KR20230173506A - 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징 - Google Patents

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KR20230173506A
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Abstract

본 발명은 가스실린더의 가스출구포트와 연결되어 챔버 측으로 연장되는 가스유로를 포함하는 커넥터모듈을 포함하는 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징에 관한 것으로 상기 가스실린더의 헤드 측에 형성되는 적어도 2개 이상의 얼라인부를 각각 지지하는 적어도 2개 이상의 지지부를 포함하고 상기 커넥터모듈의 일측에 고정 설치되며 개방된 일측으로 상기 가스실린더가 투입 및 배출되는 하우징 베이스, 상기 하우징 베이스에 형성되는 회동축을 중심으로 상기 하우징 베이스의 개방된 일측을 개폐하는 하우징 커버 및 상기 하우징 커버 측에 설치되어 상기 하우징 베이스에 투입된 상기 가스실린더를 상기 커넥터모듈 측으로 밀어내어 상기 커넥터모듈에 대하여 상기 가스출구포트를 정렬 및 고정을 토크조절에 의해 체결하게 되는 체결유닛을 포함한다.

Description

일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징{Alignment housing for integrated gas supply system}
본 발명은 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징에 관한 것으로 보다 상세하게는 지면에 세워진 상태로 적재되는 가스실린더의 가스출구포트와 커넥터 모듈 간의 정렬을 위하여 토크조절에 의해 체결하게 되는 가스공급장치와 일체로 형성되는 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, 디스플레이 패널 등을 제조하는 공정은 용도에 따라 다양한 가스의 공급이 이루어지며 이러한 가스들은 대부분 유독성, 가연성 등이 비교적 높아 인체에 흡입되거나 대기 중에 노출되는 경우 안전사고 및 환경오염 등의 피해를 발생시킬 수 있다.
또한, 일반적으로 이러한 가스들은 단부 측에 가스출구포트 등이 구비되는 원통형의 실린더(이하, 가스실린더) 내부에 충전되어 보관 및 운반이 이루어지며 외부로 연장되는 가스 유로를 포함하는 커넥터모듈 등을 포함하는 가스공급장치와 연결되어 공정 챔버 측으로의 가스 공급이 이루어진다.
이때, 가스실린더의 가스출구포트와 커넥터모듈 간의 정렬이 제대로 이루어지지 않는 경우 가스의 누설이 발생하여 상기한 피해를 발생시킬 수 있음에 따라 가스공급장치에 있어서, 가스실린더의 가스출구포트와 가스공급장치의 커넥터모듈 간의 정확한 위치 정렬은 필수적이다.
이를 위하여 대한민국 등록특허공보 제10-2158018호에서는 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 가스실린더(C)의 밸브(C1)를 감싸도록 형성되는 상측 개구부와 가스실린더(C)의 가스출구포트(C2) 및 앤드캡(C3)을 감싸도록 형성되는 측면 개구부를 포함하는 본체(10)와 상기 본체(10)의 일 측에 축을 중심으로 개폐 가능하게 설치된 커버(20) 및 상기 커버(20)의 닫힘 상태를 유지 및 해제하는 잠금수단(30)을 포함하는 가스실린더의 위치결정용 얼라인 블록이 개시되어 있다.
보다 구체적으로 이러한 종래의 가스실린더의 위치결정용 얼라인 블록은 가스공급장치와 분리되어 형성됨에 따라 가스실린더(C)를 가스공급장치에 투입하기 전에 미리 가스실린더(C)와 체결시키고 가스공급장치에 투입된 이후 가스공급장치 측에 구비되는 가이드 블록(40)이 하강함에 따라 가이드 블록(40)의 핀(41)이 본체(10)의 홈(11)에 삽입됨으로써 가스실린더의 가스출구포트와 가스공급장치의 커넥터 모듈 간의 정렬이 이루어진다.
이에 따라, 이러한 종래의 가스실린더의 위치결정용 얼라인 블록은 상기한 바와 같이 가스공급장치와 가스실린더(C)를 가스공급장치에 투입하거나 배출 시 가스실린더(C)와의 결합 또는 분리 작업이 별도로 수행되어야 함에 따라 가스공급장치의 가스실린더 교체 작업 효율을 크게 저하시킬 뿐만 아니라 가스실린더와의 결합 및 분리 작업 중 작업자의 실수에 따른 낙하 등으로 인하여 안전사고 또는 얼라인 블록 자체의 파손을 발생시키는 문제점이 있다.
특히, 이러한 종래의 가스실린더의 위치결정용 얼라인 블록에 의하여 가스실린더의 가스출구포트와 커넥터모듈 간의 정렬이 이루어지는 가스공급장치는 상기한 바와 같이 가스실린더의 위치결정용 얼라인 블록이 가스공급장치와 분리되어 독립적으로 형성됨에 따라 가스 사용량 확인 등을 위하여 커넥터모듈의 하중을 지지하는 호이스트모듈의 작동을 중지시키는 경우 얼라인 블록과 커넥터모듈에 가해지는 하중이 상이하여 가스출구포트 측의 파손 또는 변형이 비교적 쉽게 발생하여 가스의 누설 위험을 증가시키는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-2158018호(공고일 2020.09.21.)
본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 가스공급장치와 일체로 형성되어 가스실린더의 가스출구포트와 가스공급장치의 커넥터모듈 간의 정확한 위치 정렬을 수행할 수 있도록 토크조절에 의해 체결하게 되는 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 커넥터모듈을 지지하는 호이스트모듈의 작동이 중지되는 경우에도 커넥터모듈과 일체형으로 형성되어 가스실린더의 가스출구포트 측의 변형 또는 파손을 방지할 수 있는 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징을 제공하는 것이다.
발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다.
또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징은 가스실린더의 가스출구포트와 연결되어 챔버 측으로 연장되는 가스유로를 포함하는 커넥터모듈을 포함하는 가스공급장치에 적용되는 것으로서 상기 가스실린더의 헤드 측에 형성되는 적어도 2개 이상의 얼라인부를 각각 지지하는 지지부를 포함하고 상기 커넥터모듈의 일측에 고정 설치되며 개방된 일측으로 상기 가스실린더가 투입 및 배출되는 하우징 베이스, 상기 하우징 베이스에 형성되는 회동축을 중심으로 상기 하우징 베이스의 개방된 일측을 개폐하는 하우징 커버 및 상기 하우징 커버 측에 설치되어 상기 하우징 베이스에 투입된 상기 가스실린더를 밀어내어 하우징 베이스가 가스실린더에 얼라인되어 체결되도록 하며, 상기 커넥터모듈에 대하여 상기 가스출구포트를 정렬 및 고정시키는 체결유닛을 포함한다.
보다 바람직하게 상기 얼라인부는 상기 가스실린더의 헤드와 밸브 사이의 형성되는 제 1얼라인부, 상기 가스출구포트의 외주면에 형성되는 제 2얼라인부 및 상기 헤드의 하측에 형성되는 제 3얼라인부를 포함한다.
이때, 상기 지지부는 상기 하우징 베이스의 개방된 일측과 동일한 측이 개방되어 상기 제 1얼라인부와 상기 제 2얼라인부 및 상기 제 3얼라인부를 각각 지지하는 제 1지지부와 제 2지지부 및 제 3지지부를 포함한다.
또한, 상기 하우징 베이스는 상기 회동축의 축 방형과 평행한 방향으로 형성되는 잠금돌기를 더 포함하고, 상기 하우징 커버는 상기 잠금돌기와 대응되는 위치에 형성되는 잠금홀을 포함하고 상기 회동축의 축 방향을 따라 기 설정된 범위 내에서 승, 하강하도록 형성될 수 있다.
이에 따라, 상기 하우징 커버는 상기 하우징 베이스의 개방된 일측을 폐쇄한 상태에서 승, 하강함에 따라 상기 잠금홀에 상기 잠금돌기가 분리 및 삽입되어 회동이 가능하거나 제한될 수 있다.
또한, 상기 하우징 베이스는 상기 가스실린더의 장착 여부를 감지하는 적어도 1개 이상의 센서를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 체결유닛은, 일단에 토크조절핸들에 토크리미터가 구비되어 토크 조절에 의해 체결할 수 있으며, 타단에 구 형상의 각도조절구가 구비되어 상기 토크조절핸들의 회전에 따라 상기 하우징 커버에 대하여 전, 후진하는 핸들샤프트; 및 상기 각도조절구와 체결되어 상기 각도조절구의 중심을 기준으로 다 방향으로 각도 조절이 이루어지며 상기 헤드와 밀착되어 상기 핸들샤프트의 전진 이동에 따라 상기 하우징베이스에 가스실린더가 밀착 되도록 밀어주는 푸시헤드를 포함한다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징은 가스공급장치와 일체로 형성되어 가스실린더의 가스출구포트와 가스공급장치의 커넥터모듈 간의 정확한 위치 정렬을 수행함에 따라 가스공급장치의 가스실린더 교체 작업 효율을 크게 향상시킬 뿐만 아니라 가스실린더와의 결합 및 분리 작업 중 작업자의 실수에 따른 낙하 등으로 인하여 발생하는 안전사고 또는 얼라인 블록 자체의 파손을 원천적으로 차단할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징은 커넥터모듈과 일체형으로 형성되어 커넥터모듈을 지지하는 호이스트모듈의 작동이 중지되는 경우에도 커넥터모듈과 함께 가스실린더의 상단 측에 지지됨으로써 가스실린더의 가스출구포트 측의 변형 또는 파손을 방지함에 따라 가스공급장치의 신뢰성을 더욱 향상시킬 수 있다.
상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.
도 1은 종래의 가스실린더의 위치결정용 얼라인 블록과 이에 결합되는 가이드 블록을 도시한 사시도이다.
도 2의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징이 적용되는 가스실린더와 가스공급장치의 요부를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징을 포함하는 가스공급장치에 있어서, 얼라인 하우징과 커넥터모듈을 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징에 가스실린더가 체결되는 순서를 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징을 포함하는 가스공급장치에 있어서, 얼라인 하우징과 커넥터모듈 측으로 가스실린더가 체결 및 정렬되는 순서를 도시한 사시도이다.
전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.
본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.
이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다.
또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.
명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다.
이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징을 설명하도록 한다.
도 2의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징이 적용되는 가스실린더와 가스공급장치의 요부를 도시한 사시도이다.
또한, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징을 포함하는 가스공급장치에 있어서, 얼라인 하우징과 커넥터모듈을 도시한 사시도이다.
또한, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징의 사시도이다.
또한, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징에 가스실린더가 체결되는 순서를 도시한 사시도이다.
또한, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징을 포함하는 가스공급장치에 있어서, 얼라인 하우징과 커넥터모듈 측으로 가스실린더가 체결 및 정렬되는 순서를 도시한 사시도이다.
우선, 도의 2a와 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징에 체결 또는 분리되는 가스실린더(C)는 전체적으로 원통 형상으로 내부에 고압의 가스가 충전되어 있다.
또한, 상기 가스실린더(C)는 일단 측에 형성되는 헤드(C1), 상기 헤드(C1)의 상부에 형성되는 밸브(C2), 상기 헤드(C1)의 일측부에 상기 밸브(C1)의 축 방향과 직교하여 형성되는 가스출구포트(C3) 및 상기 가스출구포트(C3)의 단측에 체결 및 분리되는 앤드캡(C4)을 포함한다.
이때, 상기 가스실린더(C)는 가스공급장치와의 정렬 및 고정을 위하여 본 발명에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징과의 정렬 기준이 되는 적어도 2개 이상의 얼라인부를 포함한다.
보다 바람직하게 상기 얼라인부는 상기 헤드(C1)와 상기 밸브(C2) 사이에 형성되는 제 1얼라인부(Ca1)과 상기 가스출구포트(C3)의 외주면에 형성되는 제 2얼라인부(Ca2) 및 상기 헤드(C1)의 하측에 형성되는 제 3얼라인부(Ca3)을 포함한다.
이때, 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 상기 제 3얼라인부(Ca3) 중 어느 하나는 생략될 수도 있다.
한편, 도 2의 b와 도 3을 참조하면 본 발명에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징이 적용되는 가스공급장치는 얼라인 하우징(100)과 커넥터모듈(200)과 호이스트모듈(300) 및 밸브셔터모듈(400)을 포함한다.
보다 구체적으로 상기 커넥터모듈(200)은 상기 가스출구포트(C3)와 연결되는 커넥터, 가스 공급이 필요한 챔버 측으로 연장되는 가스유로 등을 포함하여 상기 가스실린더(C)로부터 상기 챔버 측으로 가스를 공급하기 위한 것으로 상기 가스출구포트(C3)으로부터 상기 앤드캡(C4)을 분리하는 앤드캡 유닛, 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 접속을 위한 플러그를 제공하는 플러그 유닛, 상기 가스출구포트(C3)와 커넥터 또는 플러그 사이에 가스켓을 제공하고 회수하는 가스켓 유닛 등을 포함할 수 있다.
또한, 상기 호이스트모듈(300)은 상기 커넥터모듈(200)의 하중을 지지하는 수단이며, 상기 밸브셔터모듈(400)은 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터모듈(200) 간의 정렬 및 고정이 완료되면 상기 밸브(C3)를 개폐하기 위한 수단이다.
이때, 상기 커넥터모듈(200)과 상기 호이스트모듈(300) 및 상기 밸브셔터모듈(400)은 각각 대한민국 등록특허공보 제10-2343760호에 개시되어 있는 고압가스통의 가스자동공급장치의 구성들을 포함하여 기 공지되어 있는 다양한 기술을 적용할 수 있음에 따라 상세한 설명은 생략하도록 한다.
한편, 도 2 내지 도 6을 참조하면 본 발명에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징(100)은 하우징 브라켓(110)과 하우징 베이스(120)와 하우징 커버(130) 및 체결유닛(140)을 포함한다.
보다 구체적으로 상기 하우징 브라켓(110)은 상기 커넥터모듈(200)의 일측에 고정 설치되는 것으로 상기 하우징 베이스(120)와 일체형으로 형성되거나 별도의 파트로 구성될 수 있다.
이때, 상기 하우징 베이스(120)는 상기 가스실린더(C)의 형상 등에 따라 교체 등이 가능하도록 상기 하우징 브라켓(11)과 별도의 파트로 구성되는 것이 보다 바람직하다.
또한, 상기 하우징 베이스(120)는 제 1지지부(121)와 제 2지지부(122)와 제 3지지부(123)와 회동축(124)와 잠금돌기(125) 및 센서(126)를 포함한다.
보다 구체적으로 상기 제 1지지부(121)는 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 밀착되는 부분으로 일측이 개방되어 상기 제 1얼라인부(Ca1)가 상기 제 1지지부(121)로부터 밀착 또는 이격될 수 있도록 형성된다.
또한, 상기 제 1지지부(121)는 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 견고하게 밀착될 수 있도록 상기 제 1얼라인부(Ca1)의 형상과 대응되는 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 2지지부(122)는 상기 제 2얼라인부(Ca2)와 밀착되는 부분으로 일측이 개방되어 상기 제 2얼라인부(Ca1)가 상기 제 2지지부(122)로부터 밀착 또는 이격될 수 있도록 형성된다.
이때, 상기 제 2지지부(122)는 상기 앤드캡(C4)과의 간섭 방지를 위하여 비교적 얇은 플레이트 형상으로 형성되며, 상기 제 2얼라인부(Ca2)와 견고하게 밀착될 수 있도록 상기 제 2얼라인부(Ca2)의 형상과 대응되는 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 3지지부(123)는 상기 제 3얼라인부(Ca3)와 밀착되는 부분으로 일측이 개방되어 상기 제 3얼라인부(Ca3)가 상기 제 3지지부(123)로부터 밀착 또는 이격될 수 있도록 형성된다.
이때, 상기 제 2지지부(123)는 상기 제 3얼라인부(Ca3)와 견고하게 밀착될 수 있도록 상기 제 3얼라인부(Ca3)의 형상과 대응되는 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기한 바와 같이 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 상기 제 3얼라인부(Ca3) 중 어느 하나는 생략될 수음에 따라, 이와 대응하여 상기 제 1지지부(121)와 상기 제 3지지부(123) 중 어느 하나는 생략될 수 있음은 자명하다.
또한, 상기 제 1지지부(121)와 상기 제 2지지부(122) 및 상기 제 3지지부(123)는 각각 제 1얼라인부(Ca1)과 제 2얼라인부(Ca2) 및 제 3얼라인부(Ca3)의 형상에 따라 교체 가능하도록 상기 하우징 베이스(120)로부터 탈착 가능하도록 별도의 파트로 구성될 수도 있다.
또한, 상기 제 1지지부(121)와 상기 제 2지지부(122) 및 상기 제 3지지부(123)에 각각 형성되는 개방 측은 동일한 방향으로 형성되고 상기 가스실린더(C)의 일측으로 상기 하우징 베이스(120) 측이 들어갈 수 있도록 밀착 또는 이격될 수 있다.
또한, 상기 회동축(124)은 상기 하우징 커버(130)가 상기 하우징 베이스(124)로부터의 개폐를 위한 회동 이동의 중심축으로서 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 동일한 축 방향에 상하로 분할되어 2개로 형성되거나 하나의 축으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 회동축(124)은 상기 하우징 커버(130)의 회동 이동은 물론 기 설정된 범위에서 상기 하우징 커버(130)가 상기 하우징 베이스(120)에 대하여 상하 이동할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 잠금돌기(125)는 상기 회동축(124)이 형성되는 축과 이격되어 형성되어 후술할 잠금홀(131)이 삽입 및 이탈되도록 형성된다.
이때, 상기 잠금돌기(125)는 상기 제 1지지부(121)를 중심으로 상기 회동축(124)이 형성되는 측과 반대 측에 형성되고, 상기 잠금돌기(125)의 높이는 상기 하우징 커버(130)가 상기 하우징 베이스(120)에 대하여 상하 이동하는 거리보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 센서(126)는 상기 하우징 베이스(120)에 상기 가스실린더(C)의 정상적인 투입 여부를 감지하기 위한 수단으로서 상기 하우징 베이스(120)에 상기 가스실린더(C)가 투입되는 경우 상기 헤드(C1) 측과 대응되는 위치에 구비될 수 있다..
또한, 상기 센서(126)는 상기 제 1지지부(121)와 상기 제 2지지부(122) 및 상기 제 3지지부(123)에 각각 구비되어 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 상기 제 2얼라인부(Ca2) 및 상기 제 2얼라인부(Ca3)가 각각 상기 제 1지지부(121)와 상기 제 2지지부(122) 및 상기 제 3지지부(123)에 적절하게 지지되었는지의 여부를 감지하도록 구성될 수도 있다.
한편, 상기 하우징 커버(130)는 상기 회동축(124)을 중심으로 회동 이동하여 상기한 바와 같이 상기 제 1지지부(121)와 상기 제 2지지부(122) 및 상기 제 3지지부(123)에 각각 동일한 방향에 형성되는 개방 측을 개폐하도록 구성된다.
또한, 상기 하우징 커버(130)는 상기한 바와 같이 상기 회동축(124)의 축 방향으로 따라 기 설정된 범위에서 상하 이동 가능하도록 형성된다.
또한, 상기 하우징 커버(130)는 상기 하우징 베이스(120)의 일측을 폐쇄하는 경우 상기 체결돌기(125)와 대응되는 위치에 잠금홀(131)이 형성된다.
이에 따라, 상기 하우징 커버(130)는 상기 하우징 베이스(120)의 일측을 폐쇄하도록 회동 이동한 상태에서 상기 회동축(124)을 따라 하강하면 상기 잠금홀(131)에 상기 잠금돌기(125)가 삽입되어 상기 하우징 베이스(120)로부터 회동 이동이 제한된다.
반대로, 상기 하우징 커버(130)는 상기 회동축(124)을 따라 상승하여 상기 잠금홀(131)로부터 상기 잠금돌기(125)가 이탈되면 상기 하우징 베이스(120)로부터 회동 이동이 가능하다.
한편, 상기 체결유닛(140)은 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 토크조절핸들(141)과 토크리미터(142)와 핸들샤프트(143)와 각도조절구(144) 및 푸시헤드(145)를 포함하여 상기 하우징 커버(130) 측에 설치된다.
보다 구체적으로 상기 토크조절핸들(141)은 작업자가 상기 체결유닛(140)을 작동시키기 위하여 파지하는 부분으로 원형 디스크 형상을 포함하여 작업자가 파지한 상태로 회전시키기 용이하도록 다양한 형상일 수 있다.
또한, 상기 토크리미터(142)는 상기 토크조절핸들(141)의 과회전을 방지하는 것은 물론 상기 센서(126)로부터 감지되는 상기 가스실린더(C)가 상기 커넥터모듈(200)과 적절하게 체결되었는지의 여부를 확인하기 위한 육안게이지를 더 포함할 수도 있다.
또한, 상기 핸들샤프트(143)는 리드 스크류 등으로 구성되어 상기 토크조절핸들(141)의 회전에 따라 상기 하우징 커버(130)에 대하여 축 방향으로 전, 후진한다.
또한, 상기 푸시헤드(145)는 상기 핸들샤프트(143)의 일단에 설치되어 상기 핸들샤프트(143)가 상기 하우징 커버(130)에 대하여 축 방향으로 전, 후진함에 따라 상기 헤드(C1)와 밀착 또는 이격된다.
이때, 상기 푸시헤드(145)는 상기 핸들샤프트(143)의 일단에 형성되는 구 형상의 각도조절구(144)와 체결되어 상기 헤드(C1)의 일면에 전체적으로 밀착될 수 있도록 상기 각도조절구(144)의 중심을 기준으로 자유롭게 각도 조절이 이루어질 수 있다.
이에 따라, 상기 가스실린더(C)가 상기 하우징 베이스(120)에 투입되고, 상기 하우징 커버(130)가 폐쇄된 상태에서 상기 토크조절핸들(141)을 회전시켜 상기 푸시헤드(145)가 상기 헤드(C1)를 상기 커넥터모듈(200) 측으로 밀어냄으로써 상기 가스출구포트(C3)과 상기 커넥터의 견고한 밀착이 이루어진다.
한편, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징에 가스실린더(C)를 체결하는 방법은 하기와 같다.
우선, 도 6의 a와 b에 도시되어 있는 바와 같이 상기 하우징 커버(130)가 상기 하우징 베이스(120)에 대하여 개방된 상태에서 작업자 또는 작업로봇(이하, ‘작업자’라 한다) 등이 상기 가스실린더(C)를 상기 하우징 베이스(120)에 투입한다.
이때, 제 1얼라인부(Ca1)와 상기 제 2얼라인부(Ca2) 및 상기 제 2얼라인부(Ca3)는 각각 도 5의 a에 도시되어 있는 바와 같이 상기 제 1지지부(121)와 상기 제 2지지부(122) 및 상기 제 3지지부(123) 측에 지지된다.
이후, 작업자가 도 5의 b와 c에 도시되어 있는 바와 같이 상기 하우징 베이스(120)에 대하여 상기 하우징 커버(130)를 폐쇄시킨 뒤, 상기 회동축(124)의 축 방향을 따라 하강시킴에 따라 상기 잠금홀(131)에 상기 잠금돌기(125)가 삽입되어 상기 하우징 커버(130)의 잠금 상태가 유지된다.
이후, 작업자가 상기 토크조절핸들(141)을 상기 핸들샤프트(143)의 축을 중심으로 일 방향으로 회전시키면 도 6의 d에 도시되어 있는 바와 같이 상기 푸시헤드(145)가 상기 헤드(C1)와 견고하게 밀착되어 상기 가스실린더(C)를 상기 커넥터모듈(200) 측으로 지지함으로써 상기 챔버 측에 상기 가스실린더(C)에 저장된 가스를 안정적으로 공급할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징에 가스실린더(C)를 분리하는 방법은 상기한 체결방법과 역순으로 이루어질 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다.
아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.
C. 가스실린더
C1. 헤드
C2. 밸브
C3. 가스출구포트
C4. 앤드캡
Ca1. 제 1얼라인부
Ca2. 제 2얼라인부
Ca3. 제 3얼라인부
100. 얼라인 하우징
110. 하우징 브라켓
120. 하우징 베이스
121. 제 1지지부
122. 제 2지지부
123. 제 3지지부
124. 회동축
125. 잠금돌기
126. 센서
130. 하우징 커버
131. 잠금홀
140. 체결유닛
141. 토크조절핸들
142. 토크리미터
143. 핸들샤프트
144. 각도조절구
145. 푸시헤드
200. 커넥터모듈
300. 밸브셔터
400. 호이스트 모듈

Claims (5)

  1. 가스실린더(C)의 가스출구포트(C3)와 연결되어 챔버 측으로 연장되는 가스유로를 포함하는 커넥터모듈(200)을 포함하는 가스공급장치용 얼라인 하우징(100)에 있어서,
    상기 가스실린더(C)의 헤드(C1) 측에 형성되는 적어도 2개 이상의 얼라인부를 각각 지지하는 지지부를 포함하고 상기 커넥터모듈(200)의 일측에 고정 설치되며 개방된 일측으로 상기 가스실린더(C)가 투입 및 배출되는 하우징 베이스(120);
    상기 하우징 베이스(120)에 형성되는 회동축(124)을 중심으로 상기 하우징 베이스(120)의 개방된 일측을 개폐하는 하우징 커버(130); 및
    상기 하우징 커버(130) 측에 설치되어 상기 하우징 베이스(120)에 투입된 상기 가스실린더(C)를 밀어내어 하우징 베이스(120)가 가스실린더(C)에 얼라인되어 체결되도록 하며, 상기 커넥터모듈(200)에 대하여 상기 가스출구포트(C3)를 정렬 및 고정시키는 체결유닛(140);을 포함하는 것을 특징으로 하는 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 얼라인부는,
    상기 가스실린더(C)의 헤드(C1)와 밸브(C2) 사이의 형성되는 제 1얼라인부(Ca1);
    상기 가스출구포트(C3)의 외주면에 형성되는 제 2얼라인부(Ca2); 및
    상기 헤드(C1)의 하측에 형성되는 제 3얼라인부(Ca3);를 포함하고,
    상기 지지부는,
    상기 하우징 베이스(120)의 개방된 일측과 동일한 측이 개방되어 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 상기 제 2얼라인부(Ca2) 및 상기 제 3얼라인부(Ca3)를 각각 지지하는 제 1지지부(121)와 제 2지지부(122) 및 제 3지지부(123)를 포함하는 것을 특징으로 하는 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 하우징 베이스(120)는,
    상기 회동축(124)의 축 방형과 평행한 방향으로 형성되는 잠금돌기(125)를 더 포함하고,
    상기 하우징 커버(130)는,
    상기 잠금돌기(125)와 대응되는 위치에 형성되는 잠금홀(131)을 포함하고 상기 회동축(124)의 축 방향을 따라 기 설정된 범위 내에서 승, 하강하도록 형성되어 상기 하우징 베이스(120)의 개방된 일측을 폐쇄한 상태에서 승, 하강함에 따라 상기 잠금홀(131)에 상기 잠금돌기(125)가 분리 및 삽입되어 회동이 가능하거나 제한되는 것을 특징으로 하는 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 하우징 베이스(120)는,
    상기 가스실린더(C)의 장착 여부를 감지하는 적어도 1개 이상의 센서(126)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 체결유닛(140)은,
    일단에 토크조절핸들(141)에 토크리미터(142)가 구비되어 토크 조절에 의해 체결할 수 있으며, 타단에 구 형상의 각도조절구(144)가 구비되어 상기 토크조절핸들(141)의 회전에 따라 상기 하우징 커버(130)에 대하여 전, 후진하는 핸들샤프트(143); 및
    상기 각도조절구(144)와 체결되어 상기 각도조절구(144)의 중심을 기준으로 다 방향으로 각도 조절이 이루어지며 상기 헤드(C1)와 밀착되어 상기 핸들샤프트(143)의 전진 이동에 따라 상기 하우징베이스(120)에 가스실린더(C)가 밀착 되도록 밀어주는 푸시헤드(145);를 포함하는 것을 특징으로 하는 일체형 가스공급장치용 얼라인 하우징.
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