CN111485225B - 一种超声雾化流化床装置 - Google Patents

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    • C23C16/442—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using fluidised bed process

Abstract

本发明公开了一种超声雾化流化床装置，包括第一异型石英管，所述第一异型石英管的下方密封卡设有第二异型石英管，通过注射泵将配好的溶液注入聚四氟雾化罐中，在聚四氟雾化罐中雾化片的作用下，将溶液雾化成气体，在第二进气管的作用下，导入第一异型石英管中，同时将粉料放置在第二异型石英管内的带多孔石英板上，第一进气管通入大流量气体，将第二异型石英管内的粉料吹起，第二进气管将雾化的溶液吹入第一异型石英管内，通过立式管式炉对第一异型石英管和第二异型石英管进行加热，通过手拉柄组件使第二异型石英管远离第一异型石英管，通过顶紧组件实现第二异型石英管和第一异型石英管之间的自动密封闭合，方便了物料的放料和取料作业。

Description

一种超声雾化流化床装置
技术领域
本发明属于超声雾化设备技术领域，具体涉及一种超声雾化流化床装置。
背景技术
化学气相沉积(CVD工艺)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，从理论上来说，它是很简单的：两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上。
现有技术存在以下问题：现在技术的CVD工艺，大多数都是用于实验室中CVD工艺都是加热融化金属包覆粉末，而对于针对液体超声雾化包覆粉末的技术涉及比较少。
发明内容
为解决上述背景技术中提出的问题。本发明提供了一种超声雾化流化床装置，具有方便物料放置和取出的特点。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种超声雾化流化床装置，包括第一异型石英管，所述第一异型石英管的下方密封卡设有第二异型石英管，所述第二异型石英管的下方通过耐高温波纹管固定设置有端部石英管，所述第二异型石英管的底部抱合固定设置有第一抱合固定组件，所述端部石英管的顶部抱合固定设置有第二抱合固定组件，所述第一抱合固定组件和第二抱合固定组件之间设置有顶紧组件，所述第二异型石英管中部管体上抱合固定设置有手拉柄组件，所述第一异型石英管和第二异型石英管铺设在立式管式炉内，所述第一异型石英管的上方设置有聚四氟雾化罐和注射泵，所述聚四氟雾化罐上设置有第二进气管，所述端部石英管的正下方设置有加热仪表，且端部石英管的法兰盘上固定设置有第一进气管；
所述第一异型石英管底端面的管体上固定设置有卡合密封外圈板，所述第二异型石英管顶端面的管体上固定设置有与卡合密封外圈板密封卡合的卡合密封内圈板，且第二异型石英管的内部固定设置有带多孔石英板；
所述第一抱合固定组件包括第一弧型抱合板和第二弧型抱合板，所述第一弧型抱合板的内侧面上固定设置有第一内摩擦垫，且第一弧型抱合板外侧面的两侧均固定设置有第一固定耳板，所述第一弧型抱合板外侧面的一端固定设置有顶紧耳板，所述第二弧型抱合板的结构与第一弧型抱合板的结构一致；
所述手拉柄组件包括第一弧型手拉柄抱合板和第二弧型手拉柄抱合板，所述第一弧型手拉柄抱合板的内侧面上固定设置有第二内摩擦垫，且第一弧型手拉柄抱合板外侧面的两侧均固定设置有第二固定耳板，所述第一弧型手拉柄抱合板外侧面的一端固定设置有手拉杆，所述第二弧型手拉柄抱合板的结构与第一弧型手拉柄抱合板的结构一致；
所述顶紧组件包括顶紧螺杆，所述顶紧螺杆上套设有顶紧弹簧，且顶紧螺杆的端部螺纹设置有蝶型顶紧螺母；
所述第二抱合固定组件的结构与第一抱合固定组件的结构一致；
所述顶紧组件通过顶紧耳板贯穿设置在第一抱合固定组件和第二抱合固定组件之间，所述顶紧弹簧的顶部抵触在第一抱合固定组件的顶紧耳板上，且顶紧弹簧的底部抵触在第二抱合固定组件的顶紧耳板上；
所述第一抱合固定组件上的第一弧型抱合板和第二弧型抱合板之间通过紧固螺栓和螺帽抱合固定在第二异型石英管的底部管体上，所述第二抱合固定组件抱合固定在端部石英管上的方式与第一抱合固定组件抱合固定在第二异型石英管上的方式一致。
优选的，所述第二异型石英管通过耐高温波纹管实现其与端部石英管之间长度的可变性和可变时的密封性。
优选的，所述第二异型石英管通过顶紧组件实现其与第一异型石英管之间的弹性顶紧卡合密封，且第二异型石英管通过顶紧组件实现其与端部石英管之间长度变化时的直线性和导向性。
优选的，所述第二进气管的气流量要小于第一进气管的气流量。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明使用时，通过注射泵将配好的溶液注入聚四氟雾化罐中，在聚四氟雾化罐中雾化片的作用下，将溶液雾化成气体，在第二进气管的作用下，导入第一异型石英管中，同时将粉料放置在第二异型石英管内的带多孔石英板上，第一进气管通入大流量气体，将第二异型石英管内的粉料吹起，第二进气管将雾化的溶液吹入第一异型石英管内，通过立式管式炉对第一异型石英管和第二异型石英管进行加热，本发明第一异型石英管底端面的管体上固定设置有卡合密封外圈板，第二异型石英管顶端面的管体上固定设置有与卡合密封外圈板密封卡合的卡合密封内圈板，第二异型石英管通过耐高温波纹管实现其与端部石英管之间长度的可变性和可变时的密封性，第二异型石英管通过顶紧组件实现其与第一异型石英管之间的弹性顶紧卡合密封，且第二异型石英管通过顶紧组件实现其与端部石英管之间长度变化时的直线性和导向性，且第二异型石英管上设置有手拉柄组件，通过手拉柄组件使第二异型石英管远离第一异型石英管，从而方便物料的添加和取出，同时通过顶紧组件实现第二异型石英管和第一异型石英管之间的自动密封闭合，通过此种方式，方便了物料的放料和取料作业，简化了装置的使用，降低了装置使用的难度，第一抱合固定组件上的第一弧型抱合板和第二弧型抱合板之间通过紧固螺栓和螺帽抱合固定在第二异型石英管的底部管体上，手拉柄组件和第二抱合固定组件的安装固定方式与第一抱合固定组件的安装固定方式一样，通过此种方式，方便第一抱合固定组件、第二抱合固定组件和手拉柄组件使用时的拆装。
附图说明
图1为本发明的主视图；
图2为本发明整体石英管的结构示意图；
图3为本发明A处的放大结构示意图；
图4为本发明第一抱合固定组件的立体图；
图5为本发明手拉柄组件的立体图；
图6为本发明第一异型石英管和第二异型石英管卡合密封处的立体图；
图7为本发明顶紧组件的结构示意图；
图8为本发明耐高温波纹管处的立体图；
图中：1、第一异型石英管；101、卡合密封外圈板；2、第二异型石英管；201、卡合密封内圈板；202、带多孔石英板；3、耐高温波纹管；4、端部石英管；5、第一抱合固定组件；501、第一弧型抱合板；502、顶紧耳板；503、第一内摩擦垫；504、第一固定耳板；505、第二弧型抱合板；6、第二抱合固定组件；7、顶紧组件；701、顶紧螺杆；702、顶紧弹簧；703、蝶型顶紧螺母；8、手拉柄组件；801、第一弧型手拉柄抱合板；802、手拉杆；803、第二固定耳板；804、第二内摩擦垫；805、第二弧型手拉柄抱合板；9、第一进气管；10、第二进气管；11、聚四氟雾化罐；12、注射泵；13、立式管式炉；14、加热仪表。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-8，本发明提供以下技术方案：一种超声雾化流化床装置，包括第一异型石英管1，第一异型石英管1的下方密封卡设有第二异型石英管2，第二异型石英管2的下方通过耐高温波纹管3固定设置有端部石英管4，第二异型石英管2的底部抱合固定设置有第一抱合固定组件5，端部石英管4的顶部抱合固定设置有第二抱合固定组件6，第一抱合固定组件5和第二抱合固定组件6之间设置有顶紧组件7，第二异型石英管2中部管体上抱合固定设置有手拉柄组件8，第一异型石英管1和第二异型石英管2铺设在立式管式炉13内，第一异型石英管1的上方设置有聚四氟雾化罐11和注射泵12，聚四氟雾化罐11上设置有第二进气管10，端部石英管4的正下方设置有加热仪表14，且端部石英管4的法兰盘上固定设置有第一进气管9；
第一异型石英管1底端面的管体上固定设置有卡合密封外圈板101，第二异型石英管2顶端面的管体上固定设置有与卡合密封外圈板101密封卡合的卡合密封内圈板201，且第二异型石英管2的内部固定设置有带多孔石英板202；
第一抱合固定组件5包括第一弧型抱合板501和第二弧型抱合板505，第一弧型抱合板501的内侧面上固定设置有第一内摩擦垫503，且第一弧型抱合板501外侧面的两侧均固定设置有第一固定耳板504，第一弧型抱合板501外侧面的一端固定设置有顶紧耳板502，第二弧型抱合板505的结构与第一弧型抱合板501的结构一致；
手拉柄组件8包括第一弧型手拉柄抱合板801和第二弧型手拉柄抱合板805，第一弧型手拉柄抱合板801的内侧面上固定设置有第二内摩擦垫804，且第一弧型手拉柄抱合板801外侧面的两侧均固定设置有第二固定耳板803，第一弧型手拉柄抱合板801外侧面的一端固定设置有手拉杆802，第二弧型手拉柄抱合板805的结构与第一弧型手拉柄抱合板801的结构一致；
顶紧组件7包括顶紧螺杆701，顶紧螺杆701上套设有顶紧弹簧702，且顶紧螺杆701的端部螺纹设置有蝶型顶紧螺母703；
第二抱合固定组件6的结构与第一抱合固定组件5的结构一致；
顶紧组件7通过顶紧耳板502贯穿设置在第一抱合固定组件5和第二抱合固定组件6之间，顶紧弹簧702的顶部抵触在第一抱合固定组件5的顶紧耳板502上，且顶紧弹簧702的底部抵触在第二抱合固定组件6的顶紧耳板502上；
第一抱合固定组件5上的第一弧型抱合板501和第二弧型抱合板505之间通过紧固螺栓和螺帽抱合固定在第二异型石英管2的底部管体上，第二抱合固定组件6抱合固定在端部石英管4上的方式与第一抱合固定组件5抱合固定在第二异型石英管2上的方式一致。
本实施例中，优选的，第二异型石英管2通过耐高温波纹管3实现其与端部石英管4之间长度的可变性和可变时的密封性。
本实施例中，优选的，第二异型石英管2通过顶紧组件7实现其与第一异型石英管1之间的弹性顶紧卡合密封，且第二异型石英管2通过顶紧组件7实现其与端部石英管4之间长度变化时的直线性和导向性。
本实施例中，优选的，第二进气管10的气流量要小于第一进气管9的气流量。
本发明中注射泵12、聚四氟雾化罐11、立式管式炉13、加热仪表14、第一异型石英管1和端部石英管4的连通为已经公开的广泛运用与日常生活的已知技术。
本发明的工作原理及使用流程：本发明使用时，通过注射泵12将配好的溶液注入聚四氟雾化罐11中，在聚四氟雾化罐11中雾化片的作用下，将溶液雾化成气体，在第二进气管10的作用下，导入第一异型石英管1中，同时将粉料放置在第二异型石英管2内的带多孔石英板202上，第一进气管9通入大流量气体，将第二异型石英管2内的粉料吹起，第二进气管10将雾化的溶液吹入第一异型石英管1内，通过立式管式炉3对第一异型石英管1和第二异型石英管2进行加热，本发明第一异型石英管1底端面的管体上固定设置有卡合密封外圈板101，第二异型石英管2顶端面的管体上固定设置有与卡合密封外圈板101密封卡合的卡合密封内圈板201，第二异型石英管2通过耐高温波纹管3实现其与端部石英管4之间长度的可变性和可变时的密封性，第二异型石英管2通过顶紧组件7实现其与第一异型石英管1之间的弹性顶紧卡合密封，且第二异型石英管2通过顶紧组件7实现其与端部石英管4之间长度变化时的直线性和导向性，且第二异型石英管2上设置有手拉柄组件8，通过手拉柄组件8使第二异型石英管2远离第一异型石英管1，从而方便物料的添加和取出，同时通过顶紧组件7实现第二异型石英管2和第一异型石英管1之间的自动密封闭合，通过此种方式，方便了物料的放料和取料作业，简化了装置的使用，降低了装置使用的难度，第一抱合固定组件5上的第一弧型抱合板501和第二弧型抱合板505之间通过紧固螺栓和螺帽抱合固定在第二异型石英管2的底部管体上，手拉柄组件8和第二抱合固定组件6的安装固定方式与第一抱合固定组件5的安装固定方式一样，通过此种方式，方便第一抱合固定组件5、第二抱合固定组件6和手拉柄组件8使用时的拆装。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种超声雾化流化床装置，包括第一异型石英管(1)，其特征在于：所述第一异型石英管(1)的下方密封卡设有第二异型石英管(2)，所述第二异型石英管(2)的下方通过耐高温波纹管(3)固定设置有端部石英管(4)，所述第二异型石英管(2)的底部抱合固定设置有第一抱合固定组件(5)，所述端部石英管(4)的顶部抱合固定设置有第二抱合固定组件(6)，所述第一抱合固定组件(5)和第二抱合固定组件(6)之间设置有顶紧组件(7)，所述第二异型石英管(2)中部管体上抱合固定设置有手拉柄组件(8)，所述第一异型石英管(1)和第二异型石英管(2)铺设在立式管式炉(13)内，所述第一异型石英管(1)的上方设置有聚四氟雾化罐(11)和注射泵(12)，所述聚四氟雾化罐(11)上设置有第二进气管(10)，所述端部石英管(4)的正下方设置有加热仪表(14)，且端部石英管(4)的法兰盘上固定设置有第一进气管(9)；
所述第一异型石英管(1)底端面的管体上固定设置有卡合密封外圈板(101)，所述第二异型石英管(2)顶端面的管体上固定设置有与卡合密封外圈板(101)密封卡合的卡合密封内圈板(201)，且第二异型石英管(2)的内部固定设置有带多孔石英板(202)；
所述第一抱合固定组件(5)包括第一弧型抱合板(501)和第二弧型抱合板(505)，所述第一弧型抱合板(501)的内侧面上固定设置有第一内摩擦垫(503)，且第一弧型抱合板(501)外侧面的两侧均固定设置有第一固定耳板(504)，所述第一弧型抱合板(501)外侧面的一端固定设置有顶紧耳板(502)，所述第二弧型抱合板(505)的结构与第一弧型抱合板(501)的结构一致；
所述手拉柄组件(8)包括第一弧型手拉柄抱合板(801)和第二弧型手拉柄抱合板(805)，所述第一弧型手拉柄抱合板(801)的内侧面上固定设置有第二内摩擦垫(804)，且第一弧型手拉柄抱合板(801)外侧面的两侧均固定设置有第二固定耳板(803)，所述第一弧型手拉柄抱合板(801)外侧面的一端固定设置有手拉杆(802)，所述第二弧型手拉柄抱合板(805)的结构与第一弧型手拉柄抱合板(801)的结构一致；
所述顶紧组件(7)包括顶紧螺杆(701)，所述顶紧螺杆(701)上套设有顶紧弹簧(702)，且顶紧螺杆(701)的端部螺纹设置有蝶型顶紧螺母(703)；
所述第二抱合固定组件(6)的结构与第一抱合固定组件(5)的结构一致；
所述顶紧组件(7)通过顶紧耳板(502)贯穿设置在第一抱合固定组件(5)和第二抱合固定组件(6)之间，所述顶紧弹簧(702)的顶部抵触在第一抱合固定组件(5)的顶紧耳板(502)上，且顶紧弹簧(702)的底部抵触在第二抱合固定组件(6)的顶紧耳板(502)上；
所述第一抱合固定组件(5)上的第一弧型抱合板(501)和第二弧型抱合板(505)之间通过紧固螺栓和螺帽抱合固定在第二异型石英管(2)的底部管体上，所述第二抱合固定组件(6)抱合固定在端部石英管(4)上的方式与第一抱合固定组件(5)抱合固定在第二异型石英管(2)上的方式一致。
2.根据权利要求1所述的一种超声雾化流化床装置，其特征在于：所述第二异型石英管(2)通过耐高温波纹管(3)实现其与端部石英管(4)之间长度的可变性和可变时的密封性。
3.根据权利要求1所述的一种超声雾化流化床装置，其特征在于：所述第二异型石英管(2)通过顶紧组件(7)实现其与第一异型石英管(1)之间的弹性顶紧卡合密封，且第二异型石英管(2)通过顶紧组件(7)实现其与端部石英管(4)之间长度变化时的直线性和导向性。
4.根据权利要求1所述的一种超声雾化流化床装置，其特征在于：所述第二进气管(10)的气流量要小于第一进气管(9)的气流量。
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