CN102747341B - 一种安装晶圆托架的专用工具及其安装方法 - Google Patents

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Abstract

一种安装晶圆托架专用工具及其安装方法，属于半导体薄膜沉积设备技术领域。主要解决现有的托架上晶圆交换的位置不能准确定位及效率低的技术问题。安装晶圆托架的专用工具，包括晶圆托架安装架，晶圆托架安装架的上面设有安装架把手，安装架把手是通过螺栓将其固定在晶圆托架安装架上的。上述晶圆托架安装架的中心设有定位销，螺栓与晶圆托架安装架螺纹联接。安装方法，先将定位销穿过晶圆安装盘定位保证同心，并固定晶圆安装盘和托架安装架。将托架安装架放入到真空装载腔的圆形凹槽之中，对准定位之后固定，最后将螺栓拧下来，将托架安装架取下来。使用这种工装安装的晶圆托架既省力方便又可以精确定位晶圆的位置。

Description

一种安装晶圆托架的专用工具及其安装方法
技术领域
本发明涉及一种安装晶圆托架的专用工具及其安装方法，确切地说是一种能使晶圆在真空装载腔内实现精确定位的新型安装晶圆托架专用工具及其安装方法，属于半导体薄膜沉积设备技术领域。
背景技术
薄膜沉积技术的原理是将晶圆置于真空环境中，通入适量的反应气体，利用气体的物理变化和化学反应，在晶圆表面形成固态薄膜。在进行气体薄膜沉积的整个过程中，晶圆从EFEM中的大气压与真空状态的转换是通过Loadlock Chamber进行传送的。
与晶圆安装架相关的现有技术，其托架上晶圆交换的位置不能进行准确定位，无法检测晶圆的中心与安装盘的中心是否同心，并且在托架放入Loadlock Chamber的凹槽时因为没有手持的把手，很容易发生偏移，将托架卡在Loadlock Chamber的凹槽边缘。因此，在实际应用中，这种结构的晶圆托架及安装方法，存在着效率低，操作比较麻烦及制造成本高的缺点。
发明内容
本发明主要解决现有的托架上晶圆交换的位置不能准确定位及效率低的技术问题，而提供一种结构简单、操作方便、定位精确、效率高的安装晶圆托架的专用工具及其安装方法。
为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：安装晶圆托架的专用工具，包括晶圆托架安装架（3），晶圆托架安装架（3）的上面设有安装架把手（1），安装架把手（1）是通过螺栓（5）将其固定在晶圆托架安装架（3）上的。上述晶圆托架安装架（3）的中心设有定位销（4），螺栓（2）与晶圆托架安装架（3）螺纹联接。
上述安装晶圆托架专用工具的安装方法，先将定位销（4）穿过晶圆安装盘（9），把托架安装架（3）和晶圆安装盘（9）定位保证同心，定位之后将四个螺栓（2）与晶圆安装盘（9）上的四个孔位对准并且旋紧固定。这时晶圆安装盘（9）和托架安装架（3）已经完全固定。然后将晶圆托架（8）以晶圆托架安装架（3）的边缘为依托进行定位对正，保证边缘完全贴合将位置对准之后，用螺栓（7）旋紧固定。此时，晶圆托架（8）已经完全固定在晶圆安装盘（9）上，并且保证放在托架上的晶圆与晶圆安装盘（9）是完全对正同心的状态。
接下来手持着已经安装完成的安装架放入到真空装载腔（LoadlockChamber）的圆形凹槽之中，此圆形凹槽之中有四个安装孔与晶圆托架（8）上的四个螺栓孔（6）相匹配，当真空装载腔（Loadlock Chamber）凹槽中的四个孔和安装盘上四个孔对准定位之后使用四个沉头螺栓旋紧固定。此时，安装架与真空装载腔（Loadlock Chamber）就已经完全固定。最后将螺栓（2）拧下来，这时托架安装架（3）与晶圆托架（8），晶圆安装盘（9）无连接，手持安装架把手（1）旋转合适角度便可以把托架安装架拿下来了。使用这种工装安装的晶圆托架既省力方便又可以定位晶圆的位置，保证晶圆在真空装载腔（Loadlock Chamber）中的位置为正中间，从而保证整个PECVD设备中晶圆的精确定位。
本发明的有益效果及特点是：
本发明能够准确确定晶圆托架的安装位置，保证晶圆托架能够与晶圆的边缘相结合，晶圆和安装盘同心，保证了晶圆在真空装载腔内的准确定位。本发明在上方设置有把手，在将托架放入真空装载腔的凹槽中准确平稳，不会发生由于偏移所造成托架卡住的状况。安装托架之后，只要手持把手将安装架偏转一定角度便可以轻松取出，不会划伤真空装载腔内壁，操作简单。本发明在结构和操作均简单的条件下，实现了晶圆托架的准确定位。其占用空间小，安装维护方便，成本低廉。
附图说明
图1是本发明专用工具的主视图。
图2是本发明专用工具的俯视图。
图3是本发明安装晶圆托架的主视图。
图4是本发明安装晶圆托架的的俯视图。
具体实施方式
实施例
参照图1-4，一种安装晶圆托架的专用工具，包括晶圆托架安装架3，晶圆托架安装架3的上面设有安装架把手1，安装架把手1是通过螺栓5将其固定在晶圆托架安装架3上的。上述晶圆托架安装架3的中心设有定位销4，螺栓2与晶圆托架安装架3螺纹联接。
上述安装晶圆托架专用工具的安装方法，先将定位销4穿过晶圆安装盘9，把托架安装架3和晶圆安装盘9定位保证同心，定位之后将四个螺栓2与晶圆安装盘9上的四个孔位对准并且旋紧固定，这时晶圆安装盘9和托架安装架3已经完全固定。然后将8个晶圆托架8以晶圆托架安装架3的边缘为依托进行定位对正，保证边缘完全贴合将位置对准之后，用螺栓7旋紧固定。此时，晶圆托架8已经完全固定在晶圆安装盘9上，并且保证放在托架上的晶圆与晶圆安装盘9是完全对正同心的状态。
接下来手持着已经安装完成的安装架放入到真空装载腔（LoadlockChamber）的圆形凹槽之中，此圆形凹槽之中有四个安装孔与晶圆托架8上的四个螺栓孔6相匹配。当真空装载腔（Loadlock Chamber）凹槽中的四个孔和安装盘上四个孔对准定位之后使用四个沉头螺栓旋紧固定，此时安装架与真空装载腔（Loadlock Chamber）就已经完全固定。
最后将螺栓2拧下来，这时托架安装架3与晶圆托架8，晶圆安装盘9无连接，手持安装架把手1旋转合适角度便可以把托架安装架拿下来了。使用这种工装安装的晶圆托架既省力方便又可以定位晶圆的位置，保证晶圆在真空装载腔（Loadlock Chamber）中的位置为正中间，从而保证整个PECVD设备中晶圆的精确定位。
上述晶元托架8的数量依设备的具体情况而定，但一般至少为4个，最佳为8个。如多于8个也可以，这样生产效率会更高。

Claims (3)

1.一种晶圆托架专用工具的安装方法，其所述的专用工具，包括晶圆托架安装架（3），晶圆托架安装架（3）的上面设有安装架把手（1），安装架把手（1）是通过螺栓（5）将其固定在晶圆托架安装架（3）上的，上述晶圆托架安装架（3）的中心设有定位销（4），螺栓（2）与晶圆托架安装架（3）螺纹联接，其特征在于：该专用工具的安装方法，先将定位销（4）穿过晶圆安装盘（9），把托架安装架（3）和晶圆安装盘（9）定位保证同心，定位之后将四个螺栓（2）与晶圆安装盘（9）上的四个孔位对准并且旋紧固定，这时晶圆安装盘（9）和托架安装架（3）已经完全固定，然后将晶圆托架（8）以晶圆托架安装架（3）的边缘为依托进行定位对正，保证边缘完全贴合将位置对准之后，用螺栓（7）旋紧固定，此时，晶圆托架（8）已经完全固定在晶圆安装盘（9）上，并且保证放在托架上的晶圆与晶圆安装盘（9）是完全对正同心的状态，接下来手持着已经安装完成的安装架放入到真空装载腔的圆形凹槽之中，此圆形凹槽之中有四个安装孔与晶圆托架（8）上的四个螺栓孔（6）相匹配，当真空装载腔凹槽中的四个孔和安装盘上四个孔对准定位之后使用四个沉头螺栓旋紧固定，此时安装架与真空装载腔就已经完全固定，最后将螺栓（2）拧下来，这时托架安装架（3）与晶圆托架（8），晶圆安装盘（9）无连接，手持安装架把手（1）旋转合适角度便可以把托架安装架拿下来了，保证晶圆在真空装载腔中的位置为正中间，从而保证整个PECVD设备中晶圆的精确定位。
2.如权利要求1所述的一种安装晶圆托架专用工具的安装方法，其特征在于：所述的晶圆托架（8）的数量至少为4个。
3.如权利要求1所述的一种安装晶圆托架专用工具的安装方法，其特征在于：所述的晶圆托架（8）的数量最佳为8个。
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