CN117878047A - 用于光伏整流器基板的定位治具、夹持及转移装置 - Google Patents
用于光伏整流器基板的定位治具、夹持及转移装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117878047A CN117878047A CN202410269374.7A CN202410269374A CN117878047A CN 117878047 A CN117878047 A CN 117878047A CN 202410269374 A CN202410269374 A CN 202410269374A CN 117878047 A CN117878047 A CN 117878047A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- substrate
- clamping
- zhengliu
- rod
- counter bores
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 107
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 9
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Automatic Assembly (AREA)
Abstract
一种用于光伏整流器基板的定位治具、夹持及转移装置,属于光伏整流器用转移装置技术领域。用于光伏整流器基板的定位治具,包括:矩形板,其顶面呈矩形阵列开设有多个沉孔,沉孔的四个角均开设有圆孔,沉孔的底部垂直穿设有顶杆,沉孔相对的内壁设有侧压块,侧压块的底部垂直设有圆杆。用于光伏整流器基板的夹持装置,用于向上述的定位治具组装基板,包括伸缩装置,其伸缩杆设有芯轴,芯轴的外部套设有圆环和芯轴圆板,圆环的外部沿圆周阵列设有四组导杆,每一组导杆上均滑动设有夹持杆。用于光伏整流器基板的转移装置包括第一输送装置及第二输送装置。本方案不仅方便装取基板,而且在转移过程中可将基板牢牢的锁紧在定位板内。
Description
技术领域
本发明属于光伏整流器生产用输送转移装置技术领域,尤其涉及一种用于光伏整流器基板的定位治具、夹持及转移装置。
背景技术
光伏整流器主要包括矩形结构的基板以及焊接在基板上的芯片及,芯片及引脚在进行焊接组装之前,需要在基板上预定的位置涂抹锡膏,此时通常会将基板放置于定位治具内,定位治具上加工有容纳基板的沉孔。现有的生产技术中仍然存在以下问题:1、通常采用手工放置基板,并通过手指将基板从定位治具的沉孔内抠出,虽然通过在沉孔的边沿加工缺口的方式,可提高抠出基板的便捷性,但是由于整流模块所用到的基板通常尺寸较小,通过手工放取基板的方式效率仍然较低;2、现有定位治具的沉孔内壁或周边缺少对基板的压紧结构,在转移定位治具的过程中基板极易从沉孔内弹出甚至掉落。
发明内容
为解决现有技术不足,本发明提供一种用于光伏整流器基板的定位治具、夹持及转移装置,不仅方便装取基板,而且在转移过程中可将基板牢牢地锁紧在定位治具内。
为了实现本发明的目的,拟采用以下方案:
一种用于光伏整流器基板的定位治具,包括:矩形板,其顶面呈矩形阵列开设有多个沉孔,沉孔为矩形孔结构,沉孔的四个角均开设有垂于沉孔底面的圆孔,且圆孔的圆心与沉孔的角重合,沉孔的底部均垂直开设有通孔,其内部穿设有顶杆,顶杆的顶部为锥形,顶杆的底部与矩形板的底面之间通过圆柱弹簧相连,沉孔相对的内壁设有侧压块,沉孔的内壁开设有U型槽用于容纳侧压块,侧压块的外壁与U型槽的侧壁之间设有弹性片,侧压块的底部垂直设有圆杆,圆杆穿设于矩形板的内部。当弹性片自然伸展时,圆杆的前端凸出于通孔内;当圆柱弹簧自然伸展时,顶杆的顶面低于沉孔的底面;顶杆朝沉孔上方移动时,圆柱弹簧被压缩,顶杆顶部的锥形结构用于推动圆杆向后端移动。
一种用于光伏整流器基板的夹持装置,用于向上述的光伏整流器基板的定位治具组装基板,夹持装置包括伸缩装置,其伸缩杆同轴设有芯轴,芯轴的外部同轴套设有一圆环,圆环与伸缩装置之间的相对位置固定,芯轴对应圆环的上方同轴设有圆板,圆环的外部沿圆周阵列设有四根导杆,且导杆的轴线均与圆环的径向一致,每一组导杆上均滑动设有夹持杆,夹持杆的直径小于圆孔的内径,夹持杆与导杆的末端之间设有压缩弹簧,夹持杆的顶部均设有导向块,其前端均朝向芯轴上方的导向斜面,当压缩弹簧为自然伸展时,圆板在轴向的投影视图上位于导向斜面范围内,当圆板的外壁与导向块的前端面接触时,压缩弹簧呈压缩状态,夹持杆的下端朝向芯轴的方向均开设有卡槽,用于夹持基板的角落。
一种用于光伏整流器基板的转移装置,用于输送上述的光伏整流器基板的定位治具,转移装置包括沿水平方向依次设置的第一输送装置及第二输送装置,第一输送装置为平面传输带结构,其顶面用于支撑顶杆,第二输送装置包括两条设于第一输送装置两侧的传输带,传输带用于支撑矩形板两侧的底部。
本发明的有益效果在于:
1、基板定位治具利用设置在沉孔内的侧压块压紧基板的侧面,从而有效防止基板从沉孔内脱落。
2、在向基板定位治具放置或者从中取出基板时,基板定位治具均通过顶杆进行支撑,以使侧压块自动避让基板,同时取出基板时可利用顶杆将基板从沉孔内顶起,从而使得基板取出的过程更加方便。
附图说明
本文描述的附图只是为了说明所选实施例,而不是所有可能的实施方案,更不是意图限制本发明的范围。
图1示出了矩形板一种优选结构的局部剖视图。
图2示出了图1中A处的局部放大图。
图3示出了本申请基板定位治具的一种优选结构示意图。
图4示出了本申请夹持装置取放基板时的状态示意图。
图5示出了本申请夹持装置夹持基板时的状态示意图。
图6示出了本申请夹持装置夹持基板时的局部剖视图。
图7示出了本申请夹持装置向基板定位治具放置基板时的状态示意图。
图8示出了本申请转移装置以及夹持装置的一种优选结构示意图。
图9示出了本申请转移装置一种优选实施例的结构示意图。
图中标记:矩形板-1、沉孔-11、圆孔-12、通孔-13、U型槽-14、条形板-15、矩形框-16、顶杆-2、圆柱弹簧-21、侧压块-3、弹性片-31、圆杆-32、伸缩装置-41、芯轴-42、圆板-421、圆环-43、导杆-431、压缩弹簧-432、夹持杆-44、导向块-441、导向斜面-442、卡槽-443、升降气缸-45、直线机构-46、第一输送装置-51、第二输送装置-52、传输带-521。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面结合附图对本发明的实施方式进行详细说明,但本发明所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
实施例1,如图1、图2所示,一种用于光伏整流器基板的定位治具,包括:矩形板1,其顶面呈矩形阵列开设有多个沉孔11,沉孔11为矩形孔结构,其内壁与基板匹配,沉孔11的四个角均开设有垂于沉孔11底面的圆孔12,且圆孔12的圆心与沉孔11的角重合,即圆孔12的圆心位于沉孔11相邻内壁的交线上,如此一来圆孔12其中四分之一的部位将与沉孔11重合,以使得沉孔11与圆孔12的侧面连通,沉孔11的底部均垂直开设有通孔13,其内部穿设有顶杆2,顶杆2的顶部为锥形,顶杆2的底部与矩形板1的底面之间通过圆柱弹簧21相连,且圆柱弹簧21套设于顶杆2的外部,沉孔11其中至少一组相对的内壁设有侧压块3,沉孔11的内壁开设有U型槽14用于容纳侧压块3,侧压块3的外壁与U型槽14的侧壁之间设有弹性片31,侧压块3的底部垂直设有圆杆32,圆杆32穿设于矩形板1的内部。
当弹性片31自然伸展时,圆杆32的前端凸出于通孔13内;当圆柱弹簧21自然伸展时,顶杆2的顶面低于沉孔11的底面;顶杆2朝沉孔11上方移动时,圆柱弹簧21被压缩,顶杆2顶部的锥形结构用于推动圆杆32向后端移动。
放置芯片,将基板定位治具放置于一支撑面或者输送平面上,此时基板定位治具将通过顶杆2的底部与支撑面或者输送平面接触,矩形板1在重量的作用下,将向圆柱弹簧21施加向下的压力,使圆柱弹簧21压缩,从而使得顶杆2相对矩形板1向上移动,顶杆2向上移动过程中将推动圆杆32向沉孔11的外侧移动,从而使侧压块3在U型槽14内向沉孔11的外侧移动,以方便向沉孔11内放入基板,此时弹性片31将被压缩。
当基板放置完成之后,便可对基板定位治具进行转移,使顶杆2与支撑面或者输送平面分离,并且分离之后在圆柱弹簧21的作用下,顶杆2将相对基板定位治具向下移动,圆杆32失去了顶杆2的推力作用之后,弹性片31将推动侧压块3向沉孔11中部移动,从而使侧压块3的内侧面压紧于基板的侧面,以防止基板从沉孔11内脱落。
取出基板,将基板定位治具转移至预定位置之后,再次通过顶杆2与支撑面或者输送平面接触,在矩形板1重力的作用下,顶杆2将再次相对于矩形板1向上移动,从利用其顶部的锥形结构推动圆杆32向沉孔11的外侧移动,从而使侧压块3自动松开基板的侧壁;继续向矩形板1施加向下压力,圆柱弹簧21将被继续压缩,顶杆2将相对于矩形板1继续向上移动,继而利用顶杆2将松开后的基板向上顶起,以方便将基板从沉孔11取出。
优选的,如图3所示,矩形板1包括多块独立结构的条形板15,每块条形板15的顶面均沿长度方向阵列设有多个沉孔11,条形板15均设于一矩形框16内,从而形成整体结构的基板定位治具,顶杆2的底面向下凸出于矩形框16的底面,以便于利用顶杆2对基板定位治具进行支撑。如此设置的目的在于降低加工难度,并且当其中个别沉孔11受损之后,仅需要更换对应的条形板15即可,无需对矩形板1进行整块更换,从而降低后期的维护成本。更具体的,条形板15采用螺钉固定于矩形框16内,也可通过定位销进行固定。
实施例2,如图4至图7所示,一种用于光伏整流器基板的夹持装置,包括夹持机构,用于向实施例1记载的光伏整流器基板的定位治具组装基板,夹持机构包括伸缩装置41,其伸缩杆同轴设有芯轴42,芯轴42的外部同轴套设有一圆环43,圆环43与伸缩装置41之间的相对位置固定,芯轴42对应圆环43的上方同轴设有圆板421,圆环43的外部沿圆周阵列设有四组导杆431,且导杆431的轴线均与圆环43的径向一致,每一组导杆431上均滑动设有夹持杆44,夹持杆44的直径小于圆孔12的内径,夹持杆44与导杆431的末端之间设有压缩弹簧432,用于将夹持杆44施加朝向芯轴42的压力,夹持杆44的顶部均设有导向块441,其前端均朝向芯轴42上方的导向斜面442,当压缩弹簧432为自然伸展时,圆板421在轴向的投影视图上位于导向斜面442范围内,当圆板421的外壁与导向块441的前端面接触时,压缩弹簧432呈压缩状态,夹持杆44的下端朝向芯轴42的方向均开设有卡槽443,用于夹持基板的角落。
如图4至图7所示,使用时,首先,将基板定位治具通过顶杆2支撑于支撑面或者输送平面上,此时侧压块3将收回至U型槽14内,以方便放入基板。利用伸缩装置41驱动芯轴42伸出,圆板421将向圆环43移动,并通过圆板421的边沿与导向斜面442接触的方式推动夹持杆44向导杆431的末端移动,直至圆板421的外边沿与导向块441的前端面接触,以固定夹持杆44,此时夹持杆44与芯轴42之间的距离处于最大状态,以方便卡入基板。将夹持装置转移至单个或者呈堆垛状态的基板上方,并整体向下移动夹持装置,使四根夹持杆44的卡槽443分别对应于基板的四个角外部。通过伸缩装置41收回芯轴42,圆板421将从导向块441的前端面逐渐滑向导向斜面442,夹持杆44在压缩弹簧432的作用下将自动向芯轴42移动,从而使卡槽443压紧基板的四角,以上便完成了对基板夹持固定的过程。
如图4、图7所示,组装基板,将夹持装置转移至基板定位治具的上方,使四根夹持杆44与其中一个沉孔11的四个圆孔12对齐,向下移动夹持装置,将基板插入沉孔11内;利用伸缩装置41驱动芯轴42伸出,通过圆板421的边沿与导向斜面442接触的方式推动夹持杆44向导杆431的末端移动,从而使卡槽443与基板分离,然后将夹持装置向上移开即可。利用夹持装置可自动夹取基板,并将基板放置于基板定位治具的沉孔内。
优选的,卡槽443的截面为直角结构,其两个直角面用于压紧基板相邻的侧边,通过面接触的方式提高对基板压紧的稳定性。
进一步优选的,如图8、图9所示,伸缩装置41设于一升降气缸45的伸缩杆末端,升降气缸45呈竖直设置,其伸缩杆朝下,升降气缸45设于一直线机构46的滑块上,直线机构46呈水平设置,通过以上设置,使得夹持装置具有了竖直及水平方向移动的功能,直线机构46为直线电机或无杆气缸,伸缩装置41为气缸或直线电机。
优选的,如图4、图6所示,芯轴42的底面与基板的顶面接触时,圆板421的外壁与导向块441的前端面接触,在抓取基板时,可通过芯轴42与基板之间的接触,作为夹持装置下降高度的参考,而在向基板定位治具放置基板时,则又可利用芯轴42作为支撑或推动结构,使基板稳定的插入沉孔11内。
实施例3,如图8、图9所示,一种用于光伏整流器基板的转移装置,包括转移机构及实施例2记载的光伏整流器基板的夹持装置,转移装置用于输送实施例1记载的光伏整流器基板的定位治具,转移装置包括沿水平方向依次设置的第一输送装置51及第二输送装置52,第一输送装置51为平面传输带结构,其顶面用于支撑顶杆2,第二输送装置52包括两条设于第一输送装置51两侧的传输带521,传输带521用于支撑矩形板1两侧的底部。工作时,根据实际的生产需求,基板定位治具可以从第一输送装置51向第二输送装置52转移,也可以从第二输送装置52向第一输送装置51转移;当基板定位治具从第一输送装置51向第二输送装置52转移时,可在基板定位治具位于第一输送装置51上时,因为此时顶杆2支撑于第一输送装置51上,此时可向基板定位治具放置基板,而当基板定位治具移动至第二输送装置52时,基板定位治具将通过矩形板1的底部与传输带521接触,顶杆2则失去了限位,此时便会通过侧压块3将基板压紧,以防止基板从沉孔11内脱落;基板在植球完成之后的输送便可采用从第二输送装置52向第一输送装置51转移的方式,基板定位治具在第二输送装置52上输送的过程中,侧压块3将时刻保持着夹紧基板的状态,而当基板定位治具移动至第一输送装置51上时,侧压块3便会自动松开基板,由此便可在第一输送装置51的位置取出基板。
优选的,如图9所示,第一输送装置51及第二输送装置52相接的一端相互交错,以便于实现无缝衔接,平稳的输送基板定位治具。
以上所述仅为本发明的优选实施例,并不表示是唯一的或是限制本发明。本领域技术人员应理解,在不脱离本发明的范围情况下,对本发明进行的各种改变或同等替换,均属于本发明保护的范围。
Claims (8)
1.一种用于光伏整流器基板的定位治具,其特征在于,包括:矩形板(1),其顶面呈矩形阵列开设有多个沉孔(11),沉孔(11)为矩形孔结构,沉孔(11)的四个角均开设有垂直于沉孔(11)底面的圆孔(12),且圆孔(12)的圆心与沉孔(11)的角重合,沉孔(11)的底部均垂直开设有通孔(13),其内部穿设有顶杆(2),顶杆(2)的顶部为锥形,顶杆(2)的底部与矩形板(1)的底面之间通过圆柱弹簧(21)相连,沉孔(11)相对的内壁设有侧压块(3),沉孔(11)的内壁开设有U型槽(14)用于容纳侧压块(3),侧压块(3)的外壁与U型槽(14)的侧壁之间设有弹性片(31),侧压块(3)的底部垂直设有圆杆(32),圆杆(32)穿设于矩形板(1)的内部;
当弹性片(31)自然伸展时,圆杆(32)的前端凸出于通孔(13)内;当圆柱弹簧(21)自然伸展时,顶杆(2)的顶面低于沉孔(11)的底面;顶杆(2)朝沉孔(11)上方移动时,圆柱弹簧(21)被压缩,顶杆(2)顶部的锥形结构用于推动圆杆(32)向后端移动。
2.根据权利要求1所述的一种用于光伏整流器基板的定位治具,其特征在于,矩形板(1)包括多块独立结构的条形板(15),每块条形板(15)的顶面均沿长度方向阵列设有多个沉孔(11),条形板(15)均设于一矩形框(16)内,顶杆(2)的底面向下凸出于矩形框(16)的底面。
3.一种用于光伏整流器基板的夹持装置,其特征在于,包括夹持机构以及权利要求1所述的用于光伏整流器基板的定位治具;
夹持机构包括伸缩装置(41),其伸缩杆同轴设有芯轴(42),芯轴(42)的外部同轴套设有一圆环(43),圆环(43)与伸缩装置(41)之间的相对位置固定,芯轴(42)对应圆环(43)的上方同轴设有圆板(421),圆环(43)的外部沿圆周阵列设有四组导杆(431),且导杆(431)的轴线均与圆环(43)的径向一致,每一组导杆(431)上均滑动设有夹持杆(44),夹持杆(44)的直径小于圆孔(12)的内径,夹持杆(44)与导杆(431)的末端之间设有压缩弹簧(432),夹持杆(44)的顶部均设有导向块(441),其前端均朝向芯轴(42)上方的导向斜面(442),当压缩弹簧(432)自然伸展时,圆板(421)在轴向的投影视图上位于导向斜面(442)范围内,当圆板(421)的外壁与导向块(441)的前端面接触时,压缩弹簧(432)呈压缩状态;夹持杆(44)的下端朝向芯轴(42)的方向均开设有卡槽(443),用于夹持基板的角落。
4.根据权利要求3所述的一种用于光伏整流器基板的夹持装置,其特征在于,卡槽(443)的截面为直角结构,其两个直角面用于压紧基板相邻的侧边。
5.根据权利要求3所述的一种用于光伏整流器基板的夹持装置,其特征在于,伸缩装置(41)设于一升降气缸(45)的伸缩杆末端,升降气缸(45)呈竖直设置,升降气缸(45)的伸缩杆朝下,升降气缸(45)设于一直线机构(46)的滑块上,直线机构(46)呈水平设置。
6.根据权利要求3所述的一种用于光伏整流器基板的夹持装置,其特征在于,芯轴(42)的底面与基板的顶面接触时,圆板(421)的外壁与导向块(441)的前端面接触。
7.一种用于光伏整流器基板的转移装置,其特征在于,包括转移机构以及权利要求3-6中任意一项所述的用于光伏整流器基板的夹持装置;
转移机构包括沿水平方向依次设置的第一输送装置(51)及第二输送装置(52),第一输送装置(51)为平面传输带结构,其顶面用于支撑顶杆(2),第二输送装置(52)包括两条设于第一输送装置(51)两侧的传输带(521),传输带(521)用于支撑矩形板(1)两侧的底部。
8.根据权利要求7所述的一种用于光伏整流器基板的转移装置,其特征在于,第一输送装置(51)及第二输送装置(52)相接的一端相互交错。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202410269374.7A CN117878047A (zh) | 2024-03-11 | 2024-03-11 | 用于光伏整流器基板的定位治具、夹持及转移装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202410269374.7A CN117878047A (zh) | 2024-03-11 | 2024-03-11 | 用于光伏整流器基板的定位治具、夹持及转移装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN117878047A true CN117878047A (zh) | 2024-04-12 |
Family
ID=90584834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202410269374.7A Pending CN117878047A (zh) | 2024-03-11 | 2024-03-11 | 用于光伏整流器基板的定位治具、夹持及转移装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN117878047A (zh) |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000243816A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-08 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 基板チャック装置 |
WO2004012259A1 (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-05 | Tokyo Electron Limited | 基板処理容器 |
CN1550033A (zh) * | 2002-06-21 | 2004-11-24 | ������������ʽ���� | 基片保持装置和电镀设备 |
US20090079452A1 (en) * | 2007-09-26 | 2009-03-26 | Formfactor, Inc. | Component assembly and alignment |
CN101752245A (zh) * | 2008-12-10 | 2010-06-23 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体器件制作方法及氧化系统 |
JP2010251769A (ja) * | 2010-05-24 | 2010-11-04 | Olympus Corp | 基板保持装置及び基板の保持方法 |
CN105452523A (zh) * | 2013-08-02 | 2016-03-30 | 应用材料公司 | 用于基板的保持布置 |
CN106031326A (zh) * | 2014-02-21 | 2016-10-12 | 富士机械制造株式会社 | 元件交接装置及元件安装机 |
CN115312439A (zh) * | 2022-09-08 | 2022-11-08 | 马一平 | 一种方便取放晶粒的半导体晶片高效封装设备 |
CN115547915A (zh) * | 2022-11-28 | 2022-12-30 | 四川上特科技有限公司 | 一种晶圆曝光夹具及曝光装置 |
CN115579314A (zh) * | 2022-11-14 | 2023-01-06 | 四川上特科技有限公司 | 一种晶圆输送盘及输送装置 |
CN218447836U (zh) * | 2022-09-29 | 2023-02-03 | 安徽蓝讯微晶科技有限责任公司 | 一种igbt封装用的陶瓷支架 |
CN218631965U (zh) * | 2022-09-13 | 2023-03-14 | 厦门特仪科技有限公司 | 晶圆镀锅自动上下料装置 |
CN219180507U (zh) * | 2023-02-02 | 2023-06-13 | 四川遂芯微电子股份有限公司 | 一种整流模块封装结构 |
CN116435246A (zh) * | 2023-06-15 | 2023-07-14 | 上海果纳半导体技术有限公司 | 晶圆盒夹持装置 |
CN116900442A (zh) * | 2023-07-21 | 2023-10-20 | 海南航芯高科技产业集团有限责任公司 | 用于igbt模块的固定工装及igbt模块组装工艺 |
CN117542781A (zh) * | 2023-11-14 | 2024-02-09 | 浙江汇隆晶片技术有限公司 | 石英晶片夹具的自动化传送定位机构 |
-
2024
- 2024-03-11 CN CN202410269374.7A patent/CN117878047A/zh active Pending
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000243816A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-08 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 基板チャック装置 |
CN1550033A (zh) * | 2002-06-21 | 2004-11-24 | ������������ʽ���� | 基片保持装置和电镀设备 |
WO2004012259A1 (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-05 | Tokyo Electron Limited | 基板処理容器 |
US20090079452A1 (en) * | 2007-09-26 | 2009-03-26 | Formfactor, Inc. | Component assembly and alignment |
CN101752245A (zh) * | 2008-12-10 | 2010-06-23 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体器件制作方法及氧化系统 |
JP2010251769A (ja) * | 2010-05-24 | 2010-11-04 | Olympus Corp | 基板保持装置及び基板の保持方法 |
CN105452523A (zh) * | 2013-08-02 | 2016-03-30 | 应用材料公司 | 用于基板的保持布置 |
CN106031326A (zh) * | 2014-02-21 | 2016-10-12 | 富士机械制造株式会社 | 元件交接装置及元件安装机 |
CN115312439A (zh) * | 2022-09-08 | 2022-11-08 | 马一平 | 一种方便取放晶粒的半导体晶片高效封装设备 |
CN218631965U (zh) * | 2022-09-13 | 2023-03-14 | 厦门特仪科技有限公司 | 晶圆镀锅自动上下料装置 |
CN218447836U (zh) * | 2022-09-29 | 2023-02-03 | 安徽蓝讯微晶科技有限责任公司 | 一种igbt封装用的陶瓷支架 |
CN115579314A (zh) * | 2022-11-14 | 2023-01-06 | 四川上特科技有限公司 | 一种晶圆输送盘及输送装置 |
CN115547915A (zh) * | 2022-11-28 | 2022-12-30 | 四川上特科技有限公司 | 一种晶圆曝光夹具及曝光装置 |
CN219180507U (zh) * | 2023-02-02 | 2023-06-13 | 四川遂芯微电子股份有限公司 | 一种整流模块封装结构 |
CN116435246A (zh) * | 2023-06-15 | 2023-07-14 | 上海果纳半导体技术有限公司 | 晶圆盒夹持装置 |
CN116900442A (zh) * | 2023-07-21 | 2023-10-20 | 海南航芯高科技产业集团有限责任公司 | 用于igbt模块的固定工装及igbt模块组装工艺 |
CN117542781A (zh) * | 2023-11-14 | 2024-02-09 | 浙江汇隆晶片技术有限公司 | 石英晶片夹具的自动化传送定位机构 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
刘强等: "激光巨量转移复合型运动平台用洛伦兹磁轴承", 《机械工程学报》, vol. 60, no. 1, 31 January 2024 (2024-01-31), pages 198 - 209 * |
徐欣等: "零点定位系统功能研究及产业应用综述", 《工具技术》, vol. 57, no. 2, 28 February 2023 (2023-02-28), pages 3 - 12 * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN114054387B (zh) | 一种气密性测试设备 | |
CN112003431B (zh) | 定子组装模组、设备及组装方法 | |
CN111168377B (zh) | 一种led球泡灯自动化装配设备 | |
CN203599023U (zh) | 静置线烤箱 | |
CN210497313U (zh) | 一种电感机能自动测试机 | |
CN113828884B (zh) | 一种适用于pcb板的回焊设备 | |
WO2023092671A1 (zh) | 一种折弯保压单元及产品折弯生产线 | |
CN117878047A (zh) | 用于光伏整流器基板的定位治具、夹持及转移装置 | |
CN210121735U (zh) | 压缩机焊接系统 | |
CN218840656U (zh) | 一种电子产品自动化测试设备 | |
CN113829052B (zh) | 计数器计数组件组装系统及其组装方法 | |
CN216126139U (zh) | 一种转盘式拆装设备 | |
CN213568482U (zh) | 一种金属环收料装置 | |
CN115400960A (zh) | 一种金属钽电容的整形测试编带设备 | |
CN210121734U (zh) | 压缩机同心定位装置及具有该装置的压缩机焊接系统 | |
CN114530398A (zh) | 一种半导体模组芯片溅镀制程后的高精度顶胶取放设备 | |
CN209905862U (zh) | 一种检测治具 | |
CN219617601U (zh) | 镜片定位组装治具 | |
CN219238513U (zh) | 一种转移装置及按键生产线 | |
CN209973655U (zh) | 一种氧弹夹持组件 | |
CN219293156U (zh) | 一种用于结构拼接的焊接夹具 | |
CN220563682U (zh) | 一种快速换料的太阳能光伏板检测设备 | |
CN217577307U (zh) | 一种用于手机band下U件上料的取放机构 | |
CN220613092U (zh) | 一种高效率的机械加工用定位装置 | |
CN219665899U (zh) | 飞轮壳上料系统及飞轮壳自动生产线 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |