CN207587712U - 一种传动机构的固定组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种传动机构的固定组件，包括磁流体和固定件，所述固定件具有安装板，所述安装板上设置有多个支撑面，所述支撑面与所述磁流体的第一段的外表面相配合，所述第一段通过紧固件被固定在所述安装板上。本实用新型的传动机构的固定组件，其通过紧固件将磁流体的第一段固定在安装板上，并通过支撑面对磁流体进行可靠地支撑，从而实现了磁流体在固定件上的牢固安装，使得滚轮较容易保持在一定位置，进而能够较好地保证传输平面的平面度。

Description

一种传动机构的固定组件

技术领域

本实用新型涉及薄膜太阳能技术领域，具体涉及一种应用于真空镀膜设备中的传动机构的固定组件。

背景技术

在薄膜太阳能电池组件中，薄膜层起到光电转换的作用，其性能在很大程度上决定了电池片的光电转换效率，即电池片的关键性能参数。在薄膜层的加工设备中，需具有传动机构实现载板在各模块之间的传递，以完成薄膜层的加工，而传动机构得到了可靠地固定才能保证薄膜层的加工能够顺利地完成。

如现有的薄膜层一般采用金属有机物化学气相沉积(英文名称为Metal OrganicChemical Vapor Deposition，简称MOCVD)的加工方式进行材料生长，而MOCVD生产设备非常昂贵，在整条薄膜太阳能电池片生产线中，MOCVD设备成本占据非常高的比例，其产能的提高能够极大的降低电池片的制造成本。

MOCVD是在气相外延生长(英文简称为VPE)的基础上发展起来的一种化学气相沉积工艺，用于生长外延晶片。它是以III族、II族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长的反应气体，以热分解反应方式在蓝宝石衬底或其他衬底上进行外延沉积工艺，生长各种III-V族、II-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的外延材料层。通常MOCVD的生长条件是在低压(1000pa-10000pa)下进行，生长使用的载气(通常为氮气或氢气)与原料气体按一定比例混合通入反应腔内，衬底温度一般在700K-1500K之间。

传动机构是MOCVD设备中的关键组成部分，传动机构位于MOCVD设备中的装载腔(英文简称为LOAD-LOCK)与工艺模块(英文简称为PM)中，其主要功能是对载板进行精确、稳定、快速的在自动传输模块(英文简称为ATM)、LOAD-LOCK、PM中进行双向传递。

载板的大致运动过程为：在ATM装载晶片后，载板进入LOAD-LOCK中，载板在完成预热后，在LOAD-LOCK内部的传动机构作用下水平传动至PM内，在工艺腔室中完成工艺后，载板在PM传动机构作用下传递至LOAD-LOCK内，在LOAD-LOCK完成冷却工艺后，再通过传动机构传输至ATM内，进而完成整个传递过程。传动机构设计的好坏直接决定了载板在各个工艺流程位置的准确性和水平传动运行的稳定性，直接影响晶片最后的工艺效果。因此，良好的传动机构是MOCVD整机性能良好的重要组成部分。

现有的传动机构通常包括几个轴端安装有滚轮的磁流体和固定组件等组成，载板在各滚轮的作用下实现上述反复传递运输。目前MOCVD设备的传动机构设计中最为重要的一点是要保证传输平面的平面度，所说的传输平面是指由各磁流体上的滚轮上边沿组成的对载板进行承载传递的支撑平面。由于磁流体是安装在固定组件上，滚轮设置在磁流体上远离固定组件的一端，这样通过固定组件实现对磁流体的固定，以使得滚轮保持在一定位置，从而保证传输平面的平面度，因此，如何设计固定组件，以实现磁流体的安装成为本领域技术人员急需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种传动机构的固定组件，以实现磁流体的安装，较好地保证传输平面的平面度。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种传动机构的固定组件，包括磁流体和固定件，所述固定件具有安装板，所述安装板上设置有多个支撑面，所述支撑面与所述磁流体的第一段的外表面相配合，所述第一段通过紧固件被固定在所述安装板上。

优选地，所述固定件为长方体框架，由第一侧板、第二侧板和封板围成，所述第一侧板上设置有多个第一开口；所述第一侧板为所述安装板，所述第一开口的开口壁面为所述支撑面。

优选地，所述第二侧板上设置有多个第二开口，各所述第二开口与各所述第一开口一一对应，且所述第一开口用于与所述第一段的第一端的外表面相配合，所述第一端通过所述紧固件被固定在所述第一侧板上，所述第二开口用于与所述第一段的第二端的外表面相配合，所述第二端通过所述紧固件被固定在所述第二侧板上。

优选地，所述固定件还包括底板，所述底板与所述第一侧板和所述第二侧板连接，并使所述固定件构成槽型结构，所述底板位于远离所述第一开口的一侧。

优选地，所述固定件还包括加强隔板，所述加强隔板设置在所述底板的内侧，且所述加强隔板的一侧与所述第一侧板相连，所述加强隔板的另一侧与所述第二侧板相连。

优选地，所述紧固件包括紧固螺钉和分别用于与所述第一端和第二端的外表面相配合的弧形卡箍，所述第一开口的两侧和所述第二开口的两侧均设置有用于与所述紧固螺钉相配合的螺纹孔。

优选地，所述第一开口和所述第二开口均为弧形开口。

优选地，所述固定件为L型固定板，所述L型固定板由底板和竖板围成，所述竖板上设置多个供所述磁流体穿过的安装孔；所述竖板为所述安装板，所述安装孔的孔壁面为所述支撑面。

优选地，所述紧固件为安装螺钉，所述安装孔的周边设置有与所述安装螺钉相配合的螺钉孔。

优选地，所述的传动机构的固定组件还包括驱动装置和移动组件，所述固定件与所述移动组件连接，所述驱动装置驱动所述固定件和所述磁流体沿所述磁流体的轴向移动。

优选地，所述移动组件包括导轨、滑块和导轨安装架，所述导轨沿所述磁流体的轴向布置，且设置于所述导轨安装架上；所述底板的外侧通过所述滑块与所述导轨连接，所述导轨安装架用于与腔室壁相连。

优选地，所述底板上未与所述导轨相连接的区域设置为中空结构。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型的传动机构的固定组件，其通过紧固件将磁流体的第一段固定在安装板上，并通过支撑面对磁流体进行可靠地支撑，从而实现了磁流体在固定件上的牢固安装，使得滚轮较容易保持在一定位置，进而能够较好地保证传输平面的平面度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，并将结合附图对本实用新型的具体实施例作进一步的详细说明，其中

图1为本实用新型提供的传动机构的固定组件的第一实施例的示意图；

图2为本实用新型提供的固定件的第一实施例的示意图；

图3为本实用新型提供的固定件的第一实施例的另一示意图；

图4为图1中的A-A向剖视图；

图5为本实用新型实施例提供的MOCVD设备中传动机构的示意图；

图6为本实用新型提供的传动机构的固定组件的第二实施例的示意图；

图7为本实用新型提供的固定件的第二实施例的示意图。

附图中标记：

11、腔室 12、磁流体 13、导轨安装架 14、滑块 15、导轨

16、腔室壁 21、载板 22、滚轮 31、波纹管

32、波纹管安装螺钉 41、第一段 51、固定件 511、底板

52、第一侧板 53、第二侧板 54、加强隔板 55、通孔

56、第一封板 57、第二封板 58、第一开口 59、第二开口

591、螺纹孔 61、弧形卡箍 62、紧固螺钉 71、底板

72、竖板 711、安装孔 712、加强板

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面将结合具体实施例对本方案作进一步地详细介绍。

本实用新型实施例提供了一种传动机构的固定组件，包括磁流体和固定件，固定件具有安装板，安装板上设置有多个支撑面，支撑面与磁流体的第一段的外表面相配合，第一段通过紧固件被固定在安装板上。可以理解的是，各磁流体的第一段的外表面与各支撑面一一对应地相配合。

本实用新型实施例提供的传动机构的固定组件，其通过紧固件将磁流体的第一段固定在安装板上，并通过支撑面对磁流体进行可靠地支撑，从而实现了磁流体在固定件上的牢固安装，使得滚轮较容易保持在一定位置，进而能够较好地保证传输平面的平面度。

如图1至图5所示，在本实用新型提供的传动机构的固定组件的第一实施例中，该固定组件包括磁流体12和固定件51，固定件51为长方体框架，由第一侧板52、第二侧板53和封板围成，第一侧板52上设置有多个第一开口58，此时，第一侧板52即为上述安装板，第一开口58的开口壁面即为上述支撑面，第一开口58用于与磁流体12的第一段41的外表面相配合，第一段41通过紧固件被固定在第一侧板52的第一开口58中。可以理解的是，磁流体12包括同轴设置的第一段41和第二段，如图1所示，第一段41指的是磁流体12上直径较大的一段，第二段指的是磁流体12上直径较小的一段，滚轮22安装在磁流体12的第二段上远离第一段41的一端；固定件51两端的封板可以分别为第一封板56和第二封板57，第一封板56的两端分别与第一侧板52和第二侧板53的一端相连，第二封板57的两端分别与第一侧板52和第二侧板53的另一端相连；如图5所示，图中的箭头表示传输方向，腔室11的两侧均设置有传动机构，两侧传动机构上的各滚轮22对载板21进行支撑。需要说明的是，在安装时，第一段41的第一端可以通过紧固件被固定在第一开口58中，第一段41的第二端可以紧紧抵靠在第二侧板53的内侧面，从而实现第一段41在固定件51上的牢固安装；也可以在第二侧板53的内侧面上设置能够容纳第一段41的第二端的支撑槽，这样在安装时，将第一段41的第一端通过紧固件固定在第一开口58中，第二端插入支撑槽中而得到支撑，从而使得第一段41与固定件51之间的连接可靠性得到进一步地提高。其中，第一段41的第一端指的是第一段41上与第二段相连接的一端，第一段41的第二端指的是第一段41上远离第二段的一端。

本实用新型第一实施例提供的传动机构的固定组件，其通过紧固件将磁流体的第一段41固定在第一侧板52的第一开口58中，并且长方体框架的固定件51能够对磁流体12进行可靠地支撑，从而实现了磁流体12在固定件51上的牢固安装，使得滚轮22较容易保持在一定位置，进而能够较好地保证传输平面的平面度。

进一步地，第二侧板53上可以设置有多个第二开口59，各第二开口59与各第一开口58一一对应，且第一开口58用于与第一段41的第一端的外表面相配合，第一端通过紧固件被固定在第一侧板52上，第二开口59用于与第一段41的第二端的外表面相配合，第二端通过紧固件被固定在第二侧板53上。采用此技术方案，通过紧固件使得第一段41的两端均得到了较为牢固地固定，同时也使得第一段41的两端均能够得到较好地支撑，从而使得第一段41能够保持在一定位置而不易在磁流体12的径向上发生偏移，进而使得位于第二段上的滚轮22的位置较为固定，保证了传输平面的平面度较好。可以优选，各第一开口58均布在第一侧板52的延伸方向上，各第二开口59均匀分布在第二侧板53的延伸方向上，从而使得各磁流体12上的滚轮能够被均匀分布在载板21的下方，使得载板21受到的支撑力较为均匀。

如图2和图3所示，固定件51还可以包括底板511，底板511与第一侧板52和第二侧板53连接，并使固定件51构成槽型结构，底板511位于远离第一开口58的一侧，从而使得固定件51的强度得到了提高，对磁流体12能够进行更为可靠地支撑。

进一步地，固定件51还可以包括加强隔板54，加强隔板54设置在底板511的内侧，且加强隔板54的一侧与第一侧板52相连，加强隔板54的另一侧与第二侧板53相连，从而使得固定件51的强度得到了进一步地提高，大大地延长了固定件51的使用寿命，提高了该固定组件的可靠性。可以优选，每相邻的两个第一开口58之间均设置有加强隔板54，从而使得第一侧板52与第二侧板53之间具有多个加强隔板54，进而使得固定件51的多处得到了加强。

可以优选，第二端的外表面上设置有用于与第二开口59处的板壁相卡合的定位槽。通过该技术方案，第二开口59处的板壁与定位槽相卡合，便能够实现对磁流体的轴向定位和承载，同时第一侧板52通过第一开口58能够对磁流体进行承载，从而在保证磁流体得到两点支撑的同时还能够较好地保证其安装位置的准确性。

如图4所示，紧固件可以包括紧固螺钉62和用于与第一段41的外表面相配合的弧形卡箍61，第一开口58的两侧和第二开口59的两侧均设置有用于与紧固螺钉62相配合的螺纹孔591，从而通过弧形卡箍61将磁流体12的第一段41的两端分别抱紧固定在固定件51上，方便地实现了磁流体的第一段41与固定件51之间的连接和拆卸。可以理解的是，在第一段41上的定位槽为环形槽时，用于固定第一段41的第二端的弧形卡箍61将会与第一段41的环形槽相配合，从而实现对磁流体12的可靠定位和牢固安装。

可以优选，第一开口58和第二开口59均为弧形开口，这样便能够使得其对磁流体的承载面较大。为了使得磁流体第一段41两端的承载面得到进一步地增大，更好地提高对磁流体12的支撑可靠性，第一开口58和第二开口59可以均为半圆形开口，此时弧形卡箍为半圆形卡箍。

如图6和图7所示，在本实用新型提供的传动机构的固定组件的第二实施例中，固定件为L型固定板，L型固定板由底板71和竖板72围成，竖板上设置多个供磁流体12穿过的安装孔711，此时竖板72即为安装板，安装孔711的孔壁面即为支撑面。其同样能够实现对磁流体12的可靠安装，保证传输平面的平面度。在本实施例中，紧固件可以为安装螺钉，安装孔711的周边设置有与安装螺钉相配合的螺钉孔，此时第一段41的外表面可以设置有环形凸起，环形凸起上设置有过孔，在安装时，将磁流体的第二段穿过安装孔711，使安装螺钉穿过过孔后与螺钉孔相配合，即可实现第一段41在竖板72上的牢固安装，进一步地，为了能够有效地提高固定件的强度，底板71和竖板72之间可以设置有加强板712。

进一步地，传动机构的固定组件还可以包括驱动装置和移动组件，固定件51与移动组件连接，驱动装置驱动固定件51和磁流体12沿磁流体12的轴向移动。通过该技术方案，使得滚轮22在腔室11中的位置能够得到调整，从而使得不同尺寸的载板21均能够得到较好地支撑。

具体地，移动组件可以包括导轨15、滑块14和导轨安装架13，导轨15沿磁流体12的轴向布置，且设置于导轨安装架13上；底板511的外侧通过滑块14与导轨15连接，导轨安装架13用于与腔室壁16相连，从而通过简单的结构实现了固定件51和磁流体12沿磁流体12的轴向移动。需要说明的是，驱动装置可以包括驱动电机和同步带。

可以优选，底板511上未与导轨15相连接的区域可以设置为中空结构，从而有效地降低了固定件51的重量，实现了固定件51的轻量化。当然，为了更好地实现轻量化，同时保证固定件51具有较好地强度，如图3所示底板511上未与导轨相连接的区域也可以为通孔55。

需要说明的是，本实用新型实施例提供的传动机构的固定组件，第一段41的第一端的端面可以通过波纹管31和波纹管安装螺钉32与腔室壁16相连，当需要对磁流体进行维护时，只需拆卸下紧固件，就能够方便地对波纹管安装螺钉32的进行拆卸，进而使得磁流体的拆卸较为方便快捷，有效地提高了磁流体的维护时的方便性。

可以优选，固定件51为一体式结构，从而较好地避免了焊接的加工方法导致的部件的形状和位置精度难以保证问题，也有效地避免了其再与磁流体进行安装时，在累加误差的作用下，使得传输平面的平面度偏差较大的问题，同时，使得固定件51的加工精度容易保证，杜绝了焊接加工带来的加工精度风险。可以优选，固定件51为铝合金材质，可进一步优选固定件51的材质为6061铝合金即AL-6061，这样在保证其强度的前提下，又使得固定件51整体重量大幅降低，还能够降低固定件51的加工费用，降低MOCVD设备的成本。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，需要指出的是，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，而且，在阅读了本实用新型的内容之后，本领域相关技术人员可以对本实用新型做出各种改动或修改，这些等价形式同样落入本申请所附权利要求书所限定的范围。

Claims (12)

1.一种传动机构的固定组件，包括磁流体和固定件，其特征在于，所述固定件具有安装板，所述安装板上设置有多个支撑面，所述支撑面与所述磁流体的第一段的外表面相配合，所述第一段通过紧固件被固定在所述安装板上。

2.根据权利要求1所述的传动机构的固定组件，其特征在于，所述固定件为长方体框架，由第一侧板、第二侧板和封板围成，所述第一侧板上设置有多个第一开口；所述第一侧板为所述安装板，所述第一开口的开口壁面为所述支撑面。

3.根据权利要求2所述的传动机构的固定组件，其特征在于，所述第二侧板上设置有多个第二开口，各所述第二开口与各所述第一开口一一对应，且所述第一开口用于与所述第一段的第一端的外表面相配合，所述第一端通过所述紧固件被固定在所述第一侧板上，所述第二开口用于与所述第一段的第二端的外表面相配合，所述第二端通过所述紧固件被固定在所述第二侧板上。

4.根据权利要求2所述的传动机构的固定组件，其特征在于，所述固定件还包括底板，所述底板与所述第一侧板和所述第二侧板连接，并使所述固定件构成槽型结构，所述底板位于远离所述第一开口的一侧。

5.根据权利要求4所述的传动机构的固定组件，其特征在于，所述固定件还包括加强隔板，所述加强隔板设置在所述底板的内侧，且所述加强隔板的一侧与所述第一侧板相连，所述加强隔板的另一侧与所述第二侧板相连。

6.根据权利要求3所述的传动机构的固定组件，其特征在于，所述紧固件包括紧固螺钉和分别用于与所述第一端和第二端的外表面相配合的弧形卡箍，所述第一开口的两侧和所述第二开口的两侧均设置有用于与所述紧固螺钉相配合的螺纹孔。

7.根据权利要求3所述的传动机构的固定组件，其特征在于，所述第一开口和所述第二开口均为弧形开口。

8.根据权利要求1所述的传动机构的固定组件，其特征在于，所述固定件为L型固定板，所述L型固定板由底板和竖板围成，所述竖板上设置多个供所述磁流体穿过的安装孔；所述竖板为所述安装板，所述安装孔的孔壁面为所述支撑面。

9.根据权利要求8所述的传动机构的固定组件，其特征在于，所述紧固件为安装螺钉，所述安装孔的周边设置有与所述安装螺钉相配合的螺钉孔。

10.根据权利要求4或8所述的传动机构的固定组件，其特征在于，所述的传动机构的固定组件还包括驱动装置和移动组件，所述固定件与所述移动组件连接，所述驱动装置驱动所述固定件和所述磁流体沿所述磁流体的轴向移动。

11.根据权利要求10所述的传动机构的固定组件，其特征在于，所述移动组件包括导轨、滑块和导轨安装架，所述导轨沿所述磁流体的轴向布置，且设置于所述导轨安装架上；所述底板的外侧通过所述滑块与所述导轨连接，所述导轨安装架用于与腔室壁相连。

12.根据权利要求11所述的传动机构的固定组件，其特征在于，所述底板上未与所述导轨相连接的区域设置为中空结构。