CN217479538U - 一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极，具有设备本体；设备本体连接有电极安装法兰座，电极安装法兰座法兰连接有灯丝模块，灯丝模块具有金属电极，金属电极套接有陶瓷，陶瓷套接有不锈钢法兰。本实用新型采用金属电极与陶瓷焊接的一体式设计，保证金属电极能够释放阴极的工作性能，同时在与真空镀膜设备的接触过程中，保持高质量的密封性和耐热性能，从而隔绝电极导通，减少真空镀膜设备的故障损坏。

Description

一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极。

背景技术

现有真空镀膜设备的涂层温度为450-470℃，其使用的金属电极在受到高温导热后密封性能下降严重，严重的会导致金属电极吸附灰尘后与真空镀膜设备导通，造成设备损伤及工件报废。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极，具有设备本体；所述设备本体连接有电极安装法兰座，所述电极安装法兰座法兰连接有灯丝模块，所述灯丝模块具有金属电极，所述金属电极套接有陶瓷，所述陶瓷套接有不锈钢法兰。

上述技术方案所述不锈钢法兰面向所述电极安装法兰座的一端设有金属密封垫。

上述技术方案所述金属密封垫为CF35密封铜垫。

上述技术方案所述不锈钢法兰对应于所述密封垫设有密封垫槽。

上述技术方案所述密封垫槽连接有截面为直角三角形的压环。

上述技术方案所述金属电极焊接于所述陶瓷。

上述技术方案所述不锈钢法兰螺栓连接于所述电极安装法兰座。

采用上述技术方案后，本实用新型具有以下积极的效果：

本实用新型采用金属电极与陶瓷焊接的一体式设计，保证金属电极能够释放阴极的工作性能，同时在与真空镀膜设备的接触过程中，保持高质量的密封性和耐热性能，从而隔绝电极导通，减少真空镀膜设备的故障损坏。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1中A的放大示意图；

图3为本实用新型灯丝模块的左视立体图；

图4为本实用新型灯丝模块的右视立体图；

图5为本实用新型灯丝模块的剖视图。

图中：设备本体1、电极安装法兰座2、灯丝模块3、金属电极31、陶瓷32、不锈钢法兰33、金属密封垫4、密封垫槽51、压环52。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

见图1至图5，本实用新型提供一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极，具有设备本体1；设备本体1连接有电极安装法兰座2，电极安装法兰座2法兰连接有灯丝模块3，灯丝模块3具有金属电极31，金属电极31套接有陶瓷32，陶瓷32套接有不锈钢法兰33。

本实施例为本实用新型的基础实施例，设备本体1为真空镀膜设备，电极安装法兰座2可以但不仅限于使用焊接等方式固定于设备本体1。为了使得金属电极31和陶瓷32的连接密封性和耐热性，金属电极31一体焊接于陶瓷32，这样设计的好处在于，金属电极31能够释放阴极的工作性能，陶瓷32则可以耐高温，因此在与真空镀膜设备的接触过程中，能够保持高质量的密封性和耐热性能，从而隔绝灰尘，避免金属电极吸附灰尘后与真空镀膜设备导通，减少真空镀膜设备的故障损坏。

在本实施例中，为了保证不锈钢法兰33和电极安装法兰座2的密封性，不锈钢法兰33面向电极安装法兰座2的一端设有金属密封垫4。作为金属密封垫4的具体选择，经过安装使用实验后，金属密封垫4选择为CF35密封铜垫。

为了方便安装，不锈钢法兰33对应于密封垫4设有密封垫槽51。同样的为了加强密封效果，密封垫槽51连接有截面为直角三角形的压环52。

不锈钢法兰33螺栓连接于电极安装法兰座2，螺栓采用多个，圆周均布地使得不锈钢法兰33和电极安装法兰座2连接。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极，具有设备本体(1)；其特征在于：所述设备本体(1)连接有电极安装法兰座(2)，所述电极安装法兰座(2)法兰连接有灯丝模块(3)，所述灯丝模块(3)具有金属电极(31)，所述金属电极(31)套接有陶瓷(32)，所述陶瓷(32)套接有不锈钢法兰(33)。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极，其特征在于：所述不锈钢法兰(33)面向所述电极安装法兰座(2)的一端设有金属密封垫(4)。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极，其特征在于：所述金属密封垫(4)为CF35密封铜垫。

4.根据权利要求2所述的一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极，其特征在于：所述不锈钢法兰(33)对应于所述密封垫(4)设有密封垫槽(51)。

5.根据权利要求4所述的一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极，其特征在于：所述密封垫槽(51)连接有截面为直角三角形的压环(52)。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极，其特征在于：所述金属电极(31)焊接于所述陶瓷(32)。

7.根据权利要求1所述的一种用于真空设备的陶瓷金属焊接电极，其特征在于：所述不锈钢法兰(33)螺栓连接于所述电极安装法兰座(2)。

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