CN117248195B - Cvd晶圆水平调节机构 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种CVD晶圆水平调节机构,包括调整组件和检测组件,调整组件包括定位板、调节块、连接块和限位机构,限位机构用于限制调节块与定位板的水平相对位置,调节块直线延伸,连接块上设有限位槽,限位槽直线延伸、用于卡设调节块;定位板安装到位后,通过限位机构将调节块水平安装到定位板上,确保调节块处于水平状态,通过限位槽卡接连接块与调节块后,连接块亦具备水平状态,连接块能够使得载台具备预设的水平状态;检测组件包括水平板、检测板和高度计,检测板上设有一个圆心孔和一组圆周孔,高度计的检测端能够通过圆心孔或者圆周孔接触水平板、或者接触载台;通过设置检测组件,能够方便地确认载台是否处于预设的水平状态。
Description
技术领域
本申请涉及晶圆化学气相沉积设备技术领域,尤其是一种CVD晶圆水平调节机构。
背景技术
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition)是指通过化学气体或蒸汽在基质表面反应、合成涂层或纳米材料的方法。目前,CVD是半导体工业中应用较为广泛的一种沉积技术。
CVD法制备薄膜过程为:反应气体向基片表面扩散、并吸附于基片表面,反应气体在基片表面发生化学反应,在基片表面生成的气相副产物脱离、向空间扩散或者被抽气系统抽走,在基片表面留下的不挥发的固相反应产物成为基片的氧化膜。
为保证晶圆在镀膜过程中位置稳定,CVD设备中设有承载机构、通过载台支撑晶圆、控制晶圆位置。常规的载台多是简单地安装在反应腔内,容易存在表面不水平的问题,极易影响晶圆表面镀膜的均匀性。
发明内容
本申请的目的是在于克服现有技术中存在的不足,提供一种CVD晶圆水平调节机构。
为实现以上技术目的,本申请提供了一种CVD晶圆水平调节机构,用于调节载台的水平度,包括调整组件和检测组件;调整组件包括:定位板;调节块,与定位板相连,调节块为矩形块,调节块直线延伸;连接块,与载台相连,连接块上设有限位槽,限位槽直线延伸、用于卡设调节块;限位机构,用于限制调节块与定位板的水平相对位置;检测组件包括:水平板,用作水平基准;检测板,与水平板可拆卸地连接,检测板上设有一个圆心孔和一组圆周孔,一组包括至少四个圆周孔,一组中的至少四个圆周孔环绕圆心孔等间隔设置;至少五个高度计,圆心孔和圆周孔用于安装高度计,高度计的检测端能够通过圆心孔或者圆周孔接触水平板、或者接触载台;调试过程中,在圆心孔和一组圆周孔中装入高度计,使得检测板与水平板相连,将全部的高度计调整至接触水平板;完成高度计的调整后,将检测板安装到载台上方,通过调整组件调整载台的水平度、直至载台与全部的高度计接触。
进一步地,限位机构包括:至少两个第一定位安装孔,至少两个第一定位安装孔间隔设置在定位板上;至少两个第一定位配合孔,至少两个第一定位配合孔间隔设置在调节块上;第一定位安装孔与第一定位配合孔一一对应;使得对应的第一定位安装孔和第一定位配合孔连通、插入紧固件即可将调节块固定在定位板的预设位置处。
进一步地,沿竖直方向,定位板上设有多组第一定位安装孔;选择不同组的第一定位安装孔安装调节块、能够改变调节块在竖直方向上的位置。
进一步地,限位机构还包括:至少两个定位凸块,至少两个定位凸块间隔设置在定位板上;至少两个定位凹槽,至少两个定位凹槽间隔设置在调节块上;定位凸块与定位凹槽一一对应;使得定位凸块插入对应的定位凹槽中,即可限定调节块与定位板的相对位置。
进一步地,定位板上还设有第二定位安装孔,连接块上设有第二定位配合孔;使得对应的第二定位安装孔和第二定位配合孔连通、插入紧固件即可固定连接块与定位板。
进一步地,沿直线方向,限位槽的长度大于调节块的长度;沿直线方向,连接块的两侧均设有微调孔,调节件能够通过微调孔作用于调节块;通过调节件,能够调整连接块与调节块在直线方向上的相对位置。
进一步地,连接块上还设有第二定位配合孔,第二定位配合孔为沿直线方向延伸的腰型孔。
进一步地,连接块包括:第一连接部,用于连接调节块;第二连接部,用于连接载台,第二连接部的延伸方向与第一连接部的延伸方向相互垂直;载台上设有第三定位安装孔,第二连接部上设有第三定位配合孔,第三定位安装孔与第三定位配合孔一一对应、以便于紧固连接连接块与载台;第三定位配合孔为腰型孔,第三定位配合孔沿远离第一连接部的方向水平延伸。
进一步地,检测板包括环形外框和十字支架,十字支架于环形外框的内圈中;圆心孔设于十字支架的中心;一组包括四个圆周孔,一组中的四个圆周孔分设在十字支架的四个臂上;检测板上设有多组圆周孔,多组圆周孔呈同心圆布置。
进一步地,水平板和检测板上均设有两个定位耳,处于同一块板上的两个定位耳相对设置;使得检测板上的两个定位耳、与水平板上的两个定位耳一一对应连接,即可准确地连接检测板与水平板;载台上方设有两个耳定位部,使得检测板上的定位耳与耳定位部一一对应连接,即可将检测板固定在载台上方的预设位置处。
本申请提供了一种CVD晶圆水平调节机构,包括调整组件和检测组件,检测组件用作水平基准,调整组件用于调节载台的水平度、使得载台满足检测组件的预设标准;调整组件包括定位板、调节块、连接块和限位机构,限位机构用于限制调节块与定位板的水平相对位置,调节块直线延伸,连接块上设有限位槽,限位槽直线延伸、用于卡设调节块;定位板安装到位后,通过限位机构将调节块水平安装到定位板上,确保调节块处于水平状态,通过限位槽卡接连接块与调节块后,连接块亦具备水平状态,连接块能够使得载台具备预设的水平状态,载台水平,一方面,有利于对晶圆的承托、能够保证晶圆镀膜的稳定性和可靠性,另一方面,有利于载台做升降运动、能够有效避免载台升降时与箱体或者波纹管干涉,从而保证设备的使用安全;检测组件包括水平板、检测板和高度计,检测板上设有一个圆心孔和一组圆周孔,高度计的检测端能够通过圆心孔或者圆周孔接触水平板、或者接触载台;通过设置检测组件,能够方便地确认载台是否处于预设的水平状态,通过五个高度计与载台的接触情况,还能够快捷地了解载台与预设水平位置的偏差情况,以便于操作调整组件。
附图说明
图1为本申请提供的一种CVD晶圆镀膜设备的结构示意图;
图2为图1所示的镀膜设备的结构剖视图;
图3为本申请提供的一种承载机构的结构示意图;
图4为本申请提供的一种承载机构和调整组件的结构爆炸图;
图5为图4所示的调整组件的另一角度结构爆炸图;
图6为本申请提供的一种检测组件的结构示意图;
图7为图6所示的检测组件安装于箱体上时的结构示意图。
具体实施方式
为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进,因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
本申请提供了一种CVD晶圆镀膜设备,包括:工作室100,工作室100内具有反应腔,工作室100的一侧设有进出口102,晶圆能够通过进出口102进入或离开反应腔;承载机构200,用于支撑进入反应腔的晶圆。
具体地,工作室100为晶圆镀膜提供了一个相对密闭的空间,以便于控制镀膜环境。作业时,晶圆通过进出口102进入反应腔,承载机构200接取晶圆、为晶圆提供稳定的作业位置;完成镀膜后,晶圆通过进出口102离开反应腔。
本申请提供的CVD晶圆镀膜设备还包括:第一作业板310,设于反应腔上方,第一作业板310上密布有进气孔311;第二作业板320,设于第一作业板310上,第一作业板310和第二作业板320之间具有辅腔312,第二作业板320内设有气道320a,气道320a连通辅腔312;供气装置400,连通气道320a,反应气体能够通过气道320a进入辅腔312、再通过进气孔311进入反应腔。
具体地,第一作业板310和第二作业板320均设于工作室100内、并悬于承载机构200上方;第一作业板310和第二作业板320之间的辅腔312是一个相对密封的腔体;作业时,反应气体通过气道320a进入辅腔312,反应气体能够在辅腔312中漫延、进而充盈辅腔312,由此,反应气体能够均匀流动、并较为均衡地进入各个进气孔311,密布的进气孔311还有利于反应气体均匀地进入反应腔、作用于晶圆,从而保证晶圆镀膜的均匀性。
本申请提供的CVD晶圆镀膜设备还包括:供电装置500,用于对第二作业板320通电;抽气装置600,用于抽出反应腔内的气体。
通过供电装置500对第二作业板320通电,第二作业板320用作电场发生器,通过第二作业板320构建电场、能够促进镀膜反应。
通过设置抽气装置600,作业前能够对反应腔内抽真空、控制镀膜环境,作业过程中又能够调控反应腔内的气压、优化镀膜环境。
本申请提供的CVD晶圆镀膜设备还包括:散热板330,设于第二作业板320上方;风扇340,设于散热板330上方。
通过在第二作业板320上方设置散热板330,第二作业板320工作生热后,热量优先传递给散热板330,散热板330为面积较大的平面板,散热板330上的热量能够快速向外传递;同时,使得散热板330遮挡第二作业板320,第二作业板320上各处的热量均能够传递给散热板330,也就保证了第二作业板320上的温度均匀。
进一步在散热板330上方设置风扇340,风扇340主要用于对散热板330上方的空间进行散热,以便于散热板330向上散热;此时,风扇340的构型不受限制,一般在散热板330中心正上方设置一个小风扇即可满足散热需要。
散热板330的设计既增加了散热面积、有利于散热效果,又能够阻止风扇340直接作用于第二作业板320,有利于降低散热强度、提高散热均匀性。
本申请提供的CVD晶圆镀膜设备还包括多个加热棒350,分布在工作室100内。
需要解释的是,温度是晶圆镀膜的重要影响因素。通过在工作室100内布设加热棒350,能够多位置控温、保证反应腔内达到作业温度;同时,根据反应需要,还能够指定位置进行独立控温,满足更多样的温控需要。
本申请提供了一种CVD晶圆镀膜设备,通过供气装置400、第一作业板310、第二作业板320和抽气装置600,能够调控反应腔内的压力、确保反应气体均匀地作用于晶圆;通过散热板330、风扇340和加热棒350,能够调控反应腔内的温度,确保晶圆在所需温度下进行反应。本申请提供的CVD晶圆镀膜设备高效集成了气控、温控和电场发生等机构,能够有效、可靠地构建晶圆气相沉积镀膜所需的环境,提高镀膜效率、优化镀膜效果。
一实施方式中,承载机构200包括:载台210,用于支撑进入反应腔的晶圆;顶针220,设于反应腔内、并穿设于载台210;升降机构240,用于驱使载台210沿竖直方向运动。
本申请提供的承载机构200通过载台210升降、配合顶针220进行晶圆的接取和限位。
具体地,反应腔的一侧设有进出口102,顶针220正对进出口102,载台210低于顶针220时、顶针220能够接取晶圆,载台210上升、能够顶起顶针220上的晶圆。
具体可参照图2至图4,图示实施例中,顶针220设于反应腔的底部,载台210上设有针孔,顶针220穿设于针孔中。晶圆进出时,载台210低于顶针220,顶针220凸出在外、能够对接机械手,以便于机械手置入或者取出晶圆。作业时,升降机构240驱使载台210上升,载台210高于顶针220后,即可托起晶圆,使得晶圆具备稳定的作业位置。
具体地,反应腔上方设有进气孔311,反应气体能够通过进气孔311进入反应腔,载台210能够在升降机构240的驱使下靠近或远离进气孔311、以便于调整晶圆的反应位置。
本申请设置载台210可升降,载台210上升、接取晶圆后,还能够继续调整晶圆与进气孔311的距离,直至晶圆处于预设反应距离处。完成镀膜后,载台210下降、使得晶圆回到顶针220上,顶针220暴露后,机械手伸入反应腔、与顶针220配合、取走晶圆。
通过使得载台210升降,不仅更利于控制反应距离、保证气相沉积的可靠性,还能够增加整机的适用性,对不同的晶圆进行镀膜时,调整载台210的升降幅度即可调整晶圆的反应位置、满足晶圆的反应需要。另外,载台210升降的情况下,晶圆在顶针220顶持后不需要移动,也就能够避免晶圆位移或者受损。
进一步地,承载机构200还包括温控机构230,用于调控载台210的温度。
由于载台210直接接触晶圆,设置温控机构230调节载台210温度,能够更直接、更有效地确保反应温度,从而促进气相沉积反应。
本申请还提供了一种CVD晶圆水平调节机构,用于调节载台210的水平度,包括调整组件和检测组件;检测组件用作水平基准,调整组件用于调节载台210的水平度、使得载台210满足检测组件的预设标准。
具体地,调整组件包括:定位板710;调节块720,与定位板710相连,调节块720为矩形块,调节块720直线延伸;连接块730,与载台210相连,连接块730上设有限位槽731,限位槽731直线延伸、用于卡设调节块720;限位机构,用于限制调节块720与定位板710的水平相对位置。
具体可参照图4和图5,图示实施例中,调节块720为矩形块,限位槽731为矩形槽;调节块720插入限位槽731后,沿竖直方向,调节块720被限位槽731卡住;调整调节块720的角度,即可调整连接块730的水平度。
定位板710安装到位后,通过限位机构将调节块720水平安装到定位板710上;确保调节块720处于水平状态,通过限位槽731卡接连接块730与调节块720后,连接块730亦具备水平状态。
结合参照图1、图2和图3,定位板710与升降机构240相连,连接块730与波纹管相连,波纹管的一端与箱体密封连接、另一端与载台210密封连接。升降机构240工作时,通过定位板710、带动调节块720和连接块730沿竖直方向运动,进一步通过波纹管带动载台210做升降运动。当连接块730处于预设的水平状态时,连接块730能够通过波纹管、使得载台210具备预设的水平状态。
载台210水平,一方面,有利于对晶圆的承托、能够保证晶圆镀膜的稳定性和可靠性,另一方面,有利于载台210做升降运动、能够有效避免载台210升降时与箱体或者波纹管干涉,从而保证设备的使用安全。
一实施例中,限位机构包括:至少两个第一定位安装孔711,至少两个第一定位安装孔711间隔设置在定位板710上;至少两个第一定位配合孔721,至少两个第一定位配合孔721间隔设置在调节块720上;第一定位安装孔711与第一定位配合孔721一一对应;使得对应的第一定位安装孔711和第一定位配合孔721连通、插入紧固件即可将调节块720固定在定位板710的预设位置处。
具体可参照图5,图示实施例中,定位板710上设有两个第一定位安装孔711,两个第一定位安装孔711沿水平方向间隔设置;调节块720上设有两个第一定位配合孔721,两个第一定位配合孔721沿调节块720的延伸方向间隔设置。使得调节块720上的第一定位配合孔721与定位板710上的第一定位安装孔711对应连通,插入紧固件后,调节块720与定位板710固定连接,受到第一定位安装孔711的限制,调节块720具备预设的水平状态。
可选地,第一定位安装孔711和第一定位配合孔721中的至少一者为螺孔,紧固件为螺钉。
可选地,第一定位安装孔711和第一定位配合孔721为销孔,紧固件为插销。
可选地,第一定位安装孔711和第一定位配合孔721为通孔,紧固件为抱具或者锁具。
本申请并不限定安装孔、配合孔和紧固件的具体构型。
该实施例中,设置至少两对第一定位安装孔711和第一定位配合孔721,能够很好地固定调节块720与定位板710,避免调节块720相对定位板710偏转。同时,预设好第一定位安装孔711和第一定位配合孔721的位置,确保孔与孔对准后,调节块720即可处于预设的水平状态,如此,通过简单的孔装配即可准确地完成调节块720的安装。
可选地,沿竖直方向,定位板710上设有多组第一定位安装孔711;选择不同组的第一定位安装孔711安装调节块720、能够改变调节块720在竖直方向上的位置。
实际安装时,可以通过选择不同组的第一定位安装孔711,实现对调节块720和连接块730高度位置的微调,以便于准确地连接载台210、或者调整载台210的高度位置。
另一实施例中,限位机构包括:至少两个定位凸块712,至少两个定位凸块712间隔设置在定位板710上;至少两个定位凹槽722,至少两个定位凹槽722间隔设置在调节块720上;定位凸块712与定位凹槽722一一对应;使得定位凸块712插入对应的定位凹槽722中,即可限定调节块720与定位板710的相对位置。
具体可参照图5,图示实施例中,定位板710上设有两个定位凸块712,两个定位凸块712沿水平方向间隔设置;调节块720上设有两个定位凹槽722,两个定位凹槽722沿调节块720的延伸方向间隔设置。使得定位凸块712对应地插入定位凹槽722中,既能够通过插接固定定位板710与调节块720,又能够限定调节块720的位置和延伸方向,使得调节块720具备预设的水平状态。
容易理解的,预设好定位凸块712和定位凹槽722的位置,确保凸块插入凹槽后,调节块720即可处于预设的水平状态,如此,通过简单的插接配合即可准确地实现调节块720的水平安装。
继续参照图5,图示实施例中,定位板710上设有两个定位凸块712,任一定位凸块712上开设有一个第一定位安装孔711;调节块720上设有两个定位凹槽722,任一定位凹槽722上开设有一个第一定位配合孔721,第一定位配合孔721沿厚度方向贯穿调节块720。安装时,使得定位凸块712对准定位凹槽722,通过插接的方式即可将调节块720准确地安装到定位板710上;定位凸块712插入定位凹槽722后,第一定位配合孔721连通第一定位安装孔711,插入紧固件,即可固定调节块720与定位板710。
其他实施例中,第一定位安装孔711可与定位凸块712交错设置,同时,第一定位配合孔721与第一定位配合孔721交错设置。
定位凸块712与定位凹槽722的设计能够实现调节块720与定位板710的快速定位和装配,而第一定位安装孔711和第一定位配合孔721的设计能够紧固调节块720与定位板710的连接、保证装配的稳定性和可靠性。
可选地,限位机构包括:转轴,调节块720通过转轴可转动地设置在定位板710上;弧形腰孔和螺孔,弧形腰孔和螺孔中的一者设置在调节块720上、另一者设置在定位板710上,弧形腰孔沿圆周方向延伸设置,该圆周的圆心为转轴的轴心,螺孔能够暴露在弧形腰孔中。使得调节块720绕转轴相对定位板710旋转,能够调整调节块720的水平度;将调节块720旋转至所需位置后,确保螺孔暴露在弧形腰孔中,从弧形腰孔向螺孔栓入螺钉,即可紧固调节块720与定位板710。
调节块720的可转动设计能够增加限位机构的可调性能,以便于调试过程中根据场地、环境等具体情况实现对载台210水平度的微调;弧形腰孔和螺孔的设计能够方便固定可转动的调节块720。
本申请并不限定限位机构的具体构型,只要限位机构能够方便调节块720在定位板710上呈预设的水平状态即可。
可选地,检测组件包括:水平板741,用作水平基准;检测板742,与水平板741可拆卸地连接,检测板742上设有一个圆心孔742a和一组圆周孔742b,一组包括至少四个圆周孔742b,一组中的至少四个圆周孔742b环绕圆心孔742a等间隔设置;至少五个高度计,圆心孔742a和圆周孔742b用于安装高度计,高度计的检测端能够通过圆心孔742a或者圆周孔742b接触水平板741、或者接触载台210。
调试过程中,在圆心孔742a和一组圆周孔742b中装入高度计,使得检测板742与水平板741相连,将全部的高度计调整至接触水平板741;完成高度计的调整后,将检测板742安装到载台210上方,通过调整组件调整载台210的水平度、直至载台210与全部的高度计接触。
具体可参照图6和图7,图示实施例中,检测板742的主体设置为圆盘状,检测板742的圆心处设有一个圆心孔742a,四个圆周孔742b围绕圆心孔742a布置。用于载台210前,先使得检测板742与水平板741相连,并使得圆心孔742a和圆周孔742b中均设有高度计;检测板742对准水平板741后,调试高度计、使得五个高度计的检测端均接触水平板741;卸下水平板741,将检测板742安装到载台210上方;若载台210用于接触晶圆的台面同时与五个高度计接触,则证明载台210的台面具备预设的水平状态;若其中至少一个高度计不与载台210的台面接触,则需要调整调节块720,直至载台210的台面同时接触五个高度计。
通过设置检测组件,能够方便地确认载台210是否处于预设的水平状态,通过五个高度计与载台210的接触情况,还能够快捷地了解载台210与预设水平位置的偏差情况,以便于操作调整组件。
完成载台210的水平度调节后,卸下检测组件,以便于载台210工作。
为稳固连接块730,可选地,定位板710上还设有第二定位安装孔713,连接块730上设有第二定位配合孔732;使得对应的第二定位安装孔713和第二定位配合孔732连通、插入紧固件即可固定连接块730与定位板710。
具体地,调节块720安装到位、且具备预设的水平状态后,将连接块730安装到调节块720上,调节块720能够限定限位槽731的位置和延伸方向,以便于连接块730具备预设的水平状态。当连接块730处于预设的水平状态时,第二定位安装孔713正对第二定位配合孔732、将紧固件插入连通的孔中,即可固定连接块730与定位板710,从而固定定位板710、调节块720与连接块730。
其中,第二定位安装孔713、第二定位配合孔732和紧固件的形式,与第一定位安装孔711与第一定位配合孔721和紧固件的形式类似,此处不再赘述。
可选地,沿直线方向,限位槽731的长度大于调节块720的长度;沿直线方向,连接块730的两侧均设有微调孔733,调节件能够通过微调孔733作用于调节块720;通过调节件,能够调整连接块730与调节块720在直线方向上的相对位置。
其中,微调孔733可以是螺孔,调节件为螺杆,调节件与微调孔733螺纹连接;微调孔733连通限位槽731,沿微调孔733不断旋入调节件,调节件能够抵压并推动调节块720,如此,即可调整连接块730的位置、以便于连接块730准确地与载台210和升降机构240相连。调整连接块730至所需的位置后,旋紧两侧的调节件、使得调节块720被夹紧在两个调节件之间,既有利于固定调节块720与连接块730,又能够避免CVD设备工作时连接块730位移。
或者,微调孔733可以是通孔,调节件为顶针或者千分尺。
本申请并不限定微调孔733和调节件的具体构型,只要能够实现调节块720沿限位槽731的移动即可。
当调节块720可沿限位槽731的移动时,为方便固定连接块730与定位板710,连接块730上还设有第二定位配合孔732,第二定位配合孔732为沿直线方向延伸的腰型孔。
具体可参照图5,图示实施例中,连接块730上设有四个第二定位配合孔732,四个第二定位配合孔732呈四角设置;定位板710上对应设有四个第二定位安装孔713;第一定位安装孔711处于四个第二定位安装孔713之间;调节块720安装到定位板710上后,确认调节块720处于预设的水平状态,通过限位槽731将连接块730安装到调节块720上;限位槽731与调节块720相互限制,使得连接块730具备预设的水平状态,此时,第二定位安装孔713暴露在第二定位配合孔732中,先将紧固件插入连通的孔中、但紧固件并不压紧连接块730与定位板710;确认连接块730在直线方向上的位置是否有偏差,若存在偏差,通过调节件推动调节块720、反向推动连接块730沿直线方向运动;推动过程中,调节块720沿限位槽731运动,紧固件亦沿第二定位配合孔732运动,多位置导向,确保直线位置调节的稳定性;连接块730移动到位后,压紧紧固件、固定连接块730与定位板710。
可选地,连接块730包括:第一连接部730a,用于连接调节块720;第二连接部730b,用于连接载台210,第二连接部730b的延伸方向与第一连接部730a的延伸方向相互垂直;载台210上设有第三定位安装孔,第二连接部730b上设有第三定位配合孔734,第三定位安装孔与第三定位配合孔734一一对应、以便于紧固连接连接块730与载台210;第三定位配合孔734为腰型孔,第三定位配合孔734沿远离第一连接部730a的方向水平延伸。
具体可参照图4和图5,图示实施例中,连接块730大致呈L型,第一连接部730a沿竖直方向延伸、第二连接部730b沿第一水平方向延伸,调节块720和限位槽731沿第二水平方向延伸,竖直方向、第一水平方向和第二水平方向两两垂直。
结合参照图3,第二连接部730b用于连接波纹管,波纹管与载台210密封连接,波纹管连接载台210的端部设有第三定位安装孔,第三定位安装孔暴露在第三定位配合孔734中;第三定位配合孔734沿第一水平方向延伸设置。
继续参照图4和图5,连接块730的两侧均设有微调孔733,微调孔733沿第二水平方向延伸、并连通限位槽731,调节件插入微调孔733、能够推动调节块720,从而调节连接块730在第二水平方向上的位置,以便于第二连接部730b对准波纹管。腰型孔状的第三定位配合孔734能够更好地适应载台210和波纹管的位置。载台210和波纹管安装到位后,确保第三定位安装孔暴露于第三定位配合孔734中,锁紧对应的第三定位安装孔和第三定位配合孔734,即可准确、可靠地连接调整组件与载台210。
一具体实施例中,检测板742包括环形外框742c和十字支架742d,十字支架742d设于环形外框742c的内圈中;圆心孔742a设于十字支架742d的中心;一组包括四个圆周孔742b,一组中的四个圆周孔742b分设在十字支架742d的四个臂上;检测板742上设有多组圆周孔742b,多组圆周孔742b呈同心圆布置。
具体可参照图6,图示实施例中,检测板742的主体呈圆板状,环形外框742c呈圆环状,环形外框742c的内圈设有十字支架742d;十字支架742d包括四个臂,任意两个相邻的臂彼此垂直;任一臂上设有三个圆周孔742b。此时,检测板742上设有三组圆周孔742b,第一组圆周孔742b沿圆A的圆周等间隔布置,第二组圆周孔742b沿圆B的圆周等间隔布置,第三组圆周孔742b沿圆C的圆周等间隔布置;圆A、B和C为同心圆,三者的圆心均为圆心孔742a所在的圆心。
容易理解地,在第一组圆周孔742b和圆心孔742a中安装好高度计,并利用水平板741将五个高度计调整至预设的水平检测状态,利用这五个高度计即可检测载台210上圆A所在的位置是否水平。同理,在第二组圆周孔742b或者定位板710三组圆周孔742b和圆心孔742a中安装好高度计,即可检测载台210上圆B或者圆C所在的位置是否水平。
一使用方式中,按照载台210的规格或者使用情况,选择合适位置的一组圆周孔742b与圆心孔742a安装高度计、对所需位置进行水平度检测和后续调整。
另一使用方式中,可以选择多组圆周孔742b同时配合圆心孔742a安装高度计,以便于对载台210的多个位置行水平度检测和后续调整。或者,可以一次选择一组圆周孔742b配合圆心孔742a安装高度计进行水平度检测,完成一次检测和对应调整后,卸除该组圆周孔742b中的高度计、并于另一组圆周孔742b中安装高度计、以进行第二次水平度检测;通过两次或者更多次的水平度检测,确认载台210的水平情况。
通过将检测板742设置为具有环形外框742c和十字支架742d的构型,一方面,有利于省材和减重,另一方面,臂与臂之间的间隔还能够方便高度计的安装、方便作业人员的观察调整。
为方便水平板741和检测板742的安装和使用,可选地,水平板741和检测板742上均设有两个定位耳743,处于同一块板上的两个定位耳743相对设置;使得检测板742上的两个定位耳743、与水平板741上的两个定位耳743一一对应连接,即可准确地连接检测板742与水平板741。
具体可参照图6和图7,图示实施例中,水平板741和检测板742的主体均呈圆板状,圆板的外周设有两个定位耳743、两个定位耳743沿圆板的一条直径方向相对设置。使得水平板741和检测板742上的定位耳743一一对应,即可准确地将检测板742安装到水平板741上、以便于水平板741和检测板742的圆心相对、进而方便调试高度计。
进一步地,定位耳743上设有定位件,定位件用于限定水平板741和检测板742的连接位置。
例如,水平板741和检测板742中的一者的定位耳743上设有定位凸块、另一者的定位耳743上设有定位凹槽,使得定位凸块插入对应的定位凹槽中,即可准确连接水平板741和检测板742。
又例如,水平板741和检测板742的定位耳743上均设有定位孔;使得水平板741和检测板742的定位耳743上的定位孔彼此正对、固定定位孔(如插入定位销),即可准确连接水平板741和检测板742。
本申请并不限定定位耳743的具体构型和使用方式。
进一步地,载台210上方设有两个耳定位部,使得检测板742上的定位耳743与耳定位部一一对应连接,即可将检测板742固定在载台210上方的预设位置处。
需要解释的是,检测板742主要用于测试载台210的水平度、并配合调整组件调试载台210的水平状态。为此,需要在载台210装入工作室100后、对载台210进行调整。
载台210的位置与工作室100上的进出口102、第一作业板310和第二作业板320的位置有关,一般情况下,载台210在工作室100中的位置是固定的。因此,可以预设耳定位部,使得耳定位部与工作室100的位置相对固定,通过耳定位部安装检测板742、检测板742与工作室100的位置也相对固定;进一步通过耳定位部预设检测板742,使得检测板742正对载台210的预设位置(例如,检测板742通过耳定位部安装到位后,检测板742的圆心正对准确安装到位的载台210的圆心),如此,检测板742还能够确认载台210是否安装到位;载台210处于预设位置后,通过检测板742和高度计检测载台210的水平度。
可选地,检测板742的定位耳743上设有孔,耳定位部为销、块等能够插入孔的结构;耳定位部设于工作室100上、并处于载台210的预设位置附近;检测板742上设有两个相对的定位耳743、使得定位耳743上的孔与耳定位部一一对应连接,检测板742即可安装到位。
一实施例中,参照图1、图2和图7,工作室100包括箱体和盖体,箱体的顶部开放,盖体可翻转地设于箱体一侧、用于遮挡箱体的顶部开口。箱体的顶部设有螺孔,螺孔用作耳定位部。箱体的底部设有活动孔111,组装时,通过活动孔111装入载台210;检测板742的定位耳743上设有孔,使得定位耳743上的孔与箱体上的螺孔相对、栓入螺钉紧固检测板742与箱体,检测板742安装到位;利用检测板742检测载台210是否到位,若载台210的位置有偏差,可以通过调节件调整连接块730与调节块720在第二水平方向上的位置,还可以通过第三定位安装孔和第三定位配合孔734调整连接块730与调节块720在第一水平方向上的位置;利用检测板742检测载台210的水平度,若载台210不水平,微调调节块720的角度、以调整载台210的水平状态。载台210调试完毕后,卸去检测板742,正常安装盖体等部件。
以上实施例仅表达了本申请的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本申请的保护范围。因此,本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种CVD晶圆水平调节机构,用于调节载台(210)的水平度,其特征在于,包括调整组件和检测组件;
所述调整组件包括:
定位板(710);
调节块(720),与所述定位板(710)相连,所述调节块(720)为矩形块,所述调节块(720)直线延伸;
连接块(730),与所述载台(210)相连,所述连接块(730)上设有限位槽(731),所述限位槽(731)直线延伸、用于卡设所述调节块(720);
限位机构,用于限制所述调节块(720)与所述定位板(710)的水平相对位置;
所述检测组件包括:
水平板(741),用作水平基准;
检测板(742),与所述水平板(741)可拆卸地连接,所述检测板(742)上设有一个圆心孔(742a)和一组圆周孔(742b),一组包括至少四个所述圆周孔(742b),一组中的至少四个所述圆周孔(742b)环绕所述圆心孔(742a)等间隔设置;
至少五个高度计,所述圆心孔(742a)和所述圆周孔(742b)用于安装所述高度计,所述高度计的检测端能够通过所述圆心孔(742a)或者所述圆周孔(742b)接触所述水平板(741)、或者接触所述载台(210);
调试过程中,在所述圆心孔(742a)和一组所述圆周孔(742b)中装入所述高度计,使得所述检测板(742)与所述水平板(741)相连,将全部的所述高度计调整至接触所述水平板(741);
完成所述高度计的调整后,将所述检测板(742)安装到所述载台(210)上方,通过所述调整组件调整所述载台(210)的水平度、直至所述载台(210)与全部的所述高度计接触。
2.根据权利要求1所述的CVD晶圆水平调节机构,其特征在于,所述限位机构包括:
至少两个第一定位安装孔(711),至少两个所述第一定位安装孔(711)间隔设置在所述定位板(710)上;
至少两个第一定位配合孔(721),至少两个所述第一定位配合孔(721)间隔设置在所述调节块(720)上;
所述第一定位安装孔(711)与所述第一定位配合孔(721)一一对应;
使得对应的所述第一定位安装孔(711)和所述第一定位配合孔(721)连通、插入紧固件即可将所述调节块(720)固定在所述定位板(710)的预设位置处。
3.根据权利要求2所述的CVD晶圆水平调节机构,其特征在于,沿竖直方向,所述定位板(710)上设有多组所述第一定位安装孔(711);
选择不同组的所述第一定位安装孔(711)安装所述调节块(720)、能够改变所述调节块(720)在竖直方向上的位置。
4.根据权利要求2所述的CVD晶圆水平调节机构,其特征在于,所述限位机构还包括:
至少两个定位凸块(712),至少两个所述定位凸块(712)间隔设置在所述定位板(710)上;
至少两个定位凹槽(722),至少两个所述定位凹槽(722)间隔设置在所述调节块(720)上;
所述定位凸块(712)与所述定位凹槽(722)一一对应;
使得所述定位凸块(712)插入对应的所述定位凹槽(722)中,即可限定所述调节块(720)与所述定位板(710)的相对位置。
5.根据权利要求2所述的CVD晶圆水平调节机构,其特征在于,所述定位板(710)上还设有第二定位安装孔(713),所述连接块(730)上设有第二定位配合孔(732);
使得对应的所述第二定位安装孔(713)和所述第二定位配合孔(732)连通、插入紧固件即可固定所述连接块(730)与所述定位板(710)。
6.根据权利要求1所述的CVD晶圆水平调节机构,其特征在于,沿直线方向,所述限位槽(731)的长度大于所述调节块(720)的长度;
沿所述直线方向,所述连接块(730)的两侧均设有微调孔(733),调节件能够通过所述微调孔(733)作用于所述调节块(720);
通过所述调节件,能够调整所述连接块(730)与所述调节块(720)在所述直线方向上的相对位置。
7.根据权利要求6所述的CVD晶圆水平调节机构,其特征在于,所述连接块(730)上还设有第二定位配合孔(732),所述第二定位配合孔(732)为沿所述直线方向延伸的腰型孔。
8.根据权利要求1-7任一项所述的CVD晶圆水平调节机构,其特征在于,所述连接块(730)包括:
第一连接部(730a),用于连接所述调节块(720);
第二连接部(730b),用于连接所述载台(210),所述第二连接部(730b)的延伸方向与所述第一连接部(730a)的延伸方向相互垂直;
所述载台(210)上设有第三定位安装孔,所述第二连接部(730b)上设有第三定位配合孔(734),所述第三定位安装孔与所述第三定位配合孔(734)一一对应、以便于紧固连接所述连接块(730)与所述载台(210);
所述第三定位配合孔(734)为腰型孔,所述第三定位配合孔(734)沿远离所述第一连接部(730a)的方向水平延伸。
9.根据权利要求1所述的CVD晶圆水平调节机构,其特征在于,所述检测板(742)包括环形外框(742c)和十字支架(742d),所述十字支架(742d)设于所述环形外框(742c)的内圈中;
所述圆心孔(742a)设于所述十字支架(742d)的中心;
一组包括四个所述圆周孔(742b),一组中的四个所述圆周孔(742b)分设在所述十字支架(742d)的四个臂上;
所述检测板(742)上设有多组所述圆周孔(742b),多组所述圆周孔(742b)呈同心圆布置。
10.根据权利要求1所述的CVD晶圆水平调节机构,其特征在于,所述水平板(741)和所述检测板(742)上均设有两个定位耳(743),处于同一块板上的两个所述定位耳(743)相对设置;
使得所述检测板(742)上的两个所述定位耳(743)、与所述水平板(741)上的两个所述定位耳(743)一一对应连接,即可准确地连接所述检测板(742)与所述水平板(741);
所述载台(210)上方设有两个耳定位部,使得所述检测板(742)上的所述定位耳(743)与所述耳定位部一一对应连接,即可将所述检测板(742)固定在所述载台(210)上方的预设位置处。
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