CN1238091C - 氟碳的分解处理剂及分解处理方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及氟碳的分解处理剂及分解处理方法。将从半导体制造工序等中排出的废气中所含有的CF4等的氟碳，在1000℃以下比较低的温度99.9%以上的分解率可分解处理的分解处理剂及分解处理方法，短时间内分解处理剂不会失活，且氟化氢等的腐蚀性气体不会排出。使氟碳在加热下与含有以铝化合物及镧系化合物为有效成分的分解处理剂，或者在铝化合物及镧系化合物中进而含有碱土类金属化合物作为有效成分的分解处理剂接触使氟碳分解。或者在加热下与氧化铝为有效成分的处理剂接触后，与镧系氧化物、碱土类金属氧化物为有效成分的处理剂接触分解氟碳。
Description
技术领域
本发明涉及氟碳的分解处理剂及分解处理方法。更详细地说是涉及将从半导体制造工序等中排出的废气中所含有的CF4等的氟碳，在1000℃以下比较低的温度可长时间有效地分解处理的分解处理剂及分解处理方法。
背景技术
在半导体制造工业中，作为干腐蚀装置的干腐蚀气体和CVD装置的腔室净化气体，一般是使用CF4、C2F6、C4F6、C5F8等的氟碳。这些氟碳是非常稳定的化合物，对于地球的温暖化的影响是非常大的。所以担心排向大气中后，会对环境产生恶劣的影响。因此，从半导体制造工序中排出的废气中所含有的CF4等的这些氟碳，最好是回收或者分解后排放到大气中。
以往作为干腐蚀装置的干腐蚀气体和CVD装置的腔室净化气体等所使用的CF4、C2F6、C4F6、C5F8等的氟碳在使用后的废气，通常将氮气、氩气、氦气等的载气作为基气，上述的氟碳外，还含有HF、F2、SiF4等的酸性气体。另外，含在废气中的这些氟碳的浓度，通常是10～50000ppm。含在这些废气中的这些氟碳的浓度比较低，所以在处理这些时，多数是试验用运转资金更低的分解方法进行。
作为以往分解处理氟碳的方法是采用了例如，将含有氟碳的废气导入到使用氢、甲烷、丙烷等的焚化炉中的火焰中进行燃烧的方法，或者是向含有氟碳的排出气体中添加空气或氧气或者与空气或氧气一起含有水分的混合气体，通过加热氧化的方法，将氟碳化合物进行分解。还有，在氧化铝的存在下将氟碳等的氟化合物与分子氧接触的方法(日本第286434/1998号发明专利公开公报)、与在氧化铝上载持6A族、8族、3B族的金属及硫酸、磷酸、硼酸等的无机酸的分解处理催化剂接触的方法(日本第165071/1999号发明专利公开公报)、在氧及水的共存下，使其通过加热到300～1000℃的、氧化铝系催化剂和含有硅混合材材料构成的催化剂层的方法(日本第15060/2000号发明专利公开公报)等。
发明内容
可是用燃烧法的分解处理方法，由于在不分解处理氟碳的待机时也必须维持燃烧状态，所以，存在能量的成本高，大量排放二氧化碳的缺点。添加空气或氧气的加热氧化分解处理方法，需要1000℃以上的加热，所以分解CF4、时需要更高的温度，因此随着耐热性的要求，在耐腐蚀性上分解处理装置的实用化非常困难。
以氧化铝作为分解催化剂的氟碳的分解处理方法，优点是可在比较低的温度下分解氟碳。可是，这种分解处理方法中，由于与氟碳反应，在氧化铝的表面生成了氟化铝，具有在短时间内使分解催化剂失活的缺点。另外在氧化铝上添加金属、无机酸、或二氧化硅的分解处理催化剂，是可以比较长时间地维持分解催化剂活性作为目的而开发的，但是，作为分解对象的氟碳是CF4时，要求在1000℃以下的温度下，保持接近100％的分解率，进行长时间的连续分解处理是困难的。
进而，在与水共存的状态下进行分解处理时，虽然可以提高分解率，但是在分解后由于生成了氟化氢，所以在排出到大气前首先要用湿式净化装置除去这些，此外，从分解装置排出的废气，由于是高温而且具有腐蚀性，所以不能使用热交换器。
因此，本发明所需要解决的课题是提供对从半导体工序排出的废气中的CF4等的氟碳在短时间内，分解处理剂不失活地，不排出氟化氢等的腐蚀性气体，在1000℃以下比较低的温度，以99.9％以上的分解率可分解的分解处理剂及分解处理方法。
本发明者们为了解决上述的课题进行精心的研究，其结果，发现含有以铝化合物及镧系化合物为有效成份的分解处理剂，或者在铝化合物及镧系化合物中进而含有碱土类金属化合物作为有效成份的分解处理剂是可以解决上述缺点的分解处理剂，从而完成了本发明的氟碳的分解处理剂。
另外，本发明者们发现将氟碳，在加热的状态下与含有氧化铝及镧系氧化物作为有效成份的分解处理剂，或者在该分解处理剂中进而含有碱土类金属类的氧化物作为有效成份的分解处理剂接触，可以解决上述的课题。进而，将氟碳，在加热的状态下与含有氧化铝作为有效成份的处理剂接触后，与含有镧系氧化物作为有效成份的分解处理剂接触，或者将氟碳，在加热的状态下与含有氧化铝作为有效成份处理剂接触后，使其与含有镧系氧化物作为有效成份的处理剂、碱土类金属氧化物为有效成份的处理剂接触，可以解决上述的课题。
即，本发明提供一种氟碳的分解处理剂，其特征是含有铝化合物及镧系化合物作为有效成份，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧的原子数比是1∶0.1～10，且前述有效成份的含量在70wt％以上。
本发明的氟碳的分解处理剂，其特征是将铝化合物及镧系化合物混合、造粒而成的。
本发明的氟碳的分解处理剂，其特征是将铝化合物的造粒物和镧系化合物的造粒物进行混合而成的。
本发明还提供一种氟碳的分解处理剂，其特征是含有铝化合物、镧系化合物及碱土类金属化合物作为有效成份，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，碱土类金属化合物是从碱土类金属的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧和碱土类金属的总原子数的比是1∶0.1～10，且前述有效成份的含量在70wt％以上。
本发明的氟碳的分解处理剂，其特征是将铝化合物、镧系化合物及碱土类金属化合物混合、造粒而成的。
本发明的氟碳的分解处理剂，其特征是将铝化合物的造粒物、镧系化合物的造粒物及碱土类金属化合物的造粒物混合而成的。
本发明的氟碳的分解处理剂，其特征是将铝化合物的造粒物和镧系化合物及碱土类金属化合物的混合造粒物进行混合而成的。
本发明的氟碳的分解处理剂，其特征是含在分解处理剂中镧的原子数和碱土类金属的原子数的比是1∶2以下。
本发明的氟碳的分解处理剂，其特征在于，所述的铝化合物是具有平均细孔直径50～200Å的细孔的氧化铝。
本发明的氟碳的分解处理剂，其特征在于，所述的氟碳是全氟碳。
本发明的氟碳的分解处理剂，其特征在于，所述的氟碳是CF4。
本发明提供一种氟碳的分解处理方法，其特征是将含有氟碳的气体在加热下与含有铝化合物和镧系化合物作为有效成份的分解处理剂接触分解氟碳，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧的原子数比是1∶0.1～10，且前述有效成份的含量在70wt％以上。
本发明还提供一种氟碳的分解处理方法，其特征是将含有氟碳的气体在加热下与含有铝化合物、镧系化合物及碱土类金属化合物作为有效成份的分解处理剂接触分解氟碳，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，碱土类金属化合物是从碱土类金属的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧和碱土类金属的总原子数的比是1∶0.1～10，且前述有效成份的含量在70wt％以上。
本发明的氟碳的分解处理方法，其特征在于，将含有氟碳的气体在氧及/或水蒸气的共存下与分解处理剂接触后，分解氟碳。
本发明的氟碳的分解处理方法，其特征在于，含有氟碳的气体和分解处理剂的接触温度是300～1000℃。
本发明的氟碳的分解处理方法，其特征在于，所述的失活的分解处理剂顺次地从反应系排出的同时，新的分解处理剂供给到反应系。
本发明还提供一种氟碳的分解处理方法，其特征是将含有氟碳的气体在氧及/或水蒸气的共存下在加热下与含有铝化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂接触后，与含有镧系化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂接触分解氟碳，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧的原子数比是1∶0.1～10。
本发明还提供一种氟碳的分解处理方法，其特征是将含有氟碳的气体在氧及/或水蒸气的共存下在加热下与含有铝化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂接触后，与含有镧系化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂及含有碱土类金属化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂接触分解氟碳，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，碱土类金属化合物是从碱土类金属的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧和碱土类金属的总原子数的比是1∶0.1～10。
本发明还提供一种氟碳的分解处理方法，其特征是将含有氟碳的气体在氧及/或水蒸气的共存下在加热下与含有铝化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂接触后，与含有镧系化合物及碱土类金属化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂接触分解氟碳，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，碱土类金属化合物是从碱土类金属的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧和碱土类金属的总原子数的比是1∶0.1～10。
本发明的氟碳的分解处理方法，其特征在于，所述的含有氟碳的气体和处理剂的接触温度是300～1000℃。
本发明的氟碳的分解处理方法，其特征在于，所述的分解处理前的含有氟碳的气体和分解处理后的气体进行热交换。
本发明的氟碳的分解处理方法，其特征在于，所述的氟碳是全氟碳。
本发明的氟碳的分解处理方法，其特征在于，所述的氟碳是CF4。
用本发明的氟碳的分解处理剂及分解处理方法，可使半导体制造工序等排出的废气中所含有的CF4等的氟碳等，在短时间内分解处理剂不失活地，不排出氟化氢等的腐蚀性气体地，在1000℃以下的比较低的温度下以99.9％以上的分解率进行分解。另外，由于在从分解处理装置排出的分解气体中不合有氟化氢等的腐蚀性气体，所以除了不需要为了净化它的净化装置之外，还可通过热交换器使含有分解处理前的氟碳的气体和分解处理后的气体进行热交换，可抑制热能的损失。
附图说明
图1A和图1B是表示为了实施本发明的氟碳的分解处理方法(第1方案)的分解处理装置的例子的断面图。
图2A～图2C是表示为了实施本发明的氟碳的分解处理方法(第2方案)的分解处理装置的例子的断面图。
图3是表示为了实施本发明的氟碳的分解处理方法(第3方案)的分解处理装置的例子的断面图。
图4A、图4B是表示为了实施本发明的氟碳的分解处理方法(第4方案)的分解处理装置的例子的断面图。
图5A、图5B是表示为了实施本发明的氟碳的分解处理方法(第5方案)的分解处理装置的例子的断面图。
图6是表示为了实施本发明的氟碳的分解处理方法的分解处理系统的例子的构成图。
具体实施方式
本发明的氟碳的分解处理剂及分解处理方法，适用于含在氮、氩、氦等的气体中的烃的全部被氟取代的全氟碳、一部分被氟取代的氢氟碳的分解处理，但在这些氟碳中，对化学稳定的CF4的分解处理中，在短时间内分解处理剂不失活地，不排出氟化氢等的腐蚀性气体，在1000℃以下的分解温度下以99.9％以上的分解率可分解的这一点上，特别发挥效果。
在本发明的氟碳的分解处理剂及分解处理方法中，作为分解处理的对象的氟碳，例如，CF4、C2F6、C3F8、C4F10、C5F12、C4F8、C4F6、C5F8等的全氟碳及CH3F、CH2F2、CHF3、C2H4F2、C2H2F4等的氢氟碳。
以下，详细地说明本发明的氟碳分解处理剂。
本发明的处理剂是含有铝化合物及镧系化合物作为有效成份的分解处理剂，或者含有铝化合物及镧系化合物及碱土类金属化合物作为有效成份的分解处理剂。但是铝化合物及镧系化合物及碱土类金属化合物分别是氧化物以外的情况时，在分解氟碳的处理温度或者该附近的温度下被分解，所以最好使用各个的氧化铝、镧系氧化物、碱土类金属氧化物。
作为镧系氧化物，可以举出氧化镧、氧化铈、氧化镨、氧化钕、氧化钷、氧化钐、氧化铕、氧化钆、氧化铽、氧化镝、氧化钬、氧化铒、氧化铥、氧化镱、氧化钌。
另外，上述氧化物以外的镧系化合物，可以举出镧的氢氧化物、碳酸盐、硫酸盐、硝酸盐、有机酸盐等，从容易转化成氧化物点上看优选的是氢氧化物、碳酸盐、硝酸盐。其中，从不排出有害气体点上看优选的是使用氢氧化物或碳酸盐。
作为镧系氢氧化物可以举出氢氧化镧(含1水合物)、氢氧化铈(含5水合物、8水合物、9水合物)、氢氧化镨(含8水合物)、氢氧化钕(含8水合物)、氢氧化钕钐等。另外，作为镧系的碳酸盐可以举出碳酸镧、碳酸铈、碳酸镨、碳酸钕、碳酸钐。
这些镧系化合物中，镧、铈、镨、钕、钐或铕从容易得到上看是优选的。另外这些镧系化合物可以单独使用，也可以2种以上并用。例如，作为含有2种以上的镧系的金属，在市场上销售的是铈镧合金(misch metal)，使用它就可以配制本发明的氟碳的分解处理剂。
作为碱土类金属化合物可以举出氧化铍、氧化镁、氧化钙、氧化锶、氧化钡。但是氧化铍的升华开始温度是800℃，所以担心氧化铍的有毒性，所以最好使用氧化镁、氧化钙或者氧化锶。
上述以外的碱土类金属化合物，可以举出碱土类金属的氢氧化物、碳酸盐、硫酸盐、硝酸盐、有机酸盐等，从容易转化成氧化物看优选的是氢氧化物、碳酸盐或硝酸盐。其中，从不排出有害气体上看优选的是使用氢氧化物或碳酸盐。另外，根据上述的理由使用镁、钙或锶的化合物是优选的。
另外，这些碱土类金属化合物可以单独使用，或者2种以上并用。
作为本发明所使用的铝化合物，可以举出氧化铝、氢氧化铝等。
作为氧化铝优选的是铝的平均细孔径是50～200Å，其中优选的是γ氧化铝。在使用平均细孔径低于50Å的细孔的氧化铝或者平均细孔径大于200Å的细孔的氧化铝时，氟碳的分解率可能下降。另外，最好使用比表面积为100m2/g以上的氧化铝。氧化铝的纯度优选的是99％以上，更优选的是99.9％以上。
另外，作为氢氧化铝优选的是渤姆石。
含有本发明的铝化合物、镧系化合物的分解处理剂，通常是通过将上述的铝化合物和镧系化合物混合造粒来制造的，或者铝化合物造粒的同时，对镧系化合物造粒，而后将这些混合来配制的。
另外，含有本发明的铝化合物、镧系化合物、碱土类金属化合物的分解处理剂，通常是通过将上述的铝化合物、镧系化合物及碱土类金属化合物混合造粒来制造的，或者铝化合物、镧系化合物及碱土类金属化合物分别造粒后，将其混合来制造的，或者将铝化合物的造粒物，与镧系化合物及碱土类金属化合物混合后的造粒物进行混合来制造的。此外，也可铝化合物与剩余的1个有效成份混合进行造粒得到的造粒物和、剩余的其他有效成份的造粒物混合后而进行配制的。
在上述每一个的分解剂的配制方法中，含在分解处理剂的铝原子数和、镧系的原子数及碱土类金属的原子数的合并原子数比，通常是1∶0.1～10，优选的是1∶0.2～5.0。另外，对于含有在分解处理剂的镧系的原子数和、碱土类金属的原子数，镧系的原子数越多，就越能提高分解处理能力(每单位分解处理剂的氟碳分解处理量)，其比(镧系的原子数：碱土类金属化合物的原子数)通常是1∶2以下，优选的是2∶1以下地进行配制。进而上述的任何一种配制方法中，通常都是造粒成直径0.1～20mm程度，优选的是直径1～10mm程度的球状，或者类似的形状，或者与此相当的大小和形状，来进行配制的。
另外，本发明的氟碳分解处理剂，为了提高造粒时的成型性和成型强度，除了有效成份外也可以添加粘合剂。作为这些粘合剂可以举出聚乙烯醇、聚乙二醇、聚丙二醇、甲基纤维素、羧甲基纤维素等的有机系粘合剂、二氧化硅、硅藻土、硅酸钠、硫酸氢钠等的无机粘合剂。加入这些粘合剂是在配制净化剂时，添加、混练在有效成份中。粘合剂的添加量是根据成型的条件而定的，不能一概进行特定，但是过少时，不能发挥粘合剂的效果，过多时，由于分解能力下降，所以通常对于分解处理剂的全重量其添加量是0.1～10wt％，优选的是0.5～5wt％。
在分解处理剂中，也可以含有对氟碳分解不产生坏影响的杂质、不活性物质等。进而，使用前的分解处理剂也可以含有水分，但是还是不含好，通常分解处理剂中的水分控制在2％以下。因此，将有效成份进行造粒时，最好是用压片成型进行造粒。此外，即使含有粘合剂、杂质、不活性物质、水分等的情况下，在分解剂中的有效成份的含量，通常是70wt％以上，优选的是90wt％以上。
以下，根据图1A、图1B～图6详细地说明本发明的氟碳分解处理方法，但是本发明不受这些限制。
本发明的氟碳分解处理方法的第1方案，是将含有氟碳的气体在加热的状态下与含有氧化铝及镧系氧化物作为有效成份的分解处理剂接触，来分解氟碳的方法。图1A和图1B是表示该分解装置例的断面图。
本发明的氟碳分解处理方法的第2方案，是将含有氟碳的气体在加热的状态下与含有氧化铝及镧系氧化物及碱土类金属氧化物作为有效成份的分解处理剂接触，来分解氟碳的方法。图2A～图2C是表示该分解装置例的断面图。
采用第1方案或者第2方案实施氟碳分解时，通常是使用上述的本发明的分解处理剂。此外，作为铝化合物及镧系化合物及碱土类金属化合物，分别使用各个氧化物以外的化合物时，在分解处理氟碳的温度或者其附近的温度下被分解，所以最好是使用容易成为氧化铝、镧系的氧化物、碱土类金属氧化物的化合物。
用第1方案实施氟碳分解处理时，在进行分解处理前。例如，图1A那样将铝化合物及镧系化合物混合后造粒的造粒物4构成的分解处理剂填充到分解处理装置或者如图1B所示，将铝化合物的造粒物1及镧系化合物的造粒物2混合后构成的分解剂填充到分解处理装置。
用第2方案实施氟碳分解处理时，在进行分解处理前。例如，图2A那样将铝化合物、镧系化合物及碱土类金属化合物混合后造粒的造粒物5构成的分解处理剂填充到分解处理装置或者如图2B所示，将铝化合物的造粒物1、镧系化合物的造粒物2及碱土类金属化合物的造粒物3混合形成的分解处理剂充填到分解处理装置，或者如图2C所示，将铝化合物的造粒物1和、镧系化合物及碱土类金属化合物的混合造粒物6混合后构成的分解处理剂填充到分解处理装置。
使用第1方案或者第2方案实施氟碳分解时，如图1A、图1B和图2A～图2C的分解装置所示除了将分解处理剂作为固定床使用外，也可以作为移动床、流动床使用。例如，通过以下的结构，即为了将失活的分解处理剂从设置在分解装置下部的分解处理剂排出口排出，同时从设置在分解装置上部的分解处理剂供给口向反应系统中供给新的分解处理剂的结构，可以长时间地连续运转进行氟碳的分解处理。
本发明的氟碳分解处理方法的第3方案，可将含有氟碳的气体与氧和/或者水蒸气的共存下，加热条件下，与含有氧化铝作为有效成份的处理剂接触后再与含有镧系氧化物作为有效成份的处理剂接触来分解氟碳的方法，图3是表示该分解装置例的断面图。
用第3方案实施氟碳分解处理时，通常是使用铝化合物的造粒物及镧系化合物的造粒物。例如在分解处理前，如图3那样将铝化合物的造粒物1构成的处理剂及镧系化合物的造粒物2构成的处理剂在分解处理装置内叠层。在本发明中，是将这些的2个处理剂层作为1个单位层，可以单个的单位层或者叠层多个单位层进行分解处理。图3是叠层3个单位层的结构。
本发明的氟碳分解处理方法的第4方案，可将含有氟碳的气体与氧和/或者水蒸气的共存下，加热条件下，与含有氧化铝作为有效成份的处理剂接触后再与含有镧系氧化物作为有效成份的处理剂及碱土类金属的氧化物作为有效成份的处理剂接触来分解氟碳的方法，图4A、图4B是表示该分解装置例的断面图。此外，在本发明中，将被处理气体与含有镧系氧化物作为有效成份的处理剂及含有碱土类金属的氧化物作为有效成份的处理剂接触的顺序，没有特别的限制。
使用第4方案进行氟碳的分解时，通常是使用铝化合物的造粒物、镧系化合物的造粒物、及碱土类金属化合物的造粒物。例如，在进行分解处理前，如图4A及图4B那样将铝化合物的造粒物1构成的处理剂、镧系化合物的造粒物2构成的处理剂、及碱土类金属化合物的造粒物3构成的处理剂叠层到分解处理装置中。此外，在本发明中，是将这些的3个处理剂层作为1个单位层，可以单数或者叠层多个单位层进行分解处理。
本发明的氟碳分解处理方法的第5方案，可将含有氟碳的气体与氧和/或者水蒸气的共存下，加热条件下，与含有氧化铝作为有效成份的处理剂接触后，再与含有镧系氧化物及碱土类金属的氧化物作为有效成份的处理剂接触来分解氟碳的方法，图5A、图5B是表示该分解装置例的断面图。
用第5方案实施氟碳分解时，通常作为以氧化铝为有效成份的处理剂源，使用铝化合物的造粒物，作为以镧系的氧化物和碱土类金属的氧化物为有效成份的处理剂源，使用将镧系化合物及碱土类金属化合物混合了的化合物的造粒物或者使用将镧系化合物的造粒物及碱土类金属化合物的造粒物混合了的。例如，进行分解处理前，如图5A所示，在分解处理装置中叠层由铝化合物的造粒物1构成的处理剂、镧系化合物及碱土类金属化合物的混合造粒物6构成的处理剂或如图5B所示，叠层由铝化合物的造粒物1构成的处理剂、由镧系化合物的造粒物2及碱土类金属化合物的造粒物3构成的处理剂。另外，在本发明中，将这些的2处理剂层作为1单位层，可使单个或复数的单位层叠层进行分解。
另外，即使在第3方案、第4方案、第5方案，与第1方案、第2方案相同，作为铝化合物、镧系化合物、碱土类金属化合物，使用各个氧化物以外的时，优选的是使用在将氟碳分解处理的温度或其附近的温度下分解，分别容易地成为由氧化铝、镧系的氧化物、碱土类金属的氧化物构成的化合物。这些铝化合物、镧系化合物、碱土类金属化合物是分别与上述本发明的分解处理剂的铝化合物、镧系化合物、碱土类金属化合物相同的。另外，各个造粒物的大小、形状、调制方法、有效成份的含量、杂质等也与上述本发明的分解处理剂相同。
在本发明中，分解处理装置的形状通常是圆筒状、大小通常是内径10～500mm、长度20～2000mm左右。填充到分解处理装置的分解处理剂的填充长通常在10～1000mm左右，最好在50～500mm左右。分解处理剂的填充长在10mm以下时，氟碳的分解不充分，在1000mm以上时，压力损失变大。另外，处理剂的各层的厚度通常是2～200mm。作为加热分解处理装置的手段，通常如图1A、图1B～图5A、图5B所示，在分解处理装置的外侧设置加热器，通过外部的控制装置控制温度。
在本发明的第1方案或第2方案的氟碳的分解处理中，氟碳是CF4时，在进行分解处理时，也可添加含空气等的氧的气体、水、水蒸气或这些的混合物，但即使不添加这些也可不排出CO而分解CF4。另外，氟碳是CF4以外时，若不添加任何物质或仅添加水、水蒸气进行分解处理，可分解氟碳，但由于担心排出CO，所以在进行分解处理时，优选的是添加含有氧的气体、水、水蒸气或这些的混合物。
另外，在本发明的第3方案、第4方案或第5方案的氟碳分解处理中，进行分解处理时，在含有氟碳的气体中添加含有氧的气体、水、水蒸气或这些的混合物。
在用氧化铝、氧化镧及氧化钙构成的分解处理剂使氧及水蒸气不共存地分解处理本发明的CF4时，可推测发生下面的(式1)～(式3)的反应。另外，CF4以外的氟碳，例如在用氧化铝、氧化镧及氧化钙构成的分解处理剂在氧共存下分解C2F6时，可推测发生下面的(式4)～(式6)的反应。另外，在用氧化铝、氧化镧及氧化钙构成的分解处理剂在水蒸气共存下分解C2F6时，可推测发生(式7)～(式12)的反应。
即，在进行本发明的氟碳的分解时，在氧化铝的表面生成与氟碳的反应的氟化铝，但由于氟化铝立即与镧系的氧化物、碱土类金属的氧化物反应再生氧化铝，所以可长时间连续地进行分解处理。另外，如上述反应式表明，对于分解处理剂，镧系化合物含有量比碱土类金属化合物多时，可提高分解处理能力(对于单位分解处理剂量的氟碳的分解处理量)。
另外，在本发明的分解处理方法中，在氧共存时，可防止CO的排出。在不共存氧时，进行CF4以外的氟碳分解时，担心排出CO，但通过后阶段备有干燥净化装置可容易地净化。另外，在水蒸气共存时，由于水蒸气与氟化铝反应，所以进而可长时间地进行分解处理。此时，发生作为腐蚀性气体的氟化氢，但由于立即与镧系的氧化物、碱土类金属的氧化物反应而消失，所以不会从分解处理装置排出此腐蚀性气体。另外，在本发明的第3方案、第4方案、第5方案的氟碳的分解处理中水蒸气共存时，可防止由于HF的下层部的氧化铝的失活。
氟碳和分解处理剂的接触温度，根据氟碳的种类、浓度、流量等而不同不能一概限定，但在CF4以外的氟碳的分解处理时，通常是300～1000℃，CF4的分解处理时，通常是700～1000℃。对于上述下限温度以下，氟碳的分解率低，另一方面，对于1000℃以上，有对于分解处理装置要求耐热性高的材料的麻烦。另外，分解处理氟碳时的压力通常在常压下进行，但也可在1Kpa左右的减压或者0.2Mpa(绝对压力)左右的加压下进行。
在本发明中，对于含有氟碳的气体的流速没有特别限制，但一般优选的是含在气体中的氟碳的浓度越高流速越小。为此，分解处理装置根据氟碳的种类、浓度等设计，但通常空间标准线速度(LV)作成50cm/sec以下的范围。
图6是为了实施本发明的氟碳的分解处理方法的分解处理系统的一个例子的构成图。
在图6的氟碳的分解处理系统中，含有氟碳的气体、氧及/或水蒸气从各个氟碳导入管9、氧及/或水蒸气导入管10导入到氟碳的分解处理装置12中，分解处理氟碳后，通过分解气体的排出管14排出。另外，在进行本发明的第1方案、第2方案的氟碳的分解处理时，也可不使用氧及/或水蒸气导入管10而进行分解处理。
在本发明中，由于不排出腐蚀性气体，所以如图6所示，可通过热交换器使含有分解处理前的氟碳的气体和分解处理后的气体进行热交换。另外，不需要为了净化氟化氢等的腐蚀性气体的装置。
实施例
以下用实施例具体地说明本发明，但是本发明不受这些限制。
实施例1
分解处理剂的配制
将市售的氧化铝催化剂(平均细孔直径130Å，纯度99.9％)及氧化镧(纯度99％)粉碎到100μm以下，进行混合使原子数的比(Al/La)达到0.5。将混合物填充到内径20mm、高5mm的型模内，使用油压顶用150～160kg/cm2的压力下，加压30秒进行成型，破碎得到的剂，进而用筛，将通过3.36mm筛孔，没有通过2.00mm孔尺寸的作为分解处理剂。
分解处理试验
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图1A样的构成将上述的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量877ml/min)导入到分解处理装置中，同时将水蒸气(流量73ml/min)及氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表1所示。
实施例2，3
除了将实施例1的分解处理剂的调制的氧化铝和氧化镧的混合比以原子数的比(Al/La)分别成为0.25、1.0地进行混合之外，与实施例1相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例1相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表1所示。
实施例4，5
除了将实施例1的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例1相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表1所示。
实施例6～8
除了将实施例1的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例1相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表1所示。
实施例9，10
除了将实施例1的分解处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例1相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂与实施例1同样进行CF4的分解处理试验。其结果如表1所示。
实施例11
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图1A那样的构成将与实施例1相同地调制的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量950ml/min)导入到分解处理装置中，同时将氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表1所示。
实施例12，13
除了将实施例1的分解处理剂的调制的氧化铝和氧化镧的混合比以原子数的比(Al/La)分别成为0.25、1.0地进行混合之外，与实施例11相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例11相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表1所示。
实施例14，15
除了将实施例11的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例11相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表1所示。
实施例16～18
除了将实施例11的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例11相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表1所示。
实施例19，20
除了将实施例1的分解处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例1相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例11相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表1所示。
实施例21
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图1A样的构成将与实施例1相同地调制的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量1000ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表1所示。
实施例22，23
除了将实施例1的分解处理剂的调制的氧化铝和氧化镧的混合比以原子数的比(Al/La)分别成为0.25、1.0地进行混合之外，与实施例1相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例21相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表1所示。
实施例24，25
除了将实施例21的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例21相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表1所示。
实施例26～28
除了将实施例21的分解处理试验的氟碳分别代替为C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例21相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表1所示。
实施例29，30
除了将实施例1的分解处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例1相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例21相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表1所示。
实施例31
分解处理剂的配制
将市售的氧化铝催化剂(平均细孔直径130Å，纯度99.9％、粒径2～3mm)作成氧化铝的造粒物，另外，将市售的氧化镧(纯度99％)粉碎到100μm以下，填充到内径20mm、高5mm的型模内后，使用油压顶在150～160kg/cm2的压力下，加压30秒进行成型，破碎得到的剂，进而用筛，将通过3.36mm筛孔，没有通过2.00mm孔尺寸的作为氧化镧的造粒物。将这些以原子数的比(Al/La)成为0.5地进行混合得到分解处理剂。
分解处理试验
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图1B那样的构成将上述的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量877m1/min)导入到分解处理装置中，同时将水蒸气(流量73ml/min)及氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表1所示。
实施例32，33
除了将实施例31的分解处理剂的调制的氧化铝和氧化镧的混合比以原子数的比(Al/La)分别成为0.25、1.0地进行混合之外，与实施例31相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例31相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表2所示。
实施例34，35
除了将实施例31的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例31相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表2所示。
实施例36～38
除了将实施例31的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例31相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表2所示。
实施例39，40
除了将实施例31的分解处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例31相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例31相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表2所示。
实施例41
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图1B那样的构成将与实施例31相同地调制的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量950ml/min)导入到分解处理装置中，同时将氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表1所示。
实施例42，43
除了将实施例31的分解处理剂的调制的氧化铝和氧化镧的混合比以原子数的比(Al/La)分别成为0.25、1.0地进行混合之外，与实施例31相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例41相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表2所示。
实施例44，45
除了将实施例41的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例41相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表2所示。
实施例46～48
除了将实施例41的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例41相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表2所示。
实施例49，50
除了将实施例31的分解处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例31相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例41相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表2所示。
实施例51
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图1B那样的构成将与实施例31相同地调制的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量1000ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表2所示。
实施例52，53
除了将实施例31的分解处理剂的调制的氧化铝和氧化镧的混合比以原子数的比(Al/La)分别成为0.25、1.0地进行混合之外，与实施例31相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例51相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表2所示。
实施例54，55
除了将实施例51的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例51相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表2所示。
实施例56～58
除了将实施例51的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例51相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表2所示。
实施例59，60
除了将实施例31的分解处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例31相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例51相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表2所示。
实施例61
处理剂的配制
将市售的氧化铝催化剂(平均细孔直径130Å，纯度99.9％、粒径2～3mm)作成由氧化铝的造粒物构成的处理剂，另外，将市售的氧化镧(纯度99％)粉碎到100μm以下，填充到内径20mm、高5mm的型模内后，使用油压顶在150～160kg/cm2的压力下，加压30秒进行成型，破碎得到的剂，进而用筛，将通过3.36mm筛孔，没有通过2.00mm孔尺寸的作为由氧化镧的造粒物构成的处理剂。
分解处理试验
将上述的分解处理剂以图3那样的构成使原子数的比(Al/LA)成为0.5相互每4层地填充到内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部(总填充长度600mm)。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量877ml/min)导入到分解处理装置中，同时将水蒸气(流量73ml/min)及氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表3所示。
实施例62，63
除了实施例61的分解处理试验的氧化铝的原子数和氧化镧的原子数的比(Al/La)分别成为0.25、1.0地叠层处理剂之外，与实施例61相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表3所示。
实施例64，65
除了将实施例61的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例61相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表3所示。
实施例66～68
除了将实施例61的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例61相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表3所示。
实施例69，70
除了将实施例61的处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例61相同地调制处理剂。使用这些处理剂，与实施例61相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表3所示。
实施例71～73
除了将实施例1的分解处理剂调制的具有平均细孔直径130Å的细孔的氧化铝催化剂分别替换成具有平均细孔直径30Å的细孔的氧化铝催化剂、具有平均细孔直径80Å的细孔的氧化铝催化剂、具有平均细孔直径230Å的细孔的氧化铝催化剂之外，与实施例1相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例1相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表4所示。
实施例74～76
除了将实施例31的分解处理剂调制的具有平均细孔直径130Å的细孔的氧化铝催化剂分别替换成具有平均细孔直径30Å的细孔的氧化铝催化剂、具有平均细孔直径80Å的细孔的氧化铝催化剂、具有平均细孔直径230Å的细孔的氧化铝催化剂之外，与实施例31相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例31相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表5所示。
实施例77～79
除了将实施例61的处理剂调制的具有平均细孔直径130Å的细孔的氧化铝催化剂分别替换成具有平均细孔直径30Å的细孔的氧化铝催化剂、具有平均细孔直径80Å的细孔的氧化铝催化剂、具有平均细孔直径230Å的细孔的氧化铝催化剂之外，与实施例61相同地调制处理剂。使用这些处理剂，与实施例61相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表6所示。
实施例80
分解处理剂的配制
将市售的氧化铝催化剂(平均细孔直径130Å，纯度99.9％)、氧化镧(纯度99％)及氧化钙(纯度99％)粉碎到100μm以下，以原子比(Al∶La∶Ca)成为5∶9∶1地进行混合。将混合物填充到内径20mm、高5mm的型模内后，使用油压顶在150～160kg/cm2的压力下，加压30秒进行成型，破碎得到的剂，进而用筛，将通过3.36mm筛孔，没有通过2.00mm孔尺寸的作为分解处理剂。
分解处理试验
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图2A那样的构成将上述的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量877ml/min)导入到分解处理装置中，同时将水蒸气(流量73ml/min)及氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表7所示。
实施例81，82
除了将实施例80的分解处理剂的调制的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地进行混合之外，与实施例80相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例80相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表7所示。
实施例83，84
除了将实施例80的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例80相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表7所示。
实施例85～87
除了将实施例80的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例80相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表7所示。
实施例88，89
除了将实施例80的分解处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例80相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例80相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表7所示。
实施例90
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图2A那样的构成将与实施例80相同地调制的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量950ml/min)导入到分解处理装置中，同时将氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表7所示。
实施例91，92
除了将实施例80的分解处理剂的调制的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地进行混合之外，与实施例80相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例90相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表7所示。
实施例93，94
除了将实施例90的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例90相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表7所示。
实施例95～97
除了将实施例90的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例90相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表7所示。
实施例98，99
除了将实施例80的处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例80相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例90相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表7所示。
实施例100
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图2A那样的构成将与实施例80相同地调制的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量1000ml/min)导入到分解处理装置中，分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表7所示。
实施例101，102
除了将实施例80的分解处理剂的调制的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地进行混合之外，与实施例80相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例100相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表7所示。
实施例103，104
除了将实施例100的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例100相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表7所示。
实施例105～107
除了将实施例100的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例100相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表7所示。
实施例108，109
除了将实施例80的处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例80相同地调制处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例100相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表7所示。
实施例110
分解处理剂的配制
将市售的氧化铝催化剂(平均细孔直径130Å，纯度99.9％、粒径2～3mm)作成氧化铝的造粒物，另外，将市售的氧化镧(纯度99％)粉碎到100μm以下，填充到内径20mm、高5mm的型模内后，使用油压顶在150～160kg/cm2的压力下，加压30秒进行成型，破碎得到的剂，进而用筛，将通过3.36mm筛孔，没有通过2.00mm孔尺寸的作为氧化镧的造粒物。进而，将市售的氧化钙(纯度99％)与上述同样地成型筛分的作为氧化钙的造粒物。将这些以原子数的比(Al∶La∶Ca)成为5∶9∶1地进行混合得到分解处理剂。
分解处理试验
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图2B那样的构成将上述的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量877ml/min)导入到分解处理装置中，同时将水蒸气(流量73ml/min)及氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表8所示。
实施例111，112
除了将实施例110的分解处理剂的调制的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地进行混合之外，与实施例110相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例110相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表8所示。
实施例113，114
除了将实施例110的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例110相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表8所示。
实施例115～117
除了将实施例110的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例110相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表8所示。
实施例118，119
除了将实施110的处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例110相同地调制处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例110相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表8所示。
实施例120
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图2B那样的构成将与实施例110相同地调制的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量950ml/min)导入到分解处理装置中，同时，将氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表8所示。
实施例121，122
除了将实施例110的分解处理剂的调制的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地进行混合之外，与实施例110相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例120相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表8所示。
实施例123，124
除了将实施例120的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例120相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表8所示。
实施例125～127
除了将实施例120的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例120相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表8所示。
实施例128，129
除了将实施例110的处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例110相同地调制处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例120相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表8所示。
实施例130
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图2B那样的构成将与实施例110相同地调制的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量1000ml/min)导入到分解处理装置中，分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表8所示。
实施例131，132
除了将实施例110的分解处理剂的调制的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地进行混合之外，与实施例110相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例130相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表8所示。
实施例133，134
除了将实施例130的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例130相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表8所示。
实施例135～137
除了将实施例130的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例130相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表8所示。
实施例138，139
除了将实施例110的处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例110相同地调制处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例130相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表8所示。
实施例140
分解处理剂的配制
将市售的氧化铝催化剂(平均细孔直径130Å，纯度99.9％、粒径2～3mm)作成氧化铝的造粒物，另外，将市售的氧化镧(纯度99％)及氧化钙(纯度99％)粉碎到100μm以下，将原子数的比(La∶Ca)成为9∶1地进行混合，将混合物填充到内径20mm、高5mm的型模内后，使用油压顶在150～160kg/cm2的压力下，加压30秒进行成型，破碎得到的剂，进而用筛，将通过3.36mm筛孔，没有通过2.00mm孔尺寸的作为混合造粒物。进而，将氧化铝的造粒物和氧化镧及氧化钙的混合造粒物以原子数的比(Al∶La∶Ca)成为5∶9∶1地进行混合得到分解处理剂。
分解处理试验
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图2C那样的构成将上述的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量877ml/min)导入到分解处理装置中，同时将水蒸气(流量73ml/min)及氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表9所示。
实施例141，142
除了将实施例140的分解处理剂的调制的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地进行混合之外，与实施例140相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例140相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表9所示。
实施例143，144
除了将实施例140的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例140相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表9所示。
实施例145～147
除了将实施例140的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例140相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表9所示。
实施例148，149
除了将实施140的分解处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例140相同地调制处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例140相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表9所示。
实施例150
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图2C那样的构成将与实施例140相同地调制的分解处理剂填充成填充长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量950ml/min)导入到分解处理装置中，同时，将氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CO4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表9所示。
实施例151，152
除了将实施例140的分解处理剂的调制的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地进行混合之外，与实施例140相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例150相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表9所示。
实施例153，154
除了将实施例150的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例150相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表9所示。
实施例155～157
除了将实施例150的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例150相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表9所示。
实施例158，159
除了将实施例140的处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例140相同地调制处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例150相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表9所示。
实施例160
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以图2C那样的构成将与实施例140相同地调制的分解处理剂填充成长度为300mm。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量1000ml/min)导入到分解处理装置中，分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表9所示。
实施例161，162
除了将实施例140的分解处理剂的调制的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地进行混合之外，与实施例140相同地调制分解处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例160相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表9所示。
实施例163，164
除了将实施例160的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例160相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表9所示。
实施例165～167
除了将实施例160的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例160相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表9所示。
实施例168，169
除了将实施例140的分解处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例140相同地调制处理剂。使用这些分解处理剂，与实施例160相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表9所示。
实施例170
处理剂的配制
将市售的氧化铝催化剂(平均细孔直径130Å，纯度99.9％、粒径2～3mm)作成氧化铝的造粒物构成的处理剂。另外，将市售的氧化镧(纯度99％)粉碎到100μm以下，填充到内径20mm、高5mm的型模内后，使用油压顶在150～160kg/cm2的压力下，加压30秒进行成型，破碎得到的剂，进而用筛，将通过3.36mm筛孔，没有通过2.00mm孔尺寸的作为氧化镧的造粒物构成的处理剂。进而，将市售的氧化钙(纯度99％)与上述相同地成型筛分的作为氧化钙的造粒物构成的处理剂。
分解处理试验
以图4A那样的构成将上述的分解处理剂以原子数的比(Al∶La∶Ca)成为5∶9∶1相互每2层地填充到内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量877ml/min)导入到分解处理装置中，同时将水蒸气(流量73ml/min)及氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表10所示。
实施例171，172
除了将实施例170的分解处理试验的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地叠层处理剂之外，与实施例170相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表10所示。
实施例173，174
除了将实施例170的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例170相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表10所示。
实施例175～177
除了将实施例170的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例170相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表10所示。
实施例178，179
除了将实施170的处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例170相同地调制处理剂。使用这些处理剂，与实施例170相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表10所示。
实施例180
以图4B那样的构成以原子数的比(Al∶La∶Ca)成为5∶9∶1地相互每2层叠层地将与实施例170相同地调制的分解处理剂填充到内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部(总填充长度600mm)。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量927ml/min)导入到分解处理装置中，同时，将水蒸气(流量73ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表11所示。
实施例181，182
除了将实施例180的分解处理试验的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地叠层处理剂之外，与实施例180相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表11所示。
实施例183，184
除了将实施例180的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例180相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表11所示。
实施例185～187
除了将实施例180的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例180相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表11所示。
实施例188，189
除了将实施例170的处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例170相同地调制处理剂。使用这些处理剂，与实施例180相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表11所示。
实施例190
处理剂的配制
将市售的氧化铝催化剂(平均细孔直径130Å，纯度99.9％、粒径2～3mm)作成由氧化铝的造粒物构成的处理剂。另外，将市售的氧化镧(纯度99％)及氧化钙(纯度99％)粉碎到100μm以下，以原子数的比(La∶Ca)成为9∶1地进行混合。将混合物填充到内径20mm、高5mm的型模内后，使用油压顶在150～160kg/cm2的压力下，加压30秒进行成型，破碎得到的剂，进而用筛，将通过3.36mm筛孔，没有通过2.00mm孔尺寸的作为混合造粒物构成的处理剂。
分解处理试验
以图5A样的构成，将以原子数的比(Al∶La∶Ca)为5∶9∶1的上述处理剂相互每3层叠层地填充到内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部(总填充长度600mm)。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量877ml/min)导入到分解处理装置中，同时将水蒸气(流量73ml/min)及氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表12所示。
实施例191，192
除了将实施例190的分解处理试验的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地叠层处理剂之外，与实施例190相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表12所示。
实施例193，194
除了将实施例190的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例190相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表12所示。
实施例195～197
除了将实施例190的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例190相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表12所示。
实施例198，199
除了将实施190的处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例190相同地调制处理剂。使用这些处理剂，与实施例190相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表12所示。
实施例200
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部，以图5B那样的构成以原子数的比(Al∶La∶Ca)为5∶9∶1的相互每3层叠层地填充与实施例170相同地调制的氧化铝的造粒物构成的处理剂及与实施例170相同地调制的氧化镧的造粒物和氧化钙的造粒物混合了的处理剂(总填充长度600mm)。将分解处理装置的处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量927ml/min)导入到分解处理装置中，同时，将水蒸气(73ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，每30分钟从分解处理装置的排出口采取排出的分解气体的一部分，用FT-IR(富立叶变换红外分光光度计)及GC-TCD(热传导度检测器)进行CF4的分析，测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表13所示。
实施例201，202
除了将实施例200的分解处理试验的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为5∶18∶2或10∶9∶1地叠层处理剂之外，与实施例200相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表13所示。
实施例203，204
除了将实施例200的分解处理试验的CF4的浓度分别变成0.2％、2.0％之外，与实施例200相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表13所示。
实施例205～207
除了将实施例200的分解处理试验的氟碳分别替换成C2F6、C5F8、CHF3之外，与实施例200相同地进行氟碳的分解处理试验。其结果如表13所示。
实施例208，209
除了将实施例200的处理剂的调制的氧化镧分别替换成氢氧化镧、碳酸镧之外，与实施例200相同地调制处理剂。使用这些处理剂，与实施例200相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表13所示。
实施例210～213
除了将实施例80的分解处理剂的调制的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为(5∶7∶3)、(5∶5∶5)、(5∶3∶7)、(5∶1∶9)地混合之外，与实施例80相同地调制分解处理剂，使用这些分解处理剂，与实施例80相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表14所示。
实施例214～217
除了将实施例110的分解处理剂的调制的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为(5∶7∶3)、(5∶5∶5)、(5∶3∶7)、(5∶1∶9)地混合之外，与实施例110相同地调制分解处理剂，使用这些分解处理剂，与实施例110相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表15所示。
实施例218～221
除了将实施例140的分解处理试验的原子数的比(Al∶La∶Ca)分别成为(5∶7∶3)、(5∶5∶5)、(5∶3∶7)、(5∶1∶9)地混合之外，与实施例140相同地调制分解处理剂，使用这些分解处理剂，与实施例140相同地进行CF4的分解处理试验。其结果如表16所示。
比较例1
将市售的氧化铝催化剂(平均细孔直径130Å，纯度99.9％、粒径2～3mm)作成由氧化铝的造粒物构成的处理剂。
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以填充长度为300mm地填充此分解处理剂。将分解处理装置的分解处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量950ml/min)导入到分解处理装置中，同时，将氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，与实施例1相同地测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4的分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表17所示。
比较例2
将市售的氧化铝催化剂(平均细孔直径130Å，纯度99.9％、粒径2～3mm)作成由氧化铝的造粒物构成的处理剂。
在内径42mm、长度1000mm的SUS316L制的分解处理装置的内部以填充长度为300mm地填充此分解处理剂。将分解处理装置的分解处理剂的温度加热到860℃后，将含有CF4(流量10ml/min)的氮(合计流量877ml/min)导入到分解处理装置中，同时，将水蒸气(流量73ml/min)及氧(流量50ml/min)导入到分解处理装置中分解CF4。
此时，与实施例1相同地测定CF4的分解率达到99.9％以下的时间，求出对于每1L(升)分解处理剂的CF4的分解处理量(L)(分解处理能力)，同时通过检测管((株)ガステツク制)调查有无排出HF。其结果如表17所示。
表1
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图1A) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例1 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 120 | 无 |
| 实施例2 | Al2O3，La2O3(1∶4) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 61 | 无 |
| 实施例3 | Al2O3，La2O3(1∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 56 | 无 |
| 实施例4 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 0.2 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 118 | 无 |
| 实施例5 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 2.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 121 | 无 |
| 实施例6 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C2F6 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 80 | 无 |
| 实施例7 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C5F8 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 61 | 无 |
| 实施例8 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CHF3 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 157 | 无 |
| 实施例9 | Al2O3，La(OH)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 117 | 无 |
| 实施例10 | Al2O3，La2(CO3)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 119 | 无 |
| 实施例11 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 85 | 无 |
| 实施例12 | Al2O3，La2O3(1∶4) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 42 | 无 |
| 实施例13 | Al2O3，La2O3(1∶1) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 40 | 无 |
| 实施例14 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 0.2 | O2 | 860 | 99.9 | 83 | 无 |
| 实施例15 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 2.0 | O2 | 860 | 99.9 | 86 | 无 |
| 实施例16 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C2F6 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 58 | 无 |
| 实施例17 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C5F8 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 44 | 无 |
| 实施例18 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CHF3 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 111 | 无 |
| 实施例19 | Al2O3，La(OH)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 84 | 无 |
| 实施例20 | Al2O3，La2(CO3)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 83 | 无 |
| 实施例21 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 85 | 无 |
| 实施例22 | Al2O3，La2O3(1∶4) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 43 | 无 |
| 实施例23 | Al203，La2O3(1∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 40 | 无 |
| 实施例24 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 0.2 | - | 860 | 99.9 | 82 | 无 |
| 实施例25 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 2.0 | - | 860 | 99.9 | 84 | 无 |
| 实施例26 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C2F6 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 56 | 无 |
| 实施例27 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C5F8 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 42 | 无 |
| 实施例28 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CHF3 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 109 | 无 |
| 实施例29 | Al2O3，La(OH)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 83 | 无 |
| 实施例30 | Al2O3，La2(CO3)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 84 | 无 |
表2
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图1B) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例31 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 115 | 无 |
| 实施例32 | Al2O3，La2O3(1∶4) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 57 | 无 |
| 实施例33 | Al2O3，La2O3(1∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 53 | 无 |
| 实施例34 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 0.2 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 112 | 无 |
| 实施例35 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 2.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 114 | 无 |
| 实施例36 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C2F6 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 75 | 无 |
| 实施例37 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C5F8 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 59 | 无 |
| 实施例38 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CHF3 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 148 | 无 |
| 实施例39 | Al2O3，La(OH)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 110 | 无 |
| 实施例40 | Al2O3，La2(CO3)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 111 | 无 |
| 实施例41 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 82 | 无 |
| 实施例42 | Al2O3，La2O3(1∶4) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 41 | 无 |
| 实施例43 | Al2O3，La2O3(1∶1) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 38 | 无 |
| 实施例44 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 0.2 | O2 | 860 | 99.9 | 81 | 无 |
| 实施例45 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 2.0 | O2 | 860 | 99.9 | 81 | 无 |
| 实施例46 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C2F6 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 54 | 无 |
| 实施例47 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C5F8 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 42 | 无 |
| 实施例48 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CHF3 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 105 | 无 |
| 实施例49 | Al2O3，La(OH)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 80 | 无 |
| 实施例50 | Al2O3，La2(CO3)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 80 | 无 |
| 实施例51 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 80 | 无 |
| 实施例52 | Al2O3，La2O3(1∶4) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 40 | 无 |
| 实施例53 | A12O3，La2O3(1∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 38 | 无 |
| 实施例54 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 0.2 | - | 860 | 99.9 | 80 | 无 |
| 实施例55 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 2.0 | - | 860 | 99.9 | 81 | 无 |
| 实施例56 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C2F6 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 53 | 无 |
| 实施例57 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C5F8 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 39 | 无 |
| 实施例58 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CHF3 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 104 | 无 |
| 实施例59 | Al2O3，La(OH)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 79 | 无 |
| 实施例60 | Al2O3，La2(CO3)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 78 | 无 |
表3
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图3) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例61 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 110 | 无 |
| 实施例62 | Al2O3，La2O3(1∶4) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 57 | 无 |
| 实施例63 | Al2O3，La2O3(1∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 52 | 无 |
| 实施例64 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 0.2 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 108 | 无 |
| 实施例65 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CF4 | 2.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 112 | 无 |
| 实施例66 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C2F6 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 74 | 无 |
| 实施例67 | Al2O3，La2O3(1∶2) | C5F8 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 55 | 无 |
| 实施例68 | Al2O3，La2O3(1∶2) | CHF3 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 141 | 无 |
| 实施例69 | Al2O3，La(OH)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 109 | 无 |
| 实施例70 | Al2O3，La2(CO3)3(1∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 107 | 无 |
表4
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图1A) | Al2O3的细孔 | 氟碳 | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例71 | Al2O3，La2O3(1∶2) | 30 | CF4 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 40 | 无 |
| 实施例72 | Al2O3，La2O3(1∶2) | 80 | CF4 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 128 | 无 |
| 实施例73 | Al2O3，La2O3(1∶2) | 230 | CF4 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 46 | 无 |
表5
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图1B) | Al2O3的细孔 | 氟碳 | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例74 | Al2O3，La2O3(1∶2) | 30 | CF4 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 38 | 无 |
| 实施例75 | Al2O3，La2O3(1∶2) | 80 | CF4 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 120 | 无 |
| 实施例76 | Al2O3，La2O3(1∶2) | 230 | CF4 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 45 | 无 |
表6
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图3) | Al2O3的细孔 | 氟碳 | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例77 | Al2O3，La2O3(1∶2) | 30 | CF4 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 36 | 无 |
| 实施例78 | Al2O3，La2O3(1∶2) | 80 | CF4 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 115 | 无 |
| 实施例79 | Al2O3，La2O3(1∶2) | 230 | CF4 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 42 | 无 |
表7
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图2A) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例80 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 116 | 无 |
| 实施例81 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 58 | 无 |
| 实施例82 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 54 | 无 |
| 实施例83 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 115 | 无 |
| 实施例84 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 116 | 无 |
| 实施例85 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 78 | 无 |
| 实施例86 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 59 | 无 |
| 实施例87 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 151 | 无 |
| 实施例88 | Al2O3，La(OH)3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 112 | 无 |
| 实施例89 | Al2O3，La2(CO3)3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 115 | 无 |
| 实施例90 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 80 | 无 |
| 实施例91 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 41 | 无 |
| 实施例92 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 38 | 无 |
| 实施例93 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | O2 | 860 | 99.9 | 80 | 无 |
| 实施例94 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | O2 | 860 | 99.9 | 83 | 无 |
| 实施例95 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 56 | 无 |
| 实施例96 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 43 | 无 |
| 实施例97 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 107 | 无 |
| 实施例98 | Al2O3，La(OH)3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 80 | 无 |
| 实施例99 | Al2O3，La2(CO3)3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 79 | 无 |
| 实施例100 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 82 | 无 |
| 实施例101 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 42 | 无 |
| 实施例102 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 39 | 无 |
| 实施例103 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | - | 860 | 99.9 | 79 | 无 |
| 实施例104 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | - | 860 | 99.9 | 80 | 无 |
| 实施例105 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 54 | 无 |
| 实施例106 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 40 | 无 |
| 实施例107 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 106 | 无 |
| 实施例108 | Al2O3，La(OH)3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 80 | 无 |
| 实施例109 | Al2O3，La2(CO3)3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 81 | 无 |
表8
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图2B) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例110 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 112 | 无 |
| 实施例111 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 55 | 无 |
| 实施例112 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 50 | 无 |
| 实施例113 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 108 | 无 |
| 实施例114 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 111 | 无 |
| 实施例115 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 73 | 无 |
| 实施例116 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 56 | 无 |
| 实施例117 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 143 | 无 |
| 实施例118 | Al2O3，La(OH)3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 107 | 无 |
| 实施例119 | Al2O3，La2(CO3)3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 107 | 无 |
| 实施例120 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 79 | 无 |
| 实施例121 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 40 | 无 |
| 实施例122 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 37 | 无 |
| 实施例123 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | O2 | 860 | 99.9 | 78 | 无 |
| 实施例124 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | O2 | 860 | 99.9 | 76 | 无 |
| 实施例125 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 52 | 无 |
| 实施例126 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 40 | 无 |
| 实施例127 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 101 | 无 |
| 实施例128 | Al2O3，La(OH)3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 78 | 无 |
| 实施例129 | Al2O3，La2(CO3)3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 77 | 无 |
| 实施例130 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 77 | 无 |
| 实施例131 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 38 | 无 |
| 实施例132 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 36 | 无 |
| 实施例133 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | - | 860 | 99.9 | 78 | 无 |
| 实施例134 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | - | 860 | 99.9 | 79 | 无 |
| 实施例135 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 50 | 无 |
| 实施例136 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 37 | 无 |
| 实施例137 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 100 | 无 |
| 实施例138 | Al2O3，La2O3，MgO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 70 | 无 |
| 实施例139 | Al2O3，La2CO3，SrO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 69 | 无 |
表9
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图2C) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例140 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 111 | 无 |
| 实施例141 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 55 | 无 |
| 实施例142 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 50 | 无 |
| 实施例143 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 108 | 无 |
| 实施例144 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 110 | 无 |
| 实施例145 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 73 | 无 |
| 实施例146 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 57 | 无 |
| 实施例147 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 144 | 无 |
| 实施例148 | Al2O3，La(OH)3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 106 | 无 |
| 实施例149 | Al2O3，La2(CO3)3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 107 | 无 |
| 实施例150 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 76 | 无 |
| 实施例151 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 39 | 无 |
| 实施例152 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 37 | 无 |
| 实施例153 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | O2 | 860 | 99.9 | 75 | 无 |
| 实施例154 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | O2 | 860 | 99.9 | 78 | 无 |
| 实施例155 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 51 | 无 |
| 实施例156 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 39 | 无 |
| 实施例157 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 100 | 无 |
| 实施例158 | Al2O3，La(OH)3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 74 | 无 |
| 实施例159 | Al2O3，La2(CO3)3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 73 | 无 |
| 实施例160 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 76 | 无 |
| 实施例161 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 37 | 无 |
| 实施例162 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 35 | 无 |
| 实施例163 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | - | 860 | 99.9 | 72 | 无 |
| 实施例164 | A12O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | - | 860 | 99.9 | 73 | 无 |
| 实施例165 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 49 | 无 |
| 实施例166 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 39 | 无 |
| 实施例167 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 98 | 无 |
| 实施例168 | Al2O3，La2O3，Ca(OH)2(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 72 | 无 |
| 实施例169 | Al2O3，La2O3，Mg(OH)2(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | - | 860 | 99.9 | 67 | 无 |
表10
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图4A) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例170 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 107 | 无 |
| 实施例171 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 55 | 无 |
| 实施例172 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 50 | 无 |
| 实施例173 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 104 | 无 |
| 实施例174 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 109 | 无 |
| 实施例175 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 72 | 无 |
| 实施例176 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 52 | 无 |
| 实施例177 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 137 | 无 |
| 实施例178 | Al2O3，La(OH)3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 106 | 无 |
| 实施例179 | Al2O3，La2(CO3)3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 103 | 无 |
表11
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图4B) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例180 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 106 | 无 |
| 实施例181 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 54 | 无 |
| 实施例182 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 49 | 无 |
| 实施例183 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | H2O | 860 | 99.9 | 105 | 无 |
| 实施例184 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | H2O | 860 | 99.9 | 108 | 无 |
| 实施例185 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 72 | 无 |
| 实施例186 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 53 | 无 |
| 实施例187 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 136 | 无 |
| 实施例188 | Al2O3，La(OH)3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 105 | 无 |
| 实施例189 | Al2O3，La2(CO3)3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 104 | 无 |
表12
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图5A) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例190 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 105 | 无 |
| 实施例191 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 54 | 无 |
| 实施例192 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 50 | 无 |
| 实施例193 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 104 | 无 |
| 实施例194 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 109 | 无 |
| 实施例195 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 72 | 无 |
| 实施例196 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 53 | 无 |
| 实施例197 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 135 | 无 |
| 实施例198 | Al2O3，La(OH)3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 106 | 无 |
| 实施例199 | Al2O3，La2(CO3)3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 104 | 无 |
表13
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图5B) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例200 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 106 | 无 |
| 实施例201 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶18∶2) | CF4 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 53 | 无 |
| 实施例202 | Al2O3，La2O3，CaO(10∶9∶1) | CF4 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 51 | 无 |
| 实施例203 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 0.2 | H2O | 860 | 99.9 | 103 | 无 |
| 实施例204 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 2.0 | H2O | 860 | 99.9 | 107 | 无 |
| 实施例205 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C2F6 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 69 | 无 |
| 实施例206 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | C5F8 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 56 | 无 |
| 实施例207 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶9∶1) | CHF3 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 134 | 无 |
| 实施例208 | Al2O3，La(OH)3，CaO(5∶9∶1) | CF4 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 106 | 无 |
| 实施例209 | Al2O3，La2(CO3)3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 1.0 | H2O | 860 | 99.9 | 103 | 无 |
表14
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图2A) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例210 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶7∶3) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 107 | 无 |
| 实施例211 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶5∶5) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 98 | 无 |
| 实施例212 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶3∶7) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 90 | 无 |
| 实施例213 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 0.2 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 81 | 无 |
表15
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图2B) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例214 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶7∶3) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 105 | 无 |
| 实施例215 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶5∶5) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 97 | 无 |
| 实施例216 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶3∶7) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 88 | 无 |
| 实施例217 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 0.2 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 79 | 无 |
表16
| 分解处理剂(原子数的比)(分解处理装置：图2C) | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 实施例218 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶7∶3) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 108 | 无 |
| 实施例219 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶5∶5) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 99 | 无 |
| 实施例220 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶3∶7) | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 85 | 无 |
| 实施例221 | Al2O3，La2O3，CaO(5∶1∶9) | CF4 | 0.2 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 77 | 无 |
表17
| 分解处理剂 | 氟碳 | 浓度(％) | 共存气体 | 分解处理温度 | 分解率(％) | 分解处理能力 | HF的排出 | |
| 比较例1 | Al2O3 | CF4 | 1.0 | O2 | 860 | 99.9 | 8 | 无 |
| 比较例2 | Al2O3 | CF4 | 1.0 | O2、H2O | 860 | 99.9 | 78 | 有 |
Claims (23)
1.一种氟碳的分解处理剂，其特征是含有铝化合物及镧系化合物作为有效成份，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧的原子数比是1∶0.1～10，且前述有效成份的含量在70wt％以上。
2.如权利要求1所述的氟碳的分解处理剂，其特征是将铝化合物及镧系化合物混合、造粒而成的。
3.如权利要求1所述的氟碳的分解处理剂，其特征是将铝化合物的造粒物和镧系化合物的造粒物进行混合而成的。
4.一种氟碳的分解处理剂，其特征是含有铝化合物、镧系化合物及碱土类金属化合物作为有效成份，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，碱土类金属化合物是从碱土类金属的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧和碱土类金属的总原子数的比是1∶0.1～10，且前述有效成份的含量在70wt％以上。
5.如权利要求4所述的氟碳的分解处理剂，其特征是将铝化合物、镧系化合物及碱土类金属化合物混合、造粒而成的。
6.如权利要求4所述的氟碳的分解处理剂，其特征是将铝化合物的造粒物、镧系化合物的造粒物及碱土类金属化合物的造粒物混合而成的。
7.如权利要求4所述的氟碳的分解处理剂，其特征是将铝化合物的造粒物和镧系化合物及碱土类金属化合物的混合造粒物进行混合而成的。
8.如权利要求4所述的氟碳的分解处理剂，其特征是含在分解处理剂中镧的原子数和碱土类金属的原子数的比是1∶2以下。
9.如权利要求1或4所述的氟碳的分解处理剂，其特征在于，所述的铝化合物是具有平均细孔直径50～200Å的细孔的氧化铝。
10.如权利要求1或4所述的氟碳的分解处理剂，其特征在于，所述的氟碳是全氟碳。
11.如权利要求1或4所述的氟碳的分解处理剂，其特征在于，所述的氟碳是CF4。
12.一种氟碳的分解处理方法，其特征是将含有氟碳的气体在加热下与含有铝化合物和镧系化合物作为有效成份的分解处理剂接触分解氟碳，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧的原子数比是1∶0.1～10，且前述有效成份的含量在70wt％以上。
13.一种氟碳的分解处理方法，其特征是将含有氟碳的气体在加热下与含有铝化合物、镧系化合物及碱土类金属化合物作为有效成份的分解处理剂接触分解氟碳，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，碱土类金属化合物是从碱土类金属的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧和碱土类金属的总原子数的比是1∶0.1～10，且前述有效成份的含量在70wt％以上。
14.如权利要求12或13所述的氟碳的分解处理方法，其特征在于，将含有氟碳的气体在氧及/或水蒸气的共存下与分解处理剂接触后，分解氟碳。
15.如权利要求12或13所述的氟碳的分解处理方法，其特征在于，含有氟碳的气体和分解处理剂的接触温度是300～1000℃。
16.如权利要求12或13所述的氟碳的分解处理方法，其特征在于，所述的失活的分解处理剂顺次地从反应系排出的同时，新的分解处理剂供给到反应系。
17.一种氟碳的分解处理方法，其特征是将含有氟碳的气体在氧及/或水蒸气的共存下在加热下与含有铝化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂接触后，与含有镧系化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂接触分解氟碳，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧的原子数比是1∶0.1～10。
18.一种氟碳的分解处理方法，其特征是将含有氟碳的气体在氧及/或水蒸气的共存下在加热下与含有铝化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂接触后，与含有镧系化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂及含有碱土类金属化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂接触分解氟碳，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，碱土类金属化合物是从碱土类金属的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧和碱土类金属的总原子数的比是1∶0.1～10。
19.一种氟碳的分解处理方法，其特征是将含有氟碳的气体在氧及/或水蒸气的共存下在加热下与含有铝化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂接触后，与含有镧系化合物及碱土类金属化合物作为有效成份且该有效成份的含量在70wt％以上的处理剂接触分解氟碳，其中铝化合物是铝的氧化物或氢氧化物，镧系化合物是从镧的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，碱土类金属化合物是从碱土类金属的氧化物、氢氧化物和碳酸盐中选出的至少一种，铝的原子数与镧和碱土类金属的总原子数的比是1∶0.1～10。
20.如权利要求17～19中任一项所述的氟碳的分解处理方法，其特征在于，所述的含有氟碳的气体和处理剂的接触温度是300～1000℃。
21.如权利要求12、13、17、18或19中任一项所述的氟碳的分解处理方法，其特征在于，所述的分解处理前的含有氟碳的气体和分解处理后的气体进行热交换。
22.如权利要求12、13、17、18或19中任一项所述的氟碳的分解处理方法，其特征在于，所述的氟碳是全氟碳。
23.如权利要求12、13、17、18或19中任一项所述的氟碳的分解处理方法，其特征在于，所述的氟碳是CF4。
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