TW531616B

TW531616B - Modular fluid delivery apparatus

Info

Publication number: TW531616B
Application number: TW91103478A
Authority: TW
Inventors: Nhan V Nguyen
Original assignee: Asml Us Inc
Priority date: 2001-03-06
Filing date: 2002-02-26
Publication date: 2003-05-11
Also published as: SG102660A1; JP2002372181A; US20020050299A1; KR100441045B1; EP1239203A1; US6729353B2; CN1177162C; CN1374474A; KR20020071762A

Description

531616 A7 __B7_ 五、發明説明（1) 發明之領域本發明係關於一種用於輸送流體至工具之裝置，尤指一種用於輸送流體至工具之模組化裝置。發明之背景用於輸送流體至工具之系統具有各種不同應用。例如 ’在某些半導體製造過程所使用之化學蒸敷技術，需要將流體輸送至一快速熱處理（rapid thermal process，簡稱 RTP)反應器。流體必須在很特定狀況下輸送至rTP反應，器。此等特定流體狀況係使用一種流體輸送系統所達成，其在輸送流體至RTP反應器前，將流體運送至若干流體處理組件。此等流體處理組件一般測量或調整在流體輸送系統內之流體之特徵。代表性流體輸送系統經常予以修改及更新，很多此等修改需要將流體輸送系統拆卸及重新組裝成一種不同構形。因此，流體輸送系統必須可高度適應。人們曾將流體輸送系統模組化，試圖增加其適應性。模組化流體輸送系統一般包括許多獨立之模組，其可彼此聯接與及與流體處理組件聯接。模組及流體處理組件各包括一個或多個通道，其在組裝流體輸送系統時彼此對準。通道之對準形成一延長之溝道通過流體輸送系統。在流體輸送至工具前，延長之溝道用以將流體運送至流體處理組件。很多模組化流體輸送系統需要大量之各種模組，以便本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X29>7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

531616 經濟部智慈財產局員工消費合作杜印製 A7 ___B7五、發明説明（2) 保有其適應性。大數量之模組常與維修流體輸送系統之增加複雜性具有關聯。而且，大量之模組可能與由於必須經常儲存備用模組，以便適當維修流體輸送系統而增加之儲存成本具有關聯。而且，大量之模組顯著促成增加流體輸送系統之總重量。與模組化流體輸送系統關聯之另一挑戰，爲防止在相鄰模組之間或在一模組與一流體處理組件間之流體洩漏。洩漏係藉在相鄰模組之間及/或在一模組與一相鄰流體處理組件之間形成密封予以防止。此等密封已知隨時間而損壞。必須常常暫時移除或甚至更換在流體輸送系統內之模組，以便重新形成密封。在必須移除或更換模組時，先前模組化輸送系統曾呈現相當大挑戰。例如，很多模組化流體輸送系統在可更換單一模組前，需要移除大部份之模組，及/或在可移除單一模組前，將整個流體輸送系統拆卸。因此，在此等模組化流體輸送系統，簡單之改變可能很耗費時間，並因之很昂貴。另外，必須移動之模組之數，及造成此等修改所需要之延長時間，可能導致流體輸送系統之污染。爲以上原因，目前需要一種模組化流體輸送系統，其容許容易接近，移除及/或改變模組。也需要一種減低系統污染機會之模組化輸送系統。另外，需要一種模組化輸送系統，其保有適應性，而有較少之模組。另外，需要一種模組化輸送系統，其需要較少之模組，因此減低成本，並使系統之重量最小。 ---------#.-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -5- 531616 A7 B7 五、發明説明（3) 發明之槪述 -------1>--4-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於一種流體輸送裝置，用於運送流體至一個或多個流體處理組件。流體輸送裝置包括一個或多個模組化子組件，每一子組件包括一上模組，一下模組，及一基塊。上模組包括一個或多個上通道，並予以構形爲與一流體處理組件聯接，致使上通道與流體處理組件流體相通。下模組包括一個或多個下通道，並予以構形爲與上模組聯接，致使下通道與上通道流體相通。下模組可包括許多流動溝道，每一流動溝道包括一下通道。基塊包括一容器及一溝道。上模組予以容納在容器內，並且下模組延伸通過溝道。模組化子組件可包括一隔板，具有許多對準孔徑，供使上及下模組之流體聯接進出口對準。本案也揭示一種使用流體輸送裝置之方法。附圖之簡要說明

--I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製圖1爲一模組化流體輸送系統，與在一根據本發明之流體輸送裝置以上面對準之各種不同流體處理組件組合之部份分解透視圖，該模組化流體輸送裝置包括在剖面所示之上模組，隔板，下模組及基塊。圖2爲圖1之基塊設置成二列之透視剖面圖。圖3爲各由一個或多個流動溝道之一部份所形成，安裝在圖2之基塊之下模組之透視剖面圖。圖4爲一在圖1中所示流動溝道及對應托座之放大詳本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210'〆29?公釐） -6 - 531616 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（4) 細透視圖。圖5爲安裝在圖2之基塊之隔板及下模組之透視剖面圖6爲安裝在圖2之基塊之上模組，隔板及下模組之透視剖面圖。圖7爲一在圖6中所示模組化子組件之分解透視圖，包括與流體處理組件組合之一上模組，隔板，下模組及基塊。圖8爲相似於圖7之部份分解透視圖，但示模組化子組件組.裝完成。圖9爲相似於圖7及8之透視圖，但示子組件與閥組件組裝完成。圖1〇爲與圖8中所示者相似之另一模組化子組件，與圖8中所示之流體處理組件組合，在剖面之部份分解透視圖。圖11爲圖1及6中所示之另一模組化子組件，與圖 1中所示之另一流體處理組件組合，在剖面之部份分解透視圖。圖1 2爲圖6中所示第一上模組之放大詳細透視圖。圖1 3爲圖6中所示第二上模組之放大詳細透視圖。圖14爲圖6及1 3中所示第二上模組底部之放大詳細透視圖。圖1 5爲圖6中所示第三上模組之放大詳細透視圖。圖1 6爲圖6中所示第四上模組之放大詳細透視圖。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂線 I · 531616 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5) 圖1 7爲圖6中所示第五上模組之放大詳細透視圖。圖1 8爲與圖6中所示者相似之第六上模組之放大詳細透視圖。元件表 5〇流體輸送裝置 51 流體處理組件 51a 圖1中見有此圖號，但文中未見提及 52 流體輸送系統 55 模組化子組件 55a 圖6中見有此圖號，但文中未見提及 55c 圖7，8中見有此圖號，但文中未見提及 56 上模組 56a 上模組 56b 上模組 56c 上模組 56d 上模組 56e 上模組 56f 上模組 59 下模組 60 基塊 61 扁平表面 64 表面安裝孔徑 65 緊固件 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 8- 531616 A7 B7 五、發明説明（6) 經濟部智慧財產局員工消f合作社印裝 68 基塊溝道 69 橫向側面 70 流動溝道 70a 流動溝道 71 下通道 71a 圖3，6中見有此圖號，但文中未見提及 73 上模組聯接進出口 74 進口 /出口聯接進出口 75 緊固件 77 托座 78 托座緊固件 79 隔板 82 容器 83 內壁 84 底壁 85 頂面 86 對準孔徑 87 分度凹槽 88 上通道 91 下模組聯接進出口 92 流體處理組件進出口 94 底側 94a 底側 95 頂側 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 531616 A7 B7 五、發明説明（7) 95a 頂側 95c 圖7中見有此圖號，但文中未見提及 96 子組件孔徑 97 子組件孔徑 98 子組件緊固件 1〇1 有螺紋鏜孔 104 組裝緊固件 105 組件組裝鏜孔 106 有螺紋基塊組裝鏜孔 107 有螺紋上模組組裝鏜孔 108 底部溝道表面 109 組件墊片 109a圖11中見有此圖號，但文中未見提及 110 組件密封裝置 113 組件墊片凹座 114 通道密封裝置或墊片 115 通道墊片凹座 117 包殼進出口詳細說明本發明係關於用以將流體運送至一個或多個流體處理組件或工具之輸送裝置。流體輸送裝置包括許多基塊，其在流體處理組件或工具可安裝及流體連接在其上之表面形成一基層。流體輸送裝置也包括許多上模組，許多隔板，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -------·--戈-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -口

經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 -10- 531616 A7 _B7 五、發明説明（8 ) 及許多下模組，其均予以容納在各別基塊內，以形成一使供連接至各流體處理組件之適應性最大，同時使供連接至各流體處理組件所需要裝置組件之數量數量及種類最少之流體輸送裝置。上模組，隔板，下模組，基塊，及流體處理組件予以聯接在一起，以形成一流體輸送系統。上模組，下模組，及流體處理組件包括流體通道，其在組裝系統時彼此對準。此等通道之對準造成一個或多個延長之溝道通過上模組，下模組，及流體處理組件。在流體輸送系統操作之期間，在流體輸送至工具前，可通過延長之溝道至每一流體處理組件。供在延長之溝道內使用之適當流體，爲可流動材料，諸如氣體，液體，及/或氣體/ 液體組合。在組裝流體輸送裝置時，在上模組及下模組內之通道不是終止在一個或多個位於一上模組之水平頂面之向上流體進出口，就是終止在一個或多個位於靠近一基塊之橫向側面之橫向流體進出口。向上流體進出口提供至流體處理組件流體相通。橫向流體進出口提供流體輸送系統之進口或出口流體溝道，供與一流體源或流體排氣裝置連接。根據本發明之流體輸送裝置，予以構形爲致使一流體處理組件可容易自一對應模組子組件，亦即一對應上模組 ’隔板，由一個或多個流動溝道之一部份所形成之下模組及基塊移除，即使在模組化子組件仍保持組裝時。再者，本發明之基塊予以構形爲致使相鄰基塊之橫向側面不需要彼此實際接觸。此構形方便對流體輸送裝置之微小變化，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -11 - 531616 A7 B7 五、發明説明（9) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 例如，更換一單一模組子組件，而不必拆卸一大量之模組及/或流體處理組件。特別是’因爲相鄰模組不需要彼此接觸，一單一模組子組件，包括一單一基塊，可自流體輸送裝置移除，而不必移除相鄰基塊。能容易修改流體輸送裝置，也減低系統污染之機會。特別是，根據本發明之流體輸送裝置可快速修理或修改。因之，本發明之流體輸送裝置減少爲供修理或修改，而可能發生系統污染之時間。另外，如以上所提及，根據本發明之流體輸送裝置之修改，經常涉及減少數量之模組。在修改所涉及減少數量之模組，減少污染源之數量，並因之減低污染之總體機會。圖1例示供將各種流體處理組件5 1流體聯接在一起，以形成一流體輸送系統52之流體輸送裝置50之分解圖。流體輸送裝置50包括許多模組化子組件55。每一模組化子組件55通常包括一上模組56，一下模組59，及一基塊。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製形成流體輸送系統52之適當流體處理組件5 1，包括 (但不限於）噴嘴，進口，出口，壓力計，壓力調節器，壓力變換器，濾波器，淨化器，混合閥，氣動閥，手動操作閥，止回閥，流量計及質量流量控制器，以及其他控制及計量組件。在操作時，流體輸送裝置50將操作流體處理組件5 1所需要之流體，供運送至流體處理組件5 1及/或自其運送流體。基塊60通常予以構形爲位於靠近一扁平表面61，並本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 29<7公釐） -12- 531616 A7 B7 五、發明説明（1〇) 可任選與扁平表面6 1確切聯接，以使每一基塊6 0及對應模組化子組件5 5相對於扁平表面6 1穩定。例證性扁平表面61包括（但不限於）桌面及機械，諸如在半導體製造所使用之機械。請予察知，扁平表面無需爲水平，並可對水平延伸成一角度，或代之爲可實際垂直延伸。每一基塊60包括許多表面安裝孔徑64，如圖2中所示，緊固件65通過其將基塊60固著至扁平表面61。緊固件65任選爲有螺紋緊固件，並可用以將每一基塊可釋放式固著至扁平表面61。請予察知，可使用其他適當緊固件。例如，基塊可包括定位銷，其予以容納在位於扁平表面之合作定位鏜孔。其他緊固件可包括螺帽，螺栓，螺釘及其他適當緊固裝置。如圖3中所示，每一基塊60包括一個或多個基塊溝道68。根據本發明之所例示之基塊60包括四橫向側面69 及對應於基塊60之四橫向側面之四基塊溝道68。基塊溝道68向上開啓，因此允許安裝下模組59，同時將基塊60 固著至扁平表面61。請予察知，基塊60可具有其他形狀及構形。例如，代替具有四橫向側面69，基塊可具有六橫向側面，從而許多基塊可設置成一種蜂窩構形。在此種構形，每一基塊可包括六基塊溝道，供每一橫向側面各一。如圖3中所示，下模組5 9包括一個或多個流動溝道 70，每一流動溝道70有一延伸通過之下通道7 1。每一流動溝道70之下通道71終止在一個或多個上模組聯接進出本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） -------：--^-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -13- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 531616 A7 B7 五、發明説明（11) 口 73，及/或終止在進口 /出口聯接進出口 74。上模組聯接進出口 73實際垂直延伸，並且進口 /出口聯接進出口 74 實際水平延伸，然而，請予察知，可使用其他幾何結構。例如，可將一進口 /出口聯接進出口構形爲平行延伸至上 .模組聯接進出口 7 3。上模組聯接進出口及/或進口 /出口聯接進出口可代之爲相對於扁平表面61成銳角延伸。進出口 73及74任選具有習知之管接頭，諸如Swagelok Company of Solon，〇hio所製造之微型管接頭。請予察知，也可使用其他流體管接頭及管接頭裝置，以流體連接進出口 73 及 74 。爲在相鄰子組件55之間並通過相鄰基塊60提供流體相通，將一流動溝道70插入二相鄰基塊60之基塊溝道 68，致使流動溝道70自一基塊之基塊溝道68向外延伸進入相鄰基塊之基塊溝道68，藉以使二相鄰基塊60以一種致使橫跨二對應及相鄰上模組56之方式延伸。爲在流體輸送裝置50與一流體輸送源或排氣裝置之間提供流體相通，將一流動溝道70a插入一基塊60之基塊溝道6 8，致使流動溝道7 0 a自基塊溝道6 8向外延伸，並終止在進口 /出口聯接進出口 74。一有螺紋進口 /出口聯接進出口緊固件7 5或其他適當裝置，用以選擇性使進口 / 出口聯接進出口 74與流體輸送源或排氣裝置貼接。在此情況，一托座77將流動溝道70a可釋放式固著至基塊60 。一緊固件78可用以將托座77可釋放式固接至基塊60 之一橫向側面69。托座緊固件78任選爲有螺紋，然而，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " -14 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

531616 A7 B7 五、發明説明（12) 請予察知，可使用其他適當緊固件，包括銷，螺帽，螺栓，螺釘，及其他適當緊固裝置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如圖5中所示，將一隔板79插入在基塊60之一頂面 85下面，由每一基塊60之內壁83及底壁84所形成之容器8 2內。相似於以上所討論之基塊溝道6 8，容器8 2向上開啓，因此允許安裝下模組之流動溝道70，70a，以及隔板7 9及上模組5 6 ’即使在基塊6 0固著至扁平表面6 1 時。隔板79包括一個或多個對準孔徑86，供使上模組聯接進出口 73相對於基塊60適當對準。所例示之隔板79 包括四對準孔徑86，其在數量上對應於在每一基塊60之基塊溝道6 8之數量。請予察知，對準孔徑之實際數可有所不同’例如，在一各別基塊有六橫向側面之情形，隔板可包括六對準孔徑。如果如此希望，隔板可代之爲包括僅只一，二，三或較多對準孔徑。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製隔板79爲實際圓筒形，其與基塊容器82者互補。請予察知，隔板79及基塊容器82可具有其他幾何結構。例如，隔板及容器可具有互補之正方形或矩形，其也將會提供裝置，使流動溝道相對於基塊適當對準。隔板及容器可代之爲具有互補之三角形，五角形，或六角形，特別是在基塊分別具有三，五，或六橫向側面之情形。隔板79任選包括分度凹槽87，其與位於基塊容器82 內之分度花鍵或尖端合作。分度凹槽87方便隔板79在容器82內相對於基塊60對準，其復在組裝模組子組件55 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 公釐） 531616 A7 B7 五、發明説明（13) 時，方便流動溝道70相對於基塊60及上模組56對準。如圖6中所示，將一上模組5 6插入在之隔板7 9上面之容器82內。因爲容器82向上開啓，上模組56可容易安裝及自基塊容器82移除，即使在基塊60固著至扁平表面61時。上模組56包括一個或多個上通道88。每一上通道88 終止在一個或多個下模組聯接進出口 9 1及/或終止在一個或多個流體處理組件進出口 92。如圖6中所示，上通道 88任選自一底側94延伸至上模組56之一頂側95。上通道88之實際數量及構形，將會依各別流體處理組件51之實際構形及必須與流體處理組件5 1流體相通之流動溝道 70之數量而有所不同。例如，圖6示若干類型之上模組 56，56a，56b，56c，及56d，其各包括一，二，三，或四通道8 8之一種特殊構形。請予察知，相同參考圖號曾用以說明本發明之相同組件。如圖7中所示，上模組5 6 c及隔板7 9各分別包括一個或多個子組件孔徑96及97。一個或多個子組件緊固件 9 8分別延伸通過上模組5 9及隔板7 9之孔徑9 6及9 7，並進入基塊60，以將上模組56c及隔板79可釋放式固著至基塊60。緊固件98較佳爲一有螺紋緊固件，其與一位於基塊容器82之底壁84之有螺紋鏜孔ιοί合作。而且，請予察知，可使用其他適當緊固件及緊固裝置。當轉動緊固件98將上模組56c對隔板79及基塊60 上緊時，下模組59之每一流動溝道70安置抵靠上模組 ^氏張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 装. 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16- 531616 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（μ) 56，並且可釋放式固著在上模組56c與基塊60之間。隔板79任選成尺寸及成構形爲致使緊固件98之過度上緊不可能損壞形成在上模組聯接進出口 73與下模組聯接進出口 9 1間之流體接合。如圖7-9中所示，流體輸送裝置50另包括一個或多個組裝緊固件1 04，供將一流體處理組件5 1附著至一各別模組化子組件55。組裝緊固件104任選爲一有螺紋緊固件，其通過一組件組裝鏜孔1 05，並與一位於基塊60 之頂面85之有螺紋基塊組裝鏜孔106合作。除了或代替基塊組裝鏜孔106外，一上模組，例如上模組56a，可包括一有螺紋上模組組裝鏜孔107，一緊固件104予以螺接在其中。而且，請予察知，可使用其他適當緊固件及緊固裝置。雖然所例示基塊之頂面85及底面具有實際扁平表面，但基塊可任選具有形狀，輪廓及/或質地。例如，基塊容器之頂壁可具有一種與隔板之底側互補之輪廓。輪廓可聯鎖，以在任一基塊與隔板之間提供一種確切把握。流體輸送裝置50可拆卸及可重新組裝，以提供具有一種不同構形之流體輸送裝置50，或改變配合流體輸送裝置50所使用之流體處理組件5 1，藉以提供具有不同構形之流體輸送系統52。請參照圖7-9，可使用各種不同方法，供將流體輸送裝置50組裝在一扁平表面6 1。在一種根據本發明之方法，利用四緊固件65將基塊60附著至扁平表面61。使每一緊固件65通過一在基塊60之無螺紋本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. -訂_ -線· -17- 531616 A7 B7 五、發明説明（15) 孔徑64 ’並且然後容納在一在扁平表面6丨之有螺紋孔徑。一緊固件65 —經容納在有螺紋孔徑，可轉動緊固件65 ，以便將基塊60在扁平表面61上緊及鬆開。無螺紋孔徑64予以錐口，因而在基塊60上緊至至扁平表面61時，緊固件65之頂部位於與基塊60之溝道68之底面108 —般高或在其下面。緊固件65相對於基塊60之此定位，允許下模組之流動溝道70位於緊鄰基塊60之底部溝道表面108。適當基塊60在扁平表面6 1上面之定位後，將下模組之適當流動溝道70，70a插入各別基塊溝道68。其次，將隔板79插入每一基塊60之每一容器82，藉以使每一流動溝道之上模組聯接進出口 73相對於基塊60對準。其次，將適當上模組56c插入隔板79上面之每一容器，並藉四子組件緊固件98固著至基塊60。使每一子組件緊固件98通過一在上模組56c之無螺紋孔徑96，通過一在隔板79之無螺紋孔徑97，並如圖7中所示，容納在一在基塊60上之有螺紋孔徑101。可轉動緊固件65，以便將上模組56c對隔板79及基塊60 上緊。上模組56c之無螺紋孔徑96任選相對於上模組5 6c之上表面96予以錐口，因此允許流體處理組件51 位於緊鄰上模組56c之頂側95。上模組56c —經在定位，使用四組裝緊固件1 04使流體處理組件5 1與適當模組子組件55聯接。使組裝緊固件 1 04在流體處理組件5 1通過一無螺紋孔徑1 05，並且然後本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）；--#-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -5-0.

I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 531616 A7 B7 五、發明説明（16) 如圖7中所示，容納在一在基塊60上之有螺紋孔徑1 〇6 。然後可轉動緊固件1 04，將流體處理組件5 1相對於模組化子組件5 5上緊或鬆開。可任選在流體處理組件5 1與子組件55聯接前，使組件墊片1 09位於流體處理組件5 1與子組件55之間。墊片 109可自許多適當材料造成，包括（但不限於）一種金屬，諸如3 1 6L不銹鋼，及適合流體處理及/或淸潔房間使用之其他材料。墊片109可包括一個或多個，或如所例示，三個別組件密封裝置110，諸如一 0-環或其他適當裝置。另外，組件密封裝置110可獨立於墊片109。如圖7中所示，上模組56c之頂側95包括一組件墊片凹座113，位於靠近流體處理組件進出口 92。組件墊片凹座11 3有一形狀構形爲供容納組件密封裝置110。同樣，如圖7中所示，在上模組56c與基塊60聯接前，一通道密封裝置或墊片114可位於上模組56c與每一流動溝道70，70a之間。通道密封裝置114可自許多材料造成，包括（但不限於）一種金屬，諸如31 6L不銹鋼’及適合流體處理及/或淸潔房間使用之其他材料。通道密封裝置任選爲一 0-環。如圖14中所示，上模組56a之底側 94包括一墊片凹座，位於靠近流體處理組件進出口 92。一個或多個通道墊片凹座11 5位於上模組56之底側94，並具有一種供容納通道密封裝置11 4之形狀。在轉動組裝緊固件1 〇4，藉以將流體處理組件5 1對上模組56c上緊時，密封裝置被壓縮。密封裝置之此種壓本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 531616 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（17) 縮在流體處理組件5 1與上模組5 6 c之對應流體進出口以及上模組56c之對應流體進出口與下模組之流動溝道70 ’ 7 0a之間形成一密封。請予察知，可使用其他類型之墊片，密封及密封裝置。請予察知，本發明之流體輸送裝置可代之予以構形爲致使不需要使用墊片，密封裝置，及/ 或其他密封裝置。另外，基塊不需要有螺紋孔徑供組裝模組化子組件。例如，流體處理組件，上模組，及基塊可包括無螺紋孔徑，其在流體輸送裝置組裝時彼此對準。可使一子組件緊固件通過在流體處理組件，上模組，隔板，及基塊之對準無螺紋孔徑，並進入一在扁平表面6 1之有螺紋孔徑。在扁平表面6 1之孔徑也可代之爲之無螺紋，在該情形，使一螺栓通過在流體處理組件，上模組，隔板，基塊，及扁平表面之對準無螺紋孔徑，並藉一螺帽對其可釋放式固著。以上關於組裝及拆卸流體輸送裝置5 0之討論，係僅供例證性目的。組裝及拆卸流體輸送裝置之方法可有所不同。例如，每模組子組件緊固件之數量不限於四，並可少至一。而且’根據本發明，設若基塊予以設計並構形爲致使基塊溝道使流動溝道相對於上模組對準，則不需要使用隔板。可代之爲使用一種修改之隔板，供在上模組及/或下模組加熱流體通道。例如，隔板可設有一薄膜加熱器結合至其頂面及/或底面，俾依希望施加熱至上模組及/或下模組。如以上所提及，上通道88之實際數量及構形，將會 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂線_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -20 - 531616 A7 _B7_ 五、發明説明（叫 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 依各別流體處理組件5 1之實際構形及必須與流體處理組件5 1流體相通之流動溝道70之數量而有所不同。在根據圖1 0中所示本發明之一種實施例，上模組56e爲相似於圖6中所例示之上模組，但具有一種修改之上通道構形。請予察知，相同參考圖號曾用以說明本發明之相同組件。上模組56e包括上通道88，其自在直徑相對之上模組聯接進出口 73，73延伸，通過上模組56e，並至在直徑相對之流體處理組件進出口 92，92。位於中央之流體處理組件包殻進出口 11 7不延伸通過上模組56e，或與任何流動溝道70之下通道71 相通。因此，包殻進出口 11 7有效密封一在流體處理組件 5 1之對應流體進出口。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製圖11示一組裝完成之模組化組件5 5，包括也在圖5 中所示之上模組56，有二上通道88，其自在直徑相對之下模組化聯接進出口 91延伸，通過上模組56，並至二流體處理組件聯接進出口 92，其一爲在上模組56之頂側95 位於中央。圖14中也例示上模組56。圖11也例示流體輸送裝置之適應性，在其中組裝完成之模組化子組件55 示爲準備供附著至一不同類型之流體處理組件5 1，亦即一閥組件。圖13示一也在圖5中所示之上模組56a，有一單一上通道88，其自一下模組化聯接進出口 9 1延伸，通過上模組56a，並至一在上模組56a之頂側95a位於中央之流體處理組件聯接進出口 92。圖14示上模組56a之底側本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 531616 A7 _____B7 五、發明説明（I9) 94a ° 圖15示一有三上通道88之上模組56b。一上通道88 自〜下模組化聯接進出口 9 1延伸，通過上模組56b，並至〜第一位於中央之流體處理組件聯接進出口 9 2。二其餘上通道自第二及第三相鄰下模組化聯接進出口 9 1延伸，通過上模組56b，並至一靠近第一位於中央進出口之單一流體處理組件聯接進出口 92。圖16示一有四上通道88之上模組56c，上模組56c 之一第一及一第二上通道88分別自一第一及一第二在直徑相對之下模組聯接進出口 9 1延伸，通過上模組56c，並至一第一位於中央之流體處理組件聯接進出口 92。第三及第四上通道88自第三及第四在直徑相對之下模組聯接進出口 91延伸至位於靠近第一位於中央之進出口之第二及第三流體處理組件聯接進出口 92。請予察知，二相鄰下模組聯接進出口可流體連接至一單一流體處理組件聯接進出口。在圖5中也示上模組56c。圖17示一有三上通道88之上模組56d，各自一第一，第二及第三下模組化聯接進出口 9 1延伸，通過上模組 5 6d，並至一第一位於中央之流體處理組件聯接進出口 92 ，及二相鄰但在直徑相對之流體處理組件聯接進出口 92 。在圖5中也示上模組56d。圖18示一有三上通道88之上模組56f，相似於上模組5 6b，然而，上模組56f爲上模組56b之鏡像。上模組 56f之一上通道88自下模組化聯接進出口 91延伸，通過本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22- 531616 A7 B7 五、發明説明（2〇) 上模組56f，並至一第一位於中央之流體處理組件聯接進出口 9 2。二其餘上通道自一第二及第三相鄰下模組化聯接進出口 91延伸，通過上模組56f，並至一靠近第一位於中央之進出口之單一處理組件聯接進出口 92。供上模組56，隔板/19，流動溝道70，及基塊60之適當材料，包括（但不限於）不銹鋼諸如316L VIM/VAR。因爲隔板及基塊不接觸流體，隔板79及基塊60也可自其他材料諸如塑膠，金屬包括鋼，鋁，及各種不同合金，鐵氟龍（teflon)，以及選擇爲使加權製造成本最少之其他適當材料製成。請予察知，在某些半導體製造過程使用流體輸送裝置50時，上模組56，隔板79，流動溝道70，及基塊60較佳爲以淸潔房間相容之材料所形成。基塊60通常具有長度約1-2吋，寬度約1-2吋及高度約1 - 3吋。上模組5 6通常具有直徑約1 - 2吋及高度約 1 /4至1 /2吋。同樣，隔板79通常具有直徑約1 -2吋及高度約1/4至lV2吋。流動溝道通常爲U-形或L-形狀，並且通常具有長度1-2吋及高度約1/2至1]/2吋。然而此等形狀及尺寸可大爲不同。例如，流動溝道之形狀可包括 V-形狀，I-形狀，形狀，及其他適當幾何結構。再者，可改變基塊之長度，以容納具有異常幾何結構之基座之流體處理組件。.同樣，可改變上模組，以容納具有間距異常遠之流體進出口之流體處理組件。供通道之適當寬度包括 (但不限制於）約1/8至1/4吋，及更特別約爲0.18吋。流體進出口可包括一將行位於上模組與對應流體處理組件間本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ----------^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T -線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -23- 531616 A7 一 —_B7____ 五、發明説明（21) 之標準C-密封，及一將行位於相鄰流體處理組件間之1/4 吋端面密封墊片。雖然本發明業經參照較佳實施例及以上詳述之實例予以揭示，但請予瞭解，此等實例預計爲在一種例證性而非限制性意義，因爲吾人擬想精於此項技藝者將會容易想出種修改及組合，該等修改及組合將爲在後附申請專利範圍之本發明之精神及範圍以內。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -24-

Claims

531616 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 1 1. 一種用於運送流體至一個或多個流體處理組件之流體輸送裝置，該裝置包含：一上模組包括一上通道，上模組構形爲與一流體處理組件相聯接，致使該上通道與流體處理組件成流體相通，一下模組包括一下通道，下模組構形爲與上模組相聯接，致使下通道與上通道成流體相通；以及一基塊，包括一容器及一溝道，上模組容納在容器內，並且下模組延伸通過溝道。 2. 如申請專利範圍第1項之流體輸送裝置，其中該上模組槪呈圓筒形。 3. 如申請專利範圍第1項之流體輸送裝置，其中上模組另包含具有一扁平部份的頂側，其構形爲定位於一流體處理組件之扁平表面下方。 4. 如申請專利範圍第1項之流體輸送裝置，其中下模組之頂側予以構形爲位於靠近上模組之底側。 5. 如申請專利範圍第1項之流體輸送裝置，其中上模組另包括許多上通道，每一上通道終止在一位於上模組底側之下模組聯接進出口，該下模組另包括許多流動溝道，每一流動溝道包括一終止在一位於每一下模組頂側之上模組聯、_出口之下通道，每一上模組‘聯接進出口流體連接至該模組聯接進出口之一各別者。 6. ^專利範圍第5項之流體輸送裝置，裝置另包含一隔1>，有許多對準孔徑使下模組之每一·上模組化聯接進出口與上模組之一各別下模組化聯接進出口對準。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 装· 、1T 線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -25- 531616 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 2 7. 如申請專利範圍第5項之流體輸送裝置，另包含至少一流動溝道，終止在一水平延伸之橫向進出口。 8. 如申請專利範圍第7項之流體輸送裝置，另包含一托座，供將至少一流動溝道固著至基塊。 9. 如申請專利範圍第1項之流體輸送裝置，其中基塊及上模組各包括一子組件孔徑，成大小爲容納一延伸通過上模組進入下模組之緊固件。 10. 如申請專利範圍第9項之流體輸送裝置，其中基塊子組件孔徑予以作成有螺紋，以容納一有螺紋緊固件。 11. 如申請專利範圍第1項之流體輸送裝置，其中基塊予以構形爲可釋放式固著至一扁平表面。 1 2.如申請專利範圍第1項之流體輸送裝置，該裝置另包含許多基塊及許多上模組，每一上模組容納在一各別基塊。 1 3 .如申請專利範圍第1 2項之流體輸送裝置，其中每一基塊包括一有一扁平部份之橫向側面，其容許每一基塊位於靠近另一基塊。 14.如申請專利範圍第1項之流體輸送裝置，該裝置另包含一隔板有一對準孔徑’使下模組之下通道與上模組之上通道對準。 · 1 5 .如申請專利範圍第1項之流體輸送裝置，其中圓筒形隔板包括實際圓筒形。 16.如申請專利範圍第1項之流體輸送裝置，其中流體處理組件爲選自由噴嘴’進口’出口’壓力計，壓力調本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -26- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 被· 、1T 線- 531616 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3 節器，壓力變換器，濾波器，淨化器，混合閥，氣動閥，手動操作閥，止回閥.，流量計及質量流量控制器所組成之組類 ·--^ II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 線彳經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -27-