CN214534458U - 一种沉积炉炉盖的密封结构及沉积炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于沉积炉技术领域，公开了一种沉积炉炉盖的密封结构及沉积炉，该沉积炉炉盖的密封结构包括第一密封组件、抵接部和第二密封组件，炉盖的端口、管板和管板法兰能够压紧该第一密封组件，以起到隔热和初级密封的作用；抵接部设置于炉盖的靠近管板法兰的一侧，抵接部能够抵接于第一密封组件的外侧短边；第二密封组件嵌设于炉盖法兰上的环形凹槽内，且第二密封组件能够抵接于管板法兰，以实现高可靠性的第二级密封；该沉积炉包括炉盖、炉身、炉盖法兰、管板、管板法兰、活节螺栓座、活节螺栓、螺母以及沉积炉炉盖的密封结构，该沉积炉的炉盖的密封结构简单、密封隔热性能良好，提升了沉积炉的工作性能和工作效率，降低了沉积炉的成本。

Description

一种沉积炉炉盖的密封结构及沉积炉

技术领域

本实用新型涉及沉积炉技术领域，尤其涉及一种沉积炉炉盖的密封结构及沉积炉。

背景技术

在沉积炉中，炉盖位于上、下管板的管程侧，起到封闭管程物料的作用，该炉盖需要定期开启，以对物料管内的原料进行加注或对反应沉积物进行收集，所以炉盖是最重要的部件之一；此外，炉盖的密封也十分重要，目前，炉盖的密封是采用内侧压缩松散石墨填料和外侧成形石墨填料的组合密封结构，然而，该密封结构的内侧松散石墨填料属于污染性物料，环保性较差，且石墨填料的隔热性差，导致外侧成形石墨填料处的温度高，进而造成外侧密封困难，同时降低了外侧成形石墨填料的使用寿命，而且内侧压缩松散石墨填料和外侧成形石墨填料的更换都十分不便，且成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种沉积炉炉盖的密封结构及沉积炉，以提升沉积炉炉盖的密封性。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种沉积炉炉盖的密封结构，包括：

第一密封组件，设置于沉积炉的炉盖的端口、管板和管板法兰之间，所述第一密封组件的横截面为L形，且所述第一密封组件为一体结构；

抵接部，设置于所述炉盖的靠近所述管板法兰的一侧，所述抵接部能够抵接于所述第一密封组件的外侧短边；及

第二密封组件，所述沉积炉的炉盖法兰上设置有环形凹槽，所述第二密封组件嵌设于所述环形凹槽内，且所述第二密封组件能够抵接于所述管板法兰，所述第二密封组件的横截面为圆形。

作为优选，所述抵接部与所述炉盖法兰焊接相连。

作为优选，所述抵接部上设置有连接孔，所述炉盖上设置有螺纹孔，螺栓穿过所述连接孔与所述螺纹孔螺纹连接，以使所述抵接部与所述炉盖相连。

作为优选，所述第一密封组件采用隔热材料制成。

作为优选，所述第一密封组件采用软性材料制成。

作为优选，所述第一密封组件采用环保材料制成。

作为优选，所述第二密封组件采用硅胶或橡胶材料制成。

本实用新型还提供一种沉积炉，包括炉盖、炉身、炉盖法兰、管板、管板法兰、活节螺栓座、活节螺栓、螺母以及沉积炉炉盖的密封结构。

作为优选，所述炉盖法兰上的环形凹槽为环形的燕尾槽。

作为优选，所述活节螺栓上套设有弹簧垫片，且所述弹簧垫片位于螺母与所述炉盖法兰之间。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提出的沉积炉炉盖的密封结构包括第一密封组件、抵接部和第二密封组件，第一密封组件设置于沉积炉的炉盖的端口、管板和管板法兰之间，第一密封组件的横截面为L形，且第一密封组件为一体结构，炉盖的端口、管板和管板法兰能够压紧该第一密封组件，以起到隔热和初级密封的作用，消除了原松散石墨填料隔热性差的问题；抵接部设置于炉盖的靠近管板法兰的一侧，抵接部能够抵接于第一密封组件的外侧短边；沉积炉的炉盖法兰上设置有环形凹槽，第二密封组件嵌设于环形凹槽内，且第二密封组件能够抵接于管板法兰，第二密封组件的横截面为圆形，炉盖法兰和管板法兰能够压紧该第二密封组件，以实现高可靠性的第二级密封，该沉积炉炉盖的密封结构性能可靠、成本较低；本实用新型提出的沉积炉包括炉盖、炉身、炉盖法兰、管板、管板法兰、活节螺栓座、活节螺栓、螺母以及沉积炉炉盖的密封结构，该沉积炉的炉盖的密封结构简单、密封隔热性能良好，提升了沉积炉的工作性能和工作效率，降低了沉积炉的制造和使用成本，具有明显的经济和社会效益。

附图说明

图1是本实用新型提出的沉积炉的局部视图。

图中：

1、炉盖；2、炉盖法兰；3、管板；4、管板法兰；5、活节螺栓座；6、活节螺栓；7、第一密封组件；8、抵接部；9、第二密封组件；10、弹簧垫片；11、炉身。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

本实用新型提供一种沉积炉，如图1所示，该沉积炉包括炉盖1、炉身11、炉盖法兰2、管板3、管板法兰4、活节螺栓座5、活节螺栓6、螺母以及沉积炉炉盖的密封结构。

具体地，该沉积炉炉盖的密封结构包括第一密封组件7、抵接部8和第二密封组件9，第一密封组件7设置于沉积炉的炉盖1的端口、管板3和管板法兰4之间，第一密封组件7采用横截面为L形的密封填料，且该L形密封填料为一体结构，炉盖1的端口、管板3和管板法兰4能够压紧该L形密封填料，以起到隔热和初级密封的作用，消除了原松散石墨填料隔热性差的问题；抵接部8设置于炉盖1的靠近管板法兰4的一侧，抵接部8能够抵接于L形密封填料的外侧短边，以进一步提高第一密封组件7的隔热和初级密封的作用；沉积炉的炉盖法兰2上设置有环形凹槽，第二密封组件9采用横截面为圆形的密封圈，该密封圈嵌设于环形凹槽内，且密封圈能够抵接于管板法兰4，炉盖法兰2和管板法兰4能够压紧该第二密封组件9，以实现高可靠性的第二级密封，该沉积炉炉盖的密封结构性能可靠、成本较低。

优选地，本实施例中的抵接部8与炉盖法兰2焊接相连，采用焊接工艺较为简单，且工艺成熟，有助于将抵接部8与管板法兰4相连，且连接牢固。

可以想到的是，为了便于更换抵接部8，还可以在抵接部8上设置多个连接孔，并在炉盖1上设置多个螺纹孔，将螺栓穿过连接孔与对应的螺纹孔螺纹连接，以使抵接部8与炉盖1相连，当需要更换抵接部8时，将连接螺栓拧松即可。

为了提升L形密封填料的隔热性、密封性和环保性，该L形密封填料采用隔热、密实、软性且环保的材料制成。

由于L形密封填料已经实现了较好的初级密封和隔热，密封圈所在的位置的温度已接近常温，所以对密封圈的耐热性的要求便不高，因此，该密封圈采用硅橡胶或其他橡胶材料制成即可，这能够极大地节省密封成本和维护成本，还能够提升高温密封的便利性和可靠性。

如图1所示，炉盖法兰2上的环形凹槽为环形的燕尾槽，该燕尾槽能够便于安装密封圈，将密封圈安装在燕尾槽内能够便于炉盖1的安装和维护。

为了防止活节螺栓6上的螺母松动，本实施例在活节螺栓6上套设了弹簧垫片10，且弹簧垫片10位于螺母与炉盖法兰2之间，以防止因活节螺栓6上的螺母松动发生密封不严的现象，进而提升了炉盖1的密封性。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种沉积炉炉盖的密封结构，其特征在于，包括：

第一密封组件(7)，设置于沉积炉的炉盖(1)的端口、管板(3)和管板法兰(4)之间，所述第一密封组件(7)的横截面为L形，且所述第一密封组件(7)为一体结构；

抵接部(8)，设置于所述炉盖(1)的靠近所述管板法兰(4)的一侧，所述抵接部(8)能够抵接于所述第一密封组件(7)的外侧短边；及

第二密封组件(9)，所述沉积炉的炉盖法兰(2)上设置有环形凹槽，所述第二密封组件(9)嵌设于所述环形凹槽内，且所述第二密封组件(9)能够抵接于所述管板法兰(4)，所述第二密封组件(9)的横截面为圆形。

2.根据权利要求1所述的沉积炉炉盖的密封结构，其特征在于，所述抵接部(8)与所述炉盖法兰(2)焊接相连。

3.根据权利要求1所述的沉积炉炉盖的密封结构，其特征在于，所述抵接部(8)上设置有连接孔，所述炉盖(1)上设置有螺纹孔，螺栓穿过所述连接孔与所述螺纹孔螺纹连接，以使所述抵接部(8)与所述炉盖(1)相连。

4.根据权利要求1所述的沉积炉炉盖的密封结构，其特征在于，所述第一密封组件(7)采用隔热材料制成。

5.根据权利要求4所述的沉积炉炉盖的密封结构，其特征在于，所述第一密封组件(7)采用软性材料制成。

6.根据权利要求5所述的沉积炉炉盖的密封结构，其特征在于，所述第一密封组件(7)采用环保材料制成。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的沉积炉炉盖的密封结构，其特征在于，所述第二密封组件(9)采用硅胶或橡胶材料制成。

8.一种沉积炉，其特征在于，包括炉盖(1)、炉身(11)、炉盖法兰(2)、管板(3)、管板法兰(4)、活节螺栓座(5)、活节螺栓(6)、螺母以及权利要求1-7中任一项所述的沉积炉炉盖的密封结构。

9.根据权利要求8所述的沉积炉，其特征在于，所述炉盖法兰(2)上的环形凹槽为环形的燕尾槽。

10.根据权利要求8所述的沉积炉，其特征在于，所述活节螺栓(6)上套设有弹簧垫片(10)，且所述弹簧垫片(10)位于螺母与所述炉盖法兰(2)之间。

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