KR101330725B1 - 기화시스템 및 바텀 시스템 - Google Patents

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Abstract

화합물을 기화시키는 기화시스템에 있어서, 화합물의 이동경로를 제공하는 제1유로와 제2유로를 포함하는 바디부, 및 바디부에 탈부착 가능하게 결합될 수 있는 바텀부를 포함하며, 바텀부와 바디부가 결합된 경우, 제1유로와 제2유로는 연통되는 것을 특징으로 기화 시스템이 제공된다.

Description

기화시스템 및 바텀 시스템{VAPORIZING APPARATUS AND BOTTOM SYSTEM}
기화시스템 및 바텀 시스템에 관한 것으로서, 상세하게는, 최소한의 크기로 최대한의 기화동작을 수행할 수 있고, 열손실을 최소화시키고, 그리고 용접산화물이 바디부나 바텀부에 잔존하지 않도록 하는 기화시스템 및 바텀 시스템에 관한 것이다.
기화시스템은 액체 케미컬을 기화시키는 장치이며, 다양한 형태로 제조되어 산업분야에 활용되고 있다. 한편, 용접형으로 기화시스템을 제조하는 경우에는 스테인리스스틸의 산화를 일으킬 수 있고, 그러한 산화물은 반도체 공정에서 특히 파티클 문제를 유발할 수 있다.
본 발명적 개념의 하나 이상의 실시예에 따르면, 바텀부를 공통으로 사용함으로써 최소한의 크기로 최대한의 기화동작을 수행할 수 있는 기화 시스템 및 바텀 시스템이 제공될 수 있다.
본 발명적 개념의 다른 하나 이상의 실시예에 따르면, 액체 케미컬이 분사되는 곳과 열이 전달되는 곳이 분리됨으로써 분사된 가스와 증기화된 가스의 혼합이 방지되어 열손실을 최소화시킬 수 있는 기화 시스템 및 바텀 시스템이 제공될 수 있다.
본 발명적 개념의 다른 하나 이상의 실시예에 따르면, 바텀부와 바디부가 서로 각각 분리되어 제조되고 조립됨으로써 용접산화물이 바디부나 바텀부에 잔존하지 않도록 하는 기화 시스템 및 바텀 시스템이 제공될 수 있다.
본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따르면, 화합물을 기화시키는 기화시스템에 있어서, 화합물의 이동경로를 제공하는 제1유로와 제2유로를 포함하는 바디부; 및 상기 바디부에 탈부착 가능하게 결합될 수 있는 바텀부;를 포함하며, 상기 바텀부와 상기 바디부가 결합된 경우, 상기 제1유로와 상기 제2유로는 연통되는 것을 특징으로 하는 기화 시스템이 제공될 수 있다.
상기 바텀부는 제1개구부, 및 제1개구부와 연통된 제2개구부를 포함하며, 상기 바텀부와 상기 바디부가 탈부착 가능하게 결합되는 경우, 상기 제1개구부는 상기 제1유로와 연통되고, 상기 제2개구부는 상기 제2유로와 연통되는 것일 수 있다.
상기 바텀부는, 상기 제1개구부 및 상기 제2개구부와 화합물이 흐를 수 있도록 연통된 배출부;를 더 포함하는 것일 수 있다.
상기 배출부는 개방 또는 폐쇄가능한 형태로 구성되는 것일 수 있다.
상기 바디부는, 화합물을 유입받는 유입부; 및 화합물을 유출하는 유출부;를 더 포함하며, 상기 유입부는 상기 제1유로와 화합물이 흐를 수 있도록 연통되어 있고, 상기 유출부는 상기 제2유로와 화합물이 흐를 수 있도록 연통되어 있는 것일 수 있다.
본 예시적 시스템은, 상기 바텀부는 적어도 1개 이상의 돌출부를 더 포함하며, 상기 바디부는 적어도 1개 이상의 오목부를 더 포함하며, 상기 돌출부는 상기 오목부와 탈부착 가능하게 결합되는 것일 수 있다.
본 발명적 개념의 다른 예시적 실시예에 따르면, 화합물의 이동경로를 제공하는 제1유로와 제2유로를 포함하는 바디부를 가진 제1기화장치에 탈부착 가능하게 결합되는 제1 바텀부;를 포함하며, 상기 제1기화장치와 상기 제1 바텀부가 탈부착 가능하게 결합된 경우, 상기 제1유로와 상기 제2유로는 서로 연통되는 것일 수 있다.
본 예시적 실시예는, 상기 제1기화장치에 탈부착 가능하게 연결될 수 있는 제2 바텀부;를 더 포함하며, 상기 제1기화장치와 상기 제2바텀부가 탈부착 가능하게 결합된 경우, 상기 제1유로와 상기 제2유로는 상기 제2 바텀부에 의해 상기 화합물이 흐를 수 있도록 연통되는 것일 수 있다.
상기 제1바텀부는 제1개구부, 및 제1개구부와 화합물이 흐를 수 있도록 연통된 제2개구부를 포함하고, 상기 제1바텀부와 상기 제1기화장치가 탈부착가능하게 결합된 경우, 상기 제1개구부는 상기 제1유로와 연통되고, 상기 제2개구부는 상기 제2유로와 연통되는 것일 수 있다.
본 예시적 실시예는, 상기 제1바텀부는 제1배출부;를 더 포함하며, 상기 제1배출부는 상기 제1개구부 및 상기 제2개구부와 화합물이 흐를 수 있도록 연통된 것일 수 있다.
상기 제1배출부는 개방 또는 폐쇄될 수 있는 것일 수 있다.
본 예시적 실시예는, 화합물의 이동경로를 제공하는 제3유로와 제4유로를 포함하는 바디부를 가진 제2기화장치에 탈부착 가능하게 결합되는 제3바텀부;를 더 포함하며, 상기 제2기화장치와 상기 제3바텀부가 탈부착 가능하게 결합되면, 상기 제3유로와 상기 제4유로는 연통되는 것일 수 있다.
상기 제3바텀부는 제3개구부, 및 제3개구부와 화합물이 흐름 소통되도록 연통된 제4개구부를 포함하고,
상기 제3바텀부와 상기 제2기화장치가 탈부착가능하게 결합된 경우, 상기 제3개구부는 상기 제3유로와 연통되고, 상기 제4개구부는 상기 제4유로와 연통되는 것일 수 있다.
본 발명적 개념의 하나 이상의 실시예에 따르면, 바텀부를 공통으로 사용함으로써 최소한의 크기로 최대한의 기화동작을 수행할 수 있다. 또한, 액체 케미컬이 분사되는 곳과 열이 전달되는 곳이 분리됨으로써 분사된 가스와 증기화된 가스의 혼합이 방지되어 열손실을 최소화시킬 수 있다. 또한, 바텀부와 바디부가 서로 각각 분리되어 제조되고 조립됨으로써 용접산화물이 바디부나 바텀부에 잔존하지 않도록 할 수 있다.
도 1은 본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따른 기화 시스템을 설명하기 위해서 제공되는 도면,
도 2는 본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따른 바텀 시스템을 위에서 바라본 도면,
도 3은 본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따른 바텀 시스템에 기화 장치가 탈부착가능하게 장착된 모습을 나타낸 도면,
도 4는 본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따른 바텀 시스템에 기화 장치가 장착되는 모습을 나타낸 도면이고, 그리고
도 5는 본 발명적 개념의 다른 예시적 실시예에 따른 바텀 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시 예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시 예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 게재될 수도 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다' 및/또는 '포함하는'은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
본 명세서에서 하나의 구성요소가 다른 구성요소와 '연결된다'는 표현은 상기 구성요소들 간의 직접적 연결을 의미할 뿐 아니라 다른 제3의 구성요소를 매개로 한 간접적 연결도 포함한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다. 아래의 특정 실시 예들을 기술하는데 있어서, 여러 가지의 특정적인 내용들은 발명을 더 구체적으로 설명하고 이해를 돕기 위해 작성되었다. 하지만 본 발명을 이해할 수 있을 정도로 이 분야의 지식을 갖고 있는 독자는 이러한 여러 가지의 특정적인 내용들이 없어도 사용될 수 있다는 것을 인지할 수 있다. 어떤 경우에는, 발명을 기술하는 데 있어서 흔히 알려졌으면서 발명과 크게 관련 없는 부분들은 본 발명을 설명하는 데 있어 혼돈이 오는 것을 막기 위해 기술하지 않음을 미리 언급해 둔다.
도 1은 본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따른 기화 시스템을 설명하기 위해서 제공되는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따른 기화 시스템은 바디부(10) 및 이 바디부(10)에 탈부착 가능하게 결합되는 바텀부(50)를 포함할 수 있다.
본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따른 바디부(10)는, 화합물을 유입받는 유입부(17), 유입부(17)와 연결되어 유입부(17)로 유입받은 화합물의 이동경로를 제공하는 제1유로(11), 및 화합물을 유출하는 유출부(19), 유출부(19)와 연결되어 화합물의 이동경로를 제공하는 제2유로(13)를 포함한다.
바텀부(50)와 바디부(10)가 탈부착가능하게 연결된 경우, 제1유로(11)와 제2유로(13)는 화합물이 흐를 수 있도록 서로 소통될 수 있다. 즉, 제1유로(11)상에 흐르는 화합물을 바텀부(50)를 통해서 제2유로(13)로 이동될 수 있다.
본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따른 바텀부(50)는 제1개구부(59), 제1개구부(59)와 화합물이 흐름 소통되도록 연결된 제2개구부(55), 및 배출부(53)를 포함한다. 여기서, 제1개구부(59)와 제2개구부(55)는 서로 연통되어 있고, 배출부(53) 역시 제1개구부(59) 및 제2개구부(55)와 서로 연통되어 있다.
본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따른 바텀부(50)가 바디부(10)와 탈부착 가능하게 결합된 경우, 제1유로(11)와 제2유로(13)는 서로 연통될 수 있다. 예를 들면, 바텀부(50)와 바디부(10)가 탈부착 가능하게 결합되면, 제1유로(11)와 제1개구부(59)가 서로 연통되어 화합물이 이동할 수 있고, 제2유로(13)와 제2개구부(55)가 서로 연통되어 화합물이 이동할 수 있다. 여기서, 제2유로(13)는 통상 기화를 위해서 가열되며, 이러한 가열 구성은 본 발명적 개념이 속하는 기술분야의 자라면 누구라도 용이하게 적용할 수 있는 기술이므로 그 상세한 설명은 생략하기로 한다. 다만, 본원 명세서에서 명시적으로 기술되지는 않았지만, 그러한 가열구성이 본 발명의 다른 예시적 실시예에 채택되어 구현될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
도 1을 계속 참조하면, 바텀부(50)는 적어도 1개 이상의 돌출부(14)를 포함하며, 바디부(10)는 적어도 1개 이상의 오목부(15)를 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 바텀부(50)와 바디부(10)가 탈착 가능하게 결합될 때, 돌출부(14)는 오목부(15)로 삽입되는 형태로 구성될 수 있다. 또한, 도 1의 예시적 실시예에 따르면 오링(63)이 게재되어 바텀부(50)와 바디부(10)가 탈착 가능하게 결합되며, 이로써 물질이 외부로 유출되는 것을 막을 수 있다.
배출부(53)는 개방 또는 폐쇄될 수 있으며, 이를 위해서 배출부(53)에 개방 또는 패쇄를 위한 밸브가 추가적으로 장착될 수 있다.
본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따르면, 바텀부(50)와 바디부(10)가 탈부착 가능한 상태로 결합되어 사용될 수 있으며, 세정시에는 바텀부(50)와 바디부(10)를 분리하여 세정하는 것이 가능하다. 또는 세정용 물질을 유입부(17)로 주입하고 유출부(19)를 막고 배출부(53)를 개방시켜서 세정할 수 있다. 또는 제정용 물질을 유입부(17)와 유출부(19)로 동시에 주입하고 배출부(53)를 개방시켜서 세정할 수 있다. 다르게는 세정용 물질을 유출부(19)에서 주입하고, 유입부(17)를 막고 배출부(53)를 개방시켜서 세정할 수 있다.
본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따르면, 바텀부(50)와 바디부(10)가 탈부착 가능한 상태로 결합하고, 기화동작을 시작하기 전에 세정하는 동작도 가능하다. 세정방법은 위에 상술한 바와 같은 방법으로 가능할 것이다.
도 2는 본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따른 바텀 시스템을 위에서 바라본 도면, 도 3은 본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따른 바텀 시스템에 기화 장치가 탈부착가능하게 장착된 모습을 나타낸 도면이다.
이들 도면을 참조하면, 바텀 시스템(100)은 복수의 바텀부를 포함할 수 있으며, 예를 들면 도 1에 도시한 바텀부들을 복수개 포함할 수 있다. 여기서, 복수의 바텀부들은 각각 서로 같은 치수를 가질 수도 있고, 서로 다른 치수를 가질 수 도 있다. 이는 다양한 치수의 바디부(10)들을 장착하여 사용하기 위함이다. 각각의 바텀부에는 바디부(10)들이 각각 탈부착 가능하게 결합될 수 있으며, 각각 독립적으로 사용될 수 있다.
도 4는 본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따른 바텀 시스템에 기화 장치가 장착되는 모습을 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 바텀 시스템(100)에 바디부(10)가 장착되는 모습을 모식적으로 나타낸다. 바텀 시스템(100)은 복수개의 바텀부를 포함하며, 바텀부는 각각 바디부(10)에 대응되어 탈착 가능하게 결합될 수 있다. 여기서, 각각의 바텀부에는 서로 동일 또는 서로 상이한 바디부(10)가 탈부착 가능하게 결합되어 사용될 수 있다. 바텀부와 바디부(10)가 결합되어 화합물이 연통되는 동작은 도 1의 원리와 동일하므로, 여기서는 생략하기로 한다.
도 5는 본 발명적 개념의 다른 예시적 실시예에 따른 바텀 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 참조하면, 본 발명적 개념의 다른 예시적 실시예에 따른 바텀 시스템(200)은 서로 내부적으로 연통되는 바텀부들을 복수개 포함할 수 있다. 도 5에서, 화살표 점선으로 표시한 것은 내부적으로 서로 연통됨을 나타낸다.
따라서, 도 5와 같은 바텀 시스템(200)에 다수의 바디부들을 탈착 가능하게 장착하고, 각각의 바디부들에 공통적으로 화합물을 공급하고, 기화시켜서 배출하는 것이 가능하다. 세정시에도, 하나의 배출부(253)를 개방하고 각각의 바디부들이 가지는 유출부 및/또는 유입부로 세정용 물질을 주입할 수 있을 것이다.
상기와 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
10: 바디부 50: 바텀부
55, 59, 255a, 255b,255c,255d,255e,259a, 259b, 259c, 259d, 259e: 개구부
11: 제1유로 13: 제2유로
17: 유입부 19: 유출부
53, 253: 배출부 100, 200: 바텀 시스템

Claims (13)

  1. 화합물을 기화시키는 기화시스템에 있어서,
    화합물의 이동경로를 제공하는 제1유로와 제2유로를 포함하는 바디부; 및
    상기 바디부에 탈부착 가능하게 결합될 수 있는 바텀부;를 포함하며,
    상기 바텀부와 상기 바디부가 결합된 경우, 상기 제1유로와 상기 제2유로는 연통되며,
    상기 바텀부는 제1개구부, 제1개구부와 연통된 제2개구부, 및 상기 제1개구부 및 상기 제2개구부가 화합물이 흐를수 있도록 연통된 배출부를 포함하며,
    상기 바텀부와 상기 바디부가 탈부착 가능하게 결합되는 경우, 상기 제1개구부는 상기 제1유로와 연통되고, 상기 제2개구부는 상기 제2유로와 연통되는 것을 특징으로 하는 기화 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 배출부는 개방 또는 폐쇄가능한 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 기화 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 바디부는,
    화합물을 유입받는 유입부; 및
    화합물을 유출하는 유출부;를 더 포함하며,
    상기 유입부는 상기 제1유로와 화합물이 흐를 수 있도록 연통되어 있고,
    상기 유출부는 상기 제2유로와 화합물이 흐를 수 있도록 연통되어 있는 것을 특징으로 하는 기화 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 바텀부는 적어도 1개 이상의 돌출부를 더 포함하며,
    상기 바디부는 적어도 1개 이상의 오목부를 더 포함하며,
    상기 돌출부는 상기 오목부와 탈부착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기화 시스템.
  7. 화합물의 이동경로를 제공하는 제1유로와 제2유로를 포함하는 바디부를 가진 제1기화장치에 탈부착 가능하게 결합되는 제1 바텀부;를 포함하며,
    상기 제1기화장치와 상기 제1 바텀부가 탈부착 가능하게 결합된 경우, 상기 제1유로와 상기 제2유로는 서로 연통되며,
    상기 제1바텀부는 제1개구부, 제1개구부와 화합물이 흐를 수 있도록 연통된 제2개구부, 제1개구부 및 제2개구부와 화합물이 흐를 수 있도록 연통된 제1배출부를 포함하고,
    상기 제1바텀부와 상기 제1기화장치가 탈부착가능하게 결합된 경우, 상기 제1개구부는 상기 제1유로와 연통되고, 상기 제2개구부는 상기 제2유로와 연통되는 것을 특징으로 하는 바텀 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1기화장치에 탈부착 가능하게 연결될 수 있는 제2 바텀부;를 더 포함하며,
    상기 제1기화장치와 상기 제2바텀부가 탈부착 가능하게 결합된 경우, 상기 제1유로와 상기 제2유로는 상기 제2 바텀부에 의해 상기 화합물이 흐를 수 있도록 연통되는 것을 특징으로 하는 바텀 시스템.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제7항에 있어서,
    상기 제1배출부는 개방 또는 폐쇄될 수 있는 것을 특징으로 하는 바텀 시스템.
  12. 제7항에 있어서,
    화합물의 이동경로를 제공하는 제3유로와 제4유로를 포함하는 바디부를 가진 제2기화장치에 탈부착 가능하게 결합되는 제3바텀부;를 더 포함하며,
    상기 제2기화장치와 상기 제3바텀부가 탈부착 가능하게 결합되면, 상기 제3유로와 상기 제4유로는 연통되는 것을 특징으로 하는 바텀 시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제3바텀부는 제3개구부, 및 제3개구부와 화합물이 흐름 소통되도록 연통된 제4개구부를 포함하고,
    상기 제3바텀부와 상기 제2기화장치가 탈부착가능하게 결합된 경우, 상기 제3개구부는 상기 제3유로와 연통되고, 상기 제4개구부는 상기 제4유로와 연통되는 것을 특징으로 하는 바텀 시스템.
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