CN117870351B - 一种三代半导体用等静压石墨制品生产焙烧装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及石墨加工技术领域，尤其是一种三代半导体用等静压石墨制品生产焙烧装置，包括焙烧炉体和干燥炉体，所述焙烧炉体和所述干燥炉体的两侧均开设有导料槽，所述焙烧炉体和所述干燥炉体之间设置有隔热板，所述隔热板的两端分别延伸至所述焙烧炉体和所述干燥炉体的内部后固定连接在相互远离的两个所述导料槽底部；本发明中的等静压石墨在焙烧炉体内部焙烧的过程中，气体引导机构将焙烧炉体中的高温惰性气体向外排出，并在排出的过程中经过干燥炉体，对等静压石墨进行预热并干燥除湿，使等静压石墨进入焙烧炉体中进行焙烧的时间降低，并防止静压石墨表面水分在高温焙烧过程中产生氧化反应。

Description

一种三代半导体用等静压石墨制品生产焙烧装置

技术领域

本发明涉及石墨加工技术领域，尤其涉及一种三代半导体用等静压石墨制品生产焙烧装置。

背景技术

二十一世纪以来，以氮化镓和碳化硅、氧化锌、金刚石为四大代表的第三代半导体材料开始初露头角；第三代半导体材料在光电子和微电子领域具有重要的应用价值；目前，市场火热的5G基站、新能源汽车和快充等都是第三代半导体的重要应用领域；石墨在第三代半导体中有着重要的作用，主要的应用有用于氧化层的制作以及作为晶体管基底电极等；等静压石墨的导热系数高，热膨胀系数低，具有良好的热传导性能，因此在高温、高压条件下，其使用寿命更长，更加耐用可靠，因此在三代半导体的加工过程中应用更加广泛。

现有技术公开了部分关于石墨制品生产技术领域的专利文件，申请号为CN202211265142.1的中国发明专利，公开了一种石墨制品生产焙烧装置，涉及石墨制品生产技术领域，包括一种石墨制品生产焙烧装置，包括烘烤箱，所述烘烤箱的左侧表面下部接通安装管一，烘烤箱的右侧表面上部接通安装管二，所述安装管二的内部固定连接扇叶二，所述扇叶二的转动轴固定连接锥齿轮四，所述锥齿轮四的上端与锥齿轮三啮合，所述锥齿轮三的上端固定连接转动棒，所述转动棒通过轴承与安装管二上开设的圆孔转动连接，转动棒的上端穿过圆孔延伸至安装管二的上部，并且固定连接转盘，所述转盘的上侧表面固定连接凸块。

现有技术在对石墨进行焙烧时，通常利用加热气体对石墨进行高温焙烧，在高温焙烧的过程中，通过气体的流动来保证内部焙烧温度的恒定，而流动排出的气体剩余热量难以得到有效的利用，从而造成热量的浪费，并在通过惰性气体对石墨加热焙烧时，石墨在焙烧结束后仍需要进行密封保存，防止石墨本身的高温和外部空气接触产生氧化反应，但在实际的焙烧过程中，将石墨密封焙烧并取出后，石墨在焙烧后自身的高温容易和周围空气接触产生氧化反应，影响石墨的生产加工效果。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种三代半导体用等静压石墨制品生产焙烧装置。

为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：一种三代半导体用等静压石墨制品生产焙烧装置，包括焙烧炉体和干燥炉体，所述焙烧炉体和所述干燥炉体的两侧均开设有导料槽，所述焙烧炉体和所述干燥炉体之间设置有隔热板，所述隔热板的两端分别延伸至所述焙烧炉体和所述干燥炉体的内部后固定连接在相互远离的两个所述导料槽底部，所述焙烧炉体和所述干燥炉体的底部与所述导料槽之间共同活动套设有输送带，所述隔热板的顶部和所述输送带内部的顶面相接触，所述输送带上连接有驱动传输机构；

所述焙烧炉体上连接有加热焙烧机构和气体输送机构，所述焙烧炉体和所述干燥炉体之间连接有气体引导机构，通过气体引导机构的作用，使加热气体对所述干燥炉体的内部进行加热干燥，所述导料槽上均连接有活动密封机构；

所述焙烧炉体的内部连接有引导收集机构，通过引导收集机构的作用，使焙烧后的等静压石墨移动到至所述焙烧炉体内部的底面和所述隔热板之间进行密封收集；

所述引导收集机构包括连接挡板、第一引导槽和多个第二引导槽，所述连接挡板固定连接在所述焙烧炉体远离所述干燥炉体的一侧内部，所述连接挡板位于相邻的所述导料槽侧面，所述第一引导槽开设在所述隔热板上，且所述第一引导槽位于所述连接挡板内侧的下方，所述第一引导槽的内部滑动密封有密封板，所述密封板的一端贯穿所述焙烧炉体的侧面并延伸至所述焙烧炉体的外部后固定连接有第一拉环，多个所述第二引导槽均匀开设在所述输送带的表面上，所述焙烧炉体一侧的下方开设有放置槽，所述放置槽的内部滑动密封有收集壳体，所述收集壳体位于所述隔热板的下方，所述收集壳体靠近所述焙烧炉体外部的一侧固定连接有第二拉环。

优选的，所述驱动传输机构包括两个安装架，两个所述安装架分别固定连接在所述焙烧炉体和所述干燥炉体相互远离的一侧，所述安装架的内部均转动连接有连接轴，所述连接轴上均固定连接有输送辊，两个所述输送辊均位于所述输送带的内部，且与所述输送带进行传动连接，其中一个所述安装架上固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴和相邻的所述连接轴一端均固定连接有皮带轮，所述皮带轮之间传动连接有传动皮带。

优选的，所述加热焙烧机构包括多个加热棒，所述加热棒呈线性阵列固定安装在所述焙烧炉体的内部，所述加热棒位于所述输送带的上方。

优选的，所述气体输送机构包括第一密封管，所述第一密封管位于所述焙烧炉体的一侧，所述第一密封管的侧面固定连通有进气管，所述第一密封管的底部呈线性阵列固定连通有多个排气管，所述排气管的一端均固定连通在所述焙烧炉体的一侧。

优选的，所述气体引导机构包括第二密封管，所述第二密封管位于所述焙烧炉体的另一侧，所述第二密封管上固定连通有多个第一引导管，所述第一引导管均固定连通在所述焙烧炉体的侧面，所述第二密封管的顶部固定连通有连通管，所述连通管的一端固定连通有第二引导管，所述第二引导管的一端贯穿所述干燥炉体的侧面并从所述干燥炉体的顶部延伸出去，所述焙烧炉体和所述干燥炉体的顶部均固定连通有多个第三引导管，所述第三引导管的顶端均固定连通在所述第二引导管的底部，所述第二引导管上固定安装有第一排气扇、第二排气扇和空气过滤器，所述第一排气扇和所述空气过滤器均位于所述焙烧炉体和所述干燥炉体之间，所述第二排气扇位于所述第二引导管的末端。

优选的，所述活动密封机构包括四个液压气缸，四个所述液压气缸分别固定安装在所述干燥炉体和所述焙烧炉体的两侧，所述液压气缸的活塞轴上均固定连接有连接杆，所述连接杆的下方均设置有活动挡板，所述连接杆底部的两端均固定连接有限位销，所述限位销均滑动插设在相邻的所述活动挡板上，所述限位销上均套设有弹簧，所述弹簧的两端分别固定连接在相邻的所述活动挡板和所述连接杆上，所述活动挡板均位于相邻的所述导料槽顶部。

优选的，所述收集壳体的内部设置有振动板，所述振动板的一端和所述收集壳体的内壁转动连接，所述收集壳体的内部转动连接有转动轴，所述转动轴上固定连接有凸轮，所述凸轮位于振动板的底部，且位于所述第一引导槽的下方，所述收集壳体的侧面固定安装有第二电机，所述第二电机的输出轴固定连接在所述转动轴的一端上。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

1、等静压石墨在焙烧炉体内部焙烧的过程中，气体引导机构将焙烧炉体中的高温惰性气体向外排出，并在排出的过程中经过干燥炉体，对干燥炉体中的等静压石墨进行预热并干燥除湿，使干燥炉体中的等静压石墨进入焙烧炉体中进行焙烧的时间降低，并防止静压石墨表面水分在高温焙烧过程中产生氧化反应。

2、通过引导收集机构的作用，将原先焙烧炉体中焙烧后的等静压石墨引导收集到焙烧炉体内部的底面和隔热板之间进行密封处理，在导料槽重新打开后，气体输送机构继续向焙烧炉体内部持续输送惰性气体，减少外部空气进入焙烧炉体内部和焙烧后的等静压石墨产生氧化反应，当焙烧后的等静压石墨进入焙烧炉体内部的底面和隔热板之间以后，通过隔热板对焙烧炉体焙烧的热量进行阻隔，使焙烧后的等静压石墨能够位于隔热板的下方进行密封冷却，从而在不影响焙烧炉体进行下一次焙烧的同时，减少焙烧后的等静压石墨自身温度和空气氧化产生的影响，提高等静压石墨的焙烧冷却效果。

3、高温惰性气体进入干燥炉体内部后，高温惰性气体的余温使得干燥炉体内部的温度升高，从而对干燥炉体内部的等静压石墨进行加热干燥，并且通过干燥炉体顶部的第三引导管和第二引导管连通，使干燥炉体内部的等静压石墨表面干燥蒸发的水蒸气垂直上升，并沿着干燥炉体顶部的第三引导管进入第二引导管中，并沿着第二引导管的末端排出，使干燥炉体内部的等静压石墨通过惰性气体的剩余温度进行干燥除湿的同时，将干燥产生的水蒸气同步排出，降低干燥炉体内部的湿度。

4、焙烧后的等静压石墨沿着连通处掉入隔热板的下方，并通过收集壳体对掉下来的等静压石墨进行收集，从而减少焙烧后的等静压石墨和外部空气接触氧化，保证等静压石墨的焙烧效果，然后将密封板重新对第一引导槽进行遮挡密封，使等静压石墨位于收集壳体中进行静置冷却，当等静压石墨冷却完成后，拉动第二拉环将收集壳体从放置槽中取出，从而对收集壳体中的等静压石墨进行收集。

5、凸轮的凸起端在转动的过程中挤压振动板，使振动板沿着转动连接处进行振动，焙烧后的等静压石墨沿着第二引导槽和第一引导槽的连通处掉到振动板上，并通过振动板的振动向另一端移动，防止等静压石墨在下落处产生堆积，提高收集壳体内部的空间利用程度。

附图说明

图1为本发明的第一结构示意图；

图2为本发明图1中的A处结构放大示意图；

图3为本发明图1中的B处结构放大示意图；

图4为本发明的第二结构示意图；

图5为本发明图4中的C处结构放大示意图；

图6为本发明的焙烧炉体内部结构剖面示意图；

图7为本发明图6中的D处结构放大示意图。

图中：1、焙烧炉体；2、干燥炉体；3、导料槽；4、隔热板；5、输送带；6、安装架；7、连接轴；8、输送辊；9、第一电机；10、皮带轮；11、传动皮带；12、加热棒；13、第一密封管；14、进气管；15、排气管；16、第二密封管；17、第一引导管；18、连通管；19、第二引导管；20、第三引导管；21、第一排气扇；22、第二排气扇；23、空气过滤器；24、液压气缸；25、连接杆；26、活动挡板；27、限位销；28、弹簧；29、连接挡板；30、第一引导槽；31、第二引导槽；32、密封板；33、第一拉环；34、放置槽；35、收集壳体；36、第二拉环；37、振动板；38、转动轴；39、凸轮；40、第二电机。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。

如图1至图7所示的一种三代半导体用等静压石墨制品生产焙烧装置，包括焙烧炉体1和干燥炉体2，焙烧炉体1和干燥炉体2的两侧均开设有导料槽3，焙烧炉体1和干燥炉体2之间设置有隔热板4，隔热板4的两端分别延伸至焙烧炉体1和干燥炉体2的内部后固定连接在相互远离的两个导料槽3底部，焙烧炉体1和干燥炉体2的底部与导料槽3之间共同活动套设有输送带5，隔热板4的顶部和输送带5内部的顶面相接触，输送带5上连接有驱动传输机构；

焙烧炉体1上连接有加热焙烧机构和气体输送机构，焙烧炉体1和干燥炉体2之间连接有气体引导机构，通过气体引导机构的作用，使加热气体对干燥炉体2的内部进行加热干燥，导料槽3上均连接有活动密封机构；

焙烧炉体1的内部连接有引导收集机构，通过引导收集机构的作用，使焙烧后的等静压石墨移动到至焙烧炉体1内部的底面和隔热板4之间进行密封收集；

作为本发明的进一步实施方案，引导收集机构包括连接挡板29、第一引导槽30和多个第二引导槽31，连接挡板29固定连接在焙烧炉体1远离干燥炉体2的一侧内部，连接挡板29位于相邻的导料槽3侧面，第一引导槽30开设在隔热板4上，且第一引导槽30位于连接挡板29内侧的下方，第一引导槽30的内部滑动密封有密封板32，密封板32的一端贯穿焙烧炉体1的侧面并延伸至焙烧炉体1的外部后固定连接有第一拉环33，多个第二引导槽31均匀开设在输送带5的表面上，焙烧炉体1一侧的下方开设有放置槽34，放置槽34的内部滑动密封有收集壳体35，收集壳体35位于隔热板4的下方，收集壳体35靠近焙烧炉体1外部的一侧固定连接有第二拉环36；

工作时，现有技术在对石墨进行焙烧时，通常利用加热气体对石墨进行高温焙烧，在高温焙烧的过程中，通过气体的流动来保证内部焙烧温度的恒定，而流动排出的气体剩余热量难以得到有效的利用，从而造成热量的浪费，并在通过惰性气体对石墨加热焙烧时，石墨在焙烧结束后仍需要进行密封保存，防止石墨本身的高温和外部空气接触产生氧化反应，但在实际的焙烧过程中，将石墨密封焙烧并取出后，石墨在焙烧后自身的高温容易和周围空气接触产生氧化反应，影响石墨的生产加工效果；本技术方案能够解决以上问题，具体的工作方式如下：通过驱动传输机构的作用，使输送带5沿着干燥炉体2向焙烧炉体1的方向进行移动输送，然后将等静压石墨依次放置在靠近干燥炉体2一侧外部的输送带5顶部，通过输送带5的移动输送将等静压石墨沿着导料槽3依次输送至干燥炉体2和焙烧炉体1的内部，然后停止输送带5的移动输送，接着通过活动密封机构的作用对相邻的导料槽3进行密封，防止焙烧过程中的热量沿着导料槽3向外逸散，通过气体输送机构的作用向焙烧炉体1的内部持续输送惰性气体，惰性气体在进入焙烧炉体1的内部后，将焙烧炉体1内部原先的空气挤压排出，并通过气体引导机构将空气引导排出，然后通过加热焙烧机构的作用对焙烧炉体1内部进行高温加热，从而使焙烧炉体1内部的等静压石墨通过高温进行焙烧，并通过持续进入焙烧炉体1中的惰性气体来保持内部温度的稳定性，等静压石墨在焙烧炉体1内部焙烧的过程中，气体引导机构将焙烧炉体1中的高温惰性气体向外排出，并在排出的过程中经过干燥炉体2，对干燥炉体2中的等静压石墨进行预热并干燥除湿，使干燥炉体2中的等静压石墨进入焙烧炉体1中进行焙烧的时间降低，并防止静压石墨表面水分在高温焙烧过程中产生氧化反应，在焙烧结束后，通过活动密封机构的作用使导料槽3重新打开，然后通过驱动传输机构的作用使输送带5移动，将干燥炉体2中的等静压石墨移动输送至焙烧炉体1中，并且在输送带5移动输送的过程中，通过引导收集机构的作用，将原先焙烧炉体1中焙烧后的等静压石墨引导收集到焙烧炉体1内部的底面和隔热板4之间进行密封处理，在导料槽3重新打开后，气体输送机构继续向焙烧炉体1内部持续输送惰性气体，减少外部空气进入焙烧炉体1内部和焙烧后的等静压石墨产生氧化反应，当焙烧后的等静压石墨进入焙烧炉体1内部的底面和隔热板4之间以后，通过隔热板4对焙烧炉体1焙烧的热量进行阻隔，使焙烧后的等静压石墨能够位于隔热板4的下方进行密封冷却，从而在不影响焙烧炉体1进行下一次焙烧的同时，减少焙烧后的等静压石墨自身温度和空气氧化产生的影响，提高等静压石墨的焙烧冷却效果，在干燥炉体2中的等静压石墨移动输送至焙烧炉体1内部的同时，将下一批待焙烧的等静压石墨通过输送带5输送至干燥炉体2中，继续进行等静压石墨的焙烧和干燥；

当焙烧炉体1中的等静压石墨焙烧结束后，拉动第一拉环33，使第一拉环33带动密封板32沿着第一引导槽30的内部滑动，使第一引导槽30打开，然后驱动输送带5进行移动，在输送带5的移动输送作用下，干燥炉体2中的等静压石墨向焙烧炉体1的内部进行移动，焙烧炉体1中的等静压石墨随着输送带5的移动向连接挡板29的方向移动，通过连接挡板29对相邻的导料槽3进行遮挡，使焙烧后的等静压石墨随着输送带5移动到连接挡板29的内侧后受到阻挡，从而无法从相邻的导料槽3中移动出去，并在输送带5上的第二引导槽31和第一引导槽30连通后，焙烧后的等静压石墨沿着连通处掉入隔热板4的下方，并通过收集壳体35对掉下来的等静压石墨进行收集，从而减少焙烧后的等静压石墨和外部空气接触氧化，保证等静压石墨的焙烧效果，然后将密封板32重新对第一引导槽30进行遮挡密封，使等静压石墨位于收集壳体35中进行静置冷却，当等静压石墨冷却完成后，拉动第二拉环36将收集壳体35从放置槽34中取出，从而对收集壳体35中的等静压石墨进行收集。

作为本发明的进一步实施方案，驱动传输机构包括两个安装架6，两个安装架6分别固定连接在焙烧炉体1和干燥炉体2相互远离的一侧，安装架6的内部均转动连接有连接轴7，连接轴7上均固定连接有输送辊8，两个输送辊8均位于输送带5的内部，且与输送带5进行传动连接，其中一个安装架6上固定安装有第一电机9，第一电机9的输出轴和相邻的连接轴7一端均固定连接有皮带轮10，皮带轮10之间传动连接有传动皮带11；工作时，通过第一电机9的输出轴转动带动输出轴上的皮带轮10进行转动，并通过传动皮带11的传动作用带动连接轴7一端的皮带轮10转动，从而使连接轴7带动相邻的输送辊8进行转动，通过输送辊8和输送带5的传动作用，带动输送带5进行移动输送，从而使输送带5顶部的等静压石墨随着输送带5一同进行移动。

作为本发明的进一步实施方案，加热焙烧机构包括多个加热棒12，加热棒12呈线性阵列固定安装在焙烧炉体1的内部，加热棒12位于输送带5的上方；工作时，通过多个加热棒12通电加热，从而使焙烧炉体1的内部升温，并对焙烧炉体1内部的等静压石墨进行加热焙烧。

作为本发明的进一步实施方案，气体输送机构包括第一密封管13，第一密封管13位于焙烧炉体1的一侧，第一密封管13的侧面固定连通有进气管14，第一密封管13的底部呈线性阵列固定连通有多个排气管15，排气管15的一端均固定连通在焙烧炉体1的一侧；工作时，将惰性气体的输送设备固定安装在进气管14的一端上，并向进气管14的内部持续输送惰性气体，惰性气体沿着进气管14进入第一密封管13的内部，并沿着第一密封管13进入多个排气管15中，并随着多个排气管15排入焙烧炉体1的内部，从而通过惰性气体的持续输送将焙烧炉体1的内部空气排空，并且在焙烧炉体1内部进行加热焙烧的过程中，使惰性气体持续进入保持气体的流通使焙烧温度稳定。

作为本发明的进一步实施方案，气体引导机构包括第二密封管16，第二密封管16位于焙烧炉体1的另一侧，第二密封管16上固定连通有多个第一引导管17，第一引导管17均固定连通在焙烧炉体1的侧面，第二密封管16的顶部固定连通有连通管18，连通管18的一端固定连通有第二引导管19，第二引导管19的一端贯穿干燥炉体2的侧面并从干燥炉体2的顶部延伸出去，焙烧炉体1和干燥炉体2的顶部均固定连通有多个第三引导管20，第三引导管20的顶端均固定连通在第二引导管19的底部，第二引导管19上固定安装有第一排气扇21、第二排气扇22和空气过滤器23，第一排气扇21和空气过滤器23均位于焙烧炉体1和干燥炉体2之间，第二排气扇22位于第二引导管19的末端；工作时，当焙烧炉体1内部进行加热时，通过多个排气管15进入焙烧炉体1内部的惰性气体受热升温，通过第一排气扇21对气体进行引导，焙烧炉体1内部的高温惰性气体沿着第一引导管17和焙烧炉体1顶部的第三引导管20向外移动，通过第一引导管17和多个排气管15对向设置，使惰性气体能够在进入后对向从第一引导管17中排出，加快焙烧炉体1中的空气循环速度，提高焙烧炉体1内部温度的稳定性，第一引导管17中的高温惰性气体进入第二密封管16中，并沿着第二密封管16进入连通管18中，连通管18和多个第三引导管20内部的高温惰性气体均进入第二引导管19的内部，并通过第一排气扇21的作用沿着第二引导管19向干燥炉体2的方向移动，并在通过空气过滤器23的过程中对惰性气体进行过滤，减少焙烧后的惰性气体中的有害物质被直接排出，减少对环境的污染，高温惰性气体通过空气过滤器23后沿着第二引导管19的引导方向进行移动，由于第二引导管19从干燥炉体2的内部穿过，使高温惰性气体在经过位于干燥炉体2内部的第二引导管19内部时，通过对第二引导管19的管壁进行加热，并对干燥炉体2内部的空气进行间接加热，并在位于干燥炉体2内部的第二引导管19中通过后，利用第二排气扇22的作用向第二引导管19的末端移动并排出，高温惰性气体进入干燥炉体2内部后，高温惰性气体的余温使得干燥炉体2内部的温度升高，从而对干燥炉体2内部的等静压石墨进行加热干燥，并且通过干燥炉体2顶部的第三引导管20和第二引导管19连通，使干燥炉体2内部的等静压石墨表面干燥蒸发的水蒸气垂直上升，并沿着干燥炉体2顶部的第三引导管20进入第二引导管19中，并沿着第二引导管19的末端排出，使干燥炉体2内部的等静压石墨通过惰性气体的剩余温度进行干燥除湿的同时，将干燥产生的水蒸气同步排出，降低干燥炉体2内部的湿度。

作为本发明的进一步实施方案，活动密封机构包括四个液压气缸24，四个液压气缸24分别固定安装在干燥炉体2和焙烧炉体1的两侧，液压气缸24的活塞轴上均固定连接有连接杆25，连接杆25的下方均设置有活动挡板26，连接杆25底部的两端均固定连接有限位销27，限位销27均滑动插设在相邻的活动挡板26上，限位销27上均套设有弹簧28，弹簧28的两端分别固定连接在相邻的活动挡板26和连接杆25上，活动挡板26均位于相邻的导料槽3顶部；工作时，通过液压气缸24的活塞轴向下移动，带动连接杆25向下移动，连接杆25带动活动挡板26向下移动，活动挡板26的底部在和输送带5的顶部接触后，对相邻的导料槽3进行遮挡密封，活动挡板26上滑动插接有限位销27，当连接杆25随着液压气缸24的活塞轴继续向下移动时，活动挡板26沿着限位销27进行让位，并挤压弹簧28产生压缩形变，从而减少活动挡板26对输送带5的压力，防止对输送带5造成损伤。

作为本发明的进一步实施方案，收集壳体35的内部设置有振动板37，振动板37的一端和收集壳体35的内壁转动连接，收集壳体35的内部转动连接有转动轴38，转动轴38上固定连接有凸轮39，凸轮39位于振动板37的底部，且位于第一引导槽30的下方，收集壳体35的侧面固定安装有第二电机40，第二电机40的输出轴固定连接在转动轴38的一端上；工作时，通过第二电机40的输出轴转动带动收集壳体35内部的转动轴38进行转动，使凸轮39随着转动轴38同步进行转动，凸轮39的凸起端在转动的过程中挤压振动板37，使振动板37沿着转动连接处进行振动，焙烧后的等静压石墨沿着第二引导槽31和第一引导槽30的连通处掉到振动板37上，并通过振动板37的振动向另一端移动，防止等静压石墨在下落处产生堆积，提高收集壳体35内部的空间利用程度。

本发明工作原理：

通过驱动传输机构的作用，使输送带5沿着干燥炉体2向焙烧炉体1的方向进行移动输送，然后将等静压石墨依次放置在靠近干燥炉体2一侧外部的输送带5顶部，通过输送带5的移动输送将等静压石墨沿着导料槽3依次输送至干燥炉体2和焙烧炉体1的内部，然后停止输送带5的移动输送，接着通过活动密封机构的作用对相邻的导料槽3进行密封，防止焙烧过程中的热量沿着导料槽3向外逸散，通过气体输送机构的作用向焙烧炉体1的内部持续输送惰性气体，惰性气体在进入焙烧炉体1的内部后，将焙烧炉体1内部原先的空气挤压排出，并通过气体引导机构将空气引导排出，然后通过加热焙烧机构的作用对焙烧炉体1内部进行高温加热，从而使焙烧炉体1内部的等静压石墨通过高温进行焙烧，并通过持续进入焙烧炉体1中的惰性气体来保持内部温度的稳定性，等静压石墨在焙烧炉体1内部焙烧的过程中，气体引导机构将焙烧炉体1中的高温惰性气体向外排出，并在排出的过程中经过干燥炉体2，对干燥炉体2中的等静压石墨进行预热并干燥除湿，使干燥炉体2中的等静压石墨进入焙烧炉体1中进行焙烧的时间降低，并防止静压石墨表面水分在高温焙烧过程中产生氧化反应，在焙烧结束后，通过活动密封机构的作用使导料槽3重新打开，然后通过驱动传输机构的作用使输送带5移动，将干燥炉体2中的等静压石墨移动输送至焙烧炉体1中，并且在输送带5移动输送的过程中，通过引导收集机构的作用，将原先焙烧炉体1中焙烧后的等静压石墨引导收集到焙烧炉体1内部的底面和隔热板4之间进行密封处理，在导料槽3重新打开后，气体输送机构继续向焙烧炉体1内部持续输送惰性气体，减少外部空气进入焙烧炉体1内部和焙烧后的等静压石墨产生氧化反应，当焙烧后的等静压石墨进入焙烧炉体1内部的底面和隔热板4之间以后，通过隔热板4对焙烧炉体1焙烧的热量进行阻隔，使焙烧后的等静压石墨能够位于隔热板4的下方进行密封冷却，从而在不影响焙烧炉体1进行下一次焙烧的同时，减少焙烧后的等静压石墨自身温度和空气氧化产生的影响，提高等静压石墨的焙烧冷却效果，在干燥炉体2中的等静压石墨移动输送至焙烧炉体1内部的同时，将下一批待焙烧的等静压石墨通过输送带5输送至干燥炉体2中，继续进行等静压石墨的焙烧和干燥。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内，本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (3)

1.一种三代半导体用等静压石墨制品生产焙烧装置，包括焙烧炉体（1）和干燥炉体（2），其特征在于，所述焙烧炉体（1）和所述干燥炉体（2）的两侧均开设有导料槽（3），所述焙烧炉体（1）和所述干燥炉体（2）之间设置有隔热板（4），所述隔热板（4）的两端分别延伸至所述焙烧炉体（1）和所述干燥炉体（2）的内部后固定连接在相互远离的两个所述导料槽（3）底部，所述焙烧炉体（1）和所述干燥炉体（2）的底部与所述导料槽（3）之间共同活动套设有输送带（5），所述隔热板（4）的顶部和所述输送带（5）内部的顶面相接触，所述输送带（5）上连接有驱动传输机构；

所述焙烧炉体（1）上连接有加热焙烧机构和气体输送机构，所述焙烧炉体（1）和所述干燥炉体（2）之间连接有气体引导机构，通过气体引导机构的作用，使加热气体对所述干燥炉体（2）的内部进行加热干燥，所述导料槽（3）上均连接有活动密封机构；

所述焙烧炉体（1）的内部连接有引导收集机构，通过引导收集机构的作用，使焙烧后的等静压石墨移动到至所述焙烧炉体（1）内部的底面和所述隔热板（4）之间进行密封收集；

所述引导收集机构包括连接挡板（29）、第一引导槽（30）和多个第二引导槽（31），所述连接挡板（29）固定连接在所述焙烧炉体（1）远离所述干燥炉体（2）的一侧内部，所述连接挡板（29）位于相邻的所述导料槽（3）侧面，所述第一引导槽（30）开设在所述隔热板（4）上，且所述第一引导槽（30）位于所述连接挡板（29）内侧的下方，所述第一引导槽（30）的内部滑动密封有密封板（32），所述密封板（32）的一端贯穿所述焙烧炉体（1）的侧面并延伸至所述焙烧炉体（1）的外部后固定连接有第一拉环（33），多个所述第二引导槽（31）均匀开设在所述输送带（5）的表面上，所述焙烧炉体（1）一侧的下方开设有放置槽（34），所述放置槽（34）的内部滑动密封有收集壳体（35），所述收集壳体（35）位于所述隔热板（4）的下方，所述收集壳体（35）靠近所述焙烧炉体（1）外部的一侧固定连接有第二拉环（36）；

所述气体输送机构包括第一密封管（13），所述第一密封管（13）位于所述焙烧炉体（1）的一侧，所述第一密封管（13）的侧面固定连通有进气管（14），所述第一密封管（13）的底部呈线性阵列固定连通有多个排气管（15），所述排气管（15）的一端均固定连通在所述焙烧炉体（1）的一侧；

所述气体引导机构包括第二密封管（16），所述第二密封管（16）位于所述焙烧炉体（1）的另一侧，所述第二密封管（16）上固定连通有多个第一引导管（17），所述第一引导管（17）均固定连通在所述焙烧炉体（1）的侧面，所述第二密封管（16）的顶部固定连通有连通管（18），所述连通管（18）的一端固定连通有第二引导管（19），所述第二引导管（19）的一端贯穿所述干燥炉体（2）的侧面并从所述干燥炉体（2）的顶部延伸出去，所述焙烧炉体（1）和所述干燥炉体（2）的顶部均固定连通有多个第三引导管（20），所述第三引导管（20）的顶端均固定连通在所述第二引导管（19）的底部，所述第二引导管（19）上固定安装有第一排气扇（21）、第二排气扇（22）和空气过滤器（23），所述第一排气扇（21）和所述空气过滤器（23）均位于所述焙烧炉体（1）和所述干燥炉体（2）之间，所述第二排气扇（22）位于所述第二引导管（19）的末端；

所述活动密封机构包括四个液压气缸（24），四个所述液压气缸（24）分别固定安装在所述干燥炉体（2）和所述焙烧炉体（1）的两侧，所述液压气缸（24）的活塞轴上均固定连接有连接杆（25），所述连接杆（25）的下方均设置有活动挡板（26），所述连接杆（25）底部的两端均固定连接有限位销（27），所述限位销（27）均滑动插设在相邻的所述活动挡板（26）上，所述限位销（27）上均套设有弹簧（28），所述弹簧（28）的两端分别固定连接在相邻的所述活动挡板（26）和所述连接杆（25）上，所述活动挡板（26）均位于相邻的所述导料槽（3）顶部；

所述收集壳体（35）的内部设置有振动板（37），所述振动板（37）的一端和所述收集壳体（35）的内壁转动连接，所述收集壳体（35）的内部转动连接有转动轴（38），所述转动轴（38）上固定连接有凸轮（39），所述凸轮（39）位于振动板（37）的底部，且位于所述第一引导槽（30）的下方，所述收集壳体（35）的侧面固定安装有第二电机（40），所述第二电机（40）的输出轴固定连接在所述转动轴（38）的一端上。

2.根据权利要求1所述的一种三代半导体用等静压石墨制品生产焙烧装置，其特征在于，所述驱动传输机构包括两个安装架（6），两个所述安装架（6）分别固定连接在所述焙烧炉体（1）和所述干燥炉体（2）相互远离的一侧，所述安装架（6）的内部均转动连接有连接轴（7），所述连接轴（7）上均固定连接有输送辊（8），两个所述输送辊（8）均位于所述输送带（5）的内部，且与所述输送带（5）进行传动连接，其中一个所述安装架（6）上固定安装有第一电机（9），所述第一电机（9）的输出轴和相邻的所述连接轴（7）一端均固定连接有皮带轮（10），所述皮带轮（10）之间传动连接有传动皮带（11）。

3.根据权利要求1所述的一种三代半导体用等静压石墨制品生产焙烧装置，其特征在于，所述加热焙烧机构包括多个加热棒（12），所述加热棒（12）呈线性阵列固定安装在所述焙烧炉体（1）的内部，所述加热棒（12）位于所述输送带（5）的上方。