CN217050314U - Cvd配气接头组件安装用轨道托盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了CVD配气接头组件安装用轨道托盘，涉及小型的CVD(气相沉积)系统技术领域，解决现有不能更换和安装不同长度反应管道的技术问题，包括第一配气接头组件和第二配气接头组件，所述第一配气接头组件和所述第二配气接头组件之间可拆卸连接有反应管，所述反应管的下方两侧均设置有直线圆柱导轨，两个所述直线圆柱导轨上设置有沿所述直线圆柱导轨来回移动的托板盘，每个所述托板盘的上部均设置有至少一个用于支撑对应配气接头组件的支撑限位机构；本实用新型可根据不同的反应管的长度调节两个托板盘上相靠近的支撑限位机构之间的间距，方便根据不同反应管的长度调节和安装。

Description

CVD配气接头组件安装用轨道托盘

技术领域

本实用新型涉及小型的CVD(气相沉积)系统技术领域，更具体的是涉及CVD(气相沉积)接头安装技术领域。

背景技术

化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。对于小型的CVD(气相沉积)系统，一般是通过一个进气口充入一种或几种气体，然后气体穿过石英管的时候将材料蒸汽或者裹挟的粉尘带到目标基体上去。

对于小型的CVD(气相沉积)系统，会有一些多次更换石英管的需求，现有的更换支撑件不能更换和安装不同长度反应管道；其次，现有的石英管与标准件按需搭配，存在结构冗大，无用结构太多，送样不平稳；再者，现有技术粉末和基材是要从石英管端口进入石英管正中间，进样和出样时，需要不停的将进气组件和出气组件从石英管上拆卸下来，每次更换对于非专业人士，如果每次拆卸石英管，石英管就会很容易损坏；此外，现有的反应管道不能被快速降温。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决上述现有技术不能更换和安装不同长度反应管道的技术问题，本实用新型提供CVD配气接头组件安装用轨道托盘。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：CVD配气接头组件安装用轨道托盘，包括第一配气接头组件和第二配气接头组件，所述第一配气接头组件和所述第二配气接头组件之间可拆卸连接有反应管，所述反应管的下方两侧均设置有直线圆柱导轨，两个所述直线圆柱导轨端部之间均设置有固定板，两个所述直线圆柱导轨上设置有沿所述直线圆柱导轨来回移动的托板盘，每个所述托板盘的上部均设置有至少一个用于支撑对应配气接头组件的支撑限位机构。

工作及使用过程：使用时，根据反应管的长度调节两个托板盘之间的距离，即两个托板盘上相靠近的支撑限位机构之间的间距，先将第一配气接头组件固定在其中一个托板盘上部的的支撑限位机构上，再将第二配气接头组件固定在另一个托板盘上部的支撑限位机构上，固定板用于连接和固定两个直线圆柱导轨，通过水平对称的两个直线圆柱导轨，沿两个直线圆柱导轨来回移动的托板盘，每个托板盘上部的至少一个用于支撑对应配气接头组件的支撑限位机构的设置，可根据不同的反应管的长度调节两个托板盘上相靠近的支撑限位机构之间的间距，再将第一配气接头组件和第二配气接头组件分别固定在对应的支撑限位机构，最后再将反应管连接在第一配气接头组件和第二配气接头组件之间，方便根据不同反应管的长度调节和安装，用途广泛，解决了上述现有技术不能更换和安装不同长度反应管道的技术问题。

本申请的技术方案中，反应管为石英管或陶瓷管。

进一步的，每个所述直线圆柱导轨的底部设置有凸型底座，两个所述底座的端部之间均设置有固定板。

进一步的，所述第一配气接头组件包括位于所述反应管一端可拆卸的第一配气管，与所述第一配气管连通的一个或两个压力传感器接口及与所述第一配气管连通的一个或两个抽气口；所述第二配气接头组件包括位于所述反应管另一端可拆卸的第二配气管及与所述第二配气管连通的进气法兰口和备用法兰口，所述第一配气管和所述第二配气管的内径均与所述反应管的内径相同，且所述第一配气管、所述反应管和所述第二配气管的水平中心轴位于同一直线上。

更进一步的，每个托板盘上均设置有两个支撑限位机构，每个所述支撑限位机构包括支撑板，位于支撑板上部可拆卸的压板，位于支撑板上部中间的第一凹槽及位于所述压板底部中间的第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽形成与所述第一配气管或第二配气管相吻合的通孔；每个所述支撑板中间底部设置有连接孔，所述支撑板中间底部的托板盘上设置有条形孔。

更进一步的，每个所述托板盘底部四周分别设置有与对应所述直线圆柱导轨和所述底座相配合的第一滑槽，至少一个所述第一滑槽上设置有第一限位孔，所述第一限位孔内螺纹连接有第一限位螺栓。

更进一步的，两个托板盘之间设置有沿所述直线圆柱导轨来回移动的马弗炉。马弗炉的设置方便移动至合适位置对反应管加热。

更进一步的，所述马弗炉的底部固定有支撑盘，直线圆柱导轨所在的所述支撑盘的两侧分别设置有至少两个与对应所述直线圆柱导轨和所述底座相配合的第二滑槽。

更进一步的，至少一个所述第二滑槽上设置有第二限位孔，所述第二限位孔内螺纹连接有第二限位螺栓。

更进一步的，马弗炉与托板盘之间的至少一个直线圆柱导轨上设置有与对应直线圆柱导轨和底座相配合的限位滑槽，所述限位滑槽的顶部高于马弗炉的底部。

更进一步的，所述限位滑槽上设置有第三限位孔，所述第三限位孔内螺纹连接有第三限位螺栓。马弗炉一侧的两个直线圆柱导轨上均设置有限位滑槽时，两个限位滑槽水平对称设置。

本实用新型的有益效果如下：

1.可根据不同的反应管的长度调节两个托板盘上相靠近的支撑限位机构之间的间距，再将第一配气接头组件和第二配气接头组件分别固定在对应的支撑限位机构，最后再将反应管连接在第一配气接头组件和第二配气接头组件之间，方便根据不同反应管的长度调节和安装，用途广泛；

2.长条状凸型底座可与其上部的直线圆柱导轨一体成型，方便加工，稳定牢固，固定板用于连接两个底座；

3.从第一配气管和/或第二配气管的远离反应管一端的样品进出口向反应管内送入固体样品，如粉末、基材等，之后将样品进出口密封，打开进气法兰口，从进气法兰口加入气源或蒸发源，之后密封进气法兰口，由于反应管内反应时，需要低气压，从抽气口抽气，其中一个抽气口为大抽数抽量，另外一个抽气口对抽数进行微调，其中一个压力传感器接口接大量程压力传感器，另外一个压力传感器接口接小量程压力传感器，实现对反应管内压力的精确控制和监测，备用法兰口的设置，方便向反应管内加入需要的气源，不用时，将其外部用密封门密封，应用范围广泛；通过反应管一端可拆卸的第一配气管及另一端可拆卸的第二配气管的设置，方便安装，全部为有用结构，结构简单，此外，由于第一配气管和第二配气管的内径均与反应管的内径相同，且第一配气管、反应管和第二配气管的水平中心轴位于同一直线上，使送样平稳；

4.改进后的第一配气管和第二配气管和石英管内径相平，从第一配气管和/或第二配气管的远离反应管一端的样品进出口进出样，不用频繁拆卸石英管，石英管不易破损；

5.每个托板盘上有两个支撑限位机构，两个支撑限位能很好的对配气接头组件起支撑作用，平稳牢固，每个支撑板与对应的压板之间通过螺栓和螺母可拆卸连接，使用时，先将第一配气管或第二配气管置于两个支撑板上部的第一凹槽内，再分别将对应的压板安置在支撑板上，实现对第一配气管或第二配气管的支撑和固定；连接孔与条形孔相配合，通过移动支撑板使连接孔在条形孔上移动，从而微调支撑板的间距，使反应管位于马弗炉上加热槽的最中间，即每次安装能使反应管道能重复定位于马弗炉中心位置，加热均匀；

6.四个第一滑槽带动托板盘在直线圆柱导轨上来回移动，第一限位螺栓带固定螺帽，第一限位螺栓穿过第一限位孔顶紧直线圆柱导轨，对托板盘起限位作用，防止移动，使托板盘能稳定牢固的支撑支撑板；

7.支撑盘在直线圆柱导轨上移动，带动马弗炉在直线圆柱导轨上来回移动，同时第二限位螺栓带固定螺帽，第二限位螺栓穿过第二限位孔顶紧直线圆柱导轨对支撑盘和马弗炉起紧固作用，使马弗炉稳定的对反应管需要加热的部位加热；

8.当反应管在高温下需要迅速降温时，可以将马弗炉移走，同时限位滑槽对马弗炉起止位作用，在移动马弗炉后对马弗炉起限位作用，防止马弗炉移动太远，同时第三限位螺栓带固定螺帽，第三限位螺栓穿过第三限位孔顶紧直线圆柱导轨对限位滑槽起紧固作用，由于反应管反应部位的加热保温源的移走、能使该部位迅速的冷却。

附图说明

图1是本实用新型CVD配气接头组件安装用轨道托盘的立体图；

图2是CVD配气接头组件安装用轨道托盘的正视图；

图3是CVD配气接头组件安装用轨道托盘的右视图；

图4是反应管，第一配气接头组件和第二配气接头组件的结构示意图；

图5是图4的左视图；

图6是图5中A-A的剖视图；

图7是图6中B的放大图。

附图标记：1-样品进出口，2-进气法兰口，3-反应管，4-抽气口，5-压力传感器接口，6-备用法兰口，7-第一配气管，8-第二配气管，9-锁紧螺母，10-限位环，11-第二凸台，12-压环，13-压缩空间，14-第一凸台，15-密封圈，16-底座，17-直线圆柱导轨，18-支撑板，19-压板，20-第二配气接头组件，21-马弗炉，22-第一配气接头组件，23-第一限位螺栓，24-固定板，25-第三限位螺栓，26-支撑盘，27-第二限位螺栓，28-第二滑槽，29-限位滑槽，30-托板盘，31-第一滑槽。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

如图1和2所示，本实施例提供CVD配气接头组件安装用轨道托盘，包括第一配气接头组件22和第二配气接头组件20，其特征在于，所述第一配气接头组件22和所述第二配气接头组件20之间可拆卸连接有反应管3，所述反应管3的下方两侧均设置有直线圆柱导轨17，两个所述直线圆柱导轨17端部之间均设置有固定板24，两个所述直线圆柱导轨17上设置有沿所述直线圆柱导轨17来回移动的托板盘30，每个所述托板盘30的上部均设置有至少一个用于支撑对应配气接头组件的支撑限位机构。

工作及使用过程：使用时，根据反应管3的长度调节两个托板盘30之间的距离，即两个托板盘30上相靠近的支撑限位机构之间的间距，先将第一配气接头组件22固定在其中一个托板盘30上部的的支撑限位机构上，再将第二配气接头组件20固定在另一个托板盘30上部的支撑限位机构上，固定板24用于连接和固定两个直线圆柱导轨17，通过水平对称的两个直线圆柱导轨17，沿两个直线圆柱导轨17来回移动的托板盘30，每个托板盘30上部的至少一个用于支撑对应配气接头组件的支撑限位机构的设置，可根据不同的反应管3的长度调节两个托板盘30上相靠近的支撑限位机构之间的间距，再将第一配气接头组件22和第二配气接头组件20分别固定在对应的支撑限位机构，最后再将反应管3连接在第一配气接头组件22和第二配气接头组件20之间，方便根据不同反应管3的长度调节和安装，用途广泛，解决了上述现有技术不能更换和安装不同长度反应管3道的技术问题。

本申请的技术方案中，反应管3为石英管或陶瓷管。

实施例2

如图1所示，基于实施例1，每个所述直线圆柱导轨17的底部设置有凸型底座16，两个所述底座16的端部之间均设置有固定板24。长条状凸型底座16可与其上部的直线圆柱导轨17一体成型，方便加工，稳定牢固，固定板24用于连接两个底座16。

实施例3

如图1和6所示，基于实施例1，所述第一配气接头组件22包括位于所述反应管3一端可拆卸的第一配气管7，与所述第一配气管7连通的一个或两个压力传感器接口5及与所述第一配气管7连通的一个或两个抽气口4；所述第二配气接头组件20包括位于所述反应管3另一端可拆卸的第二配气管8及与所述第二配气管8连通的进气法兰口2和备用法兰口6，所述第一配气管7和所述第二配气管8的内径均与所述反应管3的内径相同，且所述第一配气管7、所述反应管3和所述第二配气管8的水平中心轴位于同一直线上，所述第一配气管7和所述第二配气管8远离所述反应管3的一端均为样品进出口1。从第一配气管7和/或第二配气管8的远离反应管3一端的样品进出口1向反应管3内送入固体样品，如粉末、基材等，之后将样品进出口1密封，打开进气法兰口2，从进气法兰口2加入气源或蒸发源，之后密封进气法兰口2，由于反应管3内反应时，需要低气压，从抽气口4抽气，其中一个抽气口4为大抽数抽量，另外一个抽气口4对抽数进行微调，其中一个压力传感器接口5接大量程压力传感器，另外一个压力传感器接口5接小量程压力传感器，实现对反应管3内压力的精确控制和监测，备用法兰口6的设置，方便向反应管3内加入需要的气源，不用时，将其外部用密封门密封，应用范围广泛；通过反应管3一端可拆卸的第一配气管7及另一端可拆卸的第二配气管8的设置，方便安装，全部为有用结构，结构简单，此外，由于第一配气管7和第二配气管8的内径均与反应管3的内径相同，且第一配气管7、反应管3和第二配气管8的水平中心轴位于同一直线上，使送样平稳，解决了上述现有的石英管与标准件按需搭配，存在结构冗大，无用结构太多，送样不平稳的技术问题；改进后的第一配气管7和第二配气管8和石英管内径相平，从第一配气管7和/或第二配气管8的远离反应管3一端的样品进出口1进出样，不用频繁拆卸石英管，石英管不易破损。

实施例4

如图1-3所示，基于实施例1，每个托板盘30上均设置有两个支撑限位机构，每个所述支撑限位机构包括支撑板18，位于支撑板18上部可拆卸的压板19，位于支撑板18上部中间的第一凹槽及位于所述压板19底部中间的第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽形成与所述第一配气管7或第二配气管8相吻合的通孔；每个所述支撑板18中间底部设置有连接孔，所述支撑板18中间底部的托板盘30上设置有条形孔。每个托板盘30上有两个支撑限位机构，两个支撑限位能很好的对配气接头组件起支撑作用，平稳牢固，每个支撑板18与对应的压板19之间通过螺栓和螺母可拆卸连接，使用时，先将第一配气管7或第二配气管8置于两个支撑板18上部的第一凹槽内，再分别将对应的压板19安置在支撑板18上，实现对第一配气管7或第二配气管8的支撑和固定；连接孔与条形孔相配合，通过移动支撑板18使连接孔在条形孔上移动，从而微调支撑板18的间距，使反应管3位于马弗炉21上加热槽的最中间，即每次安装能使反应管3道能重复定位于马弗炉21中心位置，加热均匀。

实施例5

如图1所示，基于实施例1，每个所述托板盘30底部四周分别设置有与对应所述直线圆柱导轨17和所述底座16相配合的第一滑槽31，至少一个所述第一滑槽31上设置有第一限位孔，所述第一限位孔内螺纹连接有第一限位螺栓23。四个第一滑槽31带动托板盘30在直线圆柱导轨17上来回移动，第一限位螺栓23带固定螺帽，第一限位螺栓23穿过第一限位孔顶紧直线圆柱导轨17，对托板盘30起限位作用，防止移动，使托板盘30能稳定牢固的支撑支撑板18。

实施例6

如图1-3所示，基于实施例1，两个托板盘30之间设置有沿所述直线圆柱导轨17来回移动的马弗炉21，所述马弗炉21的底部固定有支撑盘26，直线圆柱导轨17所在的所述支撑盘26的两侧分别设置有至少两个与对应所述直线圆柱导轨17和所述底座16相配合的第二滑槽28，至少一个所述第二滑槽28上设置有第二限位孔，所述第二限位孔内螺纹连接有第二限位螺栓27。马弗炉21的设置方便移动至合适位置对反应管3加热，支撑盘26在直线圆柱导轨17上移动，带动马弗炉21在直线圆柱导轨17上来回移动，同时第二限位螺栓27带固定螺帽，第二限位螺栓27穿过第二限位孔顶紧直线圆柱导轨17对支撑盘26和马弗炉21起紧固作用，使马弗炉21稳定的对反应管3需要加热的部位加热。

实施例7

如图1所示，基于实施例1，马弗炉21与托板盘30之间的至少一个直线圆柱导轨17上设置有与对应直线圆柱导轨17和底座16相配合的限位滑槽29，所述限位滑槽29的顶部高于马弗炉21的底部，所述限位滑槽29上设置有第三限位孔，所述第三限位孔内螺纹连接有第三限位螺栓25。当反应管3在高温下需要迅速降温时，可以将马弗炉21移走，同时限位滑槽29对马弗炉21起止位作用，在移动马弗炉21后对马弗炉21起限位作用，防止马弗炉21移动太远，同时第三限位螺栓25带固定螺帽，第三限位螺栓25穿过第三限位孔顶紧直线圆柱导轨17对限位滑槽29起紧固作用，由于反应管3反应部位的加热保温源的移走、能使该部位迅速的冷却，解决了现有的反应管3道不能被快速降温的问题；马弗炉21一侧的两个直线圆柱导轨17上均设置有限位滑槽29时，两个限位滑槽29水平对称设置。

实施例8

如图1和2所示，基于实施例3，如图6和7所示，所述第一配气管7和所述第二配气管8与所述反应管3相连的一端均设置有一圈套在所述反应管3上的第一凸台14，每个所述第一凸台14的端部向外延伸有一圈限位环10，所述限位环10与所述反应管3之间形成第一间隙环，所述第一凸台14与所述限位环10的外周相平齐且形成限位台，所述限位台上套设有锁紧螺母9，所述锁紧螺母9靠近所述反应管3竖向中心线的一端向内设置有一圈第二凸台11，所述第二凸台11与所述反应管3之间形成第二间隙环，所述第一间隙环和所述第二间隙环内设置有与其相吻合的压环12，与所述限位环10端部相接触的所述第一凸台14端面向远离所述反应管3竖向中心线一侧倾斜设置，所述第一凸台14与所述压环12之间形成第三间隙环，所述第三间隙环内设置有套设在所述反应管3外周的密封圈15，所述限位环10的端部与压环12上部的第二凸台11之间形成压缩空间13。锁紧螺母9上第二凸台11的设置，将第一间隙环内的压环12压紧，同时与第一间隙环和第二间隙环相吻合的压环12将限位环10一侧的第一凸台14端部顶紧，限位台的外周设置有与锁紧螺母9相配合的螺纹，通过手拧锁紧螺纹加紧密封，操作简单且方便，不需要外部工具，装配简单；通过第一凸台14端面倾斜的设置及第一凸台14与压环12之间形成的第三间隙环设置，使密封圈15在锁紧螺母9推动压环12的作用下发生形变，使密封圈15抱紧反应管3端头外侧密封，密封圈15的材质为氟橡胶；压缩空间13的设置，方便锁紧螺母9带动压环12压密封圈15，使密封圈15发生形变，增大密封圈15与反应管3的接触面积，密封效果好。

实施例9

如图4-6所示，基于实施例3，所述第一配气管7和所述第二配气管8分别与对应的所述第一凸台14和所述限位环10一体成型。第一配气管7和第二配气管8分别与对应的第一凸台14和限位环10一体成型，方便对304或316不锈钢钢管直接加工成型，加工方便，成型后稳定性高。

实施例10

如图4-7所示，基于实施例3，所述反应管3为石英管或陶瓷管，所述第一配气管7和所述第二配气管8均为304或316不锈钢厚壁钢管。石英管或陶瓷管均为耐腐蚀管，不会与气源及基材发生反应，稳定性好，此外，耐腐蚀性能高，设备使用寿命高；304或316不锈钢厚壁钢管，耐腐蚀性高，方便加工。

Claims (10)

1.CVD配气接头组件安装用轨道托盘，包括第一配气接头组件(22)和第二配气接头组件(20)，其特征在于，所述第一配气接头组件(22)和所述第二配气接头组件(20)之间可拆卸连接有反应管(3)，所述反应管(3)的下方两侧均设置有直线圆柱导轨(17)，两个所述直线圆柱导轨(17)端部之间均设置有固定板(24)，两个所述直线圆柱导轨(17)上设置有沿所述直线圆柱导轨(17)来回移动的托板盘(30)，每个所述托板盘(30)的上部均设置有至少一个用于支撑对应配气接头组件的支撑限位机构。

2.根据权利要求1所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，每个所述直线圆柱导轨(17)的底部设置有凸型底座(16)，两个所述底座(16)的端部之间均设置有固定板(24)。

3.根据权利要求1所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，所述第一配气接头组件(22)包括位于所述反应管(3)一端可拆卸的第一配气管(7)，与所述第一配气管(7)连通的一个或两个压力传感器接口(5)及与所述第一配气管(7)连通的一个或两个抽气口(4)；所述第二配气接头组件(20)包括位于所述反应管(3)另一端可拆卸的第二配气管(8)及与所述第二配气管(8)连通的进气法兰口(2)和备用法兰口(6)，所述第一配气管(7)和所述第二配气管(8)的内径均与所述反应管(3)的内径相同，且所述第一配气管(7)、所述反应管(3)和所述第二配气管(8)的水平中心轴位于同一直线上。

4.根据权利要求3所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，每个托板盘(30)上均设置有两个支撑限位机构，每个所述支撑限位机构包括支撑板(18)，位于支撑板(18)上部可拆卸的压板(19)，位于支撑板(18)上部中间的第一凹槽及位于所述压板(19)底部中间的第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽形成与所述第一配气管(7)或第二配气管(8)相吻合的通孔；每个所述支撑板(18)中间底部设置有连接孔，所述支撑板(18)中间底部的托板盘(30)上设置有条形孔。

5.根据权利要求2所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，每个所述托板盘(30)底部四周分别设置有与对应所述直线圆柱导轨(17)和所述底座(16)相配合的第一滑槽(31)，至少一个所述第一滑槽(31)上设置有第一限位孔，所述第一限位孔内螺纹连接有第一限位螺栓(23)。

6.根据权利要求2所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，两个托板盘(30)之间设置有沿所述直线圆柱导轨(17)来回移动的马弗炉(21)。

7.根据权利要求6所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，所述马弗炉(21)的底部固定有支撑盘(26)，直线圆柱导轨(17)所在的所述支撑盘(26)的两侧分别设置有至少两个与对应所述直线圆柱导轨(17)和所述底座(16)相配合的第二滑槽(28)。

8.根据权利要求7所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，至少一个所述第二滑槽(28)上设置有第二限位孔，所述第二限位孔内螺纹连接有第二限位螺栓(27)。

9.根据权利要求6或8所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，马弗炉(21)与托板盘(30)之间的至少一个直线圆柱导轨(17)上设置有与对应直线圆柱导轨(17)和底座(16)相配合的限位滑槽(29)，所述限位滑槽(29)的顶部高于马弗炉(21)的底部。

10.根据权利要求9所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，所述限位滑槽(29)上设置有第三限位孔，所述第三限位孔内螺纹连接有第三限位螺栓(25)。

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