CN216864320U - 多功能cvd配气接头组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了多功能CVD配气接头组件，涉及小型的CVD(气相沉积)系统技术领域，解决现有的石英管与标准件按需搭配，存在结构冗大，无用结构太多，送样不平稳的技术问题，包括反应管，所述反应管的一端可拆连接有第一配气管，另一端可拆卸连接有第二配气管，所述第一配气管和所述第二配气管的内径均与所述反应管的内径相同，且所述第一配气管、所述反应管和所述第二配气管的水平中心轴位于同一直线上；通过反应管一端可拆卸的第一配气管及另一端可拆卸的第二配气管的设置，方便安装，结构简单，此外，由于第一配气管和第二配气管的内径均与反应管的内径相同，且第一配气管、反应管和第二配气管的水平中心轴位于同一直线上，使送样平稳。

Description

多功能CVD配气接头组件

技术领域

本实用新型涉及小型的CVD(气相沉积)系统技术领域，更具体的是涉及CVD(气相沉积)接头设备技术领域。

背景技术

化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。从理论上来说，它是很简单的：两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上。

对于小型的CVD(气相沉积)系统，一般是通过一个进气口充入一种或几种气体，然后气体穿过石英管的时候将材料蒸汽或者裹挟的粉尘带到目标基体上去，在这个过程中需要检测控制石英管内的温度、压力、气流等。

现有的市场上都是用户采购标准件按需搭配，至少两节三通管连接，结构冗大，无用接口太多，装配过程需要外部工具，装配麻烦，此外，连接处管径大小不一，送样不平稳。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决上述现有的石英管与标准件按需搭配，存在结构冗大，无用结构太多，送样不平稳的技术问题，本实用新型提供多功能CVD配气接头组件。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：多功能CVD配气接头组件，包括反应管，所述反应管的一端可拆连接有第一配气管，另一端可拆卸连接有第二配气管，所述第一配气管和所述第二配气管的内径均与所述反应管的内径相同，且所述第一配气管、所述反应管和所述第二配气管的水平中心轴位于同一直线上，所述第一配气管上连通有一个或两个压力传感器接口和一个或两个抽气口，所述第二配气管上连通有进气法兰口，所述第一配气管和所述第二配气管远离所述反应管的一端均为样品进出口。

工作及使用过程:从第一配气管所在一端样品进出口向反应管内送入基材，从第二配气管所在一端样品进出口向反应管内送入固体样品，粉末和基材，之后第一配气管和第二配气管的样品进出口密封，打开进气法兰口，从进气法兰口加入气源或蒸发源，之后密封进气法兰口，由于反应管内反应时，需要低气压，从抽气口抽气，其中一个抽气口为大抽数抽量，另外一个抽气口对抽数进行微调，其中一个压力传感器接口接大量程压力传感器，另外一个压力传感器接口接小量程压力传感器，实现对反应管内压力的精确控制和监测，通过反应管一端可拆卸的第一配气管及另一端可拆卸的第二配气管的设置，方便安装，全部为有用结构，结构简单，此外，由于第一配气管和第二配气管的内径均与反应管的内径相同，且第一配气管、反应管和第二配气管的水平中心轴位于同一直线上，使送样平稳，解决了上述现有的石英管与标准件按需搭配，存在结构冗大，无用结构太多，送样不平稳的技术问题。

此外，现有技术粉末和基材是要从石英管端口进入石英管正中间，进样和出样时，需要不停的将进气组件和出气组件从石英管上拆卸下来，每次更换对于非专业人士，如果每次拆卸石英管，石英管就会很容易损坏。改进后的第一配气管和第二配气管和石英管内径相平，从第一配气管和/或第二配气管的远离反应管一端的样品进出口进出样，不用频繁拆卸石英管，石英管不易破损。

进一步的，所述第一配气管和所述第二配气管与所述反应管相连的一端均设置有一圈套在所述反应管上的第一凸台，每个所述第一凸台的端部向外延伸有一圈限位环，所述限位环与所述反应管之间形成第一间隙环，所述第一凸台与所述限位环的外周相平齐且形成限位台，所述限位台上套设有锁紧螺母，所述锁紧螺母靠近所述反应管竖向中心线的一端向内设置有一圈第二凸台，所述第二凸台与所述反应管之间形成第二间隙环，所述第一间隙环和所述第二间隙环内设置有与其相吻合的压环。

更进一步的，与所述限位环端部相接触的所述第一凸台端面向远离所述反应管竖向中心线一侧倾斜设置，所述第一凸台与所述压环之间形成第三间隙环，所述第三间隙环内设置有套设在所述反应管外周的密封圈。

更进一步的，所述限位环的端部与压环上部的第二凸台之间形成压缩空间。

更进一步的，所述第一配气管和所述第二配气管分别与对应的所述第一凸台和所述限位环一体成型。

更进一步的，所述第二配气管上还连通有备用法兰口。

进一步的，所述反应管为石英管或陶瓷管。

进一步的，所述第一配气管和所述第二配气管均为304或316不锈钢厚壁钢管。

本实用新型的有益效果如下：

1、通过反应管一端可拆卸的第一配气管及另一端可拆卸的第二配气管的设置，方便安装，全部为有用结构，结构简单，此外，由于第一配气管和第二配气管的内径均与反应管的内径相同，且第一配气管、反应管和第二配气管的水平中心轴位于同一直线上，使送样平稳；

2、锁紧螺母上第二凸台的设置，将第一间隙环内的压环压紧，同时与第一间隙环和第二间隙环相吻合的压环将限位环一侧的第一凸台端部顶紧，限位台的外周设置有与锁紧螺母相配合的螺纹，通过手拧锁紧螺纹加紧密封，操作简单且方便，不需要外部工具，装配简单；

3、通过第一凸台端面倾斜的设置及第一凸台与压环之间形成的第三间隙环设置，使密封圈在锁紧螺母推动压环的作用下发生形变，使密封圈抱紧反应管端头外侧密封，密封圈的材质为氟橡胶；

4、压缩空间的设置，方便锁紧螺母带动压环压密封圈，使密封圈发生形变，增大密封圈与反应管的接触面积，密封效果好；

5、第一配气管和第二配气管分别与对应的第一凸台和限位环一体成型，方便对304或316不锈钢钢管直接加工成型，加工方便，成型后稳定性高；

6、备用法兰口的设置，方便向反应管内加入需要的气源，不用时，将其外部用密封门密封，应用范围广泛；

7、石英管或陶瓷管均为耐腐蚀管，不会与气源及基材发生反应，稳定性好，此外，耐腐蚀性能高，设备使用寿命高；

8、304或316不锈钢厚壁钢管，耐腐蚀性高，方便加工。

附图说明

图1是本实用新型多功能CVD配气接头组件的结构示意图；

图2是图1的左视图；

图3是图2中A-A的剖视图；

图4是图3中B的放大图。

附图标记：1-样品进出口，2-进气法兰口，3-反应管，4-抽气口，5-压力传感器接口，6-备用法兰口，7-第一配气管，8-第二配气管，9-锁紧螺母，10-限位环，11-第二凸台，12-压环，13-压缩空间，14-第一凸台，15-密封圈。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

如图1到4所示，本实施例提供多功能CVD配气接头组件，包括反应管3，所述反应管3的一端可拆连接有第一配气管7，另一端可拆卸连接有第二配气管8，所述第一配气管7和所述第二配气管8的内径均与所述反应管3的内径相同，且所述第一配气管7、所述反应管3和所述第二配气管8的水平中心轴位于同一直线上，所述第一配气管7上连通有一个或两个压力传感器接口5和一个或两个抽气口4，所述第二配气管8上连通有进气法兰口2，所述第一配气管7和所述第二配气管8远离所述反应管3的一端均为样品进出口1。

工作及使用过程:从第一配气管7所在一端样品进出口1向反应管3内送入基材，从第二配气管8所在一端样品进出口1向反应管3内送入固体样品，粉末和基材，之后第一配气管7和第二配气管8的样品进出口1密封，打开进气法兰口2，从进气法兰口2加入气源和/或蒸发源，之后密封进气法兰口2，由于反应管3内反应时，需要低气压，从抽气口4抽气，其中一个抽气口4为大抽数抽量，另外一个抽气口4对抽数进行微调，其中一个压力传感器接口5接大量程压力传感器，另外一个压力传感器接口5接小量程压力传感器，实现对反应管3内压力的精确控制和监测，通过反应管3一端可拆卸的第一配气管7及另一端可拆卸的第二配气管8的设置，方便安装，全部为有用结构，结构简单，此外，由于第一配气管7和第二配气管8的内径均与反应管3的内径相同，且第一配气管7、反应管3和第二配气管8的水平中心轴位于同一直线上，使送样平稳，解决了上述现有的石英管与标准件按需搭配，存在结构冗大，无用结构太多，送样不平稳的技术问题。

此外，现有技术粉末和基材是要从石英管端口进入石英管正中间，进样和出样时，需要不停的将进气组件和出气组件从石英管上拆卸下来，每次更换对于非专业人士，如果每次拆卸石英管，石英管就会很容易损坏。改进后的第一配气管7和第二配气管8和石英管内径相平，从第一配气管7和/或第二配气管8的远离反应管3一端的样品进出口1进出样，不用频繁拆卸石英管，石英管不易破损。

实施例2

基于实施例1，如图3和4所示，所述第一配气管7和所述第二配气管8与所述反应管3相连的一端均设置有一圈套在所述反应管3上的第一凸台14，每个所述第一凸台14的端部向外延伸有一圈限位环10，所述限位环10与所述反应管3之间形成第一间隙环，所述第一凸台14与所述限位环10的外周相平齐且形成限位台，所述限位台上套设有锁紧螺母9，所述锁紧螺母9靠近所述反应管3竖向中心线的一端向内设置有一圈第二凸台11，所述第二凸台11与所述反应管3之间形成第二间隙环，所述第一间隙环和所述第二间隙环内设置有与其相吻合的压环12，与所述限位环10端部相接触的所述第一凸台14端面向远离所述反应管3竖向中心线一侧倾斜设置，所述第一凸台14与所述压环12之间形成第三间隙环，所述第三间隙环内设置有套设在所述反应管3外周的密封圈15，所述限位环10的端部与压环12上部的第二凸台11之间形成压缩空间13。锁紧螺母9上第二凸台11的设置，将第一间隙环内的压环12压紧，同时与第一间隙环和第二间隙环相吻合的压环12将限位环10一侧的第一凸台14端部顶紧，限位台的外周设置有与锁紧螺母9相配合的螺纹，通过手拧锁紧螺纹加紧密封，操作简单且方便，不需要外部工具，装配简单；通过第一凸台14端面倾斜的设置及第一凸台14与压环12之间形成的第三间隙环设置，使密封圈15在锁紧螺母9推动压环12的作用下发生形变，使密封圈15抱紧反应管3端头外侧密封，密封圈15的材质为氟橡胶；压缩空间13的设置，方便锁紧螺母9带动压环12压密封圈15，使密封圈15发生形变，增大密封圈15与反应管3的接触面积，密封效果好。

实施例3

基于实施例1，如图1到3所示，所述第一配气管7和所述第二配气管8分别与对应的所述第一凸台14和所述限位环10一体成型。第一配气管7和第二配气管8分别与对应的第一凸台14和限位环10一体成型，方便对304或316不锈钢钢管直接加工成型，加工方便，成型后稳定性高。

实施例4

基于实施例1，如图1所示，所述第二配气管8上还连通有备用法兰口6。备用法兰口6的设置，方便向反应管3内加入需要的气源，不用时，将其外部用密封门密封，应用范围广泛。

实施例5

基于实施例1，如图1到4所示，所述反应管3为石英管或陶瓷管，所述第一配气管7和所述第二配气管8均为304或316不锈钢厚壁钢管。石英管或陶瓷管均为耐腐蚀管，不会与气源及基材发生反应，稳定性好，此外，耐腐蚀性能高，设备使用寿命高；304或316不锈钢厚壁钢管，耐腐蚀性高，方便加工。

Claims (8)

1.多功能CVD配气接头组件，包括反应管(3)，其特征在于，所述反应管(3)的一端可拆连接有第一配气管(7)，另一端可拆卸连接有第二配气管(8)，所述第一配气管(7)和所述第二配气管(8)的内径均与所述反应管(3)的内径相同，且所述第一配气管(7)、所述反应管(3)和所述第二配气管(8)的水平中心轴位于同一直线上，所述第一配气管(7)上连通有一个或两个压力传感器接口(5)和一个或两个抽气口(4)，所述第二配气管(8)上连通有进气法兰口(2)，所述第一配气管(7)和所述第二配气管(8)远离所述反应管(3)的一端均为样品进出口(1)。

2.根据权利要求1所述的多功能CVD配气接头组件，其特征在于：所述第一配气管(7)和所述第二配气管(8)与所述反应管(3)相连的一端均设置有一圈套在所述反应管(3)上的第一凸台(14)，每个所述第一凸台(14)的端部向外延伸有一圈限位环(10)，所述限位环(10)与所述反应管(3)之间形成第一间隙环，所述第一凸台(14)与所述限位环(10)的外周相平齐且形成限位台，所述限位台上套设有锁紧螺母(9)，所述锁紧螺母(9)靠近所述反应管(3)竖向中心线的一端向内设置有一圈第二凸台(11)，所述第二凸台(11)与所述反应管(3)之间形成第二间隙环，所述第一间隙环和所述第二间隙环内设置有与其相吻合的压环(12)。

3.根据权利要求2所述的多功能CVD配气接头组件，其特征在于，与所述限位环(10)端部相接触的所述第一凸台(14)端面向远离所述反应管(3)竖向中心线一侧倾斜设置，所述第一凸台(14)与所述压环(12)之间形成第三间隙环，所述第三间隙环内设置有套设在所述反应管(3)外周的密封圈(15)。

4.根据权利要求2所述的多功能CVD配气接头组件，其特征在于，所述限位环(10)的端部与压环(12)上部的第二凸台(11)之间形成压缩空间(13)。

5.根据权利要求2所述的多功能CVD配气接头组件，其特征在于，所述第一配气管(7)和所述第二配气管(8)分别与对应的所述第一凸台(14)和所述限位环(10)一体成型。

6.根据权利要求1所述的多功能CVD配气接头组件，其特征在于：所述第二配气管(8)上还连通有备用法兰口(6)。

7.根据权利要求1所述的多功能CVD配气接头组件，其特征在于：所述反应管(3)为石英管或陶瓷管。

8.根据权利要求1所述的多功能CVD配气接头组件，其特征在于：所述第一配气管(7)和所述第二配气管(8)均为304或316不锈钢厚壁钢管。

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