CN211595828U - 晶圆夹具的分节式导电片 - Google Patents

Abstract

本实用新型为一种晶圆夹具的分节式导电片，适用于晶圆夹具，所述晶圆夹具具有夹具内盖，以夹持晶圆，包含：多个导电片，设于所述夹具内盖上并与所述晶圆电性连接，所述夹具内盖具有内面，所述内面凹设多个组设槽，各所述组设槽内分别固定一个所述导电片，所述夹具内盖为环型，各所述组设槽为弯弧型，且各所述导电片为弯弧片状。由于各所述导电片为分节式，不仅在制作上较圆环型更为容易，也能更容易地组设于所述夹具内盖中。更佳的是，晶圆夹具在长时间使用导致O‑ring老化变形，而让电镀液渗入晶圆夹具内造成金属不当附着于导电片时，能直接将附着金属的导电片换新，而能够继续使用的导电片则不进行更换，由此，降低整体更换材料的成本。

Description

晶圆夹具的分节式导电片

技术领域

本实用新型为一种晶圆夹具的分节式导电片，特别是关于加工晶圆的辅助制具的领域。

背景技术

如图1所示，一般电镀晶圆时，会将晶圆夹持于晶圆夹具内，再将夹持有晶圆的晶圆夹具浸置于电镀槽内，而晶圆夹具通电后，即可完成晶圆的电镀作业。

一般电镀晶圆所使用的晶圆夹具包含有夹具内盖11，而夹具内盖11中则装设有环型的导电片12，在夹具内盖11固定晶圆时，导电片12与晶圆接触，进而在晶圆夹具通电时，电力能够通过导电片12并导至晶圆。

然而，在制作过程上，将导电片12加工制成圆环形状较困难，使制作出的导电片12容易产生公差，导致生产的导电片12非正圆环型；若将具有公差的导电片12组设于夹具内盖 11，会导致导电片12与夹具内盖11之间的配合关系不够紧密。

其次，长期使用晶圆夹具后，晶圆夹具内的O-ring会老化变形，导致电镀液渗入晶圆夹具内，造成导电片11上不当积聚金属，使得导电效果不佳，因此需要更换所述导电片；然而，只要导电片11上局部积聚金属就必须进行更换，而每次更换导电片11就必须整体更换，导致更换成本高。

实用新型内容

本实用新型的第一个目的在于，解决导电片容易因为制作公差，导致组设于夹具内盖不稳固的问题。

本实用新型的第二个目的在于，解决导电片局部积聚金属时，必须整体更换而造成更换成本过高的问题。

为达成前述目的，本实用新型为一种晶圆夹具的分节式导电片，适用于晶圆及夹具内盖，而所述晶圆夹具的分节式导电片，包含：

多个导电片，设于所述夹具内盖上并与所述晶圆电性连接，所述夹具内盖具有内面，所述内面凹设多个组设槽，各所述组设槽内分别固定一个所述导电片，所述夹具内盖为环型，各所述组设槽为弯弧型，且各所述导电片为弯弧片状。

在一较佳实施例中，各所述组设槽之间的间距相等。

在一较佳实施例中，各所述导电片分别具有多个锁固孔，再由多个螺栓通过各所述锁固孔，以将各所述导电片锁固于所述组设槽内。

在一较佳实施例中，各所述导电片上分别穿设多个收缩缝。

在一较佳实施例中，各所述导电片分别具有外侧面，以及相对所述外侧面的内侧面，而各所述收缩缝皆位于所述内侧面。

在一较佳实施例中，所述导电片上凹设有二凹部。

由于各所述导电片为分节式，不仅在制作上较圆环型更为容易，也能够更容易地组设于所述夹具内盖中。

更佳的是，晶圆夹具在长时间使用导致O-ring老化变形，而让电镀液渗入晶圆夹具内造成金属不当附着于导电片时，能够直接将附着金属的导电片换新，而能够继续使用的导电片则不进行更换，由此，降低整体更换材料的成本。

附图说明

图1为现有技术晶圆夹具的立体分解图。

图2为本实用新型在一较佳实施例中的立体分解图。

图3为基于图2中的局部放大图。

图4为本实用新型在一较佳实施例中导电片组设于夹具内盖的立体图。

图5为基于图4中的局部放大图。

图6为本实用新型在第二实施例中的侧视图。

附图中符号标记说明：

现有技术：

夹具内盖11 导电片12

本实用新型：

夹具内盖20 内面21

组设槽22 导电片30

锁固孔31 收缩缝32

内侧面33 外侧面34

凹部35

具体实施方式

下面将对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图2至图5所示，本实用新型为一种晶圆夹具的分节式导电片，适用于晶圆(图未示) 及夹具内盖20，而所述晶圆夹具的分节式导电片，包含：

多个导电片30，设于夹具内盖20上，且各导电片30与所述晶圆电性连接。

在本实施例中，夹具内盖20具有内面21，而内面21凹设多个组设槽22，各组设槽22内分别固定一个导电片30。

更佳的是，夹具内盖20呈环型，各组设槽22为弯弧型，且各导电片30为弯弧片状，而各导电片30分别组设于其中一个组设槽22内。

特别的是，各组设槽22之间的间距相等，使各导电片30组设于各组设槽22内时，能够等距地环绕晶圆的周围，由此以让导电效果更佳。

其次，如图3至图5所示，各导电片30分别具有多个锁固孔31，再由多个螺栓穿设各锁固孔31，以将各导电片30锁固于组设槽22内，由此将导电片30固定于夹具内盖20。

再者，如图3所示，各导电片30上分别具有多个收缩缝32，各收缩缝32提供各导电片 30热涨冷缩的裕度。

更佳的是，各导电片30分别具有外侧面34，以及相对外侧面34的内侧面33，而各收缩缝32皆位于内侧面33。

最后，如图6所示，在另一个实施例中，导电片30上凹设有二凹部35。

以上为本实用新型于一较佳实施例中的结构组态及其连接关系，本实用新型的使用方式及其所能够达成的功效如下所述：

如图4所示，操作者将各导电片30组设于夹具内盖20的各组设槽22内，并通过螺栓穿过各导电片30的锁固孔31，以将各导电片30锁固于各组设槽22内，进而让各导电片30固定于夹具内盖20上。

夹具内盖20上的各导电片30环状的设置于所述晶圆周围并与晶圆电性连接，进而完成电性导通以使晶圆能够进行电镀。

由于各导电片30为分节式，不仅在制作上较圆环型更为容易，也能够更容易地组设于夹具内盖20中。

更佳的是，晶圆夹具在长时间使用导致O-ring老化变形，而让电镀液渗入晶圆夹具内造成金属不当附着于导电片30时，能够直接将附着金属的导电片30换新，而能够继续使用的导电片30则不进行更换，由此，降低整体更换材料的成本。

综上所述，上述各实施例仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，皆应包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (6)

1.一种晶圆夹具的分节式导电片，其特征在于，适用于晶圆及夹具内盖，而所述晶圆夹具的分节式导电片，包含：

多个导电片，设于所述夹具内盖上并与所述晶圆电性连接，所述夹具内盖具有内面，所述内面凹设多个组设槽，各所述组设槽内分别固定一个所述导电片，所述夹具内盖为环型，各所述组设槽为弯弧型，且各所述导电片为弯弧片状。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹具的分节式导电片，其特征在于，各所述组设槽之间的间距相等。

3.根据权利要求1所述的晶圆夹具的分节式导电片，其特征在于，各所述导电片分别具有多个锁固孔，再由多个螺栓通过各所述锁固孔，以将各所述导电片锁固于所述组设槽内。

4.根据权利要求1所述的晶圆夹具的分节式导电片，其特征在于，各所述导电片上分别穿设多个收缩缝。

5.根据权利要求4所述的晶圆夹具的分节式导电片，其特征在于，各所述导电片分别具有外侧面，以及相对该所述外侧面的内侧面，而各所述收缩缝皆位于所述内侧面。

6.根据权利要求1所述的晶圆夹具的分节式导电片，其特征在于，所述导电片上凹设有二凹部。

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