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Abstract

本发明涉及一种扩散炉结构，包括石英管、与石英管两端相连接的第一、二密封组件，第一密封组件包括第一、二、三连接件、第一、二密封圈，第一连接件套设在石英管上，第一、二连接件相连接，第二、三连接件相连接，第一密封圈位于石英管、第一、二连接件之间，第三连接件形成炉门；第二密封组件包括第四、五、六连接件、第三、四密封圈，第四连接件套设在石英管上，第四、五连接件相连接，第五、六连接件相连接，第三密封圈位于石英管、第四、五连接件之间。本发明采用了两端敞开的石英管，对石英管两端进行密封，解决石英管在高真空环境下不会损坏的进行烘烤，提高了腔体空间后还能保证真空度，节约了烘烤成本。

Description

一种扩散炉结构
技术领域
本发明涉及扩散炉制造领域，特别是涉及一种扩散炉结构。
背景技术
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
随着扩散炉的石英管的直径增加，当石英管的直径增加达到一定值后，将不能对其抽真空，而在没有真空环境下进行烘烤将会影响扩散炉的烘烤质量。
发明内容
本发明的目的是提供一种扩散炉结构，特别是提供一种高温真空耐腐蚀的扩散炉。
为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：
一种扩散炉结构，包括石英管，所述的石英管的两端敞开，所述的扩散炉结构还包括位于炉口一端与所述的石英管相连接的第一密封组件、位于炉尾一端与所述的石英管相连接的第二密封组件，其中：
所述的第一密封组件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一密封圈以及第二密封圈，所述的第一连接件固定套设在位于炉口一端所述的石英管上，所述的第二连接件与所述的第一连接件相连接，所述的第三连接件与所述的第二连接件相连接，所述的第一密封圈同时位于所述的石英管、第一连接件以及第二连接件之间，所述的第二密封圈位于所述的第二连接件、第三连接件之间，所述的第三连接件形成炉门；
所述的第二密封组件包括第四连接件、第五连接件、第六连接件、第三密封圈以及第四密封圈，所述的第四连接件固定套设在位于炉尾一端所述的石英管上，所述的第五连接件与所述的第四连接件相连接，所述的第六连接件与所述的第五连接件相连接，所述的第三密封圈同时位于所述的石英管、第四连接件以及第五连接件之间，所述的第四密封圈位于所述的第五连接件、第六连接件之间。
优选地，所述的第二连接件、第五连接件与所述的石英管不相接触。
优选地，所述的第二密封组件还包括第七连接件、第五密封圈，所述的第七连接件与所述的第六连接件相连接，所述的第五密封圈位于所述的第六连接件、第七连接件之间，所述的第七连接件将位于炉尾一端所述的石英管封堵。
进一步优选地，所述的第一密封组件、第二密封组件中的一个上开设有气体入口、另一个上开设有气体出口，所述的气体入口、气体出口通过所述的石英管内部相连通。
进一步优选地，所述的第七连接件上开设有所述的气体入口，所述的第二连接件上开设有所述的气体出口。
进一步优选地，所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件、第四连接件、第五连接件、第六连接件、第七连接件中的至少一个上设置有具有冷却液进口、冷却液出口的冷却液通道。
进一步优选地，所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件、第四连接件、第五连接件、第六连接件、第七连接件为法兰。
进一步优选地，所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件、第四连接件、第五连接件、第六连接件、第七连接件为不锈钢材质。
进一步优选地，所述的第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈、第四密封圈、第五密封圈为氟胶O型圈。
优选地，所述的第一连接件上朝向所述的第二连接件一侧、所述的第四连接件上朝向所述的第五连接件一侧分别开设有槽体，所述的第二连接件上朝向所述的第一连接件一侧、所述的第五连接件上朝向所述的第四连接件一侧分别设置有凸部，所述的第一密封圈位于所述的第一连接件的槽体内，所述的第二连接件的凸部抵紧在所述的第一密封圈上；所述的第三密封圈位于所述的第四连接件的槽体内，所述的第五连接件的凸部抵紧在所述的第三密封圈上。
优选地，所述的第二连接件上朝向所述的第三连接件一侧设置有截面呈L型的连接部，所述的连接部上开设有连接孔，紧固件通过所述的连接部的连接孔将所述的第三连接件抵紧在所述的第二连接件上。
优选地，所述的石英管的直径大于600mm。
由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点和效果：
本发明采用了两端敞开的石英管，对石英管两端进行密封（连接件、密封圈），解决大型石英管在高真空环境下不会损坏的进行烘烤，提高了腔体空间后还能保证真空度，大大节约了烘烤成本。
附图说明
附图1为本实施例的结构示意图；
附图2为附图1中A部放大图；
附图3为浮体1中B部放大图。
其中：1、石英管；20、第一连接件；200、槽体；21、第二连接件；210、凸部；211、槽体；212、连接部；213、连接孔；214、气体出口；22、第三连接件；23、第一密封圈；24、第二密封圈；30、第四连接件；300、槽体；31、第五连接件；310、凸部；311、槽体；32、第六连接件；321、槽体；33、第七连接件；330、气体入口；34、第三密封圈；35、第四密封圈；36、第五密封圈；4、螺母；50、冷却液进口；51、冷却液出口。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如图1-3所示的一种扩散炉结构，包括石英管1、位于炉口一端与石英管1相连接的第一密封组件、位于炉尾一端与石英管1相连接的第二密封组件。其中：
石英管1的两端敞开，石英管1的直径由现有的315mm增加到600mm以上，如630mm。
第一密封组件包括第一连接件20、第二连接件21、第三连接件22、第一密封圈23以及第二密封圈24。在本实施例中：第一连接件20固定套设在位于炉口一端的石英管1上，第二连接件21与第一连接件20相连接，第三连接件22与第二连接件相连接21。第一密封圈23同时位于石英管1、第一连接件20以及第二连接件21之间，且第二连接件21与石英管1不相接触，具体为：第一连接件20上朝向第二连接件21一侧开设有槽体200，第二连接件21上朝向第一连接件20一侧设置有凸部210，第一密封圈23位于第一连接件20的槽体200内，第二连接件21的凸部210抵紧在第一密封圈23上，通过锁紧第一连接件20、第二连接件21挤压第一密封圈23来保证炉口石英管1与不锈钢第一连接件20、第二连接件21的密封，保证扩散炉石英管1的炉口的真空度，并且不锈钢的第二连接件21与石英管1不相接触，保证石英管1在安装中不会被损坏。第二密封圈24位于第二连接件21、第三连接件22之间，第三连接件22形成炉门，具体为：第二连接件21上朝向第三连接件22一侧开设有槽体211，第二密封圈24位于第二连接件21的槽体211内，并且第二连接件21上朝向第三连接件22一侧设置有截面呈L型的连接部212，连接部212上开设有多个连接孔213，紧固件如螺母4穿过连接部212的连接孔213将第三连接件22抵紧在位于第二连接件22的槽体211内的第二密封圈24上，通过锁紧第二连接件21、第三连接件22挤压第二密封圈24保证了炉口的密封。
第二密封组件包括第四连接件30、第五连接件31、第六连接件32、第七连接件33、第三密封圈34、第四密封圈35以及第五密封圈36。在本实施例中：第四连接件30固定套设在位于炉尾一端石英管1上，第五连接件31与第四连接件30相连接，第六连接件32与第五连接件31相连接，第七连接件33与第六连接件32相连接。第三密封圈34同时位于石英管1、第四连接件30以及第五连接件31之间，且第五连接件31与石英管1不相接触，具体为：第四连接件30上朝向第五连接件31一侧开设有槽体300，第五连接件31上朝向第四连接件30一侧设置有凸部310，第三密封圈34位于第四连接件30的槽体300内，第五连接件31的凸部310抵紧在第三密封圈34上，通过锁紧第四连接件30、第五连接件31挤压第三密封圈34来保证炉尾石英管1与不锈钢第四连接件30、第五连接件31的密封，保证扩散炉石英管1的炉尾的真空度，并且不锈钢的第五连接件31与石英管1不相接触，保证石英管1在安装中不会被损坏。第四密封圈35位于第五连接件31、第六连接件32之间，具体为：第五连接件31上朝向第六连接件32一侧开设有槽体311，第四密封圈35位于第五连接件31的槽体311内，第六连接件32抵紧在位于第五连接件31的槽体311内的第四密封圈35上，通过锁紧第五连接件31、第六连接件32挤压第四密封圈35保证了炉尾的密封。第五密封圈36位于第六连接件32、第七连接件33之间，第七连接件33将位于炉尾一端的石英管1封堵，具体为：第六连接件32上朝向第七连接件33一侧开设有槽体321，第五密封圈36位于第六连接件32的槽体321内，第七连接件33抵紧在位于第六连接件32的槽体321内的第五密封圈36上。
第一密封组件、第二密封组件中的一个上开设有（HCl）气体入口330、另一个上开设有气体出口214，气体入口330、气体出口214通过石英管1内部相连通。在本实施例中：第七连接件33上开设有气体入口330，第二连接件21上开设有气体出口214。
在本实施例中：第一连接件20、第二连接件21、第三连接件22、第四连接件30、第五连接件31、第六连接件32、第七连接件33均采用不锈钢材质的法兰，并且为了保证各密封圈在高温下能正常使用，在各连接件中需要通入冷却液，来进行降温，因此第一连接件20、第二连接件21、第三连接件22、第四连接件30、第五连接件31、第六连接件32、第七连接件33上均设置有具有冷却液进口50、冷却液出口51的冷却液通道。第一密封圈23、第二密封圈24、第三密封圈34、第四密封圈35、第五密封圈36采用氟胶O型圈。
经济效益：之前，采用的扩散炉多为腔体小，对器件体积有所要求，或者是腔体大但是真空度不能保证，采用本实施例后不仅能对体积大真空度要求高的器件进行烘烤而且节约了烘烤成本，单炉产量可提高3倍，生产效率明显成倍提升。可广泛使用于半导体行业中，对MOCVD设备使用过的石墨盘清洗，对半导体晶片进行扩散，氧化，退火，合金及烧结等工艺。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种扩散炉结构，包括石英管，其特征在于：所述的石英管的两端敞开，所述的扩散炉结构还包括位于炉口一端与所述的石英管相连接的第一密封组件、位于炉尾一端与所述的石英管相连接的第二密封组件，其中：
所述的第一密封组件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一密封圈以及第二密封圈，所述的第一连接件固定套设在位于炉口一端所述的石英管上，所述的第二连接件与所述的第一连接件相连接，所述的第三连接件与所述的第二连接件相连接，所述的第一密封圈同时位于所述的石英管、第一连接件以及第二连接件之间，所述的第二密封圈位于所述的第二连接件、第三连接件之间，所述的第三连接件形成炉门；
所述的第二密封组件包括第四连接件、第五连接件、第六连接件、第三密封圈以及第四密封圈，所述的第四连接件固定套设在位于炉尾一端所述的石英管上，所述的第五连接件与所述的第四连接件相连接，所述的第六连接件与所述的第五连接件相连接，所述的第三密封圈同时位于所述的石英管、第四连接件以及第五连接件之间，所述的第四密封圈位于所述的第五连接件、第六连接件之间。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第二连接件、第五连接件与所述的石英管不相接触。
3.根据权利要求1所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第二密封组件还包括第七连接件、第五密封圈，所述的第七连接件与所述的第六连接件相连接，所述的第五密封圈位于所述的第六连接件、第七连接件之间，所述的第七连接件将位于炉尾一端所述的石英管封堵。
4.根据权利要求3所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第一密封组件、第二密封组件中的一个上开设有气体入口、另一个上开设有气体出口，所述的气体入口、气体出口通过所述的石英管内部相连通。
5.根据权利要求4所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第七连接件上开设有所述的气体入口，所述的第二连接件上开设有所述的气体出口。
6.根据权利要求3所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件、第四连接件、第五连接件、第六连接件、第七连接件中的至少一个上设置有具有冷却液进口、冷却液出口的冷却液通道。
7.根据权利要求3所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件、第四连接件、第五连接件、第六连接件、第七连接件为法兰。
8.根据权利要求3所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈、第四密封圈、第五密封圈为氟胶O型圈。
9.根据权利要求1所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第一连接件上朝向所述的第二连接件一侧、所述的第四连接件上朝向所述的第五连接件一侧分别开设有槽体，所述的第二连接件上朝向所述的第一连接件一侧、所述的第五连接件上朝向所述的第四连接件一侧分别设置有凸部，所述的第一密封圈位于所述的第一连接件的槽体内，所述的第二连接件的凸部抵紧在所述的第一密封圈上；所述的第三密封圈位于所述的第四连接件的槽体内，所述的第五连接件的凸部抵紧在所述的第三密封圈上。
10.根据权利要求1所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第二连接件上朝向所述的第三连接件一侧设置有截面呈L型的连接部，所述的连接部上开设有连接孔，紧固件通过所述的连接部的连接孔将所述的第三连接件抵紧在所述的第二连接件上。
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