CN206849817U - 一种喷洒角度可控的喷淋组件 - Google Patents

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梁林旭
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Abstract

本实用新型涉及一种喷洒角度可控的喷淋组件，它包括支撑底座、可转动地安装在所述支撑底座上且平行设置的多道喷淋管组以及与所述喷淋管组相连接用于带动其转动的动力传动机构，所述动力传动机构包括第一连杆、一端与所述第一连杆相枢轴连接且另一端与所述喷淋管组相固定的多块连接卡块、角度调节盘、一端与所述第一连杆端部相枢轴连接且另一端偏心设置于所述角度调节盘表面的第二连杆以及与所述角度调节盘相连接用于带动其转动的电机。进而利用第一连杆带动喷淋管组的转动，实现其喷洒角度的调节和控制。

Description

一种喷洒角度可控的喷淋组件
技术领域
本实用新型属于光伏半导体刻蚀设备领域，具体涉及一种喷洒角度可控的喷淋组件。
背景技术
随着传统的石化燃料的大规模使用造成的环境问题日益严峻，清洁能源如利用太阳能进行发电的光伏发电越来越受到各国的重视，近几年来得到了快速的发展，但在像中国这样的发展中国家，光伏发电的总量与传统的火力发电总量相比仍然非常小。与相比传统的火力发电，影响光伏发电迅速普及的一个重要原因就是发电成本仍然比较高，而降低光伏发电成本的一个重要途径就是提高光伏发电的效率。
目前在光伏领域使用最多的是硅基板太阳电池，硅基板太阳电池的发电效率是与硅基板表面能够吸收到的太阳光的多少直接相关的。由于硅是间接带隙半导体，其对太阳光的反射率一般都在30%以上，因此，如何降低硅片表面的太阳光的反射率，让硅片表面尽可能多的吸收太阳光就成了提高硅基板太阳电池发电效率的关键因素。目前的工艺中，最常采用的工艺是利用强酸对硅表面进行腐蚀从而在硅表面形成“蠕虫”结构来降低硅片表面的反射率，这种工艺成本较低但效果不是特别好，另外强酸也会带来安全生产上的问题；最近几年，反应离子刻蚀（RIE刻蚀）、等离子体刻蚀工艺得到了越来越多的使用，这种刻蚀方法形成的硅片绒面结构对光的反射率更低。为了提高太阳电池的转换效率，需要对表面制绒后的硅片进行有效的钝化，通过氧化法在硅表面形成二氧化硅薄膜，目前采用比较多的工艺是采用臭氧气体进行硅片钝化，即使用气体喷淋设备将反应气体喷到硅片表面对表面进行处理。目前的气体喷淋设备，在根据具体应用场合的硅片处理工艺线的电池片刻蚀机的具体规格安装调试后是固定的，当电池片刻蚀机状况发生变更，或者遇到其他情况需要对气体喷淋设备进行调整时就非常不方便，因此，需要提供一种可以方便对气体喷淋设备进行调整的硅片表面钝化处理装置。
发明内容
本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种喷洒角度可控的喷淋组件。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种喷洒角度可控的喷淋组件，它包括支撑底座、可转动地安装在所述支撑底座上且平行设置的多道喷淋管组以及与所述喷淋管组相连接用于带动其转动的动力传动机构，所述动力传动机构包括第一连杆、一端与所述第一连杆相枢轴连接且另一端与所述喷淋管组相固定的多块连接卡块、角度调节盘、一端与所述第一连杆端部相枢轴连接且另一端偏心设置于所述角度调节盘表面的第二连杆以及与所述角度调节盘相连接用于带动其转动的电机。
优化地，所述电机和所述角度调节盘之间安装有防腐蚀联轴器。
进一步地，所述支撑底座包括相互平行且间隔设置的至少两根支撑板以及可拆卸地安装在所述支撑板上表面的多块限位板，每根所述支撑板上表面开设有与所述限位板相配合用于安装所述喷淋管组的凹槽。
进一步地，每道所述喷淋管组包括处于同一直线上的第一管体和第二管体以及套设在所述第一管体端部和所述第二管体端部的连接套，所述第一管体上设置有多个第一出水口，第二管体上设置有多个第二出水口。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型喷洒角度可控的喷淋组件，通过采用特定结构的动力传动机构，使得旋转的角度调节盘可以带动第二连杆进行偏心旋转，进而利用第一连杆带动喷淋管组的转动，实现其喷洒角度的调节和控制。
附图说明
附图1为本实用新型喷洒角度可控的喷淋组件的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图所示的实施例对本实用新型作进一步描述。
如图1所示的喷洒角度可控的喷淋组件，主要包括支撑底座1、喷淋管组2和动力传动机构3等。
其中，支撑底座1包括支撑板11和限位板13。支撑板11至少有两根（在本实施例中为两根），它们相互平行且对应间隔设置；每根支撑板11的上表面开设有多个凹槽12。限位板13有多块，它的数量与全部支撑板11上凹槽12的数量相对应；限位板13可拆卸地安装在支撑板11上表面，从而与凹槽12相配合用于安装喷淋管组2。
喷淋管组2有多道，它们可转动地安装在支撑底座1上的凹槽12中，并且互相平行设置；每道喷淋管组2包括处于同一直线上的第一管体21和第二管体22以及套设在第一管体21端部和第二管体22端部（该第二管体22端部与第一管体21端部相向设置）的连接套23（连接套23用于连接第一管体21和第二管体22），第一管体21上设置有多个第一出水口211，第二管体22上设置有多个第二出水口221。
动力传动机构3与喷淋管组2相连接，用于带动其同步转动。它包括第一连杆31（第一连杆31通常设置在喷淋管组2的下方并且与其相垂直）、一端与第一连杆31相枢轴连接且另一端与喷淋管组2相固定的多块连接卡块32（连接卡块32与喷淋管组2一一对应；每块连接卡块32通常包括卡块底座以及安装在卡块底座顶部的限位块，用于卡住连接套23）、角度调节盘34、一端与第一连杆31端部相枢轴连接且另一端偏心设置于角度调节盘34表面的第二连杆33（即角度调节盘34的端面设置有未处于其圆心处的凸起，第二连杆33的另一端就套设在该凸起上并可以围绕该凸起进行旋转）以及与角度调节盘34相连接用于带动其转动的电机36。在本实施例中，电机36和角度调节盘34之间安装有防腐蚀联轴器35，以防止刻蚀液对电机的腐蚀。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种喷洒角度可控的喷淋组件，其特征在于：它包括支撑底座（1）、可转动地安装在所述支撑底座（1）上且平行设置的多道喷淋管组（2）以及与所述喷淋管组（2）相连接用于带动其转动的动力传动机构（3），所述动力传动机构（3）包括第一连杆（31）、一端与所述第一连杆（31）相枢轴连接且另一端与所述喷淋管组（2）相固定的多块连接卡块（32）、角度调节盘（34）、一端与所述第一连杆（31）端部相枢轴连接且另一端偏心设置于所述角度调节盘（34）表面的第二连杆（33）以及与所述角度调节盘（34）相连接用于带动其转动的电机（36）。
2.根据权利要求1所述的喷洒角度可控的喷淋组件，其特征在于：所述电机（36）和所述角度调节盘（34）之间安装有防腐蚀联轴器（35）。
3.根据权利要求1或2所述的喷洒角度可控的喷淋组件，其特征在于：所述支撑底座（1）包括相互平行且间隔设置的至少两根支撑板（11）以及可拆卸地安装在所述支撑板（11）上表面的多块限位板（13），每根所述支撑板（11）上表面开设有与所述限位板（13）相配合用于安装所述喷淋管组（2）的凹槽（12）。
4.根据权利要求1或2所述的喷洒角度可控的喷淋组件，其特征在于：每道所述喷淋管组（2）包括处于同一直线上的第一管体（21）和第二管体（22）以及套设在所述第一管体（21）端部和所述第二管体（22）端部的连接套（23），所述第一管体（21）上设置有多个第一出水口（211），第二管体（22）上设置有多个第二出水口（221）。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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