KR20230173516A

KR20230173516A - 가스공급장치용 호이스트모듈

Info

Publication number: KR20230173516A
Application number: KR1020220074380A
Authority: KR
Inventors: 최재욱; 최돈진; 홍원기
Original assignee: 주식회사 씨케이피
Priority date: 2022-06-17
Filing date: 2022-06-17
Publication date: 2023-12-27

Abstract

본 발명은 캐비닛 내부에 지면에 세워진 상태로 적재되는 2개의 가스실린더로부터 공정 챔버 측으로의 가스 공급을 위한 가스공급장치에 있어서 캐비닛 내부 상측에 설치되는 가스공급장치용 호이스트모듈상에 커넥트모듈과 얼라인하우징 및 밸브셔트모듈이 일체로 결합되어 가스실린더의 가스출구포트와 연결되는 커넥터모듈 등을 캐비닛으로부터 제거할 필요 없이 가스실린더에 충전된 고압의 가스를 공정 챔버 측으로 공급하기 위하여 캐비닛의 내부에 설치되는 유로 및 밸브 등의 점검을 수행할 수 있는 가스공급장치용 호이스트모듈에 관한 것으로서, x축 방향에 형성되는 한 쌍의 제 1레일을 포함하여 상기 캐비닛 내측 상부에 설치되는 고정플레이트; y축 방향에 형성되는 한 쌍의 제 2레일을 포함하여 상기 한 쌍의 제 1레일을 따라 x축 방향으로 이동하는 2개의 제 1이동플레이트; 상기 제 1이동플레이트 하단에 수직으로 형성되어 회전축(R축)을 중심으로 회전되는 회전브라켓을 포함하는 무빙유닛;, 상기 무빙유닛의 회전브라켓의 하측에 z축 방향으로 제1 플레이트가 부착되고; 상기 제1 플레이트 하단에 z축 방향으로 상하 이송하는 이송링크가 설치되고; 상기 이송링크에 고정브라켓이 설치되어 상기 커넥터모듈을 부착시켜 x축, y축으로 이송 또는 z축 승하강 및 R축 방향으로 회전하여 이동하는 승하강유닛;, 상기 승하강유닛의 상기 제 1플레이트의 일측에 제 2플레이트가 부착되고; 상기 제 2플레이트에 밸브셔터체결브라켓이 부착되며; 상기 밸브셔터체결브라켓 상에 상기 밸브셔터모듈이 부착되어 상기 승하강유닛과 일체로 x축, y축으로 이송 및 R축 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.

Description

가스공급장치용 호이스트모듈{Hoist Module For Gas Supply Apparatus}

본 발명은 가스공급장치용 호이스트모듈에 관한 것으로 보다 상세하게는 캐비닛 내부에 지면에 세워진 상태로 적재되는 2개의 가스실린더로부터 공정 챔버 측으로의 가스 공급을 위한 가스공급장치에 있어서 캐비닛 내부 상측에 설치되는 가스공급장치용 호이스트모듈상에 커넥트모듈과 얼라인하우징 및 밸브셔트모듈이 일체로 결합되어 가스실린더의 가스출구포트와 연결되는 커넥터모듈 등을 캐비닛으로부터 제거할 필요 없이 가스실린더에 충전된 고압의 가스를 공정 챔버 측으로 공급하기 위하여 캐비닛의 내부에 설치되는 유로 및 밸브 등의 점검을 수행할 수 있는 가스공급장치용 호이스트모듈에 관한 것이다.

일반적으로 반도체, 디스플레이 패널 등을 제조하는 공정은 용도에 따라 다양한 가스의 공급이 이루어지며 이러한 가스들은 대부분 유독성, 가연성 등이 비교적 높아 인체에 흡입되거나 대기 중에 노출되는 경우 안전사고 및 환경오염 등의 피해를 발생시킬 수 있다.

또한, 일반적으로 이러한 가스들은 단부 측에 가스출구포트 등이 구비되는 원통형의 실린더(이하, 가스실린더) 내부에 충전되어 보관 및 운반이 이루어지며 외부로 연장되는 가스 유로를 포함하는 커넥터모듈 등을 포함하는 가스공급장치와 연결되어 공정 챔버 측으로의 가스 공급이 이루어진다.

이러한 가스공급장치의 종래 기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-2159062호에 개시되어 있는 가스실린더 반자동 얼라인 장치 등이 있다.

이러한 종래의 가스실린더 반자동 얼라인 장치는 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 2개의 가스실린더(C)이 내장되며 도어(11)에 의하여 개폐되는 캐비닛(10), 상기 캐비닛(10) 각각의 상부에 승, 하강 가능하게 설치되는 거넥터모듈(20), 상기 커넥터모듈(20)을 하강시켜 가스실린더(C)을 얼라인할 때, 상기 커넥터모듈(20)을 x, y축 방향으로 이동시키는 틸팅수단(30) 및 상기 틸팅수단(30)을 승, 하강시키는 승강수단(40)을 포함한다.

이러한 종래의 가스실린더 반자동 얼라인 장치는 상기 승강수단(40)이 상기 캐비닛(10)의 내부 양 측벽에 각각 설치됨에 따라 상기 캐비닛(10)의 내측 후면에 배치되어 공정 챔버 측으로 연장되는 유로, 밸브 등의 점검 등을 위하여 상기 커넥터모듈(20)을 상기 틸팅수단(30)으로부터 분리해야 하는 불편함을 동반한다.

특히, 상기 캐비닛(10) 측에 설치되는 유로와 밸브 등은 가스실린더로부터 공정 챔버 측으로의 안정적인 가스 공급을 위한 유지보수가 매우 중요함에 따라 빈번한 점검을 요함으로 이러한 종래의 가스실린더 반자동 얼라인 장치는 상기한 바와 같은 불편함으로 인하여 유지보수의 효율이 크게 저하되는 문제점이 있다.

대한민국 등록특허공보 제10-2159062호(공고일 2020.09.23.)

본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 가스실린더의 가스출구포트와 연결되는 커넥터모듈 등을 캐비닛으로부터 제거할 필요 없이 가스실린더에 충전된 고압의 가스를 공정 챔버 측으로 공급하기 위하여 캐비닛의 내부에 설치되는 유로 및 밸브 등의 점검을 수행할 수 있는 가스공급장치용 호이스트모듈 및 가스공급장치용 호이스트모듈을 제공하는 것이다.

발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다.

또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.

상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈은 캐비닛 내부에 x축 방향으로 이웃하여 적재되는 2개의 가스실린더와 연결되어 각각의 가스실린더로부터 챔버 측으로 가스를 공급하는 커넥터모듈과 가스실린더의 밸브를 개폐하는 밸브셔터모듈 및 가스실린더와 상기 커넥터모듈 간의 정렬을 위한 얼라인하우징을 포함하는 가스공급장치용 호이스트모듈에 있어서, x축 방향에 형성되는 한 쌍의 제 1레일을 포함하여 상기 캐비닛 내측 상부에 설치되는 고정플레이트; y축 방향에 형성되는 한 쌍의 제 2레일을 포함하여 상기 한 쌍의 제 1레일을 따라 x축 방향으로 이동하는 2개의 제 1이동플레이트; 상기 제 1이동플레이트 하단에 수직으로 형성되어 회전축(R축)을 중심으로 회전되는 회전브라켓을 포함하는 무빙유닛;, 상기 무빙유닛의 회전브라켓의 하측에 z축 방향으로 제1 플레이트가 부착되고; 상기 제1 플레이트 하단에 z축 방향으로 상하 이송하는 이송링크가 설치되고; 상기 이송링크에 고정브라켓이 설치되어 상기 커넥터모듈을 부착시켜 x축, y축으로 이송 또는 z축 승하강 및 R축 방향으로 회전하여 이동하는 승하강유닛;, 상기 승하강유닛의 상기 제 1플레이트의 일측에 제 2플레이트가 부착되고; 상기 제 2플레이트에 밸브셔터체결브라켓이 부착되며; 상기 밸브셔터체결브라켓 상에 상기 밸브셔터모듈이 부착되어 상기 승하강유닛과 일체로 x축, y축으로 이송 및 R축 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.

보다 구체적으로 상기 한 쌍의 제 1레일은 상기 제 1이동플레이트 측에 각각 구비되는 상기 커넥터모듈과 상기 밸브셔터모듈 및 상기 얼라인하우징 간의 충돌 방지를 위하여 분할 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 가스실린더로부터 챔버 측으로 가스를 공급하기 위하여 상기 캐비닛의 내측 후면에 설치되는 유로 및 밸브는 상기 제 1이동플레이트 간의 상호 이동에 따라 선택적으로 형성되는 유지보수공간을 통하여 상기 캐비닛의 전방 또는 내부 양측으로 노출되는 것을 특징으로 한다.

한편, 상기 얼라인하우징은 상기 커넥터모듈의 일측에 고정 설치되어 상기 승강유닛에 의하여 상기 커넥터모듈과 함께 회전 및 상승하거나 하강 이동할 수 있다.

또한, 상기 커넥터모듈과 상기 얼라인하우징은 상기 승강유닛과 함께 상기 고정플레이트에 대하여 x, y, z축 이동 및 무빙유닛에 의해 상기 회전축을 중심으로 회전 이동되며, 상기 밸브셔터모듈은 상기 제 2플레이트와 함께 상기 고정플레이트에 대하여 x, y축 이동할 수 있으며, 상기 밸브셔터모듈의 Z축 이송은 독립적으로 수행하게 된다.

또한 본 발명에서 승강유닛은, 제1플레이트와 고정브라켓에 설치된 공압 실린더에 의해 리프트 구조의 이송링크가 승하강하며, 공압 실린더는 비례제어 밸브를 이용하여 제어부에서 공압의 양을 조절하여 커넥터모듈의 무게의 밸런스를 유지 또는 승하강 시킬 수 있다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈은 가스실린더의 가스출구포트와 연결되는 커넥터모듈 등을 캐비닛으로부터 제거할 필요 없이 가스실린더에 충전된 고압의 가스를 공정 챔버 측으로 공급하기 위하여 캐비닛의 내부에 설치되는 유로 및 밸브 등의 점검을 수행할 수행할 수 있음에 따라 가스공급장치의 유지보수 작업 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.

도 1은 종래의 가스실린더 반자동 얼라인 장치를 도시한 사시도이다.
도 2의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈을 포함하는 가스공급장치의 요부를 도시한 사시도 및 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈의 요부를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈의 요부 분해도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈의 승강유닛 정면도이다.
도 6의 a, b, c는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈을 포함하는 가스공급장치의 점검 시 작동 방법을 설명하기 위한 정면도이다.

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.

본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.

이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다.

또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다.

본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.

명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다.

이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈을 설명하도록 한다.

도 2의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈을 포함하는 가스공급장치의 요부를 도시한 사시도 및 정면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈의 요부를 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈의 요부를 도시한 분해도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈의 승강유닛 정면도이고, 도 6의 a, b, c는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈을 포함하는 가스공급장치의 점검 시 작동 방법을 설명하기 위한 정면도이다.

우선, 도 2를 참조하면 본 발명에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈을 포함하는 가스공급장치에 체결 또는 분리되는 가스실린더(C)는 전체적으로 원통 형상으로 내부에 고압의 가스가 충전되어 있다.

또한, 상기 가스실린더(C)는 일단 측에 형성되는 헤드, 상기 헤드의 상부에 형성되는 밸브, 상기 헤드의 일측부에 상기 밸브의 축 방향과 직교하여 형성되는 가스출구포트 및 상기 가스출구포트의 단측에 체결 및 분리되는 앤드캡을 포함한다.

이러한 상기 가스실린더(C)는 기 공지되어 있는 가스실린더의 구조와 동일 또는 유사하게 형성됨에 따라 구체적인 설명은 생략하도록 한다.

또한, 도 2 내지 도 5를 참조하면 본 발명에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈을 포함하는 가스공급장치는 호이스트모듈(100)과 커넥터모듈(200)과 밸브셔터모듈(300) 얼라인하우징(400) 및 캐비닛(500)을 포함한다.

여기서 상기 커넥터모듈(200)은 상기 가스출구포트(C3)와 연결되는 커넥터, 가스 공급이 필요한 챔버 측으로 연장되는 가스유로 등을 포함하여 상기 가스실린더(C)로부터 상기 챔버 측으로 가스를 공급하기 위한 것으로 상기 가스출구포트(C3)으로부터 상기 앤드캡(C4)을 분리하는 앤드캡 유닛, 상기 가스출구포트(C3)와 상기 커넥터 간의 접속을 위한 플러그를 제공하는 플러그 유닛, 상기 가스출구포트(C3)와 커넥터 또는 플러그 사이에 가스켓을 제공하고 회수하는 가스켓 유닛 등을 포함할 수 있다. 이때, 상기 얼라인 하우징(400)은 상기 커넥터모듈(200)의 일측에 고정 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 밸브셔터모듈(300)은 가스실린더의 밸브를 개폐하기 위한 수단이며, 상기 얼라인하우징(400)은 상기 캐비닛(500)에 투입된 가스실린더(C)와 상기 커넥터모듈(200)과의 정렬을 위한 수단이다.

또한, 이러한 상기 커넥터모듈(200)과 상기 밸브셔터모듈(300) 및 상기 얼라인하우징(400)은 각각 대한민국 등록특허공보 제10-2343760호에 개시되어 있는 가스실린더의 가스자동공급장치의 필수적 구성들을 포함하여 기 공지되어 있는 다양한 기술을 적용할 수 있음에 따라 상세한 설명은 생략하도록 한다.

또한, 상기 캐비닛(500)은 전면에 설치되는 도어(미도시)에 의하여 개폐 가능하며, 내부에는 상기 가스실린더(C)로부터 상기 챔버 측으로 가스를 공급하기 유로와 밸브 등을 포함한다.

특히, 상기 캐비닛(500)에 설치되는 유로 및 밸브 등은 도 6에 도시되어 있는 바와 같이 상기 캐비닛(500)의 내측 후면에 주로 설치된다.

본 발명의 보다 구체적인 구성으로는 캐비닛(500) 내부에 x 축 방향으로 이웃하여 적재되는 2개의 가스실린더와 연결되어 각각의 가스실린더로부터 챔버 측으로 가스를 공급하는 커넥터모듈(200)과 가스실린더의 밸브를 개폐하는 밸브셔터모듈(300) 및 가스실린더와 상기 커넥터모듈(200) 간의 정렬을 위한 얼라인하우징(400)을 포함하는 가스공급장치용 호이스트모듈(100)은 x 축 방향에 형성되는 한 쌍의 제 1레일(111a)을 포함하여 상기 캐비닛 내측 상부에 설치되는 고정플레이트(111); y 축 방향에 형성되는 한 쌍의 제 2레일(112a)을 포함하여 상기 한 쌍의 제 1레일(111a)을 따라 x 축 방향으로 이동하는 2개의 제 1이동플레이트(112); 상기 제 1이동플레이트(112) 하단에 수직으로 형성되어 회전축(R 축)을 중심으로 회전되는 회전브라켓(113)을 포함하는 무빙유닛(110);, 상기 무빙유닛(110)의 회전브라켓(113)의 하측에 z 축 방향으로 제1 플레이트(121)가 부착되고; 상기 제1 플레이트(121) 하단에 z 축 방향으로 상하 이송하는 이송링크(123)가 설치되고; 상기 이송링크(123)에 고정브라켓(125)이 설치되어 상기 커넥터모듈(200)을 부착시켜 x 축, y 축으로 이송 또는 z 축 승하강 및 R 축 방향으로 회전하여 이동하는 승하강유닛(120);, 상기 승하강유닛(120)의 상기 제 1플레이트(121)의 일측에 제 2플레이트(127)가 부착되고; 상기 제 2플레이트(127)에 밸브셔터체결브라켓(129)이 부착되며; 상기 밸브셔터체결브라켓(129) 상에 상기 밸브셔터모듈(300)이 부착되어 상기 승하강유닛(120)과 일체로 x 축, y 축으로 이송 및 R 축 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 한 쌍의 제 1레일(111a)은, 상기 제 1이동플레이트(112) 측에 각각 구비되는 상기 커넥터모듈(200)과 상기 밸브셔터모듈(300) 및 상기 얼라인하우징(400) 간의 충돌 방지를 위하여 분할 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 가스실린더로부터 챔버 측으로 가스를 공급하기 위하여 상기 캐비닛(500)의 내측 후면에 설치되는 유로 및 밸브는, 상기 제 1이동플레이트(111) 간의 상호 이동에 따라 선택적으로 형성되는 유지보수공간(S)을 통하여 상기 캐비닛(500)의 전방 또는 내부 양측으로 노출되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 얼라인하우징(400)은, 상기 커넥터모듈(200)의 일측에 설치되어 상기 커넥터모듈(200)과 병행하여 x, y, z 축 이동 및 상기 회전축을 중심으로 R축 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에서 상기 커넥터모듈(200)과 상기 얼라인하우징(400)은, 상기 승강유닛(120)과 함께 상기 고정플레이트(111)에 대하여 x, y, z 축 이동 및 상기 회전축을 중심으로 R 축 방향으로 회전 이동되며;, 상기 밸브셔터모듈(300)은, 상기 제 2이동플레이트(113)와 함께 상기 고정플레이트(111)에 대하여 x, y 축 이동 및 상기 회전축을 중심으로 R 축 방향으로 회전 이동되되, z 축 승하강이동을 상기 밸브셔터모듈(300)에서 독립적으로 수행하는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에서 승강유닛(120)은, 제1플레이트(121)와 고정브라켓(125)에 설치된 공압 실린더(126)에 의해 리프트 구조의 이송링크(123)가 승하강하며, 공압 실린더(126)은 비례제어 밸브를 이용하여 제어부에서 공압의 양을 조절하여 커넥터모듈(200)의 무게의 밸런스를 유지 또는 승하강 시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 구성간의 결합과 작동관계를 도 2 내지 도 5를 참조하여 설명한다.

상기 호이스트모듈(100)은 상기 캐비닛(500)의 내측 상부에 설치되는 무빙유닛(110)과 상기 무빙유닛(110) 하부에 설치되어 상기 커넥터모듈(200)을 승강시키는 승강유닛(120)을 포함한다.

보다 구체적으로 상기 무빙유닛(110)은 고정플레이트(111)와 제 1이동플레이트(112)와 및 회전브라켓(113)을 포함한다.

상기 고정플레이트(111)은 상기 캐비닛(500)의 내부 상측에 고정 설치되며, 상기 캐비닛(500)의 일 측면에서 타 측면으로 향하는 방향인 x 축 방향으로 형성되는 한 쌍의 제 1레일(111a)을 포함한다.

이때, 상기 한 쌍의 제 1레일(111a)은 상기 고정플레이트(111)의 저면의 전방 측과 후방 측에 평행하게 한 쌍으로 형성되며, 상기 고정플레이트(111)의 저면 양측에 각각 분할되어 2개로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제 1이동플레이트(112)는 x 축 방향과 직교되도록 상기 캐비닛(500)의 전방에서 후방 측으로 향하는 방향인 y 축 방향으로 형성되는 한 쌍의 제 2레일(112a)을 포함하여 상기 한 쌍의 제 1레일(111a)을 따라 x 축 방향으로 이동 가능하도록 상기 고정플레이트(111)에 2개가 설치된다.

이때, 상기한 바와 같이 상기 고정플레이트(111)에 2개로 설치되는 상기 제 1이동플레이트(112)는 서로에 대하여 독립적으로 이동 가능하도록 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 한 쌍의 제 2레일(112a)은 상기 제 1이동플레이트(112) 각각의 양 측면 또는 저면 양측에 평행하도록 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제 1이동플레이트(112)는 상기 x 축 방향으로 x 축 방향에 형성되는 한 쌍의 한 쌍의 제 1레일(111a)을 포함하여 상기 캐비닛 내측 상부의 고정플레이트(111)에 설치되고, y 축 방향에 형성되는 한 쌍의 제 2레일(112a)을 포함하여 상기 한 쌍의 제 1레일(111a)을 따라 x 축 방향으로 2개의 제 1이동플레이트(112)가 이동한다.

한편 상기 무빙유닛(110)은 상기 제 1이동플레이트(112) 하단에 수직으로 형성되어 회전브라켓(113)상에 부착된 회전축(R축)을 중심으로 중심으로 R 축 방향으로 회전한다.

또한, 상기 회전브라켓(113)는 상기 제 1이동플레이트(113)의 중앙에서 수직으로 형성되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 제 1플레이트(121)가 설치되고 상기 제 1플레이트(121)의 저면 측에 상기 승강유닛(120)이 체결된다.

또한, 승하강유닛(120)은 상기 무빙유닛(110)의 회전브라켓(113)의 하측에 z 축 방향으로 제 1플레이트(121)가 부착되고, 상기 제 1플레이트(121) 하단에 z 축 방향으로 상하 이송하는 이송링크(123)가 설치되며, 상기 이송링크(123)에 고정브라켓(125)이 설치되어 상기 커넥터모듈(200)을 부착시켜 x 축, y 축으로 이송 또는 z 축 승하강 및 R 축 방향으로 회전하여 이동하게 된다.

이때, 상기 승강유닛(120)은 상기 커넥터모듈(200)의 하중을 지지하고, 이를 상승 또는 하강시키기 위한 것으로 기 공지되어 있는 유공압 실린더, 리니어 모터, 와이어 등을 포함하는 다양한 승강수단의 구조가 적용될 수 있으며, 본 발명에서는 잭(Jack) 형태의 이송링크(123)을 채택하였으며, 상기 이송링크(123)은 제 1 플레이트(121)와 결합되어 상기 회전브라켓(114)에 고정 설치되며, 상기 이송링크(123) 하단에 고정브라켓(125) 상에 승하강하는 상기 커넥터모듈(200)이 체결된다.

또한 본 발명에서 승강유닛(120)은, 제1플레이트(121)와 고정브라켓(125)에 설치된 공압 실린더(126)에 의해 리프트 구조의 이송링크(123)가 승하강하며, 공압 실린더(126)은 비례제어 밸브를 이용하여 제어부에서 공압의 양을 조절하여 커넥터모듈(200)의 무게의 밸런스를 유지 또는 승하강 시키는 효과가 있다.

또한, 상기한 바와 같이 상기 얼라인하우징(400)은 상기 커넥터모듈(200)의 일측에 고정 설치됨에 따라 상기 커넥터모듈(200)과 함께 상기 승강유닛(120)에 의하여 상승 또는 하강 및 상기 무빙유닛(110)의 회전축(R축)을 중심으로 회전한다.

이에 따라, 본 발명에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈을 포함하는 가스공급장치에 있어서, 상기 밸브셔터모듈(300)은 상기 승하강유닛(120) 일측면의 상기 제 2플레이트(113)와 결합된 밸브셔터체결브라켓(129)에 부착되어 상기 고정플레이트(111)에 대하여 x 축, y 축 이동이 이루어지며, 상기 커넥터모듈(200)과 상기 얼라인하우징(400)은 상기 승강유닛(120)과 함께 상기 회전브라켓(113)과 함께 상기 고정플레이트(111)에 대하여 x, y 축 이동과 상기 회전축을 중심으로 하는 회전 이동 및 상기 승강유닛(120)에 의한 승강 이동이 이루어진다.

또한, 본 발명에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈을 포함하는 가스공급장치는 상기한 바와 같이 상기 고정플레이트(111)에 2개로 설치되는 상기 제 1이동플레이트(112)가 서로에 대하여 독립적으로 이동 가능하도록 형성됨에 따라 2개의 상기 제 1이동플레이트(112) 측에 각각 구비되는 상기 밸브셔터모듈(300)과 상기 커넥터모듈(200) 및 상기 얼라인하우징(400)은 서로 독립적으로 이동 가능하다.

한편, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명에 따른 가스공급장치용 호이스트모듈을 포함하는 가스공급장치의 유지보수공간 확보를 위한 작동 방법은 하기와 같다.

우선, 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 상기 고정플레이트(111)에 이웃하여 배치되는 2개의 상기 제 1이동플레이트(112를 동일한 방향으로 이동시키면, 도 5의 a와 b에 도시되어 있는 바와 같이 상기 캐비닛(500)의 내부 양측에 각각 유지보수공간(S)이 확보된다.

또한, 상기 제 1이동플레이트(112) 간의 간격을 최대로 이격시키면, 도 5의 c에 도시되어 있는 바와 같이 상기 캐비닛(500)의 내부 중앙 측에 유지보수공간(S)이 확보된다.

이때, 상기 한 쌍의 제 1레일(111a)은 상기 제 1이동플레이트(112)가 이동함에 따라 상기 캐비닛(500) 내부에 선택적으로 형성되는 유지보수공간(S)을 통하여 상기 캐비닛(500)의 내부 후방 측에 형성되는 유로 및 밸브 등이 전체적으로 노출될 수 있도록 충분한 길이로 형성되는 것이 바람직하다.

보다 바람직하게 상기 한 쌍의 제 1레일(111a)은 서로 이웃하여 배치되는 상기 제 1이동플레이트(112) 측에 각각 구비되는 상기 밸브셔터모듈(300)과 상기 커넥터모듈(200) 및 상기 얼라인하우징(400)의 충돌을 방지하기 위하여 중앙 측이 충분한 간격으로 분할 형성될 수 있다.

이에 따라, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명에 따른 따른 가스공급장치용 호이스트모듈을 포함하는 가스공급장치는 상기 캐비닛(500)의 내부에 설치되는 유로 및 밸브 등의 점검을 위하여 상기 호이스트모듈(100)로부터 상기 커넥터모듈(200), 상기 밸브셔터모듈(300) 및 상기 얼라인하우징(400) 등을 분리할 필요가 없음에 따라 상기 캐비닛(500)의 내부에 설치되는 유로 및 밸브 등의 유지보수 작업 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다.

아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.

C. 가스실린더
S. 유지보수공간
100. 호이스트모듈
110. 무빙유닛
111. 고정플레이트
111a. 한 쌍의 제 1레일
112. 제 1이동플레이트
112a. 한 쌍의 제 2레일
113.회전브라켓
114. 회전브라켓
120. 승강유닛
121. 제 1플레이트
123. 이송링크
125. 고정브라켓
126 공압 실린더
127 제 2플레이트
129 밸브셔터체결브라켓
200. 커넥터모듈
300. 밸브셔터모듈
400. 얼라인 하우징
500. 캐비닛

Claims

캐비닛(500) 내부에 x 축 방향으로 이웃하여 적재되는 2개의 가스실린더와 연결되어 각각의 가스실린더로부터 챔버 측으로 가스를 공급하는 커넥터모듈(200)과 가스실린더의 밸브를 개폐하는 밸브셔터모듈(300) 및 가스실린더와 상기 커넥터모듈(200) 간의 정렬을 위한 얼라인하우징(400)을 포함하는 가스공급장치용 호이스트모듈(100)에 있어서,
x 축 방향에 형성되는 한 쌍의 제 1레일(111a)을 포함하여 상기 캐비닛 내측 상부에 설치되는 고정플레이트(111); y 축 방향에 형성되는 한 쌍의 제 2레일(112a)을 포함하여 상기 한 쌍의 제 1레일(111a)을 따라 x 축 방향으로 이동하는 2개의 제 1이동플레이트(112); 상기 제 1이동플레이트(112) 하단에 수직으로 형성되어 회전축(R축)을 중심으로 회전되는 회전브라켓(113)을 포함하는 무빙유닛(110);,
상기 무빙유닛(110)의 회전브라켓(113)의 하측에 z 축 방향으로 제 1플레이트(121)가 부착되고; 상기 제 1플레이트(121) 하단에 z 축 방향으로 상하 이송하는 이송링크(123)가 설치되고; 상기 이송링크(123)에 고정브라켓(125)이 설치되어 상기 커넥터모듈(200)을 부착시켜 x 축, y 축으로 이송 또는 z축 승하강 및 R 축 방향으로 회전하여 이동하는 승하강유닛(120);,
상기 승하강유닛(120)의 상기 제 1플레이트(121)의 일측에 제 2플레이트(127)가 부착되고; 상기 제 2플레이트(127)에 밸브셔터체결브라켓(129)이 부착되며; 상기 밸브셔터체결브라켓(129) 상에 상기 밸브셔터모듈(300)이 부착되어 상기 승하강유닛(120)과 일체로 x 축, y 축으로 이송 및 R 축 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치용 호이스트모듈.
제 1항에 있어서,
상기 한 쌍의 한 쌍의 제 1레일(111a)은, 상기 제 1이동플레이트(112) 측에 각각 구비되는 상기 커넥터모듈(200)과 상기 밸브셔터모듈(300) 및 상기 얼라인하우징(400) 간의 충돌 방지를 위하여 분할 형성되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치용 호이스트모듈.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
가스실린더로부터 챔버 측으로 가스를 공급하기 위하여 상기 캐비닛(500)의 내측 후면에 설치되는 유로 및 밸브는, 상기 제 1이동플레이트(111) 간의 상호 이동에 따라 선택적으로 형성되는 유지보수공간(S)을 통하여 상기 캐비닛(500)의 전방 또는 내부 양측으로 노출되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치용 호이스트모듈.
제 1항에 있어서,
상기 얼라인하우징(400)은, 상기 커넥터모듈(200)의 일측에 설치되어 상기 커넥터모듈(200)과 병행하여 x , y, z 축 이동 및 R 축 방향으로 회전 이동하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치용 호이스트모듈.
제 1항에 있어서,
상기 커넥터모듈(200)과 상기 얼라인하우징(400)은, 상기 승강유닛(120)과 함께 상기 고정플레이트(111)에 대하여 x, y, z 축 이동 및 상기 회전축을 중심으로 R축 방향으로 회전 이동되며;, 상기 밸브셔터모듈(300)은, 상기 제 2이동플레이트(113)와 함께 상기 고정플레이트(111)에 대하여 x, y 축 이동 및 상기 회전축을 중심으로 R 축 방향으로 회전 이동되되, z 축 승하강이동을 상기 밸브셔터모듈(300)에서 독립적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치용 호이스트모듈.
제 1항에 있어서,
승강유닛(120)은, 제1플레이트(121)와 고정브라켓(125)에 설치된 공압 실린더(126)에 의해 리프트 구조의 이송링크(123)가 승하강하며, 공압 실린더(126)은 비례제어 밸브를 이용하여 제어부에서 공압의 양을 조절하여 커넥터모듈(200)의 무게의 밸런스를 유지 또는 승하강 시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 가스공급장치용 호이스트모듈.