KR101007527B1 - 유체 전달 시스템 - Google Patents

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Abstract

본발명은 유체 전달 시스템으로서, 장착 구조물, 이 장착 구조물에 고정되는 복수 열의 로케이터 정렬 요소, 복수 열의 유체 연결 부품 및 이 유체 연결 부품의 열을 가로질러 신장하는 복수의 매니폴드 부품을 포함하고, 상기 각각의 유체 연결 부품은 입구 및 배출 포트와 이들 포트들을 서로 연결하는 유체 소통로를 가지며, 상기 각각의 유체 연결 부품은 쌍을 지어 배열되고, 각각의 쌍은 유체 연결 부품의 각 열에서 서로 인접하게 배치되는 2개의 유체 연결 부품을 포함하며, 각 쌍의 유체 연결 부품은 각 로케이터 정렬 요소에 의해 분리가능하도록 고정되고 서로 상대적으로 정렬되며, 상기 1 이상의 매니폴드 부품은 한쌍의 유체 연결 부품의 가장 먼 포트들을 연결하는 중심선과 교차하는 중심선을 갖는 매니폴드 통로를 가지며, 또한 각 쌍의 유체 연결 부품을 고정하는 로케이터 정렬 요소를 상기 장착 구조물로부터 제거함이 없이 제거가능한 유체 전달 시스템을 제공한다.

Description

유체 전달 시스템{A FLUID DELIVERY SYSTEM}
본발명은 유체 전달 시스템 또는 밸브, 조절기, 질량 유동 제어기 필터 및 압력 변환기와 같은 서로 연통한 유체 제어 요소를 포함하는 유체 전달 시스템에 관한 것이다.
유체 전달 시스템은 예를들어, 규정된 유량 및 압력으로 처리 챔버에 소정의 가스 또는 가스 혼합물을 제공하기 위해 반도체 처리 시스템에서 사용된다. 다양한 공급 가스가 매니폴드 (manifold) 의 입구에 연결되고, 매니폴드의 1 이상의 배출구는 처리 챔버에 연결된다. 이런 매니폴드 시스템은 일반적으로 밸브, 조절기, 질량 유동 제어기, 필터 및 압력 변환기와 같은 요소들을 포함하며, 이 요소들은 소망하는 가스 또는 가스 혼합물을 소정의 유량과 압력으로 처리 챔버에 전달할 수 있도록 2차원 영역에 걸쳐 서로 연결되어 있다.
때로는 상기 유체 전달 시스템은 유체 제어 요소 사이에서 소정의 유동 패턴을 발생시키기 위해 모듈 방식으로 바닥 장착 구조에 장착될 수 있는 소형 요소의 형상으로 되어 있다. 상기 운반 시스템의 보수는 성가실 수 있는데, 왜냐하면 단일 부품을 교체하려면 많은 수의 부품들을 분해 및 조립하여야 하고, 일반적으로 교체 비용이 비싼 다수의 시일 (seal) 을 파손하여야 하기 때문이다.
본발명은 유체 전달 시스템으로서, 장착 구조물, 이 장착 구조물에 고정되는 복수 열의 로케이터 정렬 요소, 복수 열의 유체 연결 부품 및 이 유체 연결 부품의 열을 가로질러 신장하는 복수의 매니폴드 부품을 포함하고, 상기 각각의 유체 연결 부품은 입구 및 배출 포트와 이들 포트들을 서로 연결하는 유체 소통로를 가지며, 상기 각각의 유체 연결 부품은 쌍을 지어 배열되고, 각각의 쌍은 유체 연결 부품의 각 열에서 서로 인접하게 배치되는 2개의 유체 연결 부품을 포함하며, 각 쌍의 유체 연결 부품은 각 로케이터 정렬 요소에 의해 분리가능하도록 고정되고 서로 상대적으로 정렬되며, 상기 1 이상의 매니폴드 부품은 한쌍의 유체 연결 부품의 가장 먼 포트들을 연결하는 중심선과 교차하는 중심선을 갖는 매니폴드 통로를 가지며, 또한 각 쌍의 유체 연결 부품을 고정하는 로케이터 정렬 요소를 상기 장착 구조물로부터 제거함이 없이 제거가능한 유체 전달 시스템을 제공한다.
상기 로케이터 정렬 요소는 세트로 배열되고, 각각의 세트는 로케이터 정렬 요소의 각 열에서 서로 인접하게 배치된 두개의 로케이터 정렬 요소를 포함하고, 각각의 유체 연결 부품은 각 세트의 양 로케이터 정렬요소에 의해 고정된다.
각 쌍의 유체 연결 부품 사이에서 틈새가 존재하며, 상기 매니폴드 부품은 상기 쌍을 고정하는 로케이터 정렬 요소로부터 그 쌍을 제거함이 없이 상기 틈새로부터 제거가능하다.
상기 유체 전달 시스템은 상기 로케이터 정렬 부품을 상기 장착 구조물에 제거가능하게 조이는 복수의 로케이터 정렬 패스너를 더 포함한다.
상기 유체 정렬 요소는 예를들어 크레이들일 수 있다. 각각의 크레이들은 x,y 및 θ 의 각 쌍의 유체 연결 부품의 운동을 방지한다.
상기 유체 전달 시스템은 상기 유체 소통로 및 매니폴드 통로를 통해 서로 유체 소통가능하게 연결되어 배치되는 복수의 유체 제어 요소를 더 포함한다.
상기 유체 제어 요소 중의 하나는 한쌍의 상기 연결 부품 중의 하나의 배출 포트와 연결된 입구 통로 및 상기 한쌍의 연결 부품 중의 다른 하나의 입구 포트와 연결된 배출 통로를 갖는다.
상기 유체 제어 요소는 밸브, 조절기, 질량 유동 제어기, 필러 및 압력 변환기 중의 하나 이상을 포함한다.
각각의 유체 연결 부품의 포트는 상기 각각의 유체 연결 부품의 같은 측에 배치된다.
상기 유체 전달 시스템은 3개 이상의 포트 및 이들 모든 포트를 서로 연결하는 1 이상의 유체 소통로를 갖는 1 이상의 유체 T-부품을 포함하고, 이 유체 T-부품은 상기 로케이터 정렬 요소 중의 하나에 상대적으로 정렬 및 분리가능하게 고정되고, 상기 유체 T-부품의 포트 중의 하나는 상기 매니폴드 부품에 연결된다.
상기 유체 전달 시스템은 2 이상의 포트 및 이 양 포트를 서로 연결하는 1 이상의 유체 소통로를 갖는 1 이상의 유체 엘보 부품을 포함하고, 상기 유체 엘보 부품은 상기 로케이터 정렬 요소에 상대적으로 정렬 및 분리가능하게 고정되며, 상기 유체 엘보 부품의 포트 중의 하나는 매니폴드 부품에 연결된다.
각쌍의 유체 연결 부품 사이에 틈새가 존재하고, 상기 유체 전달 시스템은 각쌍의 유체 연결 부품 사이에 퍼지 (purge) 부품을 더 포함하며, 이 퍼지 부품은 둘 이상의 포트를 가지며 이들 포트 중의 하나는 상기 매니폴드 부품에 연결된다.
상기 유체 전달 시스템은 유체 연결 요소 중의 하나를 고정하고 정렬하며, 상기 로케이터 정렬 요소 보다 작은 로케이터 단부 부품을 포함한다.
또한, 본발명은 유체 전달 시스템으로서 장착 구조물, 이 장착 구조물에 고정된 3개 이상의 로케이터 요소, 3쌍 이상의 유체 연결 부품 및 복수의 매니폴드 부품을 포함하고, 상기 각 쌍의 유체 연결 부품은 입구 및 배출 포트와 이들 포트를 서로 연결하는 유체 소통로를 가지며, 상기 각 쌍의 유체 연결 부품은 각 로케이터 요소에 의해 고정되고 정렬되며, 각 매니폴드 부품은 유체 연결 부품의 가장 먼 두 포트를 연결하는 선과 교차하는 중앙선을 갖는 매니폴드 통로를 갖고, 또한 상기 3개의 로케이터 요소중 어느 것도 제거함이 없이 제거가능한 유체 전달 시스템을 제공한다.
본발명에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하겠다.
도 1 은 본발명의 일실시형태에 따른 유체 전달 시스템의 1 열의 요소의 사시도이다.
도 2 는 유체 전달 시스템의 일부를 형성하는 많은 로케이터 정렬 크레이들 (locator alignment cradle) 중의 하나의 사시도이다.
도 3 은 유체 전달 시스템의 일부를 형성하는 다수의 유체 연결 블록 중의 하나의 사시도이다.
도 4 는 x 축방향으로 신장하는 열과 y 축방향으로 신장하는 열을 서로 연결하는데 사용되는 시스템의 부가적인 요소의 사시도이다.
도 5 는 유체 전달 시스템의 일부를 형성하는 유체 T-부품의 사시도이다.
도 6 은 유체 전달 시스템의 일부를 형성하는 퍼지 부품의 사시도이다.
도 7 은 유체 전달 시스템의 일부를 형성하는 로케이터 단부 부품의 사시도이다.
도 8 은 도 5 의 유체 T-부품 대신 사용되는 유체 T-부품의 사시도이다.
도 9 는 도 5 의 유체 T-부품 대신 사용되는 다른 유체 T-부품의 사시도이다.
도 10 은 도 6 의 퍼지 부품 대신 사용되는 퍼지 부품의 사시도이다.
도 11 은 유체 전달 시스템의 일부를 형성하는 플랜지 (flange) 부품 형성부의 사시도이다.
도 12 는 도 11 의 플랜지 부붚과 함께 사용되는 플랜지 요소의 사시도이다.
도 13 은 유체 연결 블록 열의 단부에 사용할 수 있는 엘보 (elbow) 부품의 사시도이다.
도 14 는 도 13 의 엘보 부품 대신 사용되는 엘보 부품의 사시도이다.
도 15 는 도 13 의 엘보 부품 대신 사용되는 엘보 부품의 사시도이다.
도 16 은 유체 전달 시스템에 더 포함되는 요소, 특히 도 7 의 로케이터 단부 부품의 배치를 나타내는 사시도이다.
도 17 은 조립이 완료된 유체 전달 시스템의 사시도이다.
도 1 은 본발명에 따른 일열의 유체 운반, 또는 가스 매니폴드, 시스템 (10) 을 나타내며, 이 시스템은 바닥 장착 플레이트 (12), 3개의 로케이터 정렬 크레이들 (14), 6개의 로케이터 조임 스크루 (16), 3개의 유체 연결 블록 (18), 6개의 시일 (20), 3개의 유체 제어 요소 (22) 및 12개의 요소 조임 스크루 (24) 를 포함한다.
상기 바닥 장착 플레이트 (12)에는 6개의 크레이들 장착 개구 (26) 가 형성되어 있다. 6개의 너트 (28) 가 바닥 장착 플레이트 (12) 의 바닥면에 용접되어 있다. 각각의 너트 (28) 는 나사 구멍을 가지며, 이는 상기 각각의 크레이들 장착 개구 (26) 와 정렬되어 있다.
도 2 에 따르면, 각각의 로케이터 정렬 크레이들 (14) 은 바닥부 (30) 와 4개의 고정 및 정렬 기둥 (32) 을 갖는다. 이 정렬 기둥 (32) 은 상기 바닥부의 네 코너로부터 거리 (34) 로 상방향으로 신장되어 있으며, x 축방향으로는 거리 (36) 으로, y 축방향으로는 거리 (38) 로 떨어져 있다. 두개의 바닥 플레이트 장착 개구 (40) 가 상기 바닥부 (30) 에 형성된다. 또한, 6개의 연결 블록 정렬 개구 (42) 가 상기 바닥부 (30) 에 형성된다. 각각의 나사 요소 장착 개구 (44) 가 각각의 정렬 기둥 (32) 의 상면에 형성된다.
도 1 에 따르면, 로케이터 정렬 크레이들 (14) 은 상기 바닥 장착 플레이트 (12) 상에서 x-축방향으로 일열로 위치되고, 각각의 바닥 플레이트 장착 개구 (40) 는 각각의 크레이들 장착 개구 (26) 와 정렬되어 있다.
그 후, 각각의 로케이터 조임 스크루 (16) 는 각각의 바닥 플레이트 장착 개구 (40) 와 크레이들 장착 개구 (26) 안으로 삽입되고, 이어서 너트 (28) 에 결합된다. 이에 의해 로케이터 정렬 크레이들 (14) 은 바닥 장착 플레이트 (12) 에 고정된다. 보수를 위해 로케이터 정렬 크레이들 (14) 을 제거할 필요가 거의 없다고 하더라도, 몇몇의 로케이터 정렬 크레이들 (14) 을 제거하거나 또는 모듈 방식으로 로케이터 정렬 크레이들 (14) 을 재정렬할 목적으로 로케이터 조임 스크루 (16) 를 풀어 상기 로케이터 정렬 크레이들 (14) 을 제거할 수 있다.
도 3 을 참조하면, 유체 연결 블록 (18) 중의 하나는 z-축방향의 높이 (48), x-축방향의 길이 (50) 및 y-축방향의 폭 (52) 을 갖는다. 입구 및 배출 포트 (54) 가 유체 연결 블록 (18) 의 상면 (56) 에 형성된다. 통로 (60) 가 단부면 (62) 에 형성되며, 포트 (54) 들의 하단부와 연통한다. 이 통로 (60) 는 상기 단부면 (62) 에서 폐쇄된다. 이에 의해 유체 연결 통로가 상기 포트 (54) 를 형성하는 개구의 하단부 및 통로 (60) 에 의해 함께 형성된다. 따라서, 가스는 한 포트 (54) 안으로 유입해서 상기 유체 연결 블록 (18) 을 통과하여 다른 포트 (54)를 통해 방출된다. 4개의 크레이들 정렬 핀 (64) 이 유체 연결 블록 (18) 의 하면에 세워져 있다.
도 1 을 참조하면, 유체 연결 블록 (18) 은 로케이터 정렬 크레이들 (14) 에 삽입된다. 죄측의 유체 연결 블록 (18) 은 좌측의 로케이터 정렬 크레이들 (14) 에 배치되는 좌측부가 있으며, 중앙의 로케이터 정렬 크레이들 (14) 에 배치되는 우측부를 갖는다. 중앙에 있는 유체 연결 블록 (18) 은 중앙 및 우측에 있는 로케이터 정렬 크레이들 (14) 에 의해 함께 고정된다. 각각의 유체 연결 블록 (18) 의 폭 (도 3 의 52) 은 y-축방향의 거리 (도 2 의 38)와 일치하고, 유체 연결 블록 (18) 이 y-축방향의 운동 및 x-y 평면에서 Z 축을 중심으로 θ 의 각도의 운동을 하지못하도록 로케이터 정렬 크레이들 (14) 에 의해 규정된다. 또한, 크레이들 정렬 핀 (도 3 의 64) 은 연결 블록 정렬 개구 (도 3 의 42) 와 결합하여 y-축방향 및 θ 의 각도로 유체 연결 블록 (18) 이 운동하는 것을 더 방지한다. 크레이들 정렬 핀 (64) 과 연결 블록 정렬 개구 (42) 가 서로 결합되면, x-축 방향으로 상기 유체 연결 블록이 (18) 이 상대적으로 가까워지거나 멀어지게 슬라이딩되는 것이 또한 방지되며, 따라서 서로 인접한 유체 연결 블록 (18) 사이에 틈새 (68) 가 유지된다. 따라서, 유체 연결 블록 (18) 은 포트들이 x-축방향으로 일열 (70) 로 정렬된 상태로 또한 사이에 상기 틈새 (68) 가 존재하는 상태로 서로에 대해 배치된다.
도 4 는 유체 전달 시스템의 부가적인 요소를 나타내며, 부가적인 로케이터 정렬 크레이들 (14) 및 부가적인 유체 연결 블록 (18) 을 포함한다. 이 부가적인 로케이터 정렬 크레이들 (14) 및 유체 연결 블록 (18) 은 도 1 에서 도시된 것처럼 x-축방향으로는 신장하나 y-축방향으로 서로 인접하게 배치되는 열을 따라 장착된다.
유체 전달 시스템 (10) 은 T-부품 (74), 매니폴드 부품 (76) 및 퍼지 부품 (78) 을 포함한다.
도 5 를 참조하면, 상기 유체 T- 부품 (74) 은 x-축방향으로 길이 (80) 를 가지며, 이 길이는 도 3 의 유체 연결 블록 (18) 의 길이 (50) 에 도 1 의 틈새 (68) 의 길이를 합한 것과 같다. 입구 및 배출 포트 (54) 뿐만 아니라 유체 T-부품 (74) 은 y-축방향으로 신장하는 제 3 포트 (82) 도 갖는다. 이 제 3 포트 (82) 는 유체 T-부품 (74) 의 입구 및 배출 포트 (54) 와 유체 소통 가능하게 연결된다. 예를들어, 가스는 z-축의 아래 방향으로 유체 T-부품 (74) 의 입구 및 배출 포트 (54) 안으로 유입하여, y-축 방향으로 제 3 포트 (82) 밖으로 흐를 수 있다.
도 4 를 참조하면, 매니폴드 (76) 는 제 3 포트 (86) 에 연결되고 상기 유체 T-부품 (74) 과 멀어지는 y-축방향으로 신장된다. 도 6 을 참조하면, 퍼지 부품 (78) 은 그 상면에서 하나의 포트 (54) 를 갖고, 이 포트로부터 y-축방향으로 신장하는 부가적인 포트 (84) 를 갖는다. 퍼지 부품 (78) 의 포트 (54 및 84) 는 서로 유체 소통 가능하게 연결되며, 따라서 예컨데 밖으로 가스가 y-축방향으로 부가 포트 (84) 안으로 유입하여 z-방향으로 퍼지 부품 (78) 의 포트 (54) 밖으로 방출될 수 있다. 이 퍼지 부품 (78) 은 도 1 의 틈새 (68) 와 실질적으로 같은 폭 (88) 을 갖는다. 도 4 를 참조하면, 퍼지 부품 (78) 는 부가 포트 (84) 가 매니폴드 부품 (76) 에 연결된다.
매니폴드 부품(76) 및 퍼지 부품 (78) 과 함께 유체 T-부품 (74) 은 아래방향으로 상기 로케이터 정렬 크레이들 (14) 에 삽입될 수 있다. 유체 T- 부품 (74) 은 크레이들 (14) 위에서 상기 유체 연결 블록 (18) 보다 위로 더 신장한다는 점을 제외하고는 상기 유체 연결 블록 (18) 과 동일한 방식으로 2개의 크레이들 (14) 상에 고정된다. 매니폴드 부품 (76) 은 틈새 (도 1 의 68) 를 통해 신장한다. 매니폴드 부품 (76) 은 위에서 봤을때 중앙 열 (7) 과 교차하는 중심선을 갖는다. 퍼지 부품 (78) 은 두 유체 연결 블록 (18) 의 틈새에 삽입된다. T-부품 (74) 의 입구 및 배출 포트 (54) 는 한 열 (70) 에 배치되며, 퍼지 부품 (78) 의 포트 (54) 는 다른 열 (70) 에 배치된다.
도 1 을 참조하면, 시일 (20) 은 포트 (54) 각각에 배치되며, 그 후 유체 제어 요소 (22) 는 유체 연결 블록 (18) 위에 배치된다. 각각의 유체 제어 요소 (22) 는 4개의 크레이들 장착 개구 (92) 를 가진 각각의 플랜지 (90) 를 갖는다. 상기 요소 (22) 의 크레이들 장착 개구 (92) 는 각 로케이터 정렬 크레이들 (14) 의 요소 장착 개구 (44) 위에 배치된다. 각각의 요소 고정 스크루 (24) 가 각각의 크레이들 장착 개구 (92) 를 통해 삽입되고 요소 장착 개구 (44) 에 나사 결합되어, 각 유체 제어 요소 (22) 를 각 로케이터 정렬 크레이들 (14) 에 고정시키고 2개의 시일 (20) 을 압축한다. 상기 유체 제어 요소 (22) 는 로케이터 정렬 크레이들 (14) 처럼 일열로 배치된다. 서로 인접한 유체 제어 요소 (22) 는 각각의 유체 연결 블록을 통해 유체 소통 가능하게 서로 연결된다. 따라서, x-축방향의 열을 따라 배치된 유체 제어 요소 (22) 는 도 1 에 도시된 요소를 사용하여 유체 소통 가능하게 서로 연결 배치될 수 있다. 도 4 를 참조하면, 유체 T-부품 (74), 매니폴드 부품(76) 및 퍼지 부품 (78) 은 y-축방향으로 서로 떨어져 있는 다른 열에 있는 유체 제어 요소를 서로 유체 소통 연결가능하도록 배치하는데 사용될 수 있다.
본발명의 이점은 유체 전달 시스템 (10) 의 보수가 용이하다는 점이다. 예를들어, 매니폴드 부품 (76) 위에 배치된 어떤 유체 제어 부품을 간단히 제거한 다음에, 유체 T-부품 (74) 및 퍼지 부품 (78) 과 함께 매니폴드 부품 (76) 를 상기 로케이터 정렬 크레이들 (14) 밖으로 들어올려서 매니 폴드 부품 (76) 을 교체할 수 있다. 따라서, 매니폴드 부품 (76) 의 중심선이 열 (70) 중의 하나와 교차하더라도 매니폴드 부품 (76) 의 교체를 위하여 어떤 로케이터 정렬 크레이들 (14) 또는 유체 연결 블록 (18) 도 제거할 필요가 없다.
도 7 ~ 15 는 유체 전달 시스템 (10) 을 만드는데 사용되는 요소를 더 나타내며, 이는 완성의 목적으로 나타낸 것이다. 도 7 은 2개의 기둥 (98) 만을 갖는 로케이터 단부 부품 (96) 을 나타낸다. 로케이터 단부 부품 (96) 은 x-축방향의 길이 (100) 를 가지며, 이 길이는 로케이터 정렬 크레이들 (14) 의 x-축방향의 길이 (102) 보다 작다. 도 16 에서 도시된 것처럼, 상기 로케이터 단부 부품 (96) 은 예를들어, 로케이터 정렬 크레이들 (14) 열의 인접 단부에 사용될 수 있으나, x-축방향의 공간을 절약하기 위해 로케이터 정렬 크레이들 (14) 의 부가적인 기둥은 갖지 않는다.
도 9 는 제 3 포트 (108) 가 상기 제 3 포트 (82) 와 반대 방향으로 신장된다는 점을 제외하고는 도 5 의 유체 T-부품 (74) 과 동일한 유체 T-부품 (106) 을 나타낸다. 도 8 는 서로 반대방향으로 신장되는 제 3 및 제 4 포트 (112 및 114) 를 갖는다는 점을 제외하고는 도 5 의 유체 T-부품 (74) 과 동일한 유체 T-부품 (110) 을 나타낸다. 도 5, 8 및 9 의 유체 T-부품을 조합하면 가스가 위, 아래 또는 y-축의 양방향으로 전달될 수 있는 모듈형 설계가 가능하다.
도 10 은 도 6 의 퍼지 부품 (78) 의 포트 (54 및 84) 외에도 상기 포트 (84) 와 반대방향으로 신장하는 부가적인 포트 (116) 가 제공된다는 점을 제외하고는 도 6 의 퍼지 부품 (78) 과 동일한 퍼지 부품 (120) 을 나타낸다. 따라서, 이러한 퍼지 부품 (120) 은 y-축상에서 그 위 및 아래 양방향의 유동을 가능하게 한다.
도 11 은 z-축방향 및 x-축방향 사이의 유동을 변경하는데 사용되는 플랜지 부품 (122) 을 나타내고, 이는 주로 열의 끝에 배치된다. 도 12 는 예를들어 외부 가스원에 연결할 목적으로 x-축방향의 직접적인 유동이 가능하게 도 11 의 플랜지 연결 부품 (122) 과 함께 사용될 수 있는 플랜지 연결부 (124) 를 나타낸다.
도 13 ~ 15 는 각각 엘보 부품 (130, 132 및 134) 를 나타낸다. 엘보 부품 (130, 132 및 134) 은 주로 특정의 열의 끝에 배치된다. 각각의 엘보 부품 (130, 132 및 134) 은 그 상면에서 단일 포트 (54) 를 갖고 있어서, x-축방향의 유동이 종결된다. 포트 (136) 는 y-축방향으로 엘보 부품 (130, 132 또는 134) 의 안팎으로의 유동을 가능하게 한다.
도 16 및 17 은 유체 전달 시스템 (10) 의 최종 조립품이다. 도 17 에 도시된 것처럼 완전히 조립된 경우, 유체 전달 시스템 (10) 은 조절기, 질량 유동 제어기, 필터 및 압력 변환기를 포함하여 x-축 및 y-축 배열로 서로 연결된 다양한 유체 제어 요소 (22) 를 포함한다.
본발명의 다른 실시형태는 가스 외의 액체와 같은 유체를 흐르게 하는데 사 용될 수 있다. 유체 전달 시스템의 요소들은 서로 다른 시일링 계면을 사용하는 서로 다른 설계의 유체 제어 요소를 수용하기 위하여 크기와 형상이 서로 다르게 조절될 수 있다. 완성된 유체 전달 시스템은 매니폴드 부품을 포함할 필요가 없으며 일열의 로케이터 정렬 크레이들, 유체 연결 부품 및 유체 제어 요소를 포함한다.
지금까지 첨부된 도면을 참조하여 예시적인 실시형태에 대해 설명하였지만, 이는 단지 설명을 위한 것이고 이에 한정되는 것은 아니며, 또한 당업자에게는 본발명의 변형이 가능하므로 본발명은 본명세서에서 설명하는 구체적인 구조 및 정렬에 한정되는 것은 아니다.

Claims (15)

  1. 유체 전달 시스템으로서,
    장착 구조물, 이 장착 구조물에 고정되는 복수 열의 로케이터 정렬 요소, 복수 열의 유체 연결 부품 및 길이 방향이 이 유체 연결 부품의 열을 가로지르는 복수의 매니폴드 부품을 포함하고,
    상기 각각의 유체 연결 부품은 입구 및 배출 포트와 이들 포트들을 서로 연결하는 유체 소통로를 가지며, 상기 각각의 유체 연결 부품은 쌍을 지어 배열되고, 각각의 쌍은 유체 연결 부품의 각 열에서 서로 인접하게 배치되는 2개의 유체 연결 부품을 포함하며, 각 쌍의 유체 연결 부품은 각 로케이터 정렬 요소에 의해 분리가능하도록 고정되고 서로 상대적으로 정렬되며,
    상기 1 이상의 매니폴드 부품은 한쌍의 유체 연결 부품의 가장 먼 포트들을 연결하는 중심선과 교차하는 중심선을 갖는 매니폴드 통로를 가지며, 또한 각 쌍의 유체 연결 부품을 고정하는 로케이터 정렬 요소를 상기 장착 구조물로부터 제거함이 없이 제거가능한 유체 전달 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 로케이터 정렬 요소는 세트로 배열되고, 각각의 세트는 로케이터 정렬 요소의 각 열에서 서로 인접하게 배치된 두개의 로케이터 정렬 요소를 포함하고, 각각의 유체 연결 부품은 각 세트의 양 로케이터 정렬 요소에 의해 고정되는 유체 전달 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서, 각 쌍의 유체 연결 부품 사이에 틈새가 존재하며, 상기 매니폴드 부품은 상기 쌍을 고정하는 로케이터 정렬 요소로부터 그 쌍을 제거함이 없이 상기 틈새로부터 제거가능한 유체 전달 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 로케이터 정렬 부품을 상기 장착 구조물에 제거가능하게 조이는 복수의 로케이터 정렬 패스너를 포함하는 유체 전달 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 유체 정렬 요소는 크레이들인 유체 전달 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서, 각각의 크레이들은 x,y 및 x-y 평면에서 z 축을 중심으로 한 각도 θ 방향으로 각 쌍의 유체 연결 부품의 운동을 방지하는 유체 전달 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 유체 소통로 및 매니폴드 통로를 통해 서로 유체 소통 가능하게 연결되어 배치되는 복수의 유체 제어 요소를 포함하는 유체 전달 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 유체 제어 요소 중의 하나는 한쌍의 상기 연결 부품 중의 하나의 배출 포트와 연결된 입구 통로 및 상기 한쌍의 연결 부품 중의 다른 하나의 입구 포트와 연결된 배출 통로를 갖는 유체 전달 시스템.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 유체 제어 요소는 밸브, 조절기, 질량 유동 제어기, 필터 및 압력 변환기 중의 하나 이상을 포함하는 유체 전달 시스템.
  10. 제 1 항에 있어서, 각각의 유체 연결 부품의 포트는 상기 각각의 유체 연결 부품의 같은 측에 배치되는 유체 전달 시스템.
  11. 제 1 항에 있어서, 3개 이상의 포트 및 이들 모든 포트를 서로 연결하는 1 이상의 유체 소통로를 갖는 1 이상의 유체 T-부품을 포함하고, 이 유체 T-부품은 상기 로케이터 정렬 요소 중의 하나에 상대적으로 정렬 및 분리가능하게 고정되고, 상기 유체 T-부품의 포트 중의 하나는 상기 매니폴드 부품에 연결된 유체 전달 시스템.
  12. 제 1 항에 있어서, 상기 유체 전달 시스템은 2 이상의 포트 및 이 양 포트를 서로 연결하는 1 이상의 유체 소통로를 갖는 1 이상의 유체 엘보 부품을 포함하고, 상기 유체 엘보 부품은 상기 로케이터 정렬 요소에 상대적으로 정렬 및 분리가능하게 고정되고, 상기 유체 엘보 부품의 포트 중의 하나는 매니폴드 부품에 연결되어 있는 유체 전달 시스템.
  13. 제 1 항에 있어서, 각쌍의 유체 연결 부품 사이에 틈새가 존재하고, 상기 유 체 전달 시스템은 각쌍의 유체 연결 부품 사이에 퍼지 부품을 더 포함하며, 이 퍼지 부품은 둘 이상의 포트를 가지고, 이들 포트 중의 하나는 상기 매니폴드 부품에 연결되는 유체 전달 시스템.
  14. 제 1 항에 있어서, 유체 연결 요소 중의 하나를 고정하고 정렬하며 상기 로케이터 정렬 요소 보다 작은 로케이터 단부 부품을 포함하는 유체 전달 시스템.
  15. 유체 전달 시스템으로서,
    장착 구조물, 이 장착 구조물에 고정된 3개 이상의 로케이터 요소, 3쌍 이상의 유체 연결 부품 및 복수의 매니폴드 부품을 포함하고,
    상기 각 쌍의 유체 연결 부품은 입구 및 배출 포트와 이들 포트를 서로 연결하는 유체 소통로를 가지며, 상기 유체 연결 부품의 각각의 쌍은 유체 연결 부품의 각 열에서 서로 인접하게 배치되는 2개의 유체 연결 부품을 포함하고,
    상기 각 쌍의 유체 연결 부품은 각 로케이터 요소에 의해 고정되고 정렬되며,
    각 매니폴드 부품은 유체 연결 부품의 가장 먼 두 포트를 연결하는 선과 교차하는 중심선을 갖는 매니폴드 통로를 갖고, 또한 상기 3개의 로케이터 요소중 어느 것도 제거함이 없이 제거가능한 유체 전달 시스템.
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