CN220856549U - 一种基片升降机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基片升降机构，包括顶板组件及位置调节组件，顶板组件包括板体、多个顶针及顶杆；位置调节组件包括活动块、固定座及多个位置调节件，固定座具有调节槽，活动块容纳于调节槽，调节槽的内侧壁与活动块的外侧壁之间具有间隔，位置调节件穿设于固定座的侧部并抵接于活动块的外侧壁，位置调节件能够沿其轴向相对固定座移动。通过位置调节件推动活动块移动能够带动顶板组件整体移动以调节顶针的位置，能够使多个顶针支撑基片的位置更为准确，并使被顶升的基片本身的位置更为准确，降低顶升时基片受到的支撑力不均衡，或抓取过程中机械手与基片发生磕碰导致基片损伤或掉落的可能性。

Description

一种基片升降机构

技术领域

本实用新型涉及自动化生产设备技术领域，尤其是涉及一种基片升降机构。

背景技术

自动化生产设备中，可设置用于顶升工件的升降机构，以适应生产过程中对工件搬运的需求，例如，半导体镀膜设备、蚀刻设备等设备在生产过程中，通常使用机械手对基片进行搬运，在此过程中，需先对基片进行顶升，而后再通过机械手对基片进行抓取和放置。顶升机构通常设有顶板，顶板通过多个顶针支撑基片，顶升时需保证基片尽可能处于水平状态，以避免基片滑落。相关技术中，可通过调整结构对顶板的俯仰角度进行调整，以使顶板多个顶针的端部均位于同一水平面内。但是，顶升时还应当保证基片的位置准确，以降低顶升时基片受到的支撑力不均衡，或抓取过程中机械手与基片发生磕碰导致基片损伤或掉落的可能性。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种基片升降机构，能够降低顶升时基片受到的支撑力不均衡，或抓取过程中机械手与基片发生磕碰导致基片损伤或掉落的可能性。

本实用新型实施例提供的一种基片升降机构，包括：顶板组件，包括板体、多个顶针及顶杆，所述顶杆的一端连接于所述板体，多个所述顶针分布于所述板体并向远离所述板体的方向延伸，多个所述顶针远离所述板体的端部用于共同支撑基片；位置调节组件，包括活动块、固定座及多个位置调节件，所述固定座具有调节槽，所述活动块容纳于所述调节槽，所述调节槽的内侧壁与所述活动块的外侧壁之间具有间隔，所述位置调节件穿设于所述固定座的侧部并抵接于所述活动块的外侧壁，所述位置调节件能够沿其轴向相对所述固定座移动，多个所述位置调节件至少分布于所述固定座在第一方向上相对的两侧，所述顶杆远离所述板体的一端连接于所述活动块，所述顶杆的延伸方向与所述调节槽的底壁所在的平面交叉。

本实用新型实施例提供的基片升降机构，至少具有如下有益效果：本实用新型实施例提供的基片升降机构设置有位置调节组件，位置调节组件中，活动块的外侧壁与固定座的调节槽的内侧壁之间具有间隔，调节位置调节件相对固定座的侧部移动时，位置调节件的端部能够推动活动块在调节槽内移动，而活动块连接于顶板组件的顶杆，因此能够带动顶板组件整体移动以调节顶针的位置，使多个顶针支撑基片的位置更为准确，并使被顶升的基片本身的位置更为准确，降低顶升时基片受到的支撑力不均衡，或抓取过程中机械手与基片发生磕碰导致基片损伤或掉落的可能性。

在本实用新型的一些实施例中，所述位置调节组件还包括多个位置固定件，所述位置固定件穿设于所述固定座的侧部并连接于所述活动块，所述位置固定件远离所述活动块的一端抵接于所述固定座的外侧壁。

在本实用新型的一些实施例中，所述固定座包括底板、两个第一侧板及两个第二侧板，两个所述第一侧板与两个所述第二侧板均连接于所述底板，两个所述第一侧板、两个所述第二侧板与所述底板共同限定出所述调节槽，两个所述第一侧板在所述第一方向上相对设置，两个所述第二侧板在第二方向上相对设置，所述第一方向与所述第二方向相互垂直，多个所述位置调节件分设于两个所述第一侧板及两个所述第二侧板。

在本实用新型的一些实施例中，所述位置调节组件还包括第一位置固定件，所述第一位置固定件穿设于所述第一侧板并连接于所述活动块，所述第一位置固定件远离所述活动块的一端抵接于所述第一侧板远离所述活动块的一侧；和/或，所述位置调节组件还包括第二位置固定件，所述第二位置固定件穿设于所述第二侧板并连接于所述活动块，所述第二位置固定件远离所述活动块的一端抵接于所述第二侧板远离所述活动块的一侧。

在本实用新型的一些实施例中，所述基片升降机构还包括第一角度调节组件，所述第一角度调节组件包括第一角度调节件，所述顶板组件还包括支撑板，所述支撑板连接于所述顶杆靠近所述板体的一端，所述第一角度调节件穿设于所述板体并抵接于所述支撑板，所述第一角度调节件能够沿其轴向相对所述板体移动。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一角度调节组件还包括第一角度固定件，所述第一角度固定件穿设于所述板体并连接于所述支撑板，所述第一角度固定件远离所述支撑板的一端抵接于所述板体远离所述支撑板的一侧。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一角度调节件的数量与所述顶针的数量相同，多个所述第一角度调节件与多个所述顶针均围绕所述顶杆的中心轴分布，在所述基片升降机构在垂直于所述板体的方向上的投影中，多个所述第一角度调节件一一对应地位于多个所述顶针与所述顶杆的中心轴的连线上。

在本实用新型的一些实施例中，所述基片升降机构还包括第二角度调节组件，所述第二角度调节组件包括第二角度调节件，所述第二角度调节件穿设于所述固定座的底部并抵接于所述活动块，所述第二角度调节件能够沿其轴向相对所述固定座的底部移动。

在本实用新型的一些实施例中，所述第二角度调节件的数量与所述顶针的数量相同，多个所述第二角度调节件与多个所述顶针均围绕所述顶杆的中心轴分布，在所述基片升降机构在垂直于所述板体的方向上的投影中，多个所述第二角度调节件一一对应地位于多个所述顶针与所述顶杆的中心轴的连线上。

在本实用新型的一些实施例中，所述第二角度调节组件还包括第二角度固定件，所述第二角度固定件穿设于所述活动块并连接于所述固定座的底部，所述第二角度固定件远离所述固定座的底部的一端抵接于所述活动块远离所述固定座的底部的一侧。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型的一些实施例提供的基片升降机构的立体示意图；

图2为图1所示的基片升降机构的主视图；

图3为图2中A-A截面的剖视图；

图4为图1所示的基片升降机构的俯视图；

图5为图4中B-B截面的剖视图；

图6为图1所示的基片升降机构的仰视图；

图7为图6中C-C截面的剖视图；

图8为本实用新型的另一些实施例提供的基片升降机构的立体示意图；

图9为图8所示的基片升降机构的俯视图；

图10为本实用新型的又一些实施例提供的基片升降机构的立体示意图；

图11为图10所示的基片升降机构的俯视图；

图12为本实用新型的再一些实施例提供的基片升降机构的立体示意图；

图13为图12所示的基片升降机构的俯视图。

附图标记：

顶板组件100，板体110，顶针120，顶杆130，支撑板140，波纹管150，位置调节组件200，活动块210，固定座220，调节槽221，底板222，第一侧板223，第二侧板224，位置调节件230，第一位置固定件240，第二位置固定件250，连接板260，连接件270，第一角度调节组件300，第一角度调节件310，第一角度固定件320，第二角度调节组件400，第二角度调节件410，第二角度固定件420，升降模组500，支架510，升降块520，工作台600。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

半导体镀膜设备在生产过程中，通常使用机械手对基片进行搬运，在此过程中，需先对基片进行顶升，而后再通过机械手对基片进行抓取和放置。顶升机构通常设有顶板，顶板通过多个顶针120支撑基片，顶升时需保证基片尽可能处于水平状态，以避免基片滑落。相关技术中，可通过调整结构对顶板的俯仰角度进行调整，以使顶板多个顶针120的端部均位于同一水平面内。但是，顶升时还应当保证基片的位置准确，以降低顶升时基片受到的支撑力不均衡，或抓取过程中机械手与基片发生磕碰导致基片损伤或掉落的可能性。

基于此，参照图1至图7，本实用新型实施例提供的一种基片升降机构，包括顶板组件100及位置调节组件200，顶板组件100包括板体110、多个顶针120及顶杆130，顶杆130的一端连接于板体110，多个顶针120分布于板体110并向远离板体110的方向延伸，多个顶针120远离板体110的端部用于共同支撑基片；参照图3，位置调节组件200包括活动块210、固定座220及多个位置调节件230，固定座220具有调节槽221，活动块210容纳于调节槽221，调节槽221的内侧壁与活动块210的外侧壁之间具有间隔，位置调节件230穿设于固定座220的侧部并抵接于活动块210的外侧壁，位置调节件230能够沿其轴向相对固定座220移动，多个位置调节件230至少分布于固定座220在第一方向上相对的两侧，顶杆130远离板体110的一端连接于活动块210，顶杆130的延伸方向与调节槽221的底壁所在的平面交叉。

本实用新型实施例提供的基片升降机构设置有位置调节组件200，位置调节组件200中，活动块210的外侧壁与固定座220的调节槽221的内侧壁之间具有间隔，调节位置调节件230相对固定座220的侧部移动时，位置调节件230的端部能够推动活动块210在调节槽221内移动，而活动块210连接于顶板组件100的顶杆130，因此能够带动顶板组件100整体移动以调节顶针120的位置，使多个顶针120支撑基片的位置更为准确，并使被顶升的基片本身的位置更为准确，降低顶升时基片受到的支撑力不均衡，或抓取过程中机械手与基片发生磕碰导致基片损伤或掉落的可能性。

可以理解的是，顶杆130与板体110的连接位置、顶针120的数量及分布位置均可根据待顶升的基片的形状以及基片升降机构所应用的设备中的空间布局需求进行设置，示例性地：

在一些实施例中，待顶升的基片呈圆形或不规则形状，参照图1、图4及图6，板体110的中心与待顶升的基片的重心重合，顶杆130连接于板体110的中心处，以使顶板组件100顶升基片时，在垂直于板体110的方向上的投影中，顶杆130的支撑位置与基片的重心重合。顶针120的数量至少为三个，且多个顶针120不位于同一直线上，以提高基片顶升的稳定性。多个顶针120围绕板体110的中心布置，以在基片的重心的周向上多点提供支撑力；进一步地，多个顶针120与板体110的中心之间的距离均相同，以使每一顶针120作用于基片的力矩均相等；更进一步地，多个顶针120围绕板体110的中心均匀布置，任意两个相邻的顶针120与板体110的中心的连线之间的夹角相等，以使基片在周向上受到更为均匀的支撑力，更大程度地提升基片顶升的稳定性；再进一步地，在基片呈圆形的情况下，可设置多个顶针120位于同一圆周上，以进一步提高基片各处受力的均匀程度。

在另一些实施例中，待顶升的基片呈圆形或不规则形状，且基片升降机构所应用的设备内部用于布设基片升降机构的空间存在一定限制，参照图8及图9，板体110的中心与待顶升的基片的重心错开，顶杆130连接于板体110的中心处，形成偏心结构，以适应基片升降机构所应用的设备内部供基片升降机构安装的空间。顶针120的数量至少为三个，且多个顶针120不位于同一直线上，以提高基片顶升的稳定性。多个顶针120分布于板体110上，以使基片的多个位置受到支撑力；进一步地，在基片呈圆形的情况下，可设置多个顶针120位于同一圆周上，以进一步提高基片各处受力的均匀程度。

在又一些实施例中，待顶升的基片呈矩形，参照图10及图11，板体110的中心与待顶升的基片的重心重合，顶杆130连接于板体110的中心处，以使顶板组件100顶升基片时，在垂直于板体110的方向上的投影中，顶杆130的支撑位置与基片的重心重合。顶针120的数量至少为三个，且多个顶针120不位于同一直线上，以提高基片顶升的稳定性；进一步地，顶针120的数量为四个以上，其中四个顶针120分别用于支撑基片的四个角，以进一步提升支撑的稳定性；更进一步地，可设置四个以上的顶针120位于同一矩形上，且该矩形与基片的形状相似，以进一步提高基片各处受力的均匀程度。

在再一些实施例中，待顶升的基片呈矩形，且基片升降机构所应用的设备内部用于布设基片升降机构的空间存在一定限制，参照图12及图13，板体110的中心与待顶升的基片的重心错开，顶杆130连接于板体110的中心处，形成偏心结构，以适应基片升降机构所应用的设备内部供基片升降机构安装的空间。顶针120的数量至少为三个，且多个顶针120不位于同一直线上，以提高基片顶升的稳定性；进一步地，顶针120的数量为四个以上，其中四个顶针120分别用于支撑基片的四个角，以进一步提升支撑的稳定性；更进一步地，可设置四个以上的顶针120位于同一矩形上，该矩形与基片的形状相似，以进一步提高基片各处受力的均匀程度。

进一步地，参照图2，基片升降机构安装于工作台600，工作台600的一侧为操作空间，另一侧为外部空间，顶杆130穿设于工作台600，且工作台600具有直径大于顶杆130直径的通孔，以保证顶杆130在位置调节中具有足够的活动空间；板体110、顶针120均位于操作空间中，位置调节组件200位于外部空间中。根据使用场景的不同，可设置操作空间与外部空间均为大气环境；也可设置操作空间为真空环境，外部空间为大气环境，需要说明的是，参照图2，操作空间为真空环境，外部空间为大气环境的情况下，需在顶杆130的外部套设波纹管150，波纹管150的一端与工作台600的下表面连接，另一端与活动块210连接，且波纹管150密封工作台600的通孔，从而避免大气经过通孔进入操作空间中，破坏真空环境。

进一步地，位置调节组件200还包括多个位置固定件，位置固定件穿设于固定座220的侧部并连接于活动块210，位置固定件远离活动块210的一端抵接于固定座220的外侧壁。使用时，先通过位置调节件230将活动块210调节至需求位置，而后安装位置固定件，使活动块210与固定座220的相对位置固定，能够保证后续顶升动作中活动块210位置的稳定性，从而保证顶板组件100的多个顶针120位置的稳定性。

具体地，参照图1至图3，固定座220包括底板222、两个第一侧板223及两个第二侧板224，两个第一侧板223与两个第二侧板224均连接于底板222，两个第一侧板223、两个第二侧板224与底板222共同限定出调节槽221，两个第一侧板223在第一方向上相对设置，两个第二侧板224在第二方向上相对设置，第一方向与第二方向相互垂直，多个位置调节件230分设于两个第一侧板223及两个第二侧板224。穿设于第一侧板223的位置调节件230能够推动活动块210在第一方向上移动，穿设于第二侧板224的位置调节件230能够推动活动块210在第二方向上移动，多个布置于不同位置的位置调节件230相互配合，能够推动活动块210至调节槽221内的任意位置，更为灵活地调节顶板组件100的位置。

进一步地，参照图1及图2，底板222、两个第一侧板223及两个第二侧板224可设置为分体结构，底板222、两个第一侧板223及两个第二侧板224均采用平板形部件即可，无需通过铣削等加工方式加工调节槽221，将两个第一侧板223及两个第二侧板224连接至底板222的四周即可限定出调节槽221，有利于降低基片升降机构的加工成本；底板222与第一侧板223之间、底板222与第二侧板224之间均可通过连接件270相互连接，安装较为简便，有利于降低基片升降机构的组装成本。

进一步地，参照图1至图3，位置调节组件200还包括第一位置固定件240，第一位置固定件240穿设于第一侧板223并连接于活动块210，第一位置固定件240远离活动块210的一端抵接于第一侧板223远离活动块210的一侧，第一位置固定件240能够在第一方向上固定活动块210的位置；位置调节组件200还包括第二位置固定件250，第二位置固定件250穿设于第二侧板224并连接于活动块210，第二位置固定件250远离活动块210的一端抵接于第二侧板224远离活动块210的一侧，第二位置固定件250能够在第二方向上固定活动块210的位置，活动块210在两个不同方向上被固定，结构稳定性更高。

可以理解的是，也可单独设置第一位置固定件240，在第一方向上，第一位置固定件240向活动块210提供沿其轴向的支撑力，在第二方向上，第一位置固定件240通过其自身的刚性向活动块210提供沿其径向的支撑力；同理，也可单独设置第二位置固定件250。

进一步地，参照图1、图4及图5，基片升降机构还包括第一角度调节组件300，第一角度调节组件300包括第一角度调节件310，顶板组件100还包括支撑板140，支撑板140连接于顶杆130靠近板体110的一端，第一角度调节件310穿设于板体110并抵接于支撑板140，第一角度调节件310能够沿其轴向相对板体110移动。调节第一角度调节件310相对板体110移动时，第一角度调节件310的一端抵接于支撑板140，能够使得板体110设有第一角度调节件310的位置相对支撑板140抬起或降下，从而实现板体110相对支撑板140的角度的调节，进而实现多个顶针120的调平。

进一步地，参照图1、图4及图5，第一角度调节组件300还包括第一角度固定件320，第一角度固定件320穿设于板体110并连接于支撑板140，第一角度固定件320远离支撑板140的一端抵接于板体110远离支撑板140的一侧。使用时，先通过第一角度调节件310将板体110调节至需求角度，而后安装第一角度固定件320，使板体110与支撑板140的相对角度固定，能够保证后续顶升动作中板体110角度的稳定性，从而保证顶板组件100的多个顶针120的水平程度的稳定性。

第一角度调节件310可设置有多个，多个第一角度调节件310的布置方式可综合考虑可供布置第一角度调节件310的空间、顶针120的数量及位置等需求进行设置，示例性地，在一些实施例中，参照图4及图9，可供布置第一角度调节件310的空间足够布置与顶针120数量相同的第一角度调节件310，因此设置第一角度调节件310的数量与顶针120的数量相同，多个第一角度调节件310与多个顶针120均围绕同一中心点D分布，在基片升降机构在垂直于板体110的方向上的投影中，多个第一角度调节件310一一对应地位于多个顶针120与的中心点D的连线上。每一第一角度调节件310能够对应地调节一个顶针120在竖直方向上的高度，使用时，可先观察多个顶针120在竖直方向上的位置，针对性地调节单个顶针120在竖直方向的高度，使多个顶针120的调平操作更为简单直观。可以理解的是，可设置中心点D位于顶杆130的中心轴线上，也可设置中心点D与顶杆130的中心轴线错开，可根据实际需求进行布置。

在另一些实施例中，参照图10至图13，可供布置第一角度调节件310的空间较小而顶针120的数量较多，因此设置第一角度调节件310的数量小于顶针120的数量，更进一步地，在待顶升基片呈矩形的情况下，可设置有四个第一角度调节件310，四个第一角度调节件310分别位于同一矩形的四个角，且该矩形与基片的形状相似，以针对性地调节矩形的四个角处的高度，降低调平操作的难度。

进一步地，参照图6及图7，基片升降机构还包括第二角度调节组件400，第二角度调节组件400包括第二角度调节件410，第二角度调节件410穿设于固定座220的底部并抵接于活动块210，第二角度调节件410能够沿其轴向相对固定座220的底部移动。调节第二角度调节件410相对固定座220移动时，第二角度调节件410的一端抵接于活动块210，能够使得活动块210抵接有第二角度调节件410的位置相对固定座220的底部抬起或降下，从而实现活动块210相对固定座220的角度的调节，进而实现顶杆130相对水平面的角度的调节，最终实现多个顶针120的调平。

可以理解的是，第二角度调节组件400可以单独设置，也可与第一角度调节组件300同时设置，在第一角度调节组件300与第二角度调节组件400同时设置的情况下，第二角度调节组件400能够增大板体110角度调节的范围，在仅调整第一角度调节件310无法调平多个顶针120的情况下，可进一步调整第二角度调节件410，提升调平操作的可靠性。

与第一角度调节件310的布置方式同理，第二角度调节件410可设置有多个，多个第二角度调节件410的布置方式可综合考虑可供布置第二角度调节件410的空间、顶针120的数量及位置等需求进行设置，示例性地，在一些实施例中，参照图6，第二角度调节件410的数量与顶针120的数量相同，在基片升降机构在垂直于板体110的方向上的投影中，多个第二角度调节件410一一对应地位于多个顶针120与板体110的中心的连线上。每一第二角度调节件410能够对应地调节一个顶针120在竖直方向上的高度，使用时，可先观察多个顶针120在竖直方向上的位置，针对性地调节单个顶针120在竖直方向的高度，使多个顶针120的调平操作更为简单直观。可以理解的是，上述布置方式也可应用于图8及图9所示的结构。

在另一些实施例中，可供布置第二角度调节件410的空间较小而顶针120的数量较多，因此设置第二角度调节件410的数量小于顶针120的数量。可以理解的是，上述布置方式可应用于图10及图11所示的结构或图12及图13所示的结构。

进一步地，第二角度调节组件400还包括第二角度固定件420，第二角度固定件420穿设于活动块210并连接于固定座220的底部，第二角度固定件420远离固定座220的底部的一端抵接于活动块210远离固定座220的底部的一侧。使用时，先通过第二角度调节件410将活动块210调节至需求角度，而后安装第二角度固定件420，使活动块210与固定座220的相对角度固定，能够保证后续顶升动作中板体110角度的稳定性，从而保证顶板组件100的多个顶针120的水平程度的稳定性。

进一步地，参照图1，基片升降机构还包括升降模组500，升降模组500包括支架510与升降块520，升降块520滑动连接于支架510，固定座220连接于升降块520，升降块520能够在竖直方向上相对支架510滑动，从而带动顶板组件100升降，实现基片的顶升。

进一步地，参照图1，位置调节组件200还包括连接板260，连接板260连接于升降块520，连接板260连接于固定座220且垂直于固定座220的底板222，连接板260与升降块520的接触面积较大，从而能够提高固定座220安装于升降块520的稳定性。

需要说明的是，参照图3，靠近升降块520一侧的第一侧板223与升降块520的距离较近，操作空间较小，因此可设置靠近升降块520一侧的第一侧板223仅安装有位置调节件230，不安装第一位置固定件240，仅通过远离升降块520一侧的第一侧板223上所安装的第一位置固定件240固定活动块210在第一方向上的位置。

需要说明的是，位置调节件230、第一角度调节件310、第二角度调节件410可选用螺栓或螺柱，通过旋转的方式调节其在轴向上的位置，操作较为简单；第一位置固定件240、第二位置固定件、第一角度固定件320、第二角度固定件420可选用螺栓，螺纹连接的方式较为稳固，且螺栓头可起到限位功能。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.一种基片升降机构，其特征在于，包括：

顶板组件，包括板体、多个顶针及顶杆，所述顶杆的一端连接于所述板体，多个所述顶针分布于所述板体并向远离所述板体的方向延伸，多个所述顶针远离所述板体的端部用于共同支撑基片；

位置调节组件，包括活动块、固定座及多个位置调节件，所述固定座具有调节槽，所述活动块容纳于所述调节槽，所述调节槽的内侧壁与所述活动块的外侧壁之间具有间隔，所述位置调节件穿设于所述固定座的侧部并抵接于所述活动块的外侧壁，所述位置调节件能够沿其轴向相对所述固定座移动，多个所述位置调节件至少分布于所述固定座在第一方向上相对的两侧，所述顶杆远离所述板体的一端连接于所述活动块，所述顶杆的延伸方向与所述调节槽的底壁所在的平面交叉。

2.根据权利要求1所述的基片升降机构，其特征在于，所述位置调节组件还包括多个位置固定件，所述位置固定件穿设于所述固定座的侧部并连接于所述活动块，所述位置固定件远离所述活动块的一端抵接于所述固定座的外侧壁。

3.根据权利要求1所述的基片升降机构，其特征在于，所述固定座包括底板、两个第一侧板及两个第二侧板，两个所述第一侧板与两个所述第二侧板均连接于所述底板，两个所述第一侧板、两个所述第二侧板与所述底板共同限定出所述调节槽，两个所述第一侧板在所述第一方向上相对设置，两个所述第二侧板在第二方向上相对设置，所述第一方向与所述第二方向相互垂直，多个所述位置调节件分设于两个所述第一侧板及两个所述第二侧板。

4.根据权利要求3所述的基片升降机构，其特征在于，所述位置调节组件还包括第一位置固定件，所述第一位置固定件穿设于所述第一侧板并连接于所述活动块，所述第一位置固定件远离所述活动块的一端抵接于所述第一侧板远离所述活动块的一侧；和/或，所述位置调节组件还包括第二位置固定件，所述第二位置固定件穿设于所述第二侧板并连接于所述活动块，所述第二位置固定件远离所述活动块的一端抵接于所述第二侧板远离所述活动块的一侧。

5.根据权利要求1所述的基片升降机构，其特征在于，所述基片升降机构还包括第一角度调节组件，所述第一角度调节组件包括第一角度调节件，所述顶板组件还包括支撑板，所述支撑板连接于所述顶杆靠近所述板体的一端，所述第一角度调节件穿设于所述板体并抵接于所述支撑板，所述第一角度调节件能够沿其轴向相对所述板体移动。

6.根据权利要求5所述的基片升降机构，其特征在于，所述第一角度调节组件还包括第一角度固定件，所述第一角度固定件穿设于所述板体并连接于所述支撑板，所述第一角度固定件远离所述支撑板的一端抵接于所述板体远离所述支撑板的一侧。

7.根据权利要求5所述的基片升降机构，其特征在于，所述第一角度调节件的数量与所述顶针的数量相同，多个所述第一角度调节件与多个所述顶针均围绕同一中心点分布，在所述基片升降机构在垂直于所述板体的方向上的投影中，多个所述第一角度调节件一一对应地位于多个所述顶针与所述中心点的连线上。

8.根据权利要求1或5所述的基片升降机构，其特征在于，所述基片升降机构还包括第二角度调节组件，所述第二角度调节组件包括第二角度调节件，所述第二角度调节件穿设于所述固定座的底部并抵接于所述活动块，所述第二角度调节件能够沿其轴向相对所述固定座的底部移动。

9.根据权利要求8所述的基片升降机构，其特征在于，所述第二角度调节件的数量与所述顶针的数量相同，多个所述第二角度调节件与多个所述顶针均围绕同一中心点分布，在所述基片升降机构在垂直于所述板体的方向上的投影中，多个所述第二角度调节件一一对应地位于多个所述顶针与所述中心点的连线上。

10.根据权利要求8所述的基片升降机构，其特征在于，所述第二角度调节组件还包括第二角度固定件，所述第二角度固定件穿设于所述活动块并连接于所述固定座的底部，所述第二角度固定件远离所述固定座的底部的一端抵接于所述活动块远离所述固定座的底部的一侧。