CN211897106U - 一种电阻加热化学气相沉积炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体为一种电阻加热化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体为顶面开口式结构，所述炉体的顶面紧密焊接有螺纹环，所述炉体内设有进气管，所述进气管的顶端穿过所述炉体的外壁并延伸至外界；所述炉体的下方设有废气排出机构；该电阻加热化学气相沉积炉通过设有的废气排出机构，即风机在炉体反应结束后，抽走炉体内的废气，废气经连接管和箱体进入至弯管内，并经弯管进入至过滤内，在过滤管内过滤体的过滤作用下，废气中的颗粒物和部分有害物质被活性炭颗粒吸附，该设计便于对反应产生的废气进行净化，避免废气直接排放污染空气。

Description

一种电阻加热化学气相沉积炉

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体为一种电阻加热化学气相沉积炉。

背景技术

电阻加热化学气相沉积炉是指C/C复合材料化学气相沉积炉，是CVI工艺的专用设备，是在一定的真空或惰性气氛条件下，利用电阻发热的原理将炉内工件加热到一定温度后，通入碳源性气体，气体在高温下裂解后产生含碳物质，沉积于工件表面，达到组织增密的目的；现有的电阻加热化学气相沉积炉在使用时，炉体内会产生大量的废气，在反应完毕后，大量废气未经净化直接排放，进而加剧了环境污染，鉴于此，我们提出一种电阻加热化学气相沉积炉。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电阻加热化学气相沉积炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种电阻加热化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体为顶面开口式结构，所述炉体的顶面紧密焊接有螺纹环，所述炉体内设有进气管，所述进气管的顶端穿过所述炉体的外壁并延伸至外界；所述炉体的下方设有废气排出机构，所述废气排出机构包括与所述炉体的底面通过螺栓固定连接的风机，所述风机的底端通过螺栓固定连接有连接管，所述连接管的底端通过螺栓固定连接有呈中空式结构的箱体，所述箱体的圆周外壁上紧密焊接有多个呈环形等间距分布的弯管，所述弯管上设有球阀，所述弯管远离所述箱体的一端通过法兰固定连接有过滤管，所述过滤管为中空式结构，所述过滤管内嵌设有两个相互平行的挡网，两个所述挡网之间设有过滤体，所述过滤管的顶端同轴紧密焊接有排气管，所述炉体、所述风机、所述连接管、所述箱体、所述弯管、所述过滤管和所述排气管依次首尾相连通。

优选的，所述炉体的内壁从上至下设有多个呈线性等间距分布的电阻加热组件，所述电阻加热组件包括呈环状且与所述炉体的内壁紧密焊接的发热体，两个所述发热体的两端之间嵌设有石墨接头。

优选的，所述石墨接头通过导线与电源电性连接。

优选的，所述炉体的上方设有盖体，所述盖体与所述螺纹环螺纹连接。

优选的，所述过滤体为活性炭颗粒。

优选的，所述箱体的顶面紧密焊接有多个呈环形等间距分布的连杆，所述连杆的顶端与所述炉体的底面紧密焊接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：该电阻加热化学气相沉积炉通过设有的废气排出机构，即风机在炉体反应结束后，抽走炉体内的废气，废气经连接管和箱体进入至弯管内，并经弯管进入至过滤内，在过滤管内过滤体的过滤作用下，废气中的颗粒物和部分有害物质被活性炭颗粒吸附，该设计便于对反应产生的废气进行净化，避免废气直接排放污染空气。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型中炉体的爆炸结构示意图；

图3为本实用新型中电阻加热组件的结构示意图；

图4为本实用新型中废气排出机构的结构示意图；

图5为本实用新型中过滤管的结构剖视图。

图中各个标号意义为：

1、炉体；螺纹环；12、电阻加热组件；121、发热体；122、石墨接头；13、进气管；

2、盖体；

3、废气排出机构；31、风机；32、连接管；33、箱体；34、连杆；35、弯管；36、球阀；37、过滤管；371、挡网；372、过滤体；373、排气管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：

一种电阻加热化学气相沉积炉，包括炉体1，炉体1为顶面开口式结构，炉体1的顶面紧密焊接有螺纹环11，炉体1内设有进气管13，进气管13的顶端穿过炉体1的外壁并延伸至外界；炉体1的下方设有废气排出机构3，废气排出机构3包括与炉体1的底面通过螺栓固定连接的风机31，风机31的底端通过螺栓固定连接有连接管32，连接管32的底端通过螺栓固定连接有呈中空式结构的箱体33，箱体33的圆周外壁上紧密焊接有多个呈环形等间距分布的弯管35，弯管35上设有球阀36，弯管35远离箱体33的一端通过法兰固定连接有过滤管37，过滤管37为中空式结构，过滤管37内嵌设有两个相互平行的挡网371，两个挡网371之间设有过滤体372，过滤管37的顶端同轴紧密焊接有排气管373，炉体1、风机31、连接管32、箱体33、弯管35、过滤管37和排气管373依次首尾相连通。

在本实施例中，炉体1的内壁从上至下设有多个呈线性等间距分布的电阻加热组件12，电阻加热组件12包括呈环状且与炉体1的内壁紧密焊接的发热体121，两个发热体121的两端之间嵌设有石墨接头122，其便于对材料加热进行反应。

在本实施例中，石墨接头122通过导线与电源电性连接，其提供了稳定的电源。

在本实施例中，炉体1的上方设有盖体2，盖体2与螺纹环11螺纹连接，螺纹连接的方式便于开合。

进一步的，过滤体372为活性炭颗粒，活性炭颗粒对于有害物质和颗粒物等具有较好的吸附作用。

除此之外，箱体33的顶面紧密焊接有多个呈环形等间距分布的连杆34，连杆34的顶端与炉体1的底面紧密焊接，连杆34在箱体33与炉体1之间起到支撑作用。

值得说明的是，本实施例中的风机31为现有的常规技术，在此不再赘述。

本实施例的电阻加热化学气相沉积炉在使用时，使用人员将工件放置在炉体1内，随后使用人员盖上盖体2，接下来使用人员接通石墨接头122的电源，石墨接头122和发热体121发热并对工件进行反应，在反应的同时外界的惰性气体经进气管13进入至炉体1内进行反应；

本实施例的电阻加热化学气相沉积炉在使用后，使用人员接通风机31的电源，风机31产生吸力，炉体1内的气体经风机31进入至连接管32和箱体33内，随后气体经箱体33进入至弯管35和过滤管37内，同时气体经过挡网371和过滤体372，此时气体中的颗粒物和有害物质等被吸附，最后净化后的气体经排气管373排至外界。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种电阻加热化学气相沉积炉，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)为顶面开口式结构，所述炉体(1)的顶面紧密焊接有螺纹环(11)，所述炉体(1)内设有进气管(13)，所述进气管(13)的顶端穿过所述炉体(1)的外壁并延伸至外界；所述炉体(1)的下方设有废气排出机构(3)，所述废气排出机构(3)包括与所述炉体(1)的底面通过螺栓固定连接的风机(31)，所述风机(31)的底端通过螺栓固定连接有连接管(32)，所述连接管(32)的底端通过螺栓固定连接有呈中空式结构的箱体(33)，所述箱体(33)的圆周外壁上紧密焊接有多个呈环形等间距分布的弯管(35)，所述弯管(35)上设有球阀(36)，所述弯管(35)远离所述箱体(33)的一端通过法兰固定连接有过滤管(37)，所述过滤管(37)为中空式结构，所述过滤管(37)内嵌设有两个相互平行的挡网(371)，两个所述挡网(371)之间设有过滤体(372)，所述过滤管(37)的顶端同轴紧密焊接有排气管(373)，所述炉体(1)、所述风机(31)、所述连接管(32)、所述箱体(33)、所述弯管(35)、所述过滤管(37)和所述排气管(373)依次首尾相连通。

2.根据权利要求1所述的电阻加热化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉体(1)的内壁从上至下设有多个呈线性等间距分布的电阻加热组件(12)，所述电阻加热组件(12)包括呈环状且与所述炉体(1)的内壁紧密焊接的发热体(121)，两个所述发热体(121)的两端之间嵌设有石墨接头(122)。

3.根据权利要求2所述的电阻加热化学气相沉积炉，其特征在于：所述石墨接头(122)通过导线与电源电性连接。

4.根据权利要求1所述的电阻加热化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉体(1)的上方设有盖体(2)，所述盖体(2)与所述螺纹环(11)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的电阻加热化学气相沉积炉，其特征在于：所述过滤体(372)为活性炭颗粒。

6.根据权利要求1所述的电阻加热化学气相沉积炉，其特征在于：所述箱体(33)的顶面紧密焊接有多个呈环形等间距分布的连杆(34)，所述连杆(34)的顶端与所述炉体(1)的底面紧密焊接。

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