CN117798619A - 半导体工艺设备用引导装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种半导体工艺设备用引导装置，所述引导装置包括底座以及设于所述底座的外管定位凸起和第一定位件；所述外管定位凸起用于与所述半导体工艺设备的外管组件的管口配合，所述第一定位件用于与所述外管组件的第一定位部定位配合，以限制所述外管组件相对于所述外管定位凸起转动。上述方案可以解决相关技术中外管组件在抬升的过程中发生转动，而导致外管组件位置偏差较大的问题。

Description

半导体工艺设备用引导装置

技术领域

本发明涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种半导体工艺设备用引导装置。

背景技术

在半导体工艺设备中，一些半导体工艺设备的工艺腔室采用包括内管组件和外管组件的双管设计，例如用于低压化学气相沉积设备(LPCVD)的立式炉工艺设备。在对采用双管设计的半导体工艺设备进行组装或拆卸时，通常需要通过引导装置进行组装和拆卸。

在相关技术中，在安装外管组件时，需要将引导装置放置于升降装置上，再将外管组件放置于引导装置上，并进行初始定位，然后通过升降装置抬升将外管组件安装于半导体工艺设备的炉体内。然而，外管组件虽然在放置于引导装置上时进行了初始定位，但是，外管组件在抬升的过程中，外管组件仍会存在绕外管组件的中心轴线转动的情况，从而使得外管组件在安装的过程中会存在位置偏差较大的问题。

发明内容

本发明公开一种半导体工艺设备用引导装置，以解决相关技术中外管组件在抬升的过程中发生转动，而导致外管组件位置偏差较大的问题。

为了解决上述技术问题，本发明是这样实现的：

本申请公开一种半导体工艺设备用引导装置，所述引导装置包括底座以及设于所述底座的外管定位凸起和第一定位件；

所述外管定位凸起用于与所述半导体工艺设备的外管组件的管口配合，所述第一定位件用于与所述外管组件的第一定位部定位配合，以限制所述外管组件相对于所述外管定位凸起转动。

本发明采用的技术方案能够达到以下技术效果：

本申请实施例公开的引导装置通过设置第一定位件，使得在外管组件放置于引导装置上时，外管组件的管口边缘套设于外管定位凸起，第一定位件与第一定位部定位配合，从而可以限制外管组件相对于外管定位凸起转动，从而可以避免外管组件放置于底座上后相对外管定位凸起转动，使得外管组件可以较准确的安装于炉体内，从而可以解决相关技术中外管组件在安装的过程中发生转动而造成外管组件位置偏差较大的问题。

附图说明

图1为本发明实施例公开的引导装置在第一视角下的结构示意图；

图2为本发明实施例公开的引导装置在第二视角下的结构示意图；

图3为本发明实施例公开的引导装置在第三视角下的结构示意图；

图4为图3中A-A处的剖视图；

图5为底座、外管定位凸起和第一定位件的结构示意图；

图6为外管组件的外管座放置于底座上的示意图；

图7为内管组件放置于引导装置的示意图；

图8为引导装置将内管组件抬升至外管组件内部的示意图；

图9为外管组件、内管组件依次安装后的示意图。

附图标记说明：

110-外管组件、111-外管座、111a-第一定位部、

120-内管组件、121-第二定位部、122-第三定位部、

210-底座、211-定位孔、220-外管定位凸起、230-第一定位件、

310-内管支撑组件、311-转动件、311a-滑动凹槽、312-内管支撑主体、313-第二定位件、314-第三定位件、314a-定位本体、314b-滑动部、315-限位件、315a-避让通道、

410-第四定位件、

510-转动把手、

610-高度限位件、

710-支撑柱、

810-炉体。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明具体实施例及相应的附图对本发明技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

以下结合附图，详细说明本发明各个实施例公开的技术方案。

请参考图1至图9，本发明实施例公开一种半导体工艺设备用引导装置，半导体工艺设备可以是立式炉LPCVD工艺设备，半导体工艺设备可以包括外管组件110，外管组件110可以包括第一定位部111a，外管组件110可以包括外管和外管座111，外管座111可以安装于外管的管口处，第一定位部111a可以设于外管座111。

引导装置包括底座210、外管定位凸起220和第一定位件230。外管定位凸起220设于底座210，第一定位件230设于底座210，第一定位件230与外管定位凸起220之间可以具有间隙。底座210可以是板状件，外管定位凸起220和第一定位件230可以设于板状件的板面上。第一定位件230可以为多个，第一定位部111a也可以为多个，多个第一定位件230与多个第一定位部111a可以一一对应定位配合。

外管定位凸起220用于与半导体工艺设备的外管组件110的管口配合，外管定位凸起220与外管组件110的管口配合可以是，外管组件110的管口边缘套设于外管定位凸起220。第一定位件230用于与外管组件110的第一定位部111a定位配合，以限制外管组件110相对于外管定位凸起220转动。

在外管组件110与引导装置配合的情况下，外管组件110的管口边缘可以套设于外管定位凸起220，第一定位件230与第一定位部111a定位配合，以限制外管组件110相对于外管定位凸起220转动。

具体的，第一定位件230和第一定位部111a中的一者可以是槽状结构件，另一者可以为凸起结构，凸起结构可以定位在槽状结构件的槽内，以限制外管组件110相对于外管定位凸起220转动。当然，第一定位件230与第一定位部111a可以是卡口结构，第一定位件230与第一定位部111a可以通过卡接的方式定位配合，以限制外管组件110相对于外管定位凸起220转动。当然，第一定位件230与第一定位部111a定位配合的方式还可以是其它方式，这里不再赘述。

在具体的实施过程中，半导体工艺设备包括炉体810，外管组件110需要抬升至炉体810内，以使外管组件110安装于炉体810内。在外管组件110安装至炉体810之前，需要将引导装置放置于升降装置上，再将外管组件110放置于引导装置上，通过升降装置将外管组件110抬升至炉体810的内部进行安装。在外管组件110放置于引导装置上时，外管组件110的管口边缘套设于外管定位凸起220，第一定位件230与第一定位部111a定位配合，以限制外管组件110相对于外管定位凸起220转动。外管定位凸起220和第一定位件230可以对外管组件110进行定位，以使升降装置抬升的过程可以准确的安装至炉体810内。

本申请实施例公开的引导装置通过设置第一定位件230，使得在外管组件110放置于引导装置上时，外管组件110的管口边缘套设于外管定位凸起220，第一定位件230与第一定位部111a定位配合，避免目视对齐存在的误差，从而可以限制外管组件110相对于外管定位凸起220转动，从而可以避免外管组件110放置于底座210上后相对外管定位凸起220转动，使得外管组件110可以较准确的安装于炉体810内，从而可以解决相关技术中外管组件在安装的过程中发生转动而造成外管组件位置偏差较大的问题。

可选的，外管定位凸起220可以呈圆环状，第一定位件230位于外管定位凸起220的外侧且具有向外管定位凸起220侧延伸的延伸面，延伸面用于与第一定位部111a卡接。

本申请实施例通过将外管定位凸起220设置为呈圆环状，从而便于与外管组件110的管口配合，通过将第一定位件230位于外管定位凸起220的外侧且具有向外管定位凸起220侧延伸的延伸面，使得第一定位件230可以较好地避让外管定位凸起220与外管定位凸起220的配合，通过采用延伸面与第一定位部111a卡接的方式，可以使得外管定位凸起220与外管定位凸起220的配合更稳定。

一种可选的实施例，半导体工艺设备还可以包括内管组件120，内管组件120用于在外管组件110安装于炉体810内后安装于外管组件110内。半导体工艺设备的晶舟组件可以承载着晶圆进出内管组件120，以对晶圆进行工艺。

炉体810可以是用于向内管组件120和外管组件110提供热量。引导装置还可以包括内管支撑组件310，内管支撑组件310可以包括转动件311和内管支撑主体312。转动件311可以可拆卸地设于底座210，且可绕转动件311的中心轴线转动。

具体的，转动件311和底座210中的一者可以设有旋转凹槽，另一者可以设有旋转支撑轴，旋转支撑轴可以插设于旋转凹槽，以使转动件311可绕转动件311的中心轴线转动。当然，转动件311与底座210可以是通过轴承转动连接，以使转动件311可绕转动件311的中心轴线转动。当然，转动件311与底座210还可以是通过其他方式转动连接。

内管支撑主体312可以设于转动件311，内管支撑主体312可以用于支撑半导体工艺设备的内管组件120，且可带动内管组件120绕中心轴线转动。

具体的，外管组件110的管口边缘的内侧设有外管缺口和外管凹槽，内管组件120的管口边缘的外侧可以设有凸起，在内管组件120伸入外管组件110的过程中，内管组件120的管口边缘的外侧的凸起可以从外管缺口穿过，此时，转动件311转动可以带动内管组件120转动，以使内管组件120的管口边缘的外侧的凸起与外管凹槽相对，此时再下降引导装置，以使内管组件120的管口边缘的外侧的凸起落入外管凹槽内，从而完成内管组件120安装于外管组件110内。

本申请实施例通过将内管支撑组件310设置为包括转动件311和内管支撑主体312，使得转动件311可拆卸地设于底座210，且可绕转动件311的中心轴线转动，从而使得内管支撑主体312可以支撑内管组件120，且可带动内管组件120绕中心轴线转动，以使内管组件120可以安装于外管组件110内。

在相关技术中，内管组件120的管口边缘的内侧设有支撑凸起，内管组件120的管口套设于内管支撑主体312上，且支撑凸起支撑于内管支撑主体312上，从而实现内管组件120放置于引导装置上。然而，在内管组件120的管口边缘的内侧设置支撑凸起增大了内管组件120制造的复杂度。为了降低内管组件120制造时的复杂度，可选的，内管支撑主体312可以包括承载部和内管定位凸起，内管定位凸起可以设于承载部。在内管组件120与引导装置配合的情况下，内管组件120的管口边缘可以套设于内管定位凸起，且支撑于承载部。

本申请实施例通过将内管支撑主体312设置为包括承载部和内管定位凸起的结构，使得内管定位凸起可以设于承载部，在内管组件120与引导装置配合的情况下，内管组件120的管口边缘可以套设于内管定位凸起，且支撑于承载部，从而实现对内管组件120的支撑，从而避免在内管组件120的管口边缘的内侧表面设置支撑凸起，从而可以降低内管组件120制造时的复杂度，从而简化内管组件120，减小内管组件120的加工成本。

在内管组件120通过内管支撑主体312支撑时，需要对内管组件120在环绕中心轴线的方向定位，以便于在内管组件120抬升安装于外管组件110内的过程中，确保内管组件120在绕中心轴线方向上的准确性。一种可选的实施例，内管组件120可以包括第二定位部121，内管支撑组件310还可以包括第二定位件313，第二定位件313可以活动地设于转动件311，第二定位件313可以具有第一位置和第二位置。在内管组件120与引导装置配合的情况下，且在第二定位件313位于第一位置的情况下，第二定位件313可以与第二定位部121绕中心轴线定位配合。在第二定位件313位于第二位置的情况下，第二定位件313可以与第二定位部121分离。上述实施例中的内管组件120的管口边缘的外侧设有凸起可以为第二定位部121。

具体的，在内管组件120放置于内管支撑主体312上时，通过调整内管组件120的位置，使得内管组件120的第二定位部121于第二定位件313相对，此时将第二定位件313转动至第一位置，以使第二定位件313可以与第二定位部121绕中心轴线定位配合，从而确定内管组件120在绕中心轴线方向上的位置，在开始抬升内管组件120向外管组件110安装时，需要将第二定位件313转动至第二位置，以使第二定位件313于第二定位部121分离，以避免内管组件120伸入外管组件110内后需要通过转动内管组件120以使内管组件120安装于外管组件110时第二定位件313于外管组件110的管口边缘限位阻挡。

第二定位件313可以是槽状定位件，第二定位部121可以是内管组件120的外壁的凸起部，内管组件120的外壁的凸起部可以位于槽状定位件的槽内，以使第二定位件313与第二定位部121在绕中心轴线定位配合。当然，第二定位件313与第二定位部121还可以是通过卡接的方式定位配合或其它方式定位配合，这里不做具体限制。

可选的，内管组件120还可以包括第三定位部122，内管支撑组件310还可以包括第三定位件314，第三定位件314可以活动地设于转动件311，第三定位件314的高度可以低于内管支撑主体312，第三定位件314可以具有第三位置和第四位置。在内管组件120向外管组件110的内部移动的过程中，第三定位件314可以位于第三位置，且第三定位件314可以与第三定位部122相对。在内管组件120移动至外管组件110的内部，且相对外管组件110转动的过程中，第三定位件314可以与外管组件110在绕中心轴线转动的方向限位接触，以使第三定位件314可以移动至第四位置，第三定位件314可以与第三定位部122错位。

本申请实施例通过设置第三定位件，使得在内管组件120向外管组件110的内部移动的过程中，第三定位件314位于第三位置，且与第三定位部122相对，从而可以在内管组件120抬升的过程中实时确认内管组件120绕中心轴线的实际位置，以确保内管组件120在绕中心轴线方向上的位置的准确性。由于第三定位件314可以活动地设于转动件311，在内管组件120移动至外管组件110的内部，且相对外管组件110转动的过程中，第三定位件314可以与外管组件110在绕中心轴线转动的方向限位接触，以使第三定位件314可以移动至第四位置，第三定位件314可以与第三定位部122错位，从而可以避免第三定位件314与外管组件110接触限制转动件311的转动。

一种可选的实施例，转动件311可以开设有滑动凹槽311a，第三定位件314可以包括定位本体314a和滑动部314b，内管支撑组件310还可以包括限位件315，限位件315可以开设有避让通道315a，限位件315可以盖设于滑动凹槽311a，且避让通道315a可以与滑动凹槽311a连通，滑动部314b可以滑动地设于滑动凹槽311a内，以使第三定位件314可以在第三位置与第四位置之间移动，定位本体314a可以穿过避让通道315a伸出至滑动凹槽311a之外，限位件315可以与滑动部314b在滑动凹槽311a的槽口朝向限位配合。在内管组件120向外管组件110的内部移动的过程中，第三定位件314可以位于第三位置，且定位本体314a与第三定位部122相对。在内管组件120移动至外管组件110的内部，且相对外管组件110转动的过程中，定位本体314a与外管组件110可以在绕中心轴线转动的方向限位接触，定位本体314a可以通过滑动部314b沿滑动凹槽311a移动至第四位置，定位本体314a与第三定位部122错位。

本申请实施例通过将第三定位件314设置为包括定位本体314a和滑动部314b，内管支撑组件310包括限位件315，限位件315开设有避让通道315a，限位件315盖设于滑动凹槽311a，且避让通道315a与滑动凹槽311a连通，滑动部314b滑动地设于滑动凹槽311a内，以使第三定位件314可以在第三位置与第四位置之间移动，定位本体314a可以穿过避让通道315a伸出至滑动凹槽311a之外，限位件315可以与滑动部314b在滑动凹槽311a的槽口朝向限位配合的结构，使得第三定位件314与转动件311的活动配合的方式相对简单。

在相关技术中，内管组件120向外管组件110内伸入的过程中，内管组件120的管口边缘要伸入到外管组件110的内部，再通过转动内管组件120以使内管组件120与外管组件110安装配合。在内管组件120未伸入到位时，内管组件120会与外管组件110发生干涉，阻挡内管组件110转动。在确认内管组件120伸入外管组件110的位置是否到位时，通过转动内管组件120，在内管组件120与外管组件110发生干涉无法转动时，说明未伸入到位，在内管组件120可以在外管组件110内转动时，说明内管组件120伸入外管组件110到位，这种通过转动内管组件120确认内管组件120伸入外管组件110的位置容易造成内管组件120和外管组件110的损坏。为了确认内管组件120是否安装到位，避免内管组件120和外管组件110的损坏，可选的，定位本体314a上可以设有刻度线，刻度线可以用于与外管组件110的管口边缘配合，以确认内管组件120伸入所外管组件110的位置。通过在定位本体314a上设置刻度线，使得在内管组件120向外管组件110内伸入的过程中可以通过刻度线与外管组件的管口边缘确认内管组件伸入的位置，从而解决了相关技术中通过转动内管组件120去确认内管组件120与外管组件110是否阻挡去确认内管组件120伸入外管组件110的位置。

为了进一步确认内管组件120在向外管组件110伸入的过程中，内管组件120在绕中心轴线方向上的位置，可选的，引导装置还可以包括第四定位件410，第四定位件410可以用于安装于第一定位件230，第四定位件410可以用于与第一定位部111a定位配合，以确认内管组件120相对外管组件110的位置。

具体的，第四定位件410可以是可拆卸的安装于第一定位件230，在内管组件120向上抬升的过程中，需要第四定位件410与第一定位部111a定位配合，以确保内管组件120在绕中心轴线方向上的位置，从而确保内管组件120向外管组件110内安装时的位置的准确性。在内管组件120向上抬升的过程中，如果发现第四定位件410与第一定位部111a错位，需要及时调整底座210的位置以调整内管组件120绕中线轴线方向的位置。

通过设置第四定位件410，使得在内管组件120向上抬升的过程中，第四定位件410与第一定位部111a定位配合，可以确保内管组件120在绕中心轴线方向上的位置，从而确保内管组件120向外管组件110内安装时的位置的准确性

可选的，引导装置还可以包括转动把手510，转动把手510可以与转动件311相连，外管定位凸起220的外周可以开设有限位槽，转动把手510可以位于限位槽内，且可在限位槽的两个端部之间带动转动件311转动。

通过设置转动把手510，从而可以便于转动件311的转动，通过在外管定位凸起220的外周开设有限位槽，使得转动把手510可以位于限位槽内，从而限制转动件311可转动的范围，避免转动件311无限制的转动。

为了避免内管组件120过度深入外管组件110对内管组件120或外管组件110造成损坏，可选的，引导装置还可以包括高度限位件610，高度限位件610可以设于转动件311。在内管组件120移动至外管组件110的内部的情况下，高度限位件610可以用于抵接于外管组件110的管口边缘，从而可以避免内管组件120过度深入外管组件110而对内管组件120或外管组件110造成损坏。

由于内管组件120要伸入外管组件110的内部，可选的，内管支撑组件310还可以包括支撑柱710，支撑柱710可以连接于转动件311与内管支撑主体312之间，以支撑内管支撑主体312。通过设置支撑柱710，使得内管支撑主体312可以与底座210之间具有高度差，从而便于内管组件120伸入外管组件110。

在相关技术中，通过升降装置抬升内管组件120或外管组件110之前，需要人力将外管组件110或内管组件120搬运到升降装置上的引导装置上，从而费时费力。可选的，本申请可以通过移载装置搬运内管组件120或外管组件110，具体的，底座210可以开设有定位孔211，移载装置的承载台可以设有定位销，定位孔211用于与移载装置的承载台的定位销定位配合，以使底座210定位放置于承载台。引导装置通过底座210的定位孔211与定位销的配合，以使引导装置定位放置于移载装置上，此时将内管组件120或外管组件110放置于引导装置上，通过移载装置移动至升降装置附近。移载装置的承载台可以开设有开口端的镂空区，底座210覆盖镂空区，在移载装置移动至升降装置附近时，可以通过机械手伸入镂空区域的下方将底座210及内管组件120或外管组件110一起抬升放置于升降装置，从而可以解决相关技术中通过人力将外管组件110或内管组件120搬运到升降装置上的引导装置上，从而费时费力的问题。

引导装置放置于升降装置的定位可以是，在底座210和升降装置的承载面一者设有凸起，另一者设有凹槽，通过凸起和凹槽的配合确认引导装置放置于升降装置的位置。

本发明上文实施例中重点描述的是各个实施例之间的不同，各个实施例之间不同的优化特征只要不矛盾，均可以组合形成更优的实施例，考虑到行文简洁，在此则不再赘述。

上面结合附图对本发明的实施例进行了描述，但是本发明并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本发明的保护之内。

Claims (13)

1.一种半导体工艺设备用引导装置，其特征在于，所述引导装置包括底座(210)以及设于所述底座(210)的外管定位凸起(220)和第一定位件(230)；

所述外管定位凸起(220)用于与所述半导体工艺设备的外管组件(110)的管口配合，所述第一定位件(230)用于与所述外管组件(110)的第一定位部(111a)定位配合，以限制所述外管组件(110)相对于所述外管定位凸起(220)转动。

2.根据权利要求1所述的引导装置，其特征在于，所述外管定位凸起(220)呈圆环状，所述第一定位件(230)位于所述外管定位凸起(220)的外侧且具有向所述外管定位凸起(220)侧延伸的延伸面，所述延伸面用于与所述第一定位部(111a)卡接。

3.根据权利要求1或2所述的引导装置，其特征在于，所述引导装置还包括内管支撑组件(310)，所述内管支撑组件(310)包括转动件(311)和内管支撑主体(312)，所述转动件(311)可拆卸地设于所述底座(210)，且可绕所述转动件(311)的中心轴线转动，所述内管支撑主体(312)设于所述转动件(311)，所述内管支撑主体(312)用于支撑所述半导体工艺设备的内管组件(120)，且可带动所述内管组件(120)绕所述中心轴线转动。

4.根据权利要求3所述的引导装置，其特征在于，所述内管支撑主体(312)包括承载部和内管定位凸起，所述内管定位凸起设于所述承载部；

在所述内管组件(120)与所述引导装置配合的情况下，所述内管组件(120)的管口边缘套设于所述内管定位凸起，且支撑于所述承载部。

5.根据权利要求3所述的引导装置，其特征在于，所述内管组件(120)包括第二定位部(121)，所述内管支撑组件(310)还包括第二定位件(313)，所述第二定位件(313)活动地设于所述转动件(311)，所述第二定位件(313)具有第一位置和第二位置；

在所述内管组件(120)与所述引导装置配合的情况下，且在所述第二定位件(313)位于所述第一位置的情况下，所述第二定位件(313)与所述第二定位部(121)绕所述中心轴线定位配合；

在所述第二定位件(313)位于所述第二位置的情况下，所述第二定位件(313)与所述第二定位部(121)分离。

6.根据权利要求5所述的引导装置，其特征在于，所述内管组件(120)还包括第三定位部(122)，所述内管支撑组件(310)还包括第三定位件(314)，所述第三定位件(314)活动地设于所述转动件(311)，所述第三定位件(314)的高度低于所述内管支撑主体(312)，所述第三定位件(314)具有第三位置和第四位置；

在所述内管组件(120)向所述外管组件(110)的内部移动的过程中，所述第三定位件(314)位于所述第三位置，且所述第三定位件(314)与所述第三定位部(122)相对；

在所述内管组件(120)移动至所述外管组件(110)的内部，且相对所述外管组件(110)转动的过程中，所述第三定位件(314)与所述外管组件(110)在绕所述中心轴线转动的方向限位接触，以使所述第三定位件(314)移动至所述第四位置，所述第三定位件(314)与所述第三定位部(122)错位。

7.根据权利要求6所述的引导装置，其特征在于，所述转动件(311)开设有滑动凹槽(311a)，所述第三定位件(314)包括定位本体(314a)和滑动部(314b)，所述内管支撑组件(310)还包括限位件(315)，所述限位件(315)开设有避让通道(315a)，所述限位件(315)盖设于所述滑动凹槽(311a)，且所述避让通道(315a)与所述滑动凹槽(311a)连通，所述滑动部(314b)滑动地设于所述滑动凹槽(311a)内，所述定位本体(314a)穿过所述避让通道(315a)伸出至所述滑动凹槽(311a)之外，所述限位件(315)与所述滑动部(314b)在所述滑动凹槽(311a)的槽口朝向限位配合；

在所述内管组件(120)向所述外管组件(110)的内部移动的过程中，所述第三定位件(314)位于所述第三位置，且所述定位本体(314a)与所述第三定位部(122)相对；

在所述内管组件(120)移动至所述外管组件(110)的内部，且相对所述外管组件(110)转动的过程中，所述定位本体(314a)与所述外管组件(110)在绕所述中心轴线转动的方向限位接触，所述定位本体(314a)通过所述滑动部(314b)沿所述滑动凹槽(311a)移动至所述第四位置，所述定位本体(314a)与所述第三定位部(122)错位。

8.根据权利要求7所述的引导装置，其特征在于，所述定位本体(314a)上设有刻度线，所述刻度线用于与所述外管组件(110)的管口边缘配合，以确认所述内管组件(120)伸入所述外管组件(110)的位置。

9.根据权利要求3所述的引导装置，其特征在于，所述引导装置还包括第四定位件(410)，所述第四定位件(410)用于安装于所述第一定位件(230)，所述第四定位件(410)用于与所述第一定位部(111a)定位配合，以确认所述内管组件(120)相对所述外管组件(110)的位置。

10.根据权利要求3所述的引导装置，其特征在于，所述引导装置还包括转动把手(510)，所述转动把手(510)与所述转动件(311)相连，所述外管定位凸起(220)的外周开设有限位槽，所述转动把手(510)位于所述限位槽内，且可在所述限位槽的两个端部之间带动所述转动件(311)转动。

11.根据权利要求3所述的引导装置，其特征在于，所述引导装置还包括高度限位件(610)，所述高度限位件(610)设于所述转动件(311)；

在所述内管组件(120)移动至所述外管组件(110)的内部的情况下，所述高度限位件(610)用于抵接于所述外管组件(110)的管口边缘。

12.根据权利要求3所述的引导装置，其特征在于，所述内管支撑组件(310)还包括支撑柱(710)，所述支撑柱(710)连接于所述转动件(311)与所述内管支撑主体(312)之间，以支撑所述内管支撑主体(312)。

13.根据权利要求1或2所述的引导装置，其特征在于，所述底座(210)开设有定位孔(211)，所述定位孔(211)用于与移载装置的承载台的定位销定位配合，以使所述底座(210)定位放置于所述承载台。