CN217895748U - 一种托板结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及工件转移设备技术领域，公开了一种托板结构。该托板结构包括连接件和托板结构，其中，连接件与机械手连接；托板部件高度可调地连接于连接件的一端，托板部件上开设有多个调节孔，多个调节孔沿托板部件的宽度方向呈两列排布，调节孔为螺纹孔，每个调节孔内螺纹连接有调节件，调节件伸入调节孔的一端与连接件抵接，旋拧对应的调节件以使托板部件的末端保持水平。该托板结构采用分体式设置，方便托板部件末端位置的调整，通过旋拧对应的调节件，即可调整托板部件相对于调节件的高度，以调整托板部件的末端保持水平，调整起来方便快捷。

Description

一种托板结构

技术领域

本实用新型涉及工件转移设备技术领域，具体涉及一种托板结构。

背景技术

化学气象沉积(CVD)，是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，该过程通常在CVD设备中进行。

现有技术中，通常利用机械臂带动托板结构托住工件，将其放入设备的反应室中，或者工件放置在托盘上，机械臂带动托板结构托住托盘，将托盘放入反应室中，并将两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后它们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到工件表面上，然后机械臂带动托板结构将工件或者托盘托出。现有技术中，托板结构大部分是一体式的长板形结构，由于重力或者其他因素的影响，托板结构最末端用于承托工件或者托盘的表面存在倾斜不水平的情况，工件或者托盘容易滑落，这种一体式的结构形式也不方便调整托板结构的水平位置，因此实用性较差。

因此，亟需提供一种托板结构，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种托板结构，采用分体式设置，方便托板结构末端位置的调整，使其末端始终保持水平。

为达上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种托板结构，包括：

连接件，与机械手连接；

托板部件，高度可调地连接于所述连接件的一端，所述托板部件上开设有多个调节孔，多个所述调节孔沿所述托板部件的宽度方向呈两列排布，所述调节孔为螺纹孔，每个所述调节孔内螺纹连接有调节件，所述调节件伸入所述调节孔的一端与所述连接件抵接，旋拧对应的所述调节件以使所述托板部件的末端保持水平。

作为一种托板结构的优选方案，托板部件包括调整座和托板本体，所述托板本体连接于所述调整座上，所述调节孔设置于所述调整座上，所述托板本体的末端用于承托工件。

作为一种托板结构的优选方案，所述连接件上开设有第一安装槽，所述调整座容置于所述第一安装槽中，且所述调整座的上端面与所述连接件的上端面齐平。

作为一种托板结构的优选方案，所述连接件上开设有第一安装孔，所述调整座与所述第一安装孔对应的位置开设有第二安装孔，第一紧固件穿过所述第二安装孔并伸入所述第一安装孔内，已将所述调整座固定于所述连接件上。

作为一种托板结构的优选方案，所述第一安装孔的数量设置为多个，多个所述第一安装孔沿所述连接件的宽度方向间隔设置；

所述第二安装孔的数量设置为多个，多个所述第二安装孔沿所述调整座的宽度方向间隔设置，并且多个所述第二安装孔与多个所述第一安装孔一一对应设置，每个所述第一安装孔和所述第二安装孔内均穿设于有所述第一紧固件。

作为一种托板结构的优选方案，所述调整座上设置有第二安装槽，所述托板本体容置于所述第二安装槽中，且所述托板本体与所述调整座可拆卸连接。

作为一种托板结构的优选方案，所述托板部件还包括压盖，所述压盖盖设于所述托板本体上，且与所述托板本体可拆卸连接。

作为一种托板结构的优选方案，所述调整座上开设有第三安装孔，所述托板本体与所述第三安装孔对应的位置开始有第四安装孔，所述压盖上与所述第四安装孔对应的位置开设有第五安装孔，第二紧固件依次穿过所述第五安装孔和所述第四安装孔并伸入所述第三安装孔内。

作为一种托板结构的优选方案，所述托板本体采用耐高温材料制成。

作为一种托板结构的优选方案，所述调节孔的数量设置为四个，四个所述调节孔呈两行两列排布。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的托板结构，包括连接件和托板部件，采用分体式设置，方便托板部件末端位置的调整，使其末端始终保持水平。其中，托板部件连接于连接件的一端，托板部件上开设有多个调节孔，每个调节孔内螺纹连接有调节件，调节件的一端与连接件抵接，通过旋拧对应的调节件，调整托板部件相对于调节件的高度，以调整托板部件的末端保持水平，调整起来方便快捷。

附图说明

为了更明显易懂的说明本实用新型的实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单介绍，下面描述的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实用新型实施例提供的托板结构的整体结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的托板结构的爆炸图。

图中：

100、工件；

1、连接件；11、第一安装槽；12、第一安装孔；

2、托板部件；21、调整座；211、调节孔；212、第二安装孔；213、第二安装槽；214、第三安装孔；22、托板本体；221、第四安装孔；23、压盖；231、第五安装孔；24、第二紧固件；

3、调节件；

4、第一紧固件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

参考图1，本实施例提供一种托板结构，包括连接件1和托板部件2，连接件1的一端与机械手连接；托板部件2高度可调地连接于连接件1的另一端且叠置于连接件1上，其中，连接件1维长板结构。托板部件2包括调整座21和托板本体22，托板本体22可拆卸连接于调整座21上，托板本体22为长板结构，其末端为叉子形状，方便叉取并承托工件100或者托盘。

由于托板本体22为长板形结构，由于重力或者其他因素的影响，托板本体22最末端存在倾斜不水平的情况，工件100或者托盘容易滑落，导致托板结构的实用性较差。

为解决上述问题，参考图1和图2，调整座21上开设有多个调节孔211，多个调节孔211沿托板部件2的宽度方向呈两列排布，调节孔211为螺纹孔，每个调节孔211内螺纹连接有调节件3，调节件3穿设于调节孔211后一端与连接件1抵接，旋拧对应的调节件3以使托板本体22保持水平。其中，调节件3可以是调节螺丝或者调节螺栓。由于调节件3抵接于连接件1上，且调节件3与调整座21螺纹配合，当旋拧对应的调节件3时，调节件3的位置不动，调整座21相对于调节件3的高度发生变化，以使托板本体22的末端保持近似水平的状态。

在本实施例中，如图2所示，调节孔211的数量设置为四个，四个调节孔211呈两行两列排布。其中，如图1所示，连接件1的宽度方向为X轴方向，长度方向为Y轴方向，为了方便说明，将行的方向定义为X轴方向，将列的方向定位为Y轴方向。当旋拧每列中的两个调节件3时，是调整托板本体22沿Y轴方向的水平，当旋拧每行中的两个调节件3时，是调整托板本体22沿X轴方向的水平，以此能够使得托板本体22的末端在XY平面内是近似水平的，调整起来快捷方便。

需要说明的是，在实际使用时，每次调整时托板本体22的倾斜情况不相同，每个调节件3的旋转量也不一定相同，因此每次调节件3的旋转量并不是固定的，只需要对四个调节件3进行适应性调整，最终保证托板本体22末端的水平即可。

进一步地，如图2所示，连接件1上开设有第一安装槽11，调整座21容置于第一安装槽11中，且调整座21的上端面与连接件1的上端面齐平，使得整体结构更加紧凑。

进一步地，继续参考图2，连接件1上开设有第一安装孔12，调整座21与第一安装孔12对应的位置开设有第二安装孔212，第一紧固件4穿过第二安装孔212并伸入第一安装孔12内，已将调整座21固定于连接件1上。在本实施例中，第一紧固件4优选为螺丝，第一安装孔12优选为螺纹孔，第二安装孔212优选为光孔，这种设置结构简单、连接可靠且拆装方便，既能实现调整座21和连接件1之间的稳定安装，又能方便调整座21的调节。

优选地，第一安装孔12的数量设置为多个，多个第一安装孔12沿连接件1的宽度方向间隔设置；第二安装孔212的数量设置为多个，多个第二安装孔212沿调整座21的宽度方向间隔设置，并且多个第二安装孔212与多个第一安装孔12一一对应设置，每个第一安装孔12和第二安装孔212内均穿设于有第一紧固件4。如图2所示，在本实施例中，第一安装孔12的数量优选为三个，对应地，第二安装孔212的数量也优选为三个，三个第二安装孔212与三个第一安装孔12一一对应设置，每一列的调节孔211位于相邻两个第二安装孔212之间，进一步提高了调整座21与连接件1连接的稳定性。

近一步地，继续参考图2，调整座21上设置有第二安装槽213，托板本体22容置于第二安装槽213中，且托板本体22与调整座21可拆卸连接。托板部件2还包括压盖23，压盖23盖设于托板本体22上，压盖23与托板本体22可拆卸连接，且压盖23的上表面与调整座21的上表面齐平，使得整体结构更加紧凑。

进一步地，继续参考图2，调整座21上开设有第三安装孔214，托板本体22与第三安装孔214对应的位置开设有第四安装孔221，压盖23上与第四安装孔221对应的位置开设有第五安装孔231，第二紧固件24依次穿过第五安装孔231和第四安装孔221并伸入第三安装孔214内。在本实施例中，第二紧固件24优选为螺丝，第三安装孔214优选为螺纹孔，第四安装孔221和第五安装孔231可以是光孔也可以是螺纹孔。这种设置结构简单、连接可靠且拆装方便，能够实现托板本体22和调整座21之间的稳定安装，并且托板本体22更换方便，只需要拆除压盖23即可更换，在满足工艺要求的情况下更换费用降低，更换效率提高，方便维护和调试。

优选地，如图2所示，第三安装孔214、第四安装孔221和第五安装孔231的数量均设置为三个，并且三个第三安装孔214、三个第四安装孔221与三个第五安装孔231一一对应设置，每个第三安装孔214、第四安装孔221和第五安装孔231内均穿设于有第二紧固件24，进一步提高了托板本体22和调整座21连接的稳定性。

可以理解的是，当设备的反应室处于高温的情况下，需要将工件100或者托盘降低到较低的温度再进行抓取转移，整个降温过程时间比较长，影响生产效率。为解决上述问题，托板本体22采用耐高温材料制成，比如金属钼、钨，或者石英、石墨等材料，这样就可以待反应结束后，将工件100或托盘直接取出并传送到冷却位置，而设备内部可以传入待反应的工件100或者托盘进行工艺生产，节省了取盘的降温时间和设备传入新盘后的升温时间，提高了整个设备的生产效率。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种托板结构，其特征在于，包括：

连接件(1)，与机械手连接；

托板部件(2)，高度可调地连接于所述连接件(1)的一端，所述托板部件(2)上开设有多个调节孔(211)，多个所述调节孔(211)沿所述托板部件(2)的宽度方向呈两列排布，所述调节孔(211)为螺纹孔，每个所述调节孔(211)内螺纹连接有调节件(3)，所述调节件(3)伸入所述调节孔(211)的一端与所述连接件(1)抵接，旋拧对应的所述调节件(3)以使所述托板部件(2)保持水平。

2.根据权利要求1所述的托板结构，其特征在于，托板部件(2)包括调整座(21)和托板本体(22)，所述托板本体(22)连接于所述调整座(21)上，所述调节孔(211)设置于所述调整座(21)上，所述托板本体(22)的末端用于承托工件(100)。

3.根据权利要求2所述的托板结构，其特征在于，所述连接件(1)上开设有第一安装槽(11)，所述调整座(21)容置于所述第一安装槽(11)中，且所述调整座(21)的上端面与所述连接件(1)的上端面齐平。

4.根据权利要求3所述的托板结构，其特征在于，所述连接件(1)上开设有第一安装孔(12)，所述调整座(21)与所述第一安装孔(12)对应的位置开设有第二安装孔(212)，第一紧固件(4)穿过所述第二安装孔(212)并伸入所述第一安装孔(12)内，已将所述调整座(21)固定于所述连接件(1)上。

5.根据权利要求4所述的托板结构，其特征在于，所述第一安装孔(12)的数量设置为多个，多个所述第一安装孔(12)沿所述连接件(1)的宽度方向间隔设置；

所述第二安装孔(212)的数量设置为多个，多个所述第二安装孔(212)沿所述调整座(21)的宽度方向间隔设置，并且多个所述第二安装孔(212)与多个所述第一安装孔(12)一一对应设置，每个所述第一安装孔(12)和所述第二安装孔(212)内均穿设于有所述第一紧固件(4)。

6.根据权利要求2所述的托板结构，其特征在于，所述调整座(21)上设置有第二安装槽(213)，所述托板本体(22)容置于所述第二安装槽(213)中，且所述托板本体(22)与所述调整座(21)可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的托板结构，其特征在于，所述托板部件(2)还包括压盖(23)，所述压盖(23)盖设于所述托板本体(22)上，且与所述托板本体(22)可拆卸连接。

8.根据权利要求7所述的托板结构，其特征在于，所述调整座(21)上开设有第三安装孔(214)，所述托板本体(22)与所述第三安装孔(214)对应的位置开始有第四安装孔(221)，所述压盖(23)上与所述第四安装孔(221)对应的位置开设有第五安装孔(231)，第二紧固件(24)依次穿过所述第五安装孔(231)和所述第四安装孔(221)并伸入所述第三安装孔(214)内。

9.根据权利要求2所述的托板结构，其特征在于，所述托板本体(22)采用耐高温材料制成。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的托板结构，其特征在于，所述调节孔(211)的数量设置为四个，四个所述调节孔(211)呈两行两列排布。

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