的接口，

所述库中的所述ActiveX操作者控件适于被“拖放”到所述操作者窗口中。

10.根据权利要求9的半导体测试系统，其中所述操作者窗口中的所述ActiveX控件都能相互通信。

11.根据权利要求10的半导体测试系统，其中每个ActiveX控件适于进行这样的操作：在初始化时，每个ActiveX控件将搜索窗口中的其它ActiveX控件，并与每一个其它ActiveX控件建立通信链路，使得每个ActiveX控件都能和其它任一个ActiveX控件进行交互。

12.根据权利要求11的半导体测试系统，其中所述ActiveX控件是用Visual Basic编程语言进行编程。

13.一种半导体测试系统，包括：

半导体测试器，

测试开发和执行程序，用于向所述测试器提供半导体器件数据参数，

执行器，用于通过所述测试开发和执行程序对测试进行初始化，

ActiveX控件库，

一个或多个所述ActiveX控件适于创建所述执行器的生产界面，所述生产界面具有1)ActiveX测试器控件，用于提供到所述执行器的应用编程接口，和2)ActiveX操作者控件，用于提供所述操作者窗口与所述ActiveX测试器控件之间的接口，

所述库中的所述ActiveX操作者控件适于被“拖放”到所述操作者窗口中，

所述操作者窗口中的所述ActiveX操作者控件都能相互通信。

14.根据权利要求13的半导体测试系统，其中每个ActiveX控件适于进行这样的操作：在初始化时，每个ActiveX控件将搜索窗口中的其它ActiveX控件，并与每一个其它ActiveX控件建立通信链路，使得每个ActiveX控件都能和其它任一个ActiveX控件进行交互。

15.根据权利要求14的半导体测试系统，其中所述ActiveX控件是用Visual Basic编程语言进行编程。

16.一种半导体测试系统，适于与一个或多个不同的操作装置协同工作，所述操作装置用于放置待测半导体器件，该半导体测试系统包括：

操作装置驱动程序库，每个所述操作装置驱动程序适于与不同的操作装置协同工作，

生产界面，适于访问所述库，该生产界面具有1)自含式测试器控件对象，用于提供到所述操作装置驱动程序的应用编程接口，和2)自含式操作者控件对象，用于提供操作者窗口与所述自含式测试器控件对象之间的接口，所述自含式操作者控件对象允许操作者从所述操作装置驱动程序库里选择操作装置驱动程序。

17.根据权利要求16的半导体测试系统，其中每个操作装置驱动程序具有一个自含式操作装置测试器控件对象，它用作所述操作装置与所述自含式测试器控件对象之间的接口。

18.根据权利要求17的半导体测试系统，具有一个通信接口，该通信接口定义了所述操作装置与所述操作装置测试器控件对象之间的网络通信层。

19.根据权利要求18的半导体测试系统，其中所述操作装置测试器控件对象，所述测试器控件对象以及所述操作者控件对象都是ActiveX控件。

20.根据权利要求19的半导体测试系统，其中所述ActiveX控件是用Visual Basic编程语言编写的。

21.一种半导体测试系统，包括：

测试器，

操作装置，用于放置将由所述测试器测试的半导体器件，所述操作装置是多个适于与所述测试系统协同工作的操作装置之一，

生产界面，适于访问所述操作装置驱动程序库，该生产界面具有1)ActiveX测试器控件，用于提供到所述操作装置驱动程序的应用编程接口，和2)ActiveX操作者控件，用于提供操作者窗口与所述ActiveX测试器控件之间的接口，所述ActiveX操作者控件允许操作者从所述操作装置驱动程序库里选择操作装置驱动程序。

22.根据权利要求21的半导体测试系统，其中每个操作装置驱动程序具有一个ActiveX操作装置测试器控件，它用作所述操作装置与所述ActiveX测试器控件之间的接口。

23.根据权利要求22的半导体测试系统，具有包括一个通信接口，该通信接口定义了所述操作装置与所述ActiveX操作装置测试器控件之间的网络通信层。