CN1177162C - 模块式流体输送装置 - Google Patents

Abstract

一种用于将流体输送给一个或多个流体处理部件的流体输送装置。该流体输送装置包括一个或多个模块式子组件，各子组件包括一个上部模块、一个下部模块和一个基座块。该上部模块包括一个用于与流体处理部件连接的通道，这样，该上部通道与流体处理部件流体连通。该下部模块包括一个用于与上部模块连接的下部通道，这样，该下部通道与上部通道流体连通。该下部模块包括流动通路，该流动通路包括下部通道。该基座块包括一个容器和一个通路。该上部模块装于该容器内，该下部模块穿过该通路。该模块式子组件可以包括一个隔板，该隔板有多个对齐孔，以便使上部模块和下部模块的流体连接孔对齐。还公开了一种使用该流体输送装置的方法。

Description

模块式流体输送装置

相关申请

本申请部分延续美国专利申请序列号No.09/388216，该专利申请的申请日为1999年9月1日，该申请的整个内容被本文参引。

发明领域

本发明涉及用于将流体输送给工具的装置，尤其是涉及用于将流体输送给工具的模块式装置。

发明的背景技术

用于将流体输送给工具的系统有各种不同用途。例如，用于某些半导体制造过程的化学蒸汽沉积技术需要将流体输送给快速热处理(RTP)反应器。该流体必须在非常特殊的状态下输送给RTP反应器。该特殊流体状态通过使用流体输送系统而实现，在将流体输送给RTP反应器之前，该流体输送系统将流体传送给多个流体处理部件。这些流体处理部件通常对该流体输送系统内的流体的特性进行测量或调节。

普通的流体输送系统经常要进行变化和更新。很多这些变化需要将该流体输送系统拆开和重新组装成不同结构。因此，流体输送系统必须具有很高的适用性。

已经对流体输送系统进行了模块化，以试图增加其适用性。模块式的流体输送系统通常包括多个独立的模块，这些模块能够彼此连接并与流体处理部件连接。模块和流体处理部件各包括一个或多个通道，在装配该流体输送系统时，该通道彼此对齐。对齐的通道形成了通过流体输送系统的延伸通路。该延伸通路起到在将流体输送给工具之前将流体输送给流体处理部件的作用。

很多模块式流体输送系统需要大量模块，以便保持其适用性。该大量模块通常会增加维护该流体输送系统的复杂性。而且，大量模块还会增加储存成本，因为通常必须储存有备用模块，以便合适地维护该流体输送系统。而且，该大量模块明显导致该流体输送系统的总重显著增加。

模块式流体输送系统的另一问题是防止在相邻模块或在模块和流体处理部件之间的流体泄漏。通过在相邻模块和/或在模块和相邻流体处理部件之间形成有密封件而防止该泄漏。已知这些密封件在超时时将破裂。流体输送系统中的模块必须经常临时拆下甚至更换，以便重新形成密封。

当模块必须被拆下或更换时，现有的模块式输送系统有很大的问题。例如，对于很多模块式流体输送系统，在单个模块能够更换之前需要拆下大部分的模块，和/或在单个模块能够拆下之前需要将整个流体输送系统拆开。因此，这些模块式流体输送系统的简单变化都将非常费时，因此非常昂贵。此外，需要进行运动的模块数目和进行这些变化所需要延长的时间都能够导致该流体输送系统被污染。

为了上述原因，目前需要一种模块式流体输送系统，该流体输送系统易于接近、拆下和/或更换模块。还需要一种模块式流体输送系统，该流体输送系统能减小系统污染的可能。此外，还需要一种模块式流体输送系统，该流体输送系统能以较少的模块来保持适用性。此外，还需要一种模块式流体输送系统，该流体输送系统需要较少的模块，从而降低成本并使该系统的重量减至最小。

发明简介

本发明涉及一种用于将流体输送给一个或多个流体处理部件的流体输送装置。该流体输送装置包括一个或多个模块式子组件，各子组件包括一个上部模块、一个下部模块和一个基座块。该上部模块包括一个或多个上部通道，并设置为与流体处理部件连接，这样，该上部通道与流体处理部件流体连通。该下部模块包括一个或多个下部通道，并设置为与上部模块连接，这样，该下部通道与上部通道流体连通。该下部模块可以包括多个流动通路，各流动通路包括一个下部通道。该基座块包括一个容器和一个通路。该上部模块装于该容器内，该下部模块穿过该通路。该模块式子组件可以包括一个隔板，该隔板有多个对齐孔，以便使上部模块和下部模块的流体连接孔对齐。还公开了一种使用该流体输送装置的方法。

附图的简要说明

图1是与各种流体处理部件相组合的模块式流体输送系统的局部分解的透视图，各种流体处理部件排列在本发明的流体输送装置的上面，该模块式流体输送装置包括以剖面表示的上部模块、隔板、下部模块和基座块。

图2是布置成两排的、图1中的基座块的剖视透视图。

图3是下部模块的剖视透视图，各下部模块由一个或多个流动通路的一部分形成，并安装在图2的基座块中。

图4是图1中所示的流动通路和相关托架的放大详细透视图。

图5是安装在图2的基座块中的隔板和下部模块的剖视透视图。

图6是安装在图2的基座块中的上部模块、隔板和下部模块的剖视透视图。

图7是图6中所示的一个模块式子组件的分解透视图，该模块式子组件包括与流体处理部件相组合的上部模块、隔板、下部模块和基座块。

图8是类似于图7的局部分解的透视图，但是表示装配好的模块式子组件。

图9是类似于图7和8的透视图，表示该装配好的子组件和阀部件。

图10是与图8中所示的流体处理部件相组合的、与图8中所示类似的另一模块式子组件的局部分解透视图，该模块式子组件以剖视表示。

图11是与图1中所示的另一流体处理部件相组合的、图1和6中所示的另一模块式子组件的局部分解透视图，该模块式子组件以剖视表示。

图12是图6中所示的第一上部模块的放大详细透视图。

图13是图6中所示的第二上部模块的放大详细透视图。

图14是图6和13中所示的第二上部模块的底部的放大详细透视图。

图15是图6中所示的第三上部模块的放大详细透视图。

图16是图6中所示的第四上部模块的放大详细透视图。

图17是图6中所示的第五上部模块的放大详细透视图。

图18是与图6中所示类似的第六上部模块的放大详细透视图。

详细说明

本发明涉及用于将流体输送给一个或多个流体处理部件或工具的输送装置。该流体输送装置包括多个基座块，该多个基座块形成在表面上的基层，流体处理部件或工具可以安装在该基层上并与该基层流体相连。该流体输送装置还包括多个上部模块、多个隔板和多个下部模块，它们都装入各基座块内，以便形成流体输送装置，该流体输送装置与各种流体处理部件相连的适用性最大，同时与各种流体处理部件相连所需的装置部件的数目和种类最少。该上部模块、隔板、下部模块、基座块和流体处理部件连接在一起以形成流体输送系统。

该上部模块、下部模块和流体处理部件包括流体通道，在装配该系统时，该流体通道彼此对齐。这些通道的对齐产生了一个或多个穿过该上部模块、下部模块和流体处理部件的延伸通路。在该流体输送系统工作的过程中，流体在输送给工具之前可以经过该延伸通路而到达各流体处理部件。用于该延伸通路内的合适流体是可流动的物质，例如气体、液体和/或气体/液体的组合。

当该流体输送装置装配好后，上部模块和下部模块内的通道终止于位于上部模块的水平顶表面上的一个或多个朝上的流体孔中，或者终止于位于基座块侧面附近的一个或多个朝侧向的流体孔中。该朝上的流体孔与流体处理部件流体连通。该朝侧向的流体孔提供了用于与流体源或流体排出口相连的、流体输送系统的流动通路的进口或出口。

本发明的流体输送装置这样构成，即，即使在该模块式子组件装配好时，流体处理部件也可以很容易地从相应的子组件模块上拆下，也就是从相应的上部模块、隔板、下部模块和基座块上拆下，该上部模块、隔板、下部模块由一个或多个流动通路的一部分形成。而且，本发明的基座块这样构成，即，相邻基座块的横向侧面并不需要彼此物理接触。该结构有利于该流体输送装置的较小变化，例如更换单个子组件模块，而不需要拆开大量模块和/或流体处理部件。尤其是，因为相邻模块不需要彼此接触，因此可以在不需要拆下相邻的基座块的情况下将包括单个基座块的单个子组件模块从该流体输送装置上拆下。

易于改变该流体输送装置的能力还减小了系统污染的可能。尤其是，本发明的流体输送装置可以进行快速维修或改变。因此，本发明的流体输送装置减小了用于维修和改变的时间范围，在该时间范围内可能发生系统污染。此外，如上所述，本发明的流体输送装置的改变通常涉及更少的模块。减少了在改变时所涉及的模块数将减小污染源的数目，因此总体减小了污染的可能性。

图1表示了流体输送装置50的分解图，该流体输送装置50用于与各种流体处理部件51流体连接在一起以形成流体输送系统52。该流体输送装置50包括多个模块式子组件55。各模块式子组件55通常包括一个上部模块56、一个下部模块59和一个基座块60。

形成流体输送系统52的合适流体处理部件51包括(但不是限制)喷嘴、进口孔、出口孔、压力计、压力调节器、压力传感器、过滤器、净化器、混合阀、气动阀、人工操作阀、单向阀、流量计和流量控制器(massflow controller)，还有其它控制和计量元件。在工作时，流体输送装置50将流体处理部件51所需的流体输送给流体处理部件51和/或将该流体从流体处理部件51中输出。

基座块60通常位于平表面61附近，并可选择为与该平表面61确实连接，从而使各基座块60和相应的模块式子组件55相对于该平表面61而稳定。平表面61例如包括(但不是限定)桌面&机器，例如用于半导体制造的机器。应当知道，该平表面并不必需为水平，其能够与水平面成角度延伸，或者可以基本垂直延伸。

各基座块60包括多个表面安装孔64，通过该表面安装孔64，紧固件65将基座块60固定在平表面61上，如图2所示。也可选择，紧固件65是螺纹紧固件，并可用于将各基座块60可释放地固定在平表面61上。应当知道，也可以采用其它合适的紧固件。例如，该基座块可以包括定位销，该定位销装入位于该平表面中的相配定位孔内。其它的紧固件可以包括螺母、螺栓、螺钉和其它合适的紧固装置。

各基座块60包括一个或多个基座块通路68，如图3所示。本发明的所示基座块60包括四个侧面69和四个基座块通路68，这四个基座块通路68与基座块60的四个侧面相对应。基座块通路68向上开口，从而能够安装下部模块59，同时该基座块60固定在平表面61上。

应当知道，基座块60可以为其它形状和结构。例如，不是有四个侧面69，而是该基座块可以有六个侧面，因此，多个基座块可以布置成蜂窝结构。在该结构中，各基座块可以包括六个基座块通路，每个侧面有一个通路。

如图3所示，下部模块59包括一个或多个流动通路70，各流动通路70有一个穿过其而延伸的下部通道71。各流动通路70的下部通道71终止于一个或多个上部模块连接孔73和/或终止于进口/出口连接孔74。上部模块连接孔73基本垂直延伸，进口/出口连接孔74基本水平延伸，不过，应当知道，也可以采用其它几何形状。例如，进口/出口连接孔可以设置为平行于上部模块连接孔73而延伸。也可选择，上部模块连接孔和/或进口/出口连接孔可以相对于平表面61成锐角延伸。可以选择，孔73和74具有普通接头，例如由Swagelok Company of Solon，Ohio制造的微型接头。应当知道，也可以用其它流体接头和接头装置来与孔73和74流体连接。

为了使相邻子组件55流体连通和使流体通过相邻基座块60，流动通路70插入两相邻基座块60的基座块通路68中，这样，流动通路70从一个基座块的基座块通路68向外伸入到相邻基座块的基座块通路68内，从而以跨过两相应的相邻上部模块56的方式伸向两相邻基座块60。

为了使流体输送装置50与流体输送源或排出口之间流体连通，流动通路70a插入到一个基座块60的基座块通路68中，这样，流体通路70a从基座块通路68向外伸出并终止于进口/出口连接孔74。螺纹进口/出口连接孔紧固件75或其它合适装置用于可选择地使该进口/出口连接孔74与流体输送源或排出口配合。这时，托架77可释放地将流动通路70a固定在基座块60上。紧固件78用于可释放地将托架77安装在基座块60的侧面69上。可以选择，托架紧固件78为螺纹件，不过，应当知道，也可以采用其它合适的紧固件，它们包括销钉、螺母、螺栓、螺钉和其它合适的紧固装置。

隔板79插入到由各基座块60的内壁83和底壁84形成的容器82内，并在基座块60的顶表面85下面，如图5所示。与上述基座块通路68类似，容器82向上开口，从而即使在基座块60固定在平表面61上的情况下，也能够安装下部模块的流动通路70、70a以及隔板79和上部模块56。

隔板79包括一个或多个对齐孔86，以便使上部模块连接孔73与基座块60正确对齐。所示隔板79包括四个对齐孔86，该对齐孔86的数目与各基座块60内的基座块通路68的数目相同。应当知道，对齐孔的实际数目可以变化，例如，当各基座块有六个侧面时，隔板可以包括六个对齐孔。也可选择，需要时该隔板可以正好包括一个、两个、三个或更多对齐孔。

隔板79基本为柱形，它与基座块容器82的形状互补。应当知道，隔板79和基座块容器82可以为其它几何形状。例如，该隔板和容器可以为互补的正方形或矩形形状，同时还有使流动通路与基座块正确对齐的装置。也可选择，该隔板和容器可以为互补的三角形、五边形或六边形，尤其是分别当该基座块有三个、五个或六个侧面时。

可以选择，隔板79包括标引(indexing)槽87，该标引槽87与位于基座块容器82内的标引齿条或尖头配合。标引槽87有利于使容器82内的隔板79与基座块60对齐，这又有利于在装配模块式子组件55时使流动通路70与基座块60和上部模块56对齐。

上部模块56插入到容器82内并在隔板79上面，如图6所示。因为容器82向上开口，即使在基座块60固定在平表面61上的情况下，也可以很容易地将上部模块56装在基座块容器82中和从该基座块容器82中拆下。

上部模块56包括一个或多个上部通道88。各上部通道88终止于一个或多个下部模块连接孔91和/或终止于一个或多个流体处理部件孔92。如图6所示，可以选择，上部通道88从上部模块56的底侧94向顶侧95延伸。该上部通道88的实际数目和结构将根据各流体处理部件51的实际结构和必需与该流体处理部件51流体连通的流动通路70的数目而变化。例如，图6表示了几种类型的上部模块56、56a、56b、56c和56d，各上部模块包括不同结构的一个、两个、三个或四个通道88。应当知道，相同的参考标号用于表示本发明中的相同部件。

如图7所示，上部模块56c和隔板79分别包括一个或多个子组件孔96和97。一个或多个子组件紧固件98分别穿过上部模块59和隔板79的孔96和97，并伸入基座块60，以便可释放地将上部模块56c和隔板79固定在基座块60上。优选是，该紧固件98是与位于基座块容器82的底壁84中的螺纹孔101配合的螺纹紧固件。还应当知道，可以采用其它合适的紧固件和紧固装置。

当转动紧固件98以便使上部模块56c紧紧压靠在隔板79和基座块60上时，下部模块59的各流动通路70抵靠上部模块56，并可释放地固定在上部模块56c和基座块60之间。可以选择，隔板79的尺寸和结构为这样，即，紧固件98拧得过紧并不能损坏在上部模块连接孔73和下部模块连接孔91之间所形成的流体接头。

流体输送装置50还包括一个或多个装配紧固件104，用于将流体处理部件51安装到各模块式子组件55上，如图7-9所示。可以选择，装配紧固件104是螺纹紧固件，该螺纹紧固件穿过部件装配孔105，并与位于基座块60顶表面85上的基座块螺纹装配孔106配合。除了基座块装配孔106外或者可以代替基座块装配孔106，上部模块例如上部模块56a可以包括一个上部模块螺纹装配孔107，紧固件104螺纹拧入该上部模块螺纹装配孔107中。还应当知道，可以采用其它合适的紧固件和紧固装置。

尽管所示基座块的顶表面85和底表面基本为平表面，但该基座块也可以对形状、轮廓和/或结构进行选择。例如，基座块容器的底壁可以有与隔板底面互补的轮廓。该轮廓可以互锁，以便使基座块和隔板之间确实卡住。

流体输送装置50可以拆开，并能够重新组装，以便提供不同结构的流体输送装置50，或者改变用于与该流体输送装置50组合的流体处理部件51，从而使流体输送系统52有不同的结构。参考图7-9，可以采用各种方法来将流体输送装置50装配到平表面61上。在本发明的一个方法中，基座块60通过四个紧固件65安装到平表面61上。各紧固件65穿过基座块60中的无螺纹孔64，然后装入平表面61中的螺纹孔内。一旦将紧固件65装入螺纹孔，就可以使紧固件65转动，以便将基座块60拧紧到平表面61上和将该基座块60从平表面上松开。无螺纹孔64是埋头孔，这样，当基座块60拧紧到平表面61上时，紧固件65的顶部位于与基座块60通路68的底表面108平齐或低于该底表面108。紧固件65相对于基座块60这样定位将允许下部模块的流动通路70直接靠近基座块60的底部通路表面108。

当使合适的基座块60在平表面61上布置就位后，将下部模块的合适流动通路70、70a分别插入相应的基座块通路68中。然后，将隔板79插入各基座块60的各容器82中，从而使各流动通路的上部模块连接孔73与基座块60对齐。再将合适的上部模块56c插入各容器中并在隔板79之上，并且通过四个子组件紧固件98而固定在基座块60上。各子组件紧固件98穿过上部模块56c的无螺纹孔96和隔板79的无螺纹孔97，并装入基座块60中的螺纹孔101中，如图7所示。紧固件65能够转动，以便将上部模块56c紧紧压靠在隔板79和基座块60上。可以选择，上部模块56c的无螺纹孔96相对于上部模块56c的上表面96而言为埋头孔，从而允许流体处理部件51直接靠近上部模块56c的顶面95。

当上部模块56c就位后，利用四个装配紧固件104来将流体处理部件51与合适的子组件模块55连接起来。装配紧固件104穿过流体处理部件51的无螺纹孔105，然后装入基座块60的螺纹孔106中，如图7所示。然后可以转动紧固件104，以便将流体处理部件51拧紧到模块式子组件55上或将该流体处理部件51从模块式子组件55上松开。

可以选择，在使流体处理部件51与子组件55连接之前，将部件垫圈109置于流体处理部件51和子组件55之间。垫圈109可以由包括(但不是限定)金属例如316L不锈钢的多种合适材料和其它适于进行流体处理和/或净室(clean room)使用的材料制成。垫圈109可以包括一个或多个离散的部件密封装置110如O形环或者其它合适装置，图中所示为三个。此外，部件密封装置110可以独立于垫圈109。如图7所示，上部模块56c的顶面95包括一个部件垫圈凹口113，该部件垫圈凹口113靠近流体处理部件孔92。部件垫圈凹口113的形状构成为能安装部件密封装置110。

类似的，在上部模块56c与基座块60连接之前，可以将通道密封装置或垫圈114置于上部模块56c和各流动通路70、70a之间，如图7所示。通道密封装置114可以由包括(但不是限定)金属例如316L不锈钢的多种合适材料和其它适于进行流体处理和/或净室使用的材料制成。可以选择，该通道密封装置是O形环。如图14所示，上部模块56a的底面94包括一个垫圈凹口，该垫圈凹口靠近流体处理部件孔92。一个或多个通道垫圈凹口115位于上部模块56a的底面94上，且形状为能安装通道密封装置114。

当通过转动装配紧固件104而使流体处理部件51紧紧压靠上部模块56c时，密封装置被压缩。该密封装置的压缩形成了流体处理部件51和上部模块56c的相应流体孔之间的密封以及上部模块56c的相应流体孔和下部模块的流动通路70、70a之间的密封。应当知道，也可以采用其它形式的垫圈、密封件和密封装置。应当知道，本发明的流体输送装置也可以构成为不采用该垫圈、密封装置和/或其它密封装置。

此外，基座块并不必需有用于装配该模块式子组件的螺纹孔。例如，流体处理部件、上部模块和基座块可以包括无螺纹孔，当装配该流体输送装置时，这些无螺纹孔彼此对齐。子组件紧固件可以穿过在该流体处理部件、上部模块、隔板和基座块中的对齐的无螺纹孔，并插入平表面61中的螺纹孔。也可选择，平表面61中的孔也是无螺纹孔，这时，螺栓穿过在该流体处理部件、上部模块、隔板、基座块和平表面中的对齐的无螺纹孔，并通过螺母将它们可释放地固定起来。

上述对流体输送装置50的装配和拆卸的介绍仅仅是为了说明目的。该流体输送装置的装配和拆卸方法可以变化。例如，每个模块的子组件紧固件的数目并不限于四个，可以少到只有一个。而且，根据本发明，如果基座块设计成使该基座块通路能使流动通路与上部模块对齐，那么就不需要隔板。也可选择，可以采用改进的隔板来加热上部模块和/或下部模块中的流体通道。例如，隔板可以有粘接到其顶表面和/或底表面上的薄膜加热器，以便需要时给该上部模块和/或下部模块加热。

如上所述，上部通道88的实际数目和结构将根据各流体处理部件51的实际结构和必需与该流体处理部件51流体连通的流动通路70的数目而变化。在如图10所示的一个本发明实施例中，上部模块56e与图6所示的上部模块类似，但是具有变化的上部通道结构。应当知道，相同的参考标号用于表示本发明的相同部件。上部模块56e包括上部通道88，该上部通道88从径向相对的上部模块连接孔73、73伸出，穿过上部模块56e，并伸向径向相对的流体处理部件孔92、92。位于中心的流体处理部件封闭孔117并不穿过上部模块56e或与任何流动通路70的下部通道71连通。因此，封闭孔117有效密封流体处理部件51上的相应流体孔。

图11表示了装配好的模块式组件55，该组件55包括如图5所示的上部模块56，该上部模块56有两个上部通道88，这两个上部通道88从径向相对的下部模块连接孔91伸出，穿过上部模块56，并伸向两个流体处理部件连接孔92，其中一个流体处理部件连接孔位于上部模块56的顶面95的中心。上部模块56还如图14所示。图11还表示了流体输送装置的适用性，其中，如图所示，装配好的模块式子组件55能很容易地安装不同类型的流体处理部件51，即阀部件。

图13表示了上部模块56a，该上部模块56a还如图5所示，有单个上部通道88，该上部通道88从一个下部模块连接孔91伸出，穿过上部模块56a，并伸向一个流体处理部件连接孔92，该流体处理部件连接孔92位于上部模块56a的顶面95a的中心。图14表示了上部模块56a的底面94a。

图15表示了有三个上部通道88的上部模块56b。一个上部通道88从下部模块连接孔91伸出，穿过上部模块56b，并伸向第一中心流体处理部件连接孔92。剩下的两个上部通道从相邻的第二和第三下部模块连接孔91伸出，穿过上部模块56b，并伸向靠近第一中心孔的单个流体处理部件连接孔92。

图16表示了有四个上部通道88的上部模块56c。上部模块56c的第一和第二上部通道88分别从径向相对的第一和第二下部模块连接孔91伸出，穿过上部模块56c，并伸向第一中心流体处理部件连接孔92。第三和第四上部通道88从径向相对的第三和第四下部模块连接孔91伸向靠近第一中心孔的第二和第三流体处理部件连接孔92。应当知道，两个相邻的下部模块连接孔可以与单个流体处理部件连接孔流体连接。在图5中也表示了上部模块56c。

图17表示了有三个上部通道88的上部模块56d，各上部通道88从第一、第二和第三下部模块连接孔91伸出，穿过上部模块56d，并伸向第一中心流体处理部件连接孔92和两个相邻但径向相对的流体处理部件连接孔92。在图5中也表示了上部模块56d。

图18表示了上部模块56f，该上部模块56f有三个上部通道88，与上部模块56b类似，不过，该上部模块56f与上部模块56b成镜像。上部模块56f的一个上部通道88从下部模块连接孔91伸出，穿过上部模块56f，并伸向第一中心流体处理部件连接孔92。剩下的两个上部通道从相邻的第二和第三下部模块连接孔91伸出，穿过上部模块56f，并伸向靠近第一中心孔的单个流体处理部件连接孔92。

上部模块56、隔板79、流动通路70和基座块60的合适材料包括(但不是限定)不锈钢例如316L VIM/VAR。因为隔板和基座块并不与流体接触，因此，隔板79和基座块60也可以由其它材料制成，例如塑料、包括钢、铝和各种合金的金属、特氟隆和其它能使重量最轻和制造成本最小的合适材料。应当知道，当流体输送装置50用于某些半导体制造过程时，上部模块56、隔板79、流动通路70和基座块60优选是由与净室相容的材料制成。

基座块60通常长度为大约1-2英寸，宽度为大约1-2英寸，高度为大约1-3英寸。上部模块56通常直径为大约1-2英寸，高度为大约1/4至11/2英寸。类似的，隔板79通常直径为大约1-2英寸，高度为大约1/4至11/2英寸。流动通路通常为U形或L形，通常长度为1-2英寸，高度为大约1/2至11/2英寸。不过，其形状和尺寸可以广泛变化。例如，该流动通路的形状可以包括V形、I形、J形和其它合适的几何形状。而且，基座块的长度可以变化，以便与基于特殊几何形状的流体处理部件相适应。类似的，该上部模块也可以变化，以便与具有特别远离的流体孔的流体处理部件相适应。通道的合适宽度包括(但不是限定)大约1/8至1/4英寸，尤其是大约0.18英寸。流体孔可以包括将置于上部模块和相应流体处理部件之间的标准C形密封件和将置于相邻流体处理部件之间的1/4英寸表面密封垫圈。

尽管参考上述优选实施例和实例介绍了本发明，但是应当知道，这些实例是为了进行说明，而不是进行限定。应当知道，本领域技术人员能够很容易地进行变化和组合，这些变化和组合将在本发明的精神和附加的权利要求的范围内。

Claims (16)

1.一种用于将流体输送给一个或多个流体处理部件的流体输送装置，所述装置包括：

一个上部模块，该上部模块包括一个上部通道，该上部模块与流体处理部件连接，这样，该上部通道与流体处理部件流体连通；

一个下部模块，该下部模块包括一个下部通道，该下部模块与上部模块连接，这样，该下部通道与上部通道流体连通；以及

一基座块，该基座块包括一个容器和一个通路，该上部模块装于该容器内，该下部模块穿过该通路。

2.根据权利要求1所述的流体输送装置，其中：所述上部模块为基本柱形。

3.根据权利要求1所述的流体输送装置，其中：该上部模块还包括一顶面，该顶面包括一平部分，该平部分设置为置于流体处理部件平表面的下面。

4.根据权利要求1所述的流体输送装置，其中：该下部模块的顶面设置为靠近该上部模块底面。

5.根据权利要求1所述的流体输送装置，其中：上部模块还包括多个上部通道，各上部通道终止于位于该上部模块底面处的下部模块连接孔中，所述下部模块还包括多个流动通路，各流动通路包括一个下部通道，该下部通道终止于位于各下部模块顶面处的上部模块连接孔中，各上部模块连接孔与相应的一个所述下部模块连接孔流体连接。

6.根据权利要求5所述的流体输送装置，该装置还包括：一个隔板，该隔板有多个对齐孔，用于使下部模块的各上部模块连接孔与相应的一个上部模块的下部模块连接孔对齐。

7.根据权利要求5所述的流体输送装置，还包括：至少一个流动通路，该流动通路终止于一个水平延伸的横向孔。

8.根据权利要求7所述的流体输送装置，还包括：一个托架，用于将该至少一个流动通路固定在基座块上。

9.根据权利要求1所述的流体输送装置，其中：该基座块和上部模块各包括一个子组件孔，该子组件孔的尺寸可安装一个穿过上部模块并伸入下部模块的紧固件。

10.根据权利要求9所述的流体输送装置，其中：该基座块子组件孔是螺纹孔，以便安装螺纹紧固件。

11.根据权利要求1所述的流体输送装置，其中：该基座块设置为可释放地固定在平表面上。

12.根据权利要求1所述的流体输送装置，该装置还包括：多个基座块和多个上部模块，各上部模块装于一个相应的基座块内。

13.根据权利要求12所述的流体输送装置，其中：各基座块包括一个具有平部分的侧面，该平部分允许各基座块靠近另一基座块。

14.根据权利要求1所述的流体输送装置，该装置还包括：一个隔板，该隔板有对齐孔，该对齐孔使下部模块的下部通道与上部模块的上部通道对齐。

15.根据权利要求1所述的流体输送装置，其中：该柱形隔板为基本柱形形状。

16.根据权利要求1所述的流体输送装置，其中：该流体处理部件由以下组中选择，该组包括：喷嘴、进口孔、出口孔、压力计、压力调节器、压力传感器、过滤器、净化器、混合阀、气动阀、人工操作阀、单向阀、流量计和流量控制器。

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