KR20240006110A - 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 도어에 의하여 개폐되는 캐비닛과 상기 캐비닛 내측 상부에 설치되는 호이스트모듈, 상기 캐비닛의 내부에 적재되는 가스실린더의 가스출구포트와 연결되는 커넥터와 챔버 측으로 연장되는 가스유로를 포함하여 상기 호이스트모듈에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동 및 z축에 형성되는 회전축을 중심으로 회전하는 커넥터모듈, 상기 호이스트모듈에 의하여 x, y, R축으로 각각 이동하며 가스실린더의 밸브를 개폐하는 밸브셔터모듈, 상기 커넥터모듈의 일측에 설치되어 가스실린더의 헤드 측이 장착되는 얼라인하우징을 포함하는 가스공급장치의 가스실린더 교체방법에 관한 것으로서 상기 도어를 개방하여 가스실린더를 얼라인하우징에 장착한 후, 상기 도어를 폐쇄하는 제 1단계, 가스출구포트와 상기 커넥터 간의 체결이 이루어지는 제 2단계 및 멀티컵핸들유닛이 하강하여 컨텍트핀에 의하여 밸브가 하부컵핸들과 체결되고, 상기 멀티컵핸들유닛이 회전함에 따라 상기 밸브가 풀림으로써 가스실린더에 충전된 가스가 챔버 측으로 공급되는 제 3단계를 포함하는 밸브셔터 제어방법이다.

Description

가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법{Method of control Valve shutter of Gas Cylinder For Gas Supply Apparatus}

본 발명은 가스공급장치의 가스실린더 교체방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 캐비닛 내부에 지면에 세워진 상태로 탑재되는 가스실린더로부터 공정 챔버 측으로의 가스 공급을 위한 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체, 디스플레이 패널 등을 제조하는 공정은 용도에 따라 다양한 가스의 공급이 이루어지며 이러한 가스들은 대부분 유독성, 가연성 등이 비교적 높아 인체에 흡입되거나 대기 중에 노출되는 경우 안전사고 및 환경오염 등의 피해를 발생시킬 수 있다.

또한, 일반적으로 이러한 가스들은 단부 측에 가스출구포트 등이 구비되는 원통형의 실린더(이하, 가스실린더) 내부에 충전되어 보관 및 운반이 이루어지며 외부로 연장되는 가스 유로를 포함하는 커넥터모듈 등을 포함하는 가스공급장치와 연결되어 공정 챔버 측으로의 가스 공급이 이루어진다.

이러한 가스공급장치의 가스실린더 교체방법에 대한 종래 기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-2126942호에 개시되어 있는 가스공급장치의 가스실린더 교체방법 등이 있다.

보다 구체적으로 이러한 종래의 가스공급장치는 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 2개의 가스실린더(C)이 내장되며 도어(11)에 의하여 개폐되는 캐비닛(10), 상기 캐비닛(10) 상부에 승, 하강 가능하게 설치되는 거넥터모듈(20), 상기 커넥터모듈(20)을 하강시켜 가스실린더(C)를 정렬할 때, 상기 커넥터모듈(20)을 x, y축 방향으로 이동시키는 틸팅수단(30) 및 상기 틸팅수단(30)을 승, 하강시키는 승강수단(40)을 포함한다.

보다 구체적으로 상기 커넥터모듈(20)은 가스실린더(C)의 가스출구포트와 연결되는 커넥터와 상기 가스출구포트와 상기 커넥터가 연결된 상태에서 가스실린더(C)의 밸브를 개폐하는 밸브셔터를 포함하고 있다.

또한, 이러한 종래의 가스공급장치는 작업자가 가스실린더(C)에 얼라인블록을 체결한 상태에서 상기 캐비닛(10)에 투입하며, 상기 승강수단(40)을 통하여 상기 커넥터모듈(20)을 상기 얼라인블록 측에 도킹시키고 상기 도어(11)를 폐쇄한 이후, 제어수단 등의 조작을 통하여 가스실린더(C)와 상기 커넥터모듈(20) 간의 정렬 및 체결이 이루어진다.

또한, 이러한 종래의 가스공급장치는 가스가 소진된 가스실린더(C)와 상기 커넥터모듈(20) 간의 체결 및 정렬 해제가 이루어지면, 작업자가 상기 도어(11)를 개방하고, 상기 승강수단(40)을 통하여 상기 커넥터모듈(20)을 상승시켜 도킹 해제 후 가스실린더(C)를 상기 캐비닛(10)으로부터 배출시킨다.

이에 따라, 이러한 종래의 가스공급장치는 상기한 바와 같이 상기 도어(11)가 개방된 상태에서 커넥터모듈(20)의 승, 하강이 이루어짐에 따라 작업자의 실수 등으로 인하여 상기 도어(11)가 개방된 상태에서 가스실린더(C)의 밸브가 개방될 위험을 동반하는 문제점이 있다.

또한, 본 발명인이 기 출원한 대한민국 등록특허공보 제10-2353833호에 개시되어 있는 캐비닛 상에서의 고압가스통 체결 및 제거 방법 역시 상기한 종래의 가스공급장치의 가스실린더 교체방법과 마찬가지로 캐비닛의 도어가 개방된 상태에서 상기 커넥터모듈(20)에 해당하는 가스자동공급모듈을 하강시켜 가스실린더에 도킹하는 단계를 포함하고 있는 바 상기한 종래의 가스공급장치의 가스실린더 교체방법과 동일한 문제점을 가지고 있다.

대한민국 등록특허공보 제10-2126942호(공고일 2020.06.26.) 대한민국 등록특허공보 제10-2353833호(공고일 2022.01.21)

본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 캐비닛 내부에 지면에 세워진 상태로 적재되는 가스실린더로부터 공정 챔버 측으로의 가스 공급을 위한 가스공급장치에 있어서, 자동으로 승, 하강되어 가스실린더의 밸브 개방 또는 잠금을 수행하는 멀티컵핸들유닛에 의하여 캐비닛 도어가 개방된 상태에서 가스가 누출되는 것을 원천적으로 차단할 수 있는 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법을 제공하는 것이다.

발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다.

또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.

상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법은 도어에 의하여 개폐되는 캐비닛과 상기 캐비닛 내측 상부에 설치되는 호이스트모듈, 상기 캐비닛의 내부에 적재되는 가스실린더의 가스출구포트와 연결되는 커넥터와 챔버 측으로 연장되는 가스유로를 포함하여 상기 호이스트모듈에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동 및 승하강 리프트로 z 축 이동가능한 커넥터모듈), 상기 호이스트모듈에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동하며 별도의 컵핸들 승하강 동작으로 가스실린더의 밸브를 개폐하는 밸브셔터모듈, 상기 커넥터모듈의 일측에 설치되어 가스실린더의 헤드 측이 장착되는 얼라인하우징을 포함하는 가스공급장치의 가스실린더 교체방법에 관한 것으로서 상기 도어를 개방하여 가스실린더를 얼라인하우징에 장착한 후, 상기 도어를 폐쇄하는 제 1단계, 가스출구포트와 상기 커넥터 간의 체결이 이루어지는 제 2단계 및 멀티컵핸들유닛이 하강하여 컨텍트핀에 의하여 밸브가 하부컵핸들과 체결되고, 상기 멀티컵핸들유닛이 회전함에 따라 상기 밸브가 풀림으로써 가스실린더에 충전된 가스가 챔버 측으로 공급되는 제 3단계를 포함한다.

또한, 본 발명에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법은 상기 제 3단계에 의하여 상기 가스실린더에 충전된 가스가 전량 소진되거나 기 설정된 양 이상으로 소진되는 경우 상기 멀티컵핸들유닛이 회전함에 따라 상기 밸브가 잠겨지고 상기 멀티컵핸들유닛이 상승함으로써 상기 멀티컵핸들유닛과 상기 밸브와의 체결이 해지되는 제 4단계, 상기 가스출구포트와 상기 커넥터 간의 분리가 수행되는 제 5단계 및 상기 캐비닛을 개방하고 상기 가스실린더를 상기 얼라인하우징으로부터 분리하여 상기 캐비닛으로부터 배출시키는 제 6단계를 포함한다.

보다 구체적으로 상기 제 1단계는 하우징커버를 개방하여 하우징베이스 측에 상기 가스실린더가 투입되면 상기 하우징커버를 닫은 후, 핸들을 회전시킴에 따라 푸시헤드가 상기 헤드 측과 밀착되어 상기 커넥터모듈 측으로 지지되고, 상기 제 6단계는 상기 핸들을 회전시킴에 따라 상기 푸시헤드가 상기 헤드 측과 멀어지면 성가 하우징커버를 개방하여 상기 가스실린더를 분리하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제 4단계에서 상기 하부컵핸들의 회전각은 상기 제 3단계에서 상기 하부컵핸들의 회전각보다 크게 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 컨텍트핀은 볼부시와 컨텍트핀스프링을 포함하여 상기 하부컵핸들의 하측으로 돌출 형성되며, 상기 컨텍트핀스프링이 압축되어 상기 하부컵핸들의 저면 측으로 삽입 가능하게 형성되어, 상기 제 3단계와 상기 제 4단계에서 각각 상기 밸브와 체결 및 분리되는 것을 특징으로 한다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법은 캐비닛 내부에 지면에 세워진 상태로 적재되는 가스실린더로부터 공정 챔버 측으로의 가스 공급을 위한 가스공급장치에 있어서, 자동으로 승, 하강되어 가스실린더의 밸브 개방 또는 잠금을 수행하는 멀티컵핸들유닛에 의하여 캐비닛 도어가 개방된 상태에서 작업자의 실수 등으로 인한 가스 누설의 위험을 원천적으로 차단함에 따라 가스공급장치의 안정성을 더욱 향상시킬 수 있다.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.

도 1은 종래의 가스공급장치의 전체 구성을 도시한 사시도이다.
도 2의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스실린더와 가스공급장치의 요부를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 요부를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 호이스트모듈을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 밸브셔터모듈을 도시한 도면이다.
도 6의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치에 있어서, 밸브셔터모듈의 멀티컵핸들유닛의 상승 상태와 하강 상태를 도시한 정면도이다.
도 7의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치에 있어서, 밸브셔터모듈의 전체적인 단면을 도시한 사시도와 클러치 측의 단면을 도시한 사시도이다.
도 8의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치에 있어서, 밸브셔터모듈의 멀티컵핸들유닛의 요부를 도시한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 커넥터모듈과 얼라인하우징의 결합 상태를 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 얼라인하우징을 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 얼라인 하우징에 가스실린더가 체결되는 순서를 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법 중 캐비닛에 가스실린더를 로딩하는 순서도이다.

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.

본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.

이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다.

또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다.

본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.

명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다.

이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법을 설명하도록 한다.

도 2의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스실린더와 가스공급장치의 요부를 도시한 도면이다.

또한, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 요부를 도시한 도면이다.

또한, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 호이스트모듈을 도시한 도면이다.

또한, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 밸브셔터모듈을 도시한 도면이다.

또한, 도 6의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치에 있어서, 밸브셔터모듈의 멀티컵핸들유닛의 상승 상태와 하강 상태를 도시한 정면도이다.

또한, 도 7의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치에 있어서, 밸브셔터모듈의 전체적인 단면을 도시한 사시도와 클러치 측의 단면을 도시한 사시도이다. 도 8의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치에 있어서, 밸브셔터모듈의 멀티컵핸들유닛의 요부를 도시한 단면도이다.

또한, 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 커넥터모듈과 얼라인하우징의 결합 상태를 도시한 도면이다.

또한, 도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 얼라인하우징을 도시한 도면이다.

또한, 도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치의 얼라인 하우징에 가스실린더가 체결되는 순서를 도시한 도면이다.

또한, 도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법 중 캐비닛에 가스실린더를 로딩 및 언로딩하는 순서도이다.

우선, 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스실린더(C)는 전체적으로 원통 형상으로 내부에 고압의 가스가 충전되어 있다.

또한, 상기 가스실린더(C)는 일단 측에 형성되는 헤드(C1), 상기 헤드(C1)의 상부에 형성되는 밸브(C2), 상기 헤드(C1)의 일측부에 상기 밸브(C1)의 축 방향과 직교하여 형성되는 가스출구포트(C3) 및 상기 가스출구포트(C3)의 단측에 체결 및 분리되는 앤드캡(C4)를 포함한다.

이때, 상기 가스실린더(C)는 가스공급장치와의 정렬 및 고정을 위하여 본 발명에 따른 가스공급장치용 얼라인 하우징과의 정렬 기준이 되는 적어도 2개 이상의 얼라인부를 포함한다.

보다 바람직하게 상기 얼라인부는 상기 헤드(C1)와 상기 밸브(C2) 사이에 형성되는 제 1얼라인부(Ca1)과 상기 가스출구포트(C3)의 외주면에 형성되는 제 2얼라인부(Ca2) 및 상기 헤드(C1)의 하측에 형성되는 제 3얼라인부(Ca3)을 포함한다.

이때, 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 상기 제 3얼라인부(Ca3) 중 어느 하나는 생략될 수도 있다.

한편, 도 2의 b와 도 3 내지 도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법에 적용되는 가스공급장치는 도어에 의하여 개폐되는 캐비닛(미도시) 내부에 각각 설치되는 호이스트모듈(100)과 커넥터모듈(200)과 밸브셔터모듈(300) 및 얼라인하우징(400)을 포함한다.

또한, 상기 캐비닛의 일측에 상기 가스공급장치 및 이들의 각 구성을 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.

보다 구체적으로 상기 호이스트모듈(100)은 캐비닛의 내측 상부에 설치되는 무빙유닛(110)과 상기 무빙유닛(110) 하부에 설치되어 상기 커넥터모듈(200)을 승강시키는 승강유닛(120)을 포함한다.

여기서, 상기 무빙유닛(110)은 고정플레이트(111)와 제 1이동플레이트(112)와 제 2이동플레이트(113) 및 회전브라켓(114)을 포함한다.

상기 고정플레이트(111)은 상기 캐비닛(500)의 내부 상측에 고정 설치되며, 상기 캐비닛(500)의 일 측면에서 타 측면으로 향하는 방향인 x측 방향으로 형성되는 제 1레일(111a)을 포함한다.

이때, 상기 제 1레일(111a)은 상기 고정플레이트(111)의 저면의 전방 측과 후방 측에 평행하게 한 쌍으로 형성되며, 상기 고정플레이트(111)의 저면 양측에 각각 분할되어 2개로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제 1이동플레이트(112)는 x축 방향과 직교되도록 상기 캐비닛(500)의 전방에서 후방 측으로 향하는 방향인 y축 방향으로 형성되는 제 2레일(112a)을 포함하여 상기 제 1레일(111a)을 따라 x축 방향으로 이동 가능하도록 상기 고정플레이트(111)에 2개가 설치된다.

이때, 상기한 바와 같이 상기 고정플레이트(111)에 2개로 설치되는 상기 제 1이동플레이트(112)는 서로에 대하여 독립적으로 이동 가능하도록 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제 2레일(112a)은 상기 제 1이동플레이트(112) 각각의 양 측면 또는 저면 양측에 평행하도록 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제 2이동플레이트(113)는 일 측에 상기 밸브셔터모듈(300)의 체결을 위한 밸브셔터 체결브라켓(113a)를 포함하여 상기 제 2레일(112a)을 따라 y축 방향으로 이동 가능하도록 상기 제 1이동플플레트(112) 각각의 저면 측에 설치된다.

이때, 상기 밸브셔터 체결브라켓(113a)은 상기 제 2이동플레이트(113)와 일체형으로 형성되거나 별도의 구성으로 형성될 수 있다.

또한, 상기 회전브라켓(114)는 상기 제 2이동플레이트(113)의 수직으로 형성되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 제 2이동플레이트(113)의 저면 측에 설치되어 상기 승강유닛(120)이 체결된다.

이때, 상기 승강유닛(120)은 상기 커넥터모듈(200)의 하중을 지지하고, 이를 상승 또는 하강시키기 위한 것으로 기 공지되어 있는 유공압 실린더, 리니어 모터, 와이어 등을 포함하는 다양한 승강수단의 구조가 적용될 수 있으며, 상부가 상기 회전브라켓(114)에 고정 설치되고 상기 상부로부터 상승하거나 하강하는 하부의 저면 측에 상기 커넥터모듈(200)이 체결된다.

또한, 상기한 바와 같이 상기 얼라인하우징(400)은 상기 커넥터모듈(200)의 일측에 고정 설치됨에 따라 상기 커넥터모듈(200)과 함께 상기 승강유닛(120)에 의하여 상승 또는 하강될 수 있다.

이에 따라, 커넥터모듈(200)은 상기 캐비닛의 내부에 적재되는 가스실린더(C)의 가스출구포트(C3)와 연결되는 커넥터와 챔버 측으로 연장되는 가스유로를 포함하여 상기 호이스트모듈(100)에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동 및 승하강 리프트로 z 축으로 이동가능하게 된다.

또한, 밸브셔터모듈(300)도 상기 호이스트모듈(100)에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동하며 별도의 컵핸들 승하강 동작으로 가스실린더(C)의 밸브(C3)를 개폐하게 된다. 상기 밸브셔터모듈(300)은 상기 제 2이동플레이트(113)와 함께 상기 고정플레이트(111)에 대하여 x축, y축, R 축으로 각각 이동이 이루어진다.

또한, 상기 커넥터모듈(200)과 상기 얼라인하우징(400)은 상기 승강유닛(120)과 함께 상기 회전브라켓(114)과 함께 상기 고정플레이트(111)에 대하여 x, y축 이동과 상기 R축을 중심으로 하는 회전 이동 및 상기 승강유닛(120)에 의한 승강 이동이 이루어진다.

또한, 상기 호이스트모듈(100)은 상기 고정플레이트(111)에 2개로 설치되는 상기 제 1이동플레이트(112)가 서로에 대하여 독립적으로 이동 가능하도록 형성됨에 따라 2개의 상기 제 1이동플레이트(112) 측에 각각 구비되는 상기 밸브셔터모듈(300)과 상기 커넥터모듈(200) 및 상기 얼라인하우징(400)은 서로 독립적으로 이동 가능하다.

한편, 상기 커넥터모듈(200)은 가스출구포트(C3)와 연결되는 커넥터, 가스 공급이 필요한 챔버 측으로 연장되는 가스유로 등을 포함하여 가스실린더(C)로부터 상기 챔버 측으로 가스를 공급하기 위한 것으로 상기 가스출구포트(C3)으로부터 상기 앤드캡(C4)을 분리하는 앤드캡 유닛, 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 접속을 위한 플러그를 제공하는 플러그 유닛, 상기 가스출구포트(C3)와 커넥터 또는 플러그 사이에 가스켓을 제공 및 회수하는 가스켓 유닛 등을 포함할 수 있다.

이러한 커넥터모듈(200)의 세부 구성은 대한민국 등록특허공보 제10-2343760호에 개시되어 있는 가스자동공급장치의 구성들을 포함하여 기 공지되어 있는 다양한 기술을 적용할 수 있음에 따라 상세한 설명은 생략하도록 한다.

한편, 상기 밸브셔터모듈(300)은 본체유닛(310)과 상기 본체유닛(310)에 대하여 승, 하강 및 회전 가능한 멀티컵핸들유닛(320)을 포함한다.

보다 구체적으로 상기 본체유닛(310)은 최종출력기어(311)와 클러치(312)와 태엽스프링(313) 및 스토퍼(314)를 포함한다.

여기서 상기 최종출력기어(311)는 회전구동모터(311a)로부터 제공되는 회전구동력을 복수 개의 기어로부터 전달받아 상기 멀티컵핸들유닛(320)에 회전력을 제공하기 위한 수단이다.

이를 위하여 상기 최종출력기어(311)는 중심부에 후술할 핸들샤프트(322)의 제 2몸체(322b)의 외주면과 대응되는 각형의 홀이 형성된다.

또한, 상기 회전구동모터(311a)는 전기모터를 포함하여 회전 구동력을 발생시키는 다양한 구동수단을 적용할 수 있다.

또한, 상기 클러치(312)는 상기 회전구동모터(311a)의 회전구동력을 상기 최종출력기어(311a)로 전달하거나 차단시키기 위한 수단으로 스프링 등의 탄성부재에 의하여 상승 상태를 유지하며, 공압 등이 가해지면 하강하는 연결샤프트(312a)와 연결 및 분리되는 전단기어(312b) 및 후단기어(312c)를 포함한다.

이에 따라, 상기 최종출력기어(311)는 상기 연결샤프트(312a)가 하강하여 상기 전단기어(312b)와 상기 후단기어(312c)와 연결되는 경우에만 상기 회전구동모터(311a)의 회전구동력이 전달된다.

또한, 상기 태엽스프링(313)은 상기 최종출력기어(311)에 복원력을 제공하기 위한 수단으로 상기 최종출력기어(311)의 회전에 따라 풀리고, 상기 연결샤프트(312a)가 상승하여 상기 전단기어(312b)와 상기 후단기어(312c)와 분리되면 감겨져 상기 최종출력기어(311)를 초기 상태로 회전시킨다.

또한, 상기 본체유닛(310)은 상기 클러치(312) 또는 상기 스토퍼(314) 측에 각각 이들의 작동 상태를 감지하는 센서를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 스토퍼(314)는 스토퍼실린더(314a)에 의하여 상기 최종출력기어(311) 또는 이와 연결되는 기어에 밀착되어 상기 최종출력기어(311)의 회전을 강제로 멈추기 위한 수단으로 디스크의 회전을 정지시키는 다양한 공지 기술 구조를 적용할 수 있다.

한편, 상기 멀티컵핸들유닛(320)은 승하강실린더(321)과 핸들샤프트(322)와 상부컵핸들(323) 및 하부컵핸들(314)을 포함한다.

보다 구체적으로 승하강실린더(321)는 상기 핸들샤프트(322)의 상단 측이 회전 가능하도록 연결되어 승강하는 연결블록(322a)을 포함하여 상기 본체유닛(310)에 고정 설치된다.

또한, 상기 승하강실리더(321)의 일측에는 상기 멀티컵핸들유닛(320)의 승하강 상태를 강지하는 승하감감지센서(321b)가 구비되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 핸들샤프트(322)는 상단 측에 상기 연결블록(322a)과 회전 가능하도록 지지되며 단면이 원형인 제 1몸체(322a)와 상기 제 1몸체(322a)의 하단 측에 연장 형성되며, 단면이 각형인 제 2몸체(322b)를 포함하여 상기 승하강실린더(321)에 의하여 상기 본체유닛(310)에 대하여 상승 또는 하강한다.

이때, 상기 제 2몸체(322b)는 상기한 바와 같이 단면이 상기 최종출력기어(311)의 중심부에 형성되는 홀의 형상과 대응하는 형상으로 형성되어 상기 핸들샤프트(322)가 상기 최종출력기어(311)를 관통한 상태로 상승 또는 하강한다.

일례로, 상기 제 2몸체(322b)의 단면과 상기 최종출력기어(311)의 중심부에 형성되는 홀은 각각 사각으로 형성될 수 있다.

이에 따라, 상기 핸들샤프트(322)는 상기 최종출력기어(311)가 회전하는 경우 상기 최종출력기어(311)와 함께 회전된다.

한편, 상기 상부컵핸들(323)은 전체적으로 원형 디스크 형상이며 고정클램프(323a)에 의하여 상기 제 2몸체(322b)가 중심부를 관통하여 상기 핸들샤프트(322)의 하단 측에 고정된다.

또한, 상기 상부컵핸들(323)은 저면에 방사상으로 기 설정된 간격마다 돌출 형성되는 푸시핀(323b)을 더 포함한다.

이때, 상기 푸시핀(323b)은 상측으로 힘이 가해지면 푸시핀스프링(323c)이 압축되어 기 설정된 높이만큼 상승할 수 있다.

또한, 상기 상부컵핸들(323)은 일측에 일단이 연결되고 타단이 상기 하부컵핸들(324)과 연결되어 상기 상부컵핸들(323)에 대한 상기 하부컵핸들(324)의 회전 상태를 초기로 복귀시키기 위한 복귀스프링(323d)를 더 포함할 수도 있다.

한편, 상기 하부컵핸들(324)은 전체적으로 원형 디스크 형상으로 상기 제 2몸체(322b)의 하단에 고정되는 고정샤프트(324a)에 의하여 중심부가 관통하여 상기 상부컵핸들(323)의 하측에 결합된다.

이때, 상기 하부컵핸들(324)은 상기 고정샤프트(324a)가 단면이 원형이며 충분한 길이로 형성됨에 따라 상기 고정샤프트(324a)를 중심으로 회전 가능한 것은 물론, 상기 상부컵핸들(323)에 대하여 일정 간격만큼 승강 또는 하강할 수 있다.

또한, 상기 고정샤프트(324a)는 하단에 외주면을 따라 형성되는 돌출부가 형성되어 상기 하부컵핸들(324)이 낙하되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상기 하부컵핸들(324)은 상기 푸시핀(323b)과 대응되는 위치에 각각 형성되는 원호 형상의 가이드홈(324b)과 상기 가이드홈(324b)의 일단 측에 상기 가이드홈(324b)의 깊이보다 더 깊게 형성되는 체결홈(324c)을 포함한다.

보다 바람직하게 상기 체결홈(324c)은 상기 가이드홈(324b)의 내부에서 밸브(C2)의 개방을 위한 회전 방향에 위치한다.

이에 따라, 밸브(C2)를 개방하는 방향으로 상기 핸들샤프트(322)가 회전하는 경우, 상기 하부컵핸들(324)은 상기 푸시핀(323b)이 상기 가이드홈(324b)을 따라 이동하다가 상기 체결홈(324c)에 삽입된 이후 상기 상부컵핸들(323)과 함께 회전한다.

반대로, 밸브(C2)를 잠그는 방향으로 상기 핸들샤프트(322)가 회전하는 경우, 상기 하부컵핸들(324)은 상기 푸시핀(323b)이 상기 체결홈(324c)에 삽입되기 전 상기 가이드홈(324b)을 따라 상기 상부컵핸들(323)이 회전한 만큼 더 회전되어 상기 밸브(C2)의 개방 시 보다 더 회전되어 밸브(C2)의 잠금을 더욱 견고하게 수행할 수 있다.

또한, 상기 하부컵핸들(324)은 하측에 밸브(C2)가 위치하지 않는 경우 자중에 의하여 상기 고정샤프트(324a)에 형성되는 유격만큼 하측으로 이동하고 상기 복귀스프링(323d)에 의하여 상기 푸시핀(323b)은 상기 체결홈(324c)으로부터 이탈되어 이 상기 가이드홈(324b)을 따라 이동하여 초기 상태로 복귀될 수 있다.

한편, 상기 하부컵핸들(324)은 저면 측에 방사상으로 기 설정된 간격마다 설치되는 복수 개의 컨텍트핀(324e)을 더 포함한다.

이때, 상기 컨텍트핀(324e)은 상기 밸브(C2)의 외주면에 일정 간격으로 형성되는 복수 개의 홈에 체결되는 것으로서 볼부시(324e)와 컨텍트핀스프링(323f)에 의하여 외력이 작용하지 않을 때는 하부로 돌출 형성되고, 상측으로 향하는 외력이 작용하면 상기 컨텍트핀스프링(323f)이 압축됨에 따라 상기 하부컵핸들(324)의 저면 측으로 삽입된다.

이에 따라, 상기 컨텍트핀(324e) 중 상기 밸브(C2)의 외주면에 형성되는 홈과 대응되는 위치에 해당하는 컨텍트핀(324e)만 상기 하부컵핸들(324)의 하측으로 돌출되어 상기 밸브(C2)의 홈에 체결되고, 나머지 컨텍트핀(324e)은 상기 하부컵핸들(324)에 삽입된 상태가 유지된다.

한편, 상기 얼라인하우징(400)은 하우징브라켓(410)과 하우징베이스(420)와 하우징커버(430) 및 체결유닛(440)을 포함한다.

보다 구체적으로 상기 하우징브라켓(410)은 상기 커넥터모듈(200)의 일측에 고정 설치되는 것으로 상기 하우징베이스(420)와 일체형으로 형성되거나 별도의 파트로 구성될 수 있다.

이때, 상기 하우징베이스(420)는 상기 가스실린더(C)의 형상 등에 따라 교체 등이 가능하도록 상기 하우징브라켓(411)과 별도의 파트로 구성되는 것이 보다 바람직하다.

또한, 상기 하우징베이스(420)는 제 1지지부(421)와 제 2지지부(422)와 제 3지지부(423)와 회동축(424)과 잠금돌기(425) 및 센서(426)를 포함한다.

보다 구체적으로 상기 제 1지지부(421)는 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 밀착되는 부분으로 일측이 개방되어 상기 제 1얼라인부(Ca1)가 상기 제 1지지부(421)로부터 밀착 또는 이격될 수 있도록 형성된다.

또한, 상기 제 1지지부(421)는 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 견고하게 밀착될 수 있도록 상기 제 1얼라인부(Ca1)의 형상과 대응되는 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제 2지지부(422)는 상기 제 2얼라인부(Ca2)와 밀착되는 부분으로 일측이 개방되어 상기 제 2얼라인부(Ca1)가 상기 제 2지지부(422)로부터 밀착 또는 이격될 수 있도록 형성된다.

이때, 상기 제 2지지부(422)는 상기 앤드캡(C4)과의 간섭 방지를 위하여 비교적 얇은 플레이트 형상으로 형성되며, 상기 제 2얼라인부(Ca2)와 견고하게 밀착될 수 있도록 상기 제 2얼라인부(Ca2)의 형상과 대응되는 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제 3지지부(423)는 상기 제 3얼라인부(Ca3)와 밀착되는 부분으로 일측이 개방되어 상기 제 3얼라인부(Ca3)가 상기 제 3지지부(423)로부터 밀착 또는 이격될 수 있도록 형성된다.

이때, 상기 제 2지지부(423)는 상기 제 3얼라인부(Ca3)와 견고하게 밀착될 수 있도록 상기 제 3얼라인부(Ca3)의 형상과 대응되는 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기한 바와 같이 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 상기 제 3얼라인부(Ca3) 중 어느 하나는 생략될 수음에 따라, 이와 대응하여 상기 제 1지지부(421)와 상기 제 3지지부(423) 중 어느 하나는 생략될 수 있음은 자명하다.

또한, 상기 제 1지지부(421)와 상기 제 2지지부(422) 및 상기 제 3지지부(423)는 각각 제 1얼라인부(Ca1)과 제 2얼라인부(Ca2) 및 제 3얼라인부(Ca3)의 형상에 따라 교체 가능하도록 상기 하우징베이스(420)로부터 탈착 가능하도록 별도의 파트로 구성될 수도 있다.

또한, 상기 제 1지지부(421)와 상기 제 2지지부(422) 및 상기 제 3지지부(423)에 각각 형성되는 개방 측은 동일한 방향으로 형성되고 상기 가스실린더(C)가 일측으로 상기 하우징베이스(420) 측에 밀착 또는 이격될 수 있다.

또한, 상기 회동축(424)은 상기 하우징커버(430)가 상기 하우징베이스(424)로부터의 개폐를 위한 회동 이동의 중심축으로서 축 방향에 상하로 분할되어 2개로 형성되거나 하나의 축으로 형성될 수 있다.

또한, 상기 회동축(424)은 상기 하우징커버(430)의 회동 이동은 물론 기 설정된 범위에서 상기 하우징커버(430)가 상기 하우징베이스(420)에 대하여 상하 이동할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 잠금돌기(425)는 상기 회동축(424)이 형성되는 축과 이격되어 형성되어 후술할 잠금홀(431)이 삽입 및 이탈되도록 형성된다.

이때, 상기 잠금돌기(425)는 상기 제 1지지부(421)를 중심으로 상기 회동축(424)이 형성되는 측과 반대 측에 형성되고, 상기 잠금돌기(425)의 높이는 상기 하우징커버(430)가 상기 하우징베이스(420)에 대하여 상하 이동하는 거리보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 센서(426)는 상기 하우징 베이스(420)에 상기 가스실린더(C)의 정상적인 투입 여부를 감지하기 위한 수단으로서 상기 하우징베이스(420)에 상기 가스실린더(C)가 투입되는 경우 상기 헤드(C1) 측과 대응되는 위치에 구비될 수 있다..

또한, 상기 센서(426)는 상기 제 1지지부(421)와 상기 제 2지지부(422) 및 상기 제 3지지부(423)에 각각 구비되어 상기 제 1얼라인부(Ca1)와 상기 제 2얼라인부(Ca2) 및 상기 제 2얼라인부(Ca3)가 각각 상기 제 1지지부(421)와 상기 제 2지지부(422) 및 상기 제 3지지부(423)에 적절하게 지지되었는지의 여부를 감지하도록 구성될 수도 있다.

한편, 상기 하우징커버(430)는 상기 회동축(424)을 중심으로 회동 이동하여 상기한 바와 같이 상기 제 1지지부(421)와 상기 제 2지지부(422) 및 상기 제 3지지부(423)에 각각 동일한 방향에 형성되는 개방 측을 개폐하도록 구성된다.

또한, 상기 하우징커버(430)는 상기한 바와 같이 상기 회동축(424)의 축 방향으로 따라 기 설정된 범위에서 상하 이동 가능하도록 형성된다.

또한, 상기 하우징커버(430)는 상기 하우징베이스(420)의 일측을 폐쇄하는 경우 상기 체결돌기(425)와 대응되는 위치에 잠금홀(431)이 형성된다.

이에 따라, 상기 하우징커버(430)는 상기 하우징베이스(420)의 일측을 폐쇄하도록 회동 이동한 상태에서 상기 회동축(424)을 따라 하강하면 상기 잠금홀(431)에 상기 잠금돌기(425)가 삽입되어 상기 하우징베이스(420)로부터 회동 이동이 제한된다.

반대로, 상기 하우징커버(430)는 상기 회동축(424)을 따라 상승하여 상기 잠금홀(431)로부터 상기 잠금돌기(425)가 이탈되면 상기 하우징베이스(420)로부터 회동 이동이 가능하다.

한편, 상기 체결유닛(440)은 핸들(441)과 토크리미터(442)와 핸들샤프트(443)와 각도조절구(444) 및 푸시헤드(445)를 포함하여 상기 하우징커버(430) 측에 설치된다.

보다 구체적으로 상기 핸들(441)은 작업자가 상기 체결유닛(440)을 작동시키기 위하여 파지하는 부분으로 원형 디스크 형상을 포함하여 작업자가 파지한 상태로 회전시키기 용이하도록 다양한 형상일 수 있다.

또한, 상기 토크리미터(442)는 한기 핸들(441)의 과회전을 방지하는 것은 물론 상기 센서(426)로부터 감지되는 상기 가스실린더(C)가 상기 커넥터모듈(200)과 적절하게 체결되었는지의 여부를 확인하기 위한 육안게이지를 더 포함할 수도 있다.

또한, 상기 핸들샤프트(443)는 리드 스크류 등으로 구성되어 상기 핸들(441)의 회전에 따라 상기 하우징커버(430)에 대하여 축 방향으로 전, 후진한다.

또한, 상기 푸시헤드(445)는 상기 핸들샤프트(443)의 일단에 설치되어 상기 핸들샤프트(443)가 상기 하우징커버(430)에 대하여 축 방향으로 전, 후진함에 따라 상기 헤드(C1)와 밀착 또는 이격된다.

이때, 상기 푸시헤드(445)는 상기 핸드샤프트(443)의 일단에 형성되는 구 형상의 각도조절구(444)와 체결되어 상기 헤드(C1)의 일면에 전체적으로 밀착될 수 있도록 상기 각도조절구(444)의 중심을 기준으로 자유롭게 각도 조절이 이루어질 수 있다.

이에 따라, 상기 가스실린더(C)가 상기 하우징베이스(420)에 투입되고, 상기 하우징커버(430)가 폐쇄된 상태에서 상기 핸들(441)을 회전시켜 상기 푸시헤드(445)가 상기 헤드(C1)를 상기 커넥터모듈(200) 측으로 밀어냄으로써 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터의 견고한 밀착이 이루어진다.

한편, 도 2 내지 도 12를 참조하여 상기한 바와 같이 구성되는 가스공급장치의 가스실린더 교체방법을 설명하면 하기와 같다.

캐비닛의 도어가 개방하여 작업자가 가스실린더(C)를 상기 얼라인하우징(400)에 장착한 후, 상기 도어를 폐쇄하는 제 1단계(S110)가 이루어진다.

이때, 상기 제 1단계(S110)에서는 상기 하우징커버(430)를 개방하여 상기 하우징베이스(420) 측에 상기 가스실린더(C)가 투입되면 상기 하우징커버(430)를 닫은 후, 상기 핸들(441)을 회전시킴에 따라 상기 푸시헤드(445)가 상기 헤드(C1) 측과 밀착되어 상기 커넥터모듈(200) 측으로 지지한다.

이후, 작업자가 제어부 등을 통하여 상기 가스공급장치를 작동시키면 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 체결이 이루어지는 제 2단계(S200)가 수행된다.

이때, 상기 제 2단계(S200)에서의 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 체결은 가스 등을 포함한 유체가 누설 없이 유동할 수 있는 공압적 결합을 의미한다.

또한, 상기 제 2단계(S200)는 앤드켑(C4)를 상기 가스출구포트(C3)로부터 제거하고 상기 가스출구포트와 상기 커넥터 사이에 플러그 또는 가스켓 등을 공급하는 등의 다양한 작업이 수행될 수 있으며, 일례로 대한민국 등록특허공보 제10-2353833호에 개시되어 있는 캐비닛 상에서의 가스실린더 체결 및 제거 방법에 개시되어 있는 제 5단계 내지 제 9단계를 모두 포함할 수 있다.

한편, 상기한 바와 같이 상기 제 2단계(S200)를 통하여 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 체결이 완료되면, 멀티컵핸들유닛(320)이 하강하여 상기 컨텍트핀(324e)에 의하여 밸브(C2)가 상기 하부컵핸들(324)과 체결되고, 상기 멀티컵핸들유닛(320)이 회전함에 따라 상기 밸브(C2)가 풀림으로써 상기 가스실린더(C)에 충전된 가스가 공정 챔버 측으로 공급되는 제 3단계(S300)가 수행된다.

이후, 상기 제 3단계(S300)에 의하여 상기 가스실린더(C)에 충전된 가스가 모두 소진되면, 상기 멀티컵핸들유닛(320)이 회전함에 따라 상기 밸브(C2)가 잠겨지고 상기 멀티컵핸들유닛(320)이 상승함으로써 상기 멀티컵핸들유닛(320)과 상기 밸브(C2)와의 체결이 해지되는 제 4단계(S400)가 수행된다.

이때, 상기한 바와 같이 상기 체결홈(124c)은 상기 가이드홈(124b) 상에서 상기 밸브(C2)가 풀리는 방향 측에 형성되어 상기 밸브(C2)가 풀리는 방향으로 형성되는 상기 하부컵핸들(124)의 회전각보다 상기 밸브(C2)가 잠기는 방향으로 형성되는 상기 하부컵핸들(124)의 회전각이 크게 형성됨으로써 상기 밸브(C2)는 더욱 견고하게 잠겨진다.

이후, 상기 제 2단계(S200)의 역순으로 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 분리가 이루어지는 제 5단계(S500)가 수행된다.

또한, 상기 제 5단계(S500)을 통하여 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 분리가 완료되면, 작업자가 상기 캐비닛을 개방하고 상기 푸시헤드(445)가 상기 헤드(C1) 측으로부터 멀어지도록 상기 핸들(441)을 회전시킨 후, 상기 하우징커버(430)를 개방하여 상기 가스실린더(C)를 캐비닛으로부터 배출시키는 제 6단계(S600)가 이루어진다.

이에 따라 본 발명에 따른 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법은 상기한 바와 같이 구성되는 밸브셔터모듈(300)에 의하여 캐비닛 도어가 개방된 상태에서 작업자의 실수 등으로 인한 가스 누설의 위험을 원천적으로 차단함에 따라 가스공급장치의 안정성을 더욱 향상시킬 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다.

아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.

C. 가스실린더
C1. 헤드
C2. 밸브
C3. 가스출구포트
C4. 앤드캡
Ca1. 제 1얼라인부
Ca2. 제 2얼라인부
Ca3. 제 3얼라인부
100. 호이스트모듈
110. 무빙유닛
111. 고정플레이트
111a. 제 1레일
112. 제 1이동플레이트
112a. 제 2레일
113. 제 2이동플레이트
113a. 밸브셔터 체결브라켓
114. 회전브라켓
120. 승강유닛
200. 커넥터모듈
300. 밸브셔터모듈
310. 본체유닛
311. 최종출력기어
311a. 회전구동모터
312. 클러치
312a. 연결샤프트
312b. 전단기어
312c. 후단기어
313. 태엽스프링
314 스토퍼
314a. 스토퍼실린더
320. 멀티컵핸들유닛
321. 승하강실린더
321a. 연결블럭
321b. 승하강감지센서
322. 핸들샤프트
322a. 제 1몸체
322b. 제 2몸체
323. 상부컵핸들
323a. 고정클램프
323b. 푸시핀
323c. 푸시핀스프링
323d. 복귀스프링
324. 하부컵핸들
324a. 고정샤프트
324b. 가이드홈
324c. 체결홈
324d. 컨텍트핀
324e. 볼부시
324f. 컨텍트핀스프링
400. 얼라인 하우징
410. 하우징 브라켓
420. 하우징 베이스
421. 제 1지지부
422. 제 2지지부
423. 제 3지지부
424. 회동축
425. 잠금돌기
426. 센서
430. 하우징 커버
431. 잠금홀
440. 체결유닛
441. 핸들
442. 토크리미터
443. 핸들샤프트
444. 각도조절구
445. 푸시헤드

Claims (5)

1. 도어에 의하여 개폐되는 캐비닛과 상기 캐비닛 내측 상부에 설치되는 호이스트모듈(100), 상기 캐비닛의 내부에 적재되는 가스실린더(C)의 가스출구포트(C3)와 연결되는 커넥터와 챔버 측으로 연장되는 가스유로를 포함하여 상기 호이스트모듈(100)에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동 및 승하강 리프트로 z 축 이동가능한 커넥터모듈(200), 상기 호이스트모듈(100)에 의하여 x, y, R 축으로 각각 이동하며 별도의 컵핸들 승하강 동작으로 가스실린더(C)의 밸브(C3)를 개폐하는 밸브셔터모듈(300), 상기 커넥터모듈(200)의 일측에 설치되어 가스실린더(C)의 헤드(C1) 측이 장착되는 얼라인하우징(400)을 포함하는 가스공급장치의 가스실린더 교체방법에 있어서,
   상기 도어를 개방하여 가스실린더(C)를 얼라인하우징(400)에 장착한 후, 상기 도어를 폐쇄하는 제 1단계(S110);
   가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 체결이 이루어지는 제 2단계(S200); 및
   멀티컵핸들유닛(320)이 하강하여 컨텍트핀(324e)에 의하여 밸브(C2)가 하부컵핸들(324)과 체결되고, 상기 멀티컵핸들유닛(320)이 회전함에 따라 상기 밸브(C2)가 풀림으로써 가스실린더(C)에 충전된 가스가 공정 챔버 측으로 공급되는 제 3단계(S300);를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 제 3단계(S300)에 의하여 상기 가스실린더(C)에 충전된 가스가 전량 소진되거나 기 설정된 양 이상으로 소진된 경우 상기 멀티컵핸들유닛(320)이 회전함에 따라 상기 밸브(C2)가 잠겨지고 상기 멀티컵핸들유닛(320)이 상승함으로써 상기 멀티컵핸들유닛(320)과 상기 밸브(C2)와의 체결이 해지되는 제 4단계(S400);
   상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 분리가 수행되는 제 5단계(S500); 및
   상기 캐비닛을 개방하고 상기 가스실린더(C)를 상기 얼라인하우징(400)으로부터 분리하고 상기 캐비닛으로부터 배출시키는 제 6단계(S600);를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법.
   
3. 제 2항에 있어서,
   상기 제 1단계는,
   하우징커버(430)를 개방하여 하우징베이스(420) 측에 상기 가스실린더(C)가 투입되면 상기 하우징커버(430)를 닫은 후, 핸들(441)을 회전시킴에 따라 푸시헤드(445)가 상기 헤드(C1) 측과 밀착되어 상기 커넥터모듈(200) 측으로 지지되고,
   상기 제 6단계는,
   상기 핸들(441)을 회전시킴에 따라 상기 푸시헤드(445)가 상기 헤드(C1) 측과 멀어지면 성가 하우징커버(430)를 개방하여 상기 가스실린더(C)를 분리하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법.
   
4. 제 2항에 있어서,
   상기 제 4단계(S400)에서 상기 하부컵핸들(124)의 회전각은
   상기 제 3단계(S300)에서 상기 하부컵핸들(124)의 회전각보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법.
   
5. 제 2항에 있어서,
   상기 컨텍트핀(124d)은,
   볼부시(124e)와 컨텍트핀스프링(124f)을 포함하여 상기 하부컵핸들(124)의 하측으로 돌출 형성되며, 상기 컨텍트핀스프링(124f)이 압축되어 상기 하부컵핸들(124)의 저면 측으로 삽입 가능하게 형성되어
   상기 제 3단계(S300)와 상기 제 4단계(S400)에서 각각 상기 밸브(C2)와 체결 및 분리되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치의 가스실린더 밸브셔터 제어방법.