CN117248195B - Cvd晶圆水平调节机构 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种CVD晶圆水平调节机构，包括调整组件和检测组件，调整组件包括定位板、调节块、连接块和限位机构，限位机构用于限制调节块与定位板的水平相对位置，调节块直线延伸，连接块上设有限位槽，限位槽直线延伸、用于卡设调节块；定位板安装到位后，通过限位机构将调节块水平安装到定位板上，确保调节块处于水平状态，通过限位槽卡接连接块与调节块后，连接块亦具备水平状态，连接块能够使得载台具备预设的水平状态；检测组件包括水平板、检测板和高度计，检测板上设有一个圆心孔和一组圆周孔，高度计的检测端能够通过圆心孔或者圆周孔接触水平板、或者接触载台；通过设置检测组件，能够方便地确认载台是否处于预设的水平状态。
Description
技术领域
本申请涉及晶圆化学气相沉积设备技术领域，尤其是一种CVD晶圆水平调节机构。
背景技术
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition)是指通过化学气体或蒸汽在基质表面反应、合成涂层或纳米材料的方法。目前，CVD是半导体工业中应用较为广泛的一种沉积技术。
CVD法制备薄膜过程为：反应气体向基片表面扩散、并吸附于基片表面，反应气体在基片表面发生化学反应，在基片表面生成的气相副产物脱离、向空间扩散或者被抽气系统抽走，在基片表面留下的不挥发的固相反应产物成为基片的氧化膜。
为保证晶圆在镀膜过程中位置稳定，CVD设备中设有承载机构、通过载台支撑晶圆、控制晶圆位置。常规的载台多是简单地安装在反应腔内，容易存在表面不水平的问题，极易影响晶圆表面镀膜的均匀性。
发明内容
本申请的目的是在于克服现有技术中存在的不足，提供一种CVD晶圆水平调节机构。
为实现以上技术目的，本申请提供了一种CVD晶圆水平调节机构，用于调节载台的水平度，包括调整组件和检测组件；调整组件包括：定位板；调节块，与定位板相连，调节块为矩形块，调节块直线延伸；连接块，与载台相连，连接块上设有限位槽，限位槽直线延伸、用于卡设调节块；限位机构，用于限制调节块与定位板的水平相对位置；检测组件包括：水平板，用作水平基准；检测板，与水平板可拆卸地连接，检测板上设有一个圆心孔和一组圆周孔，一组包括至少四个圆周孔，一组中的至少四个圆周孔环绕圆心孔等间隔设置；至少五个高度计，圆心孔和圆周孔用于安装高度计，高度计的检测端能够通过圆心孔或者圆周孔接触水平板、或者接触载台；调试过程中，在圆心孔和一组圆周孔中装入高度计，使得检测板与水平板相连，将全部的高度计调整至接触水平板；完成高度计的调整后，将检测板安装到载台上方，通过调整组件调整载台的水平度、直至载台与全部的高度计接触。
进一步地，限位机构包括：至少两个第一定位安装孔，至少两个第一定位安装孔间隔设置在定位板上；至少两个第一定位配合孔，至少两个第一定位配合孔间隔设置在调节块上；第一定位安装孔与第一定位配合孔一一对应；使得对应的第一定位安装孔和第一定位配合孔连通、插入紧固件即可将调节块固定在定位板的预设位置处。
进一步地，沿竖直方向，定位板上设有多组第一定位安装孔；选择不同组的第一定位安装孔安装调节块、能够改变调节块在竖直方向上的位置。
进一步地，限位机构还包括：至少两个定位凸块，至少两个定位凸块间隔设置在定位板上；至少两个定位凹槽，至少两个定位凹槽间隔设置在调节块上；定位凸块与定位凹槽一一对应；使得定位凸块插入对应的定位凹槽中，即可限定调节块与定位板的相对位置。
进一步地，定位板上还设有第二定位安装孔，连接块上设有第二定位配合孔；使得对应的第二定位安装孔和第二定位配合孔连通、插入紧固件即可固定连接块与定位板。
进一步地，沿直线方向，限位槽的长度大于调节块的长度；沿直线方向，连接块的两侧均设有微调孔，调节件能够通过微调孔作用于调节块；通过调节件，能够调整连接块与调节块在直线方向上的相对位置。
进一步地，连接块上还设有第二定位配合孔，第二定位配合孔为沿直线方向延伸的腰型孔。
进一步地，连接块包括：第一连接部，用于连接调节块；第二连接部，用于连接载台，第二连接部的延伸方向与第一连接部的延伸方向相互垂直；载台上设有第三定位安装孔，第二连接部上设有第三定位配合孔，第三定位安装孔与第三定位配合孔一一对应、以便于紧固连接连接块与载台；第三定位配合孔为腰型孔，第三定位配合孔沿远离第一连接部的方向水平延伸。
进一步地，检测板包括环形外框和十字支架，十字支架于环形外框的内圈中；圆心孔设于十字支架的中心；一组包括四个圆周孔，一组中的四个圆周孔分设在十字支架的四个臂上；检测板上设有多组圆周孔，多组圆周孔呈同心圆布置。
进一步地，水平板和检测板上均设有两个定位耳，处于同一块板上的两个定位耳相对设置；使得检测板上的两个定位耳、与水平板上的两个定位耳一一对应连接，即可准确地连接检测板与水平板；载台上方设有两个耳定位部，使得检测板上的定位耳与耳定位部一一对应连接，即可将检测板固定在载台上方的预设位置处。
本申请提供了一种CVD晶圆水平调节机构，包括调整组件和检测组件，检测组件用作水平基准，调整组件用于调节载台的水平度、使得载台满足检测组件的预设标准；调整组件包括定位板、调节块、连接块和限位机构，限位机构用于限制调节块与定位板的水平相对位置，调节块直线延伸，连接块上设有限位槽，限位槽直线延伸、用于卡设调节块；定位板安装到位后，通过限位机构将调节块水平安装到定位板上，确保调节块处于水平状态，通过限位槽卡接连接块与调节块后，连接块亦具备水平状态，连接块能够使得载台具备预设的水平状态，载台水平，一方面，有利于对晶圆的承托、能够保证晶圆镀膜的稳定性和可靠性，另一方面，有利于载台做升降运动、能够有效避免载台升降时与箱体或者波纹管干涉，从而保证设备的使用安全；检测组件包括水平板、检测板和高度计，检测板上设有一个圆心孔和一组圆周孔，高度计的检测端能够通过圆心孔或者圆周孔接触水平板、或者接触载台；通过设置检测组件，能够方便地确认载台是否处于预设的水平状态，通过五个高度计与载台的接触情况，还能够快捷地了解载台与预设水平位置的偏差情况，以便于操作调整组件。
附图说明
图1为本申请提供的一种CVD晶圆镀膜设备的结构示意图；
图2为图1所示的镀膜设备的结构剖视图；
图3为本申请提供的一种承载机构的结构示意图；
图4为本申请提供的一种承载机构和调整组件的结构爆炸图；
图5为图4所示的调整组件的另一角度结构爆炸图；
图6为本申请提供的一种检测组件的结构示意图；
图7为图6所示的检测组件安装于箱体上时的结构示意图。
具体实施方式
为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
本申请提供了一种CVD晶圆镀膜设备，包括：工作室100，工作室100内具有反应腔，工作室100的一侧设有进出口102，晶圆能够通过进出口102进入或离开反应腔；承载机构200，用于支撑进入反应腔的晶圆。
具体地，工作室100为晶圆镀膜提供了一个相对密闭的空间，以便于控制镀膜环境。作业时，晶圆通过进出口102进入反应腔，承载机构200接取晶圆、为晶圆提供稳定的作业位置；完成镀膜后，晶圆通过进出口102离开反应腔。
本申请提供的CVD晶圆镀膜设备还包括：第一作业板310，设于反应腔上方，第一作业板310上密布有进气孔311；第二作业板320，设于第一作业板310上，第一作业板310和第二作业板320之间具有辅腔312，第二作业板320内设有气道320a，气道320a连通辅腔312；供气装置400，连通气道320a，反应气体能够通过气道320a进入辅腔312、再通过进气孔311进入反应腔。
具体地，第一作业板310和第二作业板320均设于工作室100内、并悬于承载机构200上方；第一作业板310和第二作业板320之间的辅腔312是一个相对密封的腔体；作业时，反应气体通过气道320a进入辅腔312，反应气体能够在辅腔312中漫延、进而充盈辅腔312，由此，反应气体能够均匀流动、并较为均衡地进入各个进气孔311，密布的进气孔311还有利于反应气体均匀地进入反应腔、作用于晶圆，从而保证晶圆镀膜的均匀性。
本申请提供的CVD晶圆镀膜设备还包括：供电装置500，用于对第二作业板320通电；抽气装置600，用于抽出反应腔内的气体。
通过供电装置500对第二作业板320通电，第二作业板320用作电场发生器，通过第二作业板320构建电场、能够促进镀膜反应。
通过设置抽气装置600，作业前能够对反应腔内抽真空、控制镀膜环境，作业过程中又能够调控反应腔内的气压、优化镀膜环境。
本申请提供的CVD晶圆镀膜设备还包括：散热板330，设于第二作业板320上方；风扇340，设于散热板330上方。
通过在第二作业板320上方设置散热板330，第二作业板320工作生热后，热量优先传递给散热板330，散热板330为面积较大的平面板，散热板330上的热量能够快速向外传递；同时，使得散热板330遮挡第二作业板320，第二作业板320上各处的热量均能够传递给散热板330，也就保证了第二作业板320上的温度均匀。
进一步在散热板330上方设置风扇340，风扇340主要用于对散热板330上方的空间进行散热，以便于散热板330向上散热；此时，风扇340的构型不受限制，一般在散热板330中心正上方设置一个小风扇即可满足散热需要。
散热板330的设计既增加了散热面积、有利于散热效果，又能够阻止风扇340直接作用于第二作业板320，有利于降低散热强度、提高散热均匀性。
本申请提供的CVD晶圆镀膜设备还包括多个加热棒350，分布在工作室100内。
需要解释的是，温度是晶圆镀膜的重要影响因素。通过在工作室100内布设加热棒350，能够多位置控温、保证反应腔内达到作业温度；同时，根据反应需要，还能够指定位置进行独立控温，满足更多样的温控需要。
本申请提供了一种CVD晶圆镀膜设备，通过供气装置400、第一作业板310、第二作业板320和抽气装置600，能够调控反应腔内的压力、确保反应气体均匀地作用于晶圆；通过散热板330、风扇340和加热棒350，能够调控反应腔内的温度，确保晶圆在所需温度下进行反应。本申请提供的CVD晶圆镀膜设备高效集成了气控、温控和电场发生等机构，能够有效、可靠地构建晶圆气相沉积镀膜所需的环境，提高镀膜效率、优化镀膜效果。
一实施方式中，承载机构200包括：载台210，用于支撑进入反应腔的晶圆；顶针220，设于反应腔内、并穿设于载台210；升降机构240，用于驱使载台210沿竖直方向运动。
本申请提供的承载机构200通过载台210升降、配合顶针220进行晶圆的接取和限位。
具体地，反应腔的一侧设有进出口102，顶针220正对进出口102，载台210低于顶针220时、顶针220能够接取晶圆，载台210上升、能够顶起顶针220上的晶圆。
具体可参照图2至图4，图示实施例中，顶针220设于反应腔的底部，载台210上设有针孔，顶针220穿设于针孔中。晶圆进出时，载台210低于顶针220，顶针220凸出在外、能够对接机械手，以便于机械手置入或者取出晶圆。作业时，升降机构240驱使载台210上升，载台210高于顶针220后，即可托起晶圆，使得晶圆具备稳定的作业位置。
具体地，反应腔上方设有进气孔311，反应气体能够通过进气孔311进入反应腔，载台210能够在升降机构240的驱使下靠近或远离进气孔311、以便于调整晶圆的反应位置。
本申请设置载台210可升降，载台210上升、接取晶圆后，还能够继续调整晶圆与进气孔311的距离，直至晶圆处于预设反应距离处。完成镀膜后，载台210下降、使得晶圆回到顶针220上，顶针220暴露后，机械手伸入反应腔、与顶针220配合、取走晶圆。
通过使得载台210升降，不仅更利于控制反应距离、保证气相沉积的可靠性，还能够增加整机的适用性，对不同的晶圆进行镀膜时，调整载台210的升降幅度即可调整晶圆的反应位置、满足晶圆的反应需要。另外，载台210升降的情况下，晶圆在顶针220顶持后不需要移动，也就能够避免晶圆位移或者受损。
进一步地，承载机构200还包括温控机构230，用于调控载台210的温度。
由于载台210直接接触晶圆，设置温控机构230调节载台210温度，能够更直接、更有效地确保反应温度，从而促进气相沉积反应。
本申请还提供了一种CVD晶圆水平调节机构，用于调节载台210的水平度，包括调整组件和检测组件；检测组件用作水平基准，调整组件用于调节载台210的水平度、使得载台210满足检测组件的预设标准。
具体地，调整组件包括：定位板710；调节块720，与定位板710相连，调节块720为矩形块，调节块720直线延伸；连接块730，与载台210相连，连接块730上设有限位槽731，限位槽731直线延伸、用于卡设调节块720；限位机构，用于限制调节块720与定位板710的水平相对位置。
具体可参照图4和图5，图示实施例中，调节块720为矩形块，限位槽731为矩形槽；调节块720插入限位槽731后，沿竖直方向，调节块720被限位槽731卡住；调整调节块720的角度，即可调整连接块730的水平度。
定位板710安装到位后，通过限位机构将调节块720水平安装到定位板710上；确保调节块720处于水平状态，通过限位槽731卡接连接块730与调节块720后，连接块730亦具备水平状态。
结合参照图1、图2和图3，定位板710与升降机构240相连，连接块730与波纹管相连，波纹管的一端与箱体密封连接、另一端与载台210密封连接。升降机构240工作时，通过定位板710、带动调节块720和连接块730沿竖直方向运动，进一步通过波纹管带动载台210做升降运动。当连接块730处于预设的水平状态时，连接块730能够通过波纹管、使得载台210具备预设的水平状态。
载台210水平，一方面，有利于对晶圆的承托、能够保证晶圆镀膜的稳定性和可靠性，另一方面，有利于载台210做升降运动、能够有效避免载台210升降时与箱体或者波纹管干涉，从而保证设备的使用安全。
一实施例中，限位机构包括：至少两个第一定位安装孔711，至少两个第一定位安装孔711间隔设置在定位板710上；至少两个第一定位配合孔721，至少两个第一定位配合孔721间隔设置在调节块720上；第一定位安装孔711与第一定位配合孔721一一对应；使得对应的第一定位安装孔711和第一定位配合孔721连通、插入紧固件即可将调节块720固定在定位板710的预设位置处。
具体可参照图5，图示实施例中，定位板710上设有两个第一定位安装孔711，两个第一定位安装孔711沿水平方向间隔设置；调节块720上设有两个第一定位配合孔721，两个第一定位配合孔721沿调节块720的延伸方向间隔设置。使得调节块720上的第一定位配合孔721与定位板710上的第一定位安装孔711对应连通，插入紧固件后，调节块720与定位板710固定连接，受到第一定位安装孔711的限制，调节块720具备预设的水平状态。
可选地，第一定位安装孔711和第一定位配合孔721中的至少一者为螺孔，紧固件为螺钉。
可选地，第一定位安装孔711和第一定位配合孔721为销孔，紧固件为插销。
可选地，第一定位安装孔711和第一定位配合孔721为通孔，紧固件为抱具或者锁具。
本申请并不限定安装孔、配合孔和紧固件的具体构型。
该实施例中，设置至少两对第一定位安装孔711和第一定位配合孔721，能够很好地固定调节块720与定位板710，避免调节块720相对定位板710偏转。同时，预设好第一定位安装孔711和第一定位配合孔721的位置，确保孔与孔对准后，调节块720即可处于预设的水平状态，如此，通过简单的孔装配即可准确地完成调节块720的安装。
可选地，沿竖直方向，定位板710上设有多组第一定位安装孔711；选择不同组的第一定位安装孔711安装调节块720、能够改变调节块720在竖直方向上的位置。
实际安装时，可以通过选择不同组的第一定位安装孔711，实现对调节块720和连接块730高度位置的微调，以便于准确地连接载台210、或者调整载台210的高度位置。
另一实施例中，限位机构包括：至少两个定位凸块712，至少两个定位凸块712间隔设置在定位板710上；至少两个定位凹槽722，至少两个定位凹槽722间隔设置在调节块720上；定位凸块712与定位凹槽722一一对应；使得定位凸块712插入对应的定位凹槽722中，即可限定调节块720与定位板710的相对位置。
具体可参照图5，图示实施例中，定位板710上设有两个定位凸块712，两个定位凸块712沿水平方向间隔设置；调节块720上设有两个定位凹槽722，两个定位凹槽722沿调节块720的延伸方向间隔设置。使得定位凸块712对应地插入定位凹槽722中，既能够通过插接固定定位板710与调节块720，又能够限定调节块720的位置和延伸方向，使得调节块720具备预设的水平状态。
容易理解的，预设好定位凸块712和定位凹槽722的位置，确保凸块插入凹槽后，调节块720即可处于预设的水平状态，如此，通过简单的插接配合即可准确地实现调节块720的水平安装。
继续参照图5，图示实施例中，定位板710上设有两个定位凸块712，任一定位凸块712上开设有一个第一定位安装孔711；调节块720上设有两个定位凹槽722，任一定位凹槽722上开设有一个第一定位配合孔721，第一定位配合孔721沿厚度方向贯穿调节块720。安装时，使得定位凸块712对准定位凹槽722，通过插接的方式即可将调节块720准确地安装到定位板710上；定位凸块712插入定位凹槽722后，第一定位配合孔721连通第一定位安装孔711，插入紧固件，即可固定调节块720与定位板710。
其他实施例中，第一定位安装孔711可与定位凸块712交错设置，同时，第一定位配合孔721与第一定位配合孔721交错设置。
定位凸块712与定位凹槽722的设计能够实现调节块720与定位板710的快速定位和装配，而第一定位安装孔711和第一定位配合孔721的设计能够紧固调节块720与定位板710的连接、保证装配的稳定性和可靠性。
可选地，限位机构包括：转轴，调节块720通过转轴可转动地设置在定位板710上；弧形腰孔和螺孔，弧形腰孔和螺孔中的一者设置在调节块720上、另一者设置在定位板710上，弧形腰孔沿圆周方向延伸设置，该圆周的圆心为转轴的轴心，螺孔能够暴露在弧形腰孔中。使得调节块720绕转轴相对定位板710旋转，能够调整调节块720的水平度；将调节块720旋转至所需位置后，确保螺孔暴露在弧形腰孔中，从弧形腰孔向螺孔栓入螺钉，即可紧固调节块720与定位板710。
调节块720的可转动设计能够增加限位机构的可调性能，以便于调试过程中根据场地、环境等具体情况实现对载台210水平度的微调；弧形腰孔和螺孔的设计能够方便固定可转动的调节块720。
本申请并不限定限位机构的具体构型，只要限位机构能够方便调节块720在定位板710上呈预设的水平状态即可。
可选地，检测组件包括：水平板741，用作水平基准；检测板742，与水平板741可拆卸地连接，检测板742上设有一个圆心孔742a和一组圆周孔742b，一组包括至少四个圆周孔742b，一组中的至少四个圆周孔742b环绕圆心孔742a等间隔设置；至少五个高度计，圆心孔742a和圆周孔742b用于安装高度计，高度计的检测端能够通过圆心孔742a或者圆周孔742b接触水平板741、或者接触载台210。
调试过程中，在圆心孔742a和一组圆周孔742b中装入高度计，使得检测板742与水平板741相连，将全部的高度计调整至接触水平板741；完成高度计的调整后，将检测板742安装到载台210上方，通过调整组件调整载台210的水平度、直至载台210与全部的高度计接触。
具体可参照图6和图7，图示实施例中，检测板742的主体设置为圆盘状，检测板742的圆心处设有一个圆心孔742a，四个圆周孔742b围绕圆心孔742a布置。用于载台210前，先使得检测板742与水平板741相连，并使得圆心孔742a和圆周孔742b中均设有高度计；检测板742对准水平板741后，调试高度计、使得五个高度计的检测端均接触水平板741；卸下水平板741，将检测板742安装到载台210上方；若载台210用于接触晶圆的台面同时与五个高度计接触，则证明载台210的台面具备预设的水平状态；若其中至少一个高度计不与载台210的台面接触，则需要调整调节块720，直至载台210的台面同时接触五个高度计。
通过设置检测组件，能够方便地确认载台210是否处于预设的水平状态，通过五个高度计与载台210的接触情况，还能够快捷地了解载台210与预设水平位置的偏差情况，以便于操作调整组件。
完成载台210的水平度调节后，卸下检测组件，以便于载台210工作。
为稳固连接块730，可选地，定位板710上还设有第二定位安装孔713，连接块730上设有第二定位配合孔732；使得对应的第二定位安装孔713和第二定位配合孔732连通、插入紧固件即可固定连接块730与定位板710。
具体地，调节块720安装到位、且具备预设的水平状态后，将连接块730安装到调节块720上，调节块720能够限定限位槽731的位置和延伸方向，以便于连接块730具备预设的水平状态。当连接块730处于预设的水平状态时，第二定位安装孔713正对第二定位配合孔732、将紧固件插入连通的孔中，即可固定连接块730与定位板710，从而固定定位板710、调节块720与连接块730。
其中，第二定位安装孔713、第二定位配合孔732和紧固件的形式，与第一定位安装孔711与第一定位配合孔721和紧固件的形式类似，此处不再赘述。
可选地，沿直线方向，限位槽731的长度大于调节块720的长度；沿直线方向，连接块730的两侧均设有微调孔733，调节件能够通过微调孔733作用于调节块720；通过调节件，能够调整连接块730与调节块720在直线方向上的相对位置。
其中，微调孔733可以是螺孔，调节件为螺杆，调节件与微调孔733螺纹连接；微调孔733连通限位槽731，沿微调孔733不断旋入调节件，调节件能够抵压并推动调节块720，如此，即可调整连接块730的位置、以便于连接块730准确地与载台210和升降机构240相连。调整连接块730至所需的位置后，旋紧两侧的调节件、使得调节块720被夹紧在两个调节件之间，既有利于固定调节块720与连接块730，又能够避免CVD设备工作时连接块730位移。
或者，微调孔733可以是通孔，调节件为顶针或者千分尺。
本申请并不限定微调孔733和调节件的具体构型，只要能够实现调节块720沿限位槽731的移动即可。
当调节块720可沿限位槽731的移动时，为方便固定连接块730与定位板710，连接块730上还设有第二定位配合孔732，第二定位配合孔732为沿直线方向延伸的腰型孔。
具体可参照图5，图示实施例中，连接块730上设有四个第二定位配合孔732，四个第二定位配合孔732呈四角设置；定位板710上对应设有四个第二定位安装孔713；第一定位安装孔711处于四个第二定位安装孔713之间；调节块720安装到定位板710上后，确认调节块720处于预设的水平状态，通过限位槽731将连接块730安装到调节块720上；限位槽731与调节块720相互限制，使得连接块730具备预设的水平状态，此时，第二定位安装孔713暴露在第二定位配合孔732中，先将紧固件插入连通的孔中、但紧固件并不压紧连接块730与定位板710；确认连接块730在直线方向上的位置是否有偏差，若存在偏差，通过调节件推动调节块720、反向推动连接块730沿直线方向运动；推动过程中，调节块720沿限位槽731运动，紧固件亦沿第二定位配合孔732运动，多位置导向，确保直线位置调节的稳定性；连接块730移动到位后，压紧紧固件、固定连接块730与定位板710。
可选地，连接块730包括：第一连接部730a，用于连接调节块720；第二连接部730b，用于连接载台210，第二连接部730b的延伸方向与第一连接部730a的延伸方向相互垂直；载台210上设有第三定位安装孔，第二连接部730b上设有第三定位配合孔734，第三定位安装孔与第三定位配合孔734一一对应、以便于紧固连接连接块730与载台210；第三定位配合孔734为腰型孔，第三定位配合孔734沿远离第一连接部730a的方向水平延伸。
具体可参照图4和图5，图示实施例中，连接块730大致呈L型，第一连接部730a沿竖直方向延伸、第二连接部730b沿第一水平方向延伸，调节块720和限位槽731沿第二水平方向延伸，竖直方向、第一水平方向和第二水平方向两两垂直。
结合参照图3，第二连接部730b用于连接波纹管，波纹管与载台210密封连接，波纹管连接载台210的端部设有第三定位安装孔，第三定位安装孔暴露在第三定位配合孔734中；第三定位配合孔734沿第一水平方向延伸设置。
继续参照图4和图5，连接块730的两侧均设有微调孔733，微调孔733沿第二水平方向延伸、并连通限位槽731，调节件插入微调孔733、能够推动调节块720，从而调节连接块730在第二水平方向上的位置，以便于第二连接部730b对准波纹管。腰型孔状的第三定位配合孔734能够更好地适应载台210和波纹管的位置。载台210和波纹管安装到位后，确保第三定位安装孔暴露于第三定位配合孔734中，锁紧对应的第三定位安装孔和第三定位配合孔734，即可准确、可靠地连接调整组件与载台210。
一具体实施例中，检测板742包括环形外框742c和十字支架742d，十字支架742d设于环形外框742c的内圈中；圆心孔742a设于十字支架742d的中心；一组包括四个圆周孔742b，一组中的四个圆周孔742b分设在十字支架742d的四个臂上；检测板742上设有多组圆周孔742b，多组圆周孔742b呈同心圆布置。
具体可参照图6，图示实施例中，检测板742的主体呈圆板状，环形外框742c呈圆环状，环形外框742c的内圈设有十字支架742d；十字支架742d包括四个臂，任意两个相邻的臂彼此垂直；任一臂上设有三个圆周孔742b。此时，检测板742上设有三组圆周孔742b，第一组圆周孔742b沿圆A的圆周等间隔布置，第二组圆周孔742b沿圆B的圆周等间隔布置，第三组圆周孔742b沿圆C的圆周等间隔布置；圆A、B和C为同心圆，三者的圆心均为圆心孔742a所在的圆心。
容易理解地，在第一组圆周孔742b和圆心孔742a中安装好高度计，并利用水平板741将五个高度计调整至预设的水平检测状态，利用这五个高度计即可检测载台210上圆A所在的位置是否水平。同理，在第二组圆周孔742b或者定位板710三组圆周孔742b和圆心孔742a中安装好高度计，即可检测载台210上圆B或者圆C所在的位置是否水平。
一使用方式中，按照载台210的规格或者使用情况，选择合适位置的一组圆周孔742b与圆心孔742a安装高度计、对所需位置进行水平度检测和后续调整。
另一使用方式中，可以选择多组圆周孔742b同时配合圆心孔742a安装高度计，以便于对载台210的多个位置行水平度检测和后续调整。或者，可以一次选择一组圆周孔742b配合圆心孔742a安装高度计进行水平度检测，完成一次检测和对应调整后，卸除该组圆周孔742b中的高度计、并于另一组圆周孔742b中安装高度计、以进行第二次水平度检测；通过两次或者更多次的水平度检测，确认载台210的水平情况。
通过将检测板742设置为具有环形外框742c和十字支架742d的构型，一方面，有利于省材和减重，另一方面，臂与臂之间的间隔还能够方便高度计的安装、方便作业人员的观察调整。
为方便水平板741和检测板742的安装和使用，可选地，水平板741和检测板742上均设有两个定位耳743，处于同一块板上的两个定位耳743相对设置；使得检测板742上的两个定位耳743、与水平板741上的两个定位耳743一一对应连接，即可准确地连接检测板742与水平板741。
具体可参照图6和图7，图示实施例中，水平板741和检测板742的主体均呈圆板状，圆板的外周设有两个定位耳743、两个定位耳743沿圆板的一条直径方向相对设置。使得水平板741和检测板742上的定位耳743一一对应，即可准确地将检测板742安装到水平板741上、以便于水平板741和检测板742的圆心相对、进而方便调试高度计。
进一步地，定位耳743上设有定位件，定位件用于限定水平板741和检测板742的连接位置。
例如，水平板741和检测板742中的一者的定位耳743上设有定位凸块、另一者的定位耳743上设有定位凹槽，使得定位凸块插入对应的定位凹槽中，即可准确连接水平板741和检测板742。
又例如，水平板741和检测板742的定位耳743上均设有定位孔；使得水平板741和检测板742的定位耳743上的定位孔彼此正对、固定定位孔（如插入定位销），即可准确连接水平板741和检测板742。
本申请并不限定定位耳743的具体构型和使用方式。
进一步地，载台210上方设有两个耳定位部，使得检测板742上的定位耳743与耳定位部一一对应连接，即可将检测板742固定在载台210上方的预设位置处。
需要解释的是，检测板742主要用于测试载台210的水平度、并配合调整组件调试载台210的水平状态。为此，需要在载台210装入工作室100后、对载台210进行调整。
载台210的位置与工作室100上的进出口102、第一作业板310和第二作业板320的位置有关，一般情况下，载台210在工作室100中的位置是固定的。因此，可以预设耳定位部，使得耳定位部与工作室100的位置相对固定，通过耳定位部安装检测板742、检测板742与工作室100的位置也相对固定；进一步通过耳定位部预设检测板742，使得检测板742正对载台210的预设位置（例如，检测板742通过耳定位部安装到位后，检测板742的圆心正对准确安装到位的载台210的圆心），如此，检测板742还能够确认载台210是否安装到位；载台210处于预设位置后，通过检测板742和高度计检测载台210的水平度。
可选地，检测板742的定位耳743上设有孔，耳定位部为销、块等能够插入孔的结构；耳定位部设于工作室100上、并处于载台210的预设位置附近；检测板742上设有两个相对的定位耳743、使得定位耳743上的孔与耳定位部一一对应连接，检测板742即可安装到位。
一实施例中，参照图1、图2和图7，工作室100包括箱体和盖体，箱体的顶部开放，盖体可翻转地设于箱体一侧、用于遮挡箱体的顶部开口。箱体的顶部设有螺孔，螺孔用作耳定位部。箱体的底部设有活动孔111，组装时，通过活动孔111装入载台210；检测板742的定位耳743上设有孔，使得定位耳743上的孔与箱体上的螺孔相对、栓入螺钉紧固检测板742与箱体，检测板742安装到位；利用检测板742检测载台210是否到位，若载台210的位置有偏差，可以通过调节件调整连接块730与调节块720在第二水平方向上的位置，还可以通过第三定位安装孔和第三定位配合孔734调整连接块730与调节块720在第一水平方向上的位置；利用检测板742检测载台210的水平度，若载台210不水平，微调调节块720的角度、以调整载台210的水平状态。载台210调试完毕后，卸去检测板742，正常安装盖体等部件。
以上实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种CVD晶圆水平调节机构，用于调节载台（210）的水平度，其特征在于，包括调整组件和检测组件；
所述调整组件包括：
定位板（710）；
调节块（720），与所述定位板（710）相连，所述调节块（720）为矩形块，所述调节块（720）直线延伸；
连接块（730），与所述载台（210）相连，所述连接块（730）上设有限位槽（731），所述限位槽（731）直线延伸、用于卡设所述调节块（720）；
限位机构，用于限制所述调节块（720）与所述定位板（710）的水平相对位置；
所述检测组件包括：
水平板（741），用作水平基准；
检测板（742），与所述水平板（741）可拆卸地连接，所述检测板（742）上设有一个圆心孔（742a）和一组圆周孔（742b），一组包括至少四个所述圆周孔（742b），一组中的至少四个所述圆周孔（742b）环绕所述圆心孔（742a）等间隔设置；
至少五个高度计，所述圆心孔（742a）和所述圆周孔（742b）用于安装所述高度计，所述高度计的检测端能够通过所述圆心孔（742a）或者所述圆周孔（742b）接触所述水平板（741）、或者接触所述载台（210）；
调试过程中，在所述圆心孔（742a）和一组所述圆周孔（742b）中装入所述高度计，使得所述检测板（742）与所述水平板（741）相连，将全部的所述高度计调整至接触所述水平板（741）；
完成所述高度计的调整后，将所述检测板（742）安装到所述载台（210）上方，通过所述调整组件调整所述载台（210）的水平度、直至所述载台（210）与全部的所述高度计接触。
2.根据权利要求1所述的CVD晶圆水平调节机构，其特征在于，所述限位机构包括：
至少两个第一定位安装孔（711），至少两个所述第一定位安装孔（711）间隔设置在所述定位板（710）上；
至少两个第一定位配合孔（721），至少两个所述第一定位配合孔（721）间隔设置在所述调节块（720）上；
所述第一定位安装孔（711）与所述第一定位配合孔（721）一一对应；
使得对应的所述第一定位安装孔（711）和所述第一定位配合孔（721）连通、插入紧固件即可将所述调节块（720）固定在所述定位板（710）的预设位置处。
3.根据权利要求2所述的CVD晶圆水平调节机构，其特征在于，沿竖直方向，所述定位板（710）上设有多组所述第一定位安装孔（711）；
选择不同组的所述第一定位安装孔（711）安装所述调节块（720）、能够改变所述调节块（720）在竖直方向上的位置。
4.根据权利要求2所述的CVD晶圆水平调节机构，其特征在于，所述限位机构还包括：
至少两个定位凸块（712），至少两个所述定位凸块（712）间隔设置在所述定位板（710）上；
至少两个定位凹槽（722），至少两个所述定位凹槽（722）间隔设置在所述调节块（720）上；
所述定位凸块（712）与所述定位凹槽（722）一一对应；
使得所述定位凸块（712）插入对应的所述定位凹槽（722）中，即可限定所述调节块（720）与所述定位板（710）的相对位置。
5.根据权利要求2所述的CVD晶圆水平调节机构，其特征在于，所述定位板（710）上还设有第二定位安装孔（713），所述连接块（730）上设有第二定位配合孔（732）；
使得对应的所述第二定位安装孔（713）和所述第二定位配合孔（732）连通、插入紧固件即可固定所述连接块（730）与所述定位板（710）。
6.根据权利要求1所述的CVD晶圆水平调节机构，其特征在于，沿直线方向，所述限位槽（731）的长度大于所述调节块（720）的长度；
沿所述直线方向，所述连接块（730）的两侧均设有微调孔（733），调节件能够通过所述微调孔（733）作用于所述调节块（720）；
通过所述调节件，能够调整所述连接块（730）与所述调节块（720）在所述直线方向上的相对位置。
7.根据权利要求6所述的CVD晶圆水平调节机构，其特征在于，所述连接块（730）上还设有第二定位配合孔（732），所述第二定位配合孔（732）为沿所述直线方向延伸的腰型孔。
8.根据权利要求1-7任一项所述的CVD晶圆水平调节机构，其特征在于，所述连接块（730）包括：
第一连接部（730a），用于连接所述调节块（720）；
第二连接部（730b），用于连接所述载台（210），所述第二连接部（730b）的延伸方向与所述第一连接部（730a）的延伸方向相互垂直；
所述载台（210）上设有第三定位安装孔，所述第二连接部（730b）上设有第三定位配合孔（734），所述第三定位安装孔与所述第三定位配合孔（734）一一对应、以便于紧固连接所述连接块（730）与所述载台（210）；
所述第三定位配合孔（734）为腰型孔，所述第三定位配合孔（734）沿远离所述第一连接部（730a）的方向水平延伸。
9.根据权利要求1所述的CVD晶圆水平调节机构，其特征在于，所述检测板（742）包括环形外框（742c）和十字支架（742d），所述十字支架（742d）设于所述环形外框（742c）的内圈中；
所述圆心孔（742a）设于所述十字支架（742d）的中心；
一组包括四个所述圆周孔（742b），一组中的四个所述圆周孔（742b）分设在所述十字支架（742d）的四个臂上；
所述检测板（742）上设有多组所述圆周孔（742b），多组所述圆周孔（742b）呈同心圆布置。
10.根据权利要求1所述的CVD晶圆水平调节机构，其特征在于，所述水平板（741）和所述检测板（742）上均设有两个定位耳（743），处于同一块板上的两个所述定位耳（743）相对设置；
使得所述检测板（742）上的两个所述定位耳（743）、与所述水平板（741）上的两个所述定位耳（743）一一对应连接，即可准确地连接所述检测板（742）与所述水平板（741）；
所述载台（210）上方设有两个耳定位部，使得所述检测板（742）上的所述定位耳（743）与所述耳定位部一一对应连接，即可将所述检测板（742）固定在所述载台（210）上方的预设位置处。
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