CN117549442A - 一种硅舟切槽机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种硅舟切槽机，包括梁架，梁架底壁滑动安装有第二支撑座，梁架上设有锁止组件，梁架上安装有主传动轴和顶推轴，梁架上设有驱动主传动轴转动的驱动机构，主传动轴与顶推轴之间安装有可拆卸的安装模组，安装模组、主传动轴以及顶推轴上均安装有锯切组件，安装模组包括转轴，转轴的一端以及顶推轴的端部均设有插块，主传动轴与转轴的另一端均设有插槽，主传动轴、安装模组以及顶推轴上的插块与插槽依次插接，由于安装模组为可拆卸连接，当需要安装模组进行更换时，锁止组件解除对第二支撑座的限制，使第二支撑座向远离第一支撑座一侧移动，解除对安装模组的顶推，可以快速实现将锯切组件的更换。

Description

一种硅舟切槽机

技术领域

本发明涉及硅舟沟棒加工技术领域，特别地，涉及一种硅舟切槽机。

背景技术

硅舟主要由顶板、底板、若干沟棒以及限位档杆组成，其中顶板和底板相对设置，若干个沟棒绕着顶板的周向安装在顶板和底板之间，其中沟棒上设有若干个用于存放晶圆的沟槽，晶圆放置完毕后，将限位挡杆安装在顶板和底板之间对晶圆进行固定。方便晶圆的搬运和后续的加工。

其中，沟棒在进行加工过程中，需要利用切槽机在沟棒上切割出若干个沟槽，现有的切槽机上安装有一个对沟棒进行切槽的锯片，单独加工一根沟棒需要耗时二十个小时左右，沟棒的加工效率较为低下。倘若在切槽机的同轴线上安装有多组锯片，以提高沟槽的切割效率。此时锯片需要逐个从转轴的端部向内安装，当中间的锯片出现损坏时，需要将转轴上锯片逐个拆下，然后才能将损坏锯片取出进行更换，锯片的更换较为复杂，不利于提高沟棒的加工效率。

因此，如何设计一种方便锯片安装且能够提高沟槽切割效率的切槽机，成为本领域人员亟待解决的技术问题。

发明内容

为了解决背景技术中提到的至少一个技术问题，本发明的目的在于提供一种硅舟切槽机，解决沟槽切割效率低以及锯片不方便更换的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种硅舟切槽机，包括梁架，梁架的底壁一侧固定安装有第一支撑座，梁架底壁的另一侧滑动安装有第二支撑座，梁架上设有对第二支撑座进行锁止的锁止组件，第一支撑座和第二支撑座上分别转动连接有主传动轴以及顶推轴，主传动轴与顶推轴同轴设置，梁架上设有驱动主传动轴转动的驱动机构，主传动轴与顶推轴之间安装有若干组可拆卸的安装模组，所述安装模组、主传动轴以及顶推轴上均安装有用于沟槽锯切的锯切组件，工作时，锁止组件处于锁止状态用以限制第二支撑座的轴向移动。

进一步的，梁架的底壁固定设有支撑座，所述支撑座上固定设有沿着主传动轴轴向设置的导向滑轨，所述第二支撑座上设有导向孔，所述导向滑轨插入所述导向孔内，导向滑轨的外壁与所述导向孔的内壁抵接。

进一步的，所述梁架上设有沿着主传动轴轴向设置的滑槽，所述第二支撑座上设有延伸至所述滑槽内的限位块，锁止组件包括位于限位块两侧的定位板以及定位气缸，定位气缸固定在梁架上，定位气缸的气缸杆与所述定位板固定连接，定位板与限位块抵接用以实现第二支撑座的锁止。

进一步的，主传动轴、顶推轴以及安装模组的周壁均固定设有沿着径向设置的限位板，锯切组件包括与限位板抵接的锯片，锯片远离限位板的一侧设有挡环，锯片通过定位螺栓固定在限位板与挡环之间。

进一步的，安装模组包括转轴，所述转轴的端壁设有沿着转轴轴向设置的安装槽，所述转轴的周壁设有与所述安装槽连通的螺纹孔，所述螺纹孔内部螺纹连接有螺柱，所述安装槽内设有沿着转轴轴向滑动连接的顶推杆，所述螺柱的底壁设有沿着转轴径向滑动的顶推块，所述顶推杆靠近顶推块一侧设有第一顶推斜面，所述顶推块上设有与第一顶推斜面抵接的第二顶推斜面，所述主传动轴、转轴远离安装槽的一端均设有插接槽，所述顶推杆的端部延伸出安装槽并插接至相邻的插接槽内，顶推杆的端壁与插接槽的底壁抵接，转轴的一端以及顶推轴的端部均设有插块，主传动轴与转轴的另一端均设有插槽，主传动轴、安装模组以及顶推轴上的插块与插槽依次插接。

进一步的，所述螺纹孔的内壁设有沿着转轴径向设置的第一槽，所述顶推块上固定设有延伸至第一槽的拨动板，所述第一槽内安装有第二弹簧，所述第二弹簧的一端与第一槽固定连接，第二弹簧的另一端与所述拨动板固定连接。

进一步的，所述转轴上设有沿着转轴轴向设置的安装环槽，所述转轴上设有将安装槽与安装环槽连通的第二槽，所述顶推杆上固定设有穿过第二槽延伸至安装环槽的顶推板，安装环槽内安装有第三弹簧，第三弹簧的一端与安装环槽的内壁固定连接，第三弹簧的另一端与所述顶推板固定连接。

进一步的，所述转轴的外侧套设有滑套，所述转轴的周壁设有若干个沿着转轴周向均匀分布的第三槽，所述第三槽沿着转轴的轴向设置，所述滑套上固定设有插接至所述第三槽的第一卡块，所述第一卡块的侧壁与第三槽的侧壁滑动连接。

进一步的，所述转轴的侧壁设有沿着转轴轴向设置的第五槽，所述第五槽内安装有第一弹簧，所述滑套上固定设有延伸至第五槽内的第二卡块，第二卡块的侧壁与第五槽的侧壁抵接，第一弹簧的一端与第五槽的内壁固定连接，另一端与所述第二卡块固定连接，所述滑套上设有调节孔，调节孔的轴线与螺纹孔的轴线位于同一平面，初始状态下，调节孔与螺纹孔错位，顶推杆调节状态下，调节孔与螺纹孔对正。

进一步的，所述转轴的一端周壁上设有第四槽，转轴、主传动轴的端部周壁上均设有第六槽，所述滑套的内壁设有插接肋，安装模组未安装状态下，插接肋插接至第四槽内，安装模组组装状态下，滑套套设至相邻转轴或主传动轴的外侧，插接肋同时插接至第四槽以及第六槽内。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过在梁架上安装有多组锯切组件用于对沟棒的沟槽同时切割，缩短了沟槽切割的时间，提高了沟棒的加工效率；

利用主传动轴、顶推轴以及转轴上插块与插槽的依次插接，能够将驱动机构的动力向后输出，实现主传动轴、顶推轴以及安装模组的同步转动，进而实现多个锯切组件的同时作业；

由于锯切组件安装在安装模组、主传动轴、顶推轴上，且安装模组为可拆卸连接，当需要安装模组进行更换时，锁止组件解除对第二支撑座的限制，使第二支撑座向远离第一支撑座一侧移动，解除对安装模组的顶推，可以快速的将锯切组件损坏的安装模组从切槽机上拆下，从而提高锯切组件的更换效率。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的正视图；

图3为本发明的剖视图；

图4为本发明的局部剖视图；

图5为图3中A的放大结构示意图；

图6为安装模组长度调节示意图；

图7为安装模组拆卸示意图；

图8为切槽机锯片安装结构示意图；

图9为本发明安装模组的结构示意图；

图10为本发明安装模组的展开示意图；

图11为顶推块的结构示意图；

图12为安装模组的左视图；

图13为第一模组与第二模组的连接示意图。

图中：1、梁架；10、滑槽；101、定位气缸；102、定位板；103、触控按钮；104、转接块；1041、第一管道；1042、第二管道；105、支撑座；106、导向滑轨；11、传动带；12、第一支撑座；13、第二支撑座；131、导向孔；132、限位块；14、加工台；15、定位模具；16、沟棒；2、主传动轴；3、顶推轴；4、锯片；5、安装模组；501、第一模组；502、第二模组；503、转轴；51、限位板；52、挡环；53、定位螺栓；54、螺纹孔；541、第一槽；55、安装槽；56、安装环槽；57、第二槽；581、第三槽；582、第四槽；583、第五槽；584、第六槽；585、插接槽；591、插槽；592、插块；6、滑套；61、插接肋；62、调节孔；63、第一卡槽；64、第二卡槽；65、第一卡块；66、第二卡块；67、第一弹簧；68、第二弹簧；69、第三弹簧；7、顶推杆；71、顶推板；72、第一顶推斜面；73、密封挡圈；74、顶推块；741、拨动板；742、第二顶推斜面；75、螺柱。

具体实施方式

下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本实施例提供一种硅舟切槽机，主要用于提高沟棒沟槽的切割效率，方便对损坏锯片进行更换。

切槽机包括梁架1以及用以对梁架1进行位置调整的三坐标轴，三坐标轴能够实现梁架1在X轴、Y轴以及Z轴三个方向的自由移动，梁架1上安装有用以对沟棒16进行锯切的锯切组件，三坐标轴为现有的结构，在本实施例中不对三坐标轴进行详细的赘述。

如图1所示，切槽机还包括位于梁架1下方的加工台14，加工台上安装有可以进行拆卸的定位模具15，定位模具15上固定安装有硅舟的沟棒16，利用梁架1上的锯切组件可以对沟棒进行切槽处理。

其中沟棒16采用硅材质，定位模具15采用石墨材质，在此值得说明的是，定位模具15石墨材质的使用能够防止沟棒16锯切时，锯片4与定位模具15发生碰撞，降低锯片4的损伤。

为了实现沟棒16与定位模具15的固定，在此，沟棒16采用粘蜡的方式固定在定位模具15上。

为了实现定位模具15与加工台14的固定，在本实施例中，定位模具15上安装有定位块，此处的定位块为四十五号钢，加工台14为磁吸台，利用加工台14对定位块产生磁吸力，进而实现定位模具15的固定。

如图1和图2所示，切槽机上还安装有冷却模组，其中，冷却模组包括安装在梁架1上的转接块104，转接块104的顶部安装有第一管道1041用于向转接块104提供冷却液，转接块104的底部还连接有若干个第二管道1042，第二管道1042用于冷却液的分流，将冷却液喷洒至锯切组件上，对锯片4进行降温处理，同时，冷却液还能够对锯片4上残留的硅粉末进行冲洗，防止硅粉在锯片4上残留，影响沟棒16沟槽的切割效果。

为了提高沟棒16沟槽的加工效率，在本实施例中，如图1、图2和图3所示，梁架1上安装有至少两组锯切组件，其中锯切组件沿着轴向设置，能够同时对沟棒16进行锯切，进而提高沟棒16的加工效率。

常规情况下，当转轴上安装有若干组锯切组件时，锯切组件中的锯片4会逐个的从转轴的一端套设在转轴上，然后再将锯片4与转轴固定。当其中一个锯片4发生损坏时，需要逐个对锯片4进行拆卸，然后才能将中间损坏的锯片4取出，导致损坏锯片4的拆装较为麻烦。

因此，在本实施例中，如图2、图3和图8所示，所述梁架1的底壁固定设有向下延伸至加工台14上方的第一支撑座12，梁架1上还设有滑槽10，所述滑槽10内滑动连接有第二支撑座13，所述梁架1内还设有对第二支撑座13进行锁止的锁止组件；第一支撑座12上转动连接有主传动轴2，第二支撑座13上转动安装有顶推轴3，其中，顶推轴3的轴线与主传动轴2的轴线重合，主传动轴2与顶推轴3之间设有若干个可以进行拆卸的安装模组5，安装模组5在进行安装时，安装模组5的一端插接至主传动轴2上，使安装模组5能够随着主传动轴2进行同步转动，第二支撑座13在梁架1上滑动使得顶推轴3的轴端与安装模组5插接，使顶推轴3能够随着主传动轴2同步转动，然后利用锁止组件将第二支撑座13与梁架1进行固定，防止中间位置的安装模组5掉落。具体的，锯切组件安装在主传动轴2、顶推轴3以及安装模组5上，利用安装模组5的可拆卸性能，方便对损坏的锯切组件进行更换。

具体的，在本实施例中，所述主传动轴2与第一支撑座12通过轴承连接，顶推轴3与第二支撑座13同样通过轴承进行连接，方便主传动轴2和顶推轴3的同步转动。

为了实现主传动轴2的转动，在本实施例中，如图1和图3所示，所述主传动轴2上固定安装有带轮，带轮上套设有传动带11，梁架1上还安装有驱动电机，驱动电机的输出轴通过传动带11将动力传动至主传动轴2，进而能够带动主传动轴2的高速转动。

为了实现第二支撑座13的稳定滑动，在本实施例中，如图2和图3所示，所述滑槽10沿着主传动轴2的轴向设置，梁架1的底壁固定设有向下延伸的支撑座105，所述支撑座105上固定设有沿着主传动轴2轴向设置的导向滑轨106，如图4所示，第二支撑座13上设有导向孔131，导向滑轨106穿过导向孔131，导向滑轨106的外壁与导向孔131的内壁滑动连接。

为了实现对第二支撑座13的锁止，在本实施例中，如图1和图4所示，第二支撑座13上设有延伸至滑槽10内的限位块132，锁止组件包固定在梁架1上的定位气缸101，其中，定位气缸101的气缸杆上固定安装有定位板102，具体的定位气缸101和定位板102安装有两组分别位于限位块132的两侧，当定位气缸101的气缸杆向外延伸时，使得定位板102与限位块132抵接，对限位块132进行夹持，进而实现第二支撑座13的锁止，解决顶推轴3的轴向移动问题。当定位气缸101的气缸杆收回，带动定位板102回退，解除与限位块132的抵接，进而解除对第二支撑座13的轴向限制，使得第二支撑座13可以沿着主传动轴2的轴向移动。

具体的，在本实施例中，如图1所示，梁架1上固定安装有触控按钮103，利用触控按钮103控制两侧定位气缸101的进气或出气，进而控制定位板102的位置，方便第二支撑座13在解锁状态和锁止状态下的切换。

在本实施例中，如图3和图8所示，所述安装模组5设置有两组，包括第一模组501和第二模组502，锯切组件设置有四组，其中两组分别安装在第一模组501和第二模组502上，另外两组锯切组件分别安装在主传动轴2和顶推轴3上。

具体的，第一模组501和第二模组502的结构一致，在此仅对其中一组进行介绍，如图10和图13所示，安装模组5包括转轴503，其中，转轴503的一端设有插块592，转轴503的另一端设有供相邻一侧安装模组5上插块592插入的插槽591，具体的，所述插块592设置有四个且沿着转轴503的周向均匀分布，所述插块592的横截面呈扇形，其中，主传动轴2的远离带轮的一端也设有供插块592插入的插槽591，顶推轴3靠近主传动轴2的一端设有插块592。

通过上述设置，安装模组5安装时，将第一模组501上的插块592插接至主传动轴2的插槽591内，将第二模组502的插块592插接至第一模组501的插槽591内，将顶推轴3上的插块592插接至第二模组502的插槽591内，此时利用顶推轴3对安装模组5进行顶推，然后利用锁止组件对第二支撑座13进行固定，进而能够实现安装模组5的快速安装。

在本实施例中，如图13所示，插块592插接至插槽591内部时，插块592的侧壁与插槽591的侧壁抵接，随着主传动轴2的转动，进而能够将动力传递至安装模组5，带动安装模组5以及顶推轴3转动，进而能够带动锯切组件旋转，对沟棒16进行切割。

为了实现锯切组件的安装，在本实施例中，如图6、图7和图9所示，所述转轴503的周壁，主传动轴2的周壁以及顶推轴3的周壁均固定设有沿着径向设置的限位板51，锯切组件的锯片4套在转轴503或主传动轴2或顶推轴3的外侧并与限位板51抵接，然后利用挡环52安装在锯片4的另一侧，最后利用定位螺栓53将挡环52与限位板51进行固定，进而实现锯片4的安装。

通过上述设置，当需要对沟棒16进行加工时，利用粘蜡的方式将沟棒16固定在定位模具15上，然后将定位模具15固定在加工台14上，此时驱动电机通过传动带11带动主传动轴2转动，由于安装模组5的插块592插接至主传动轴2的插槽591内，顶推轴3的插块592插接至安装模组5的插槽591内，进而能够同步带动安装模组5以及顶推轴3的转动，此时，四组锯切组件同步旋转，利用三轴坐标改变梁架1的位置，进而同时对沟棒16进行切槽加工，相较于传统的切槽机仅用一组锯切组件对沟棒16进行切槽加工而言，提高了沟棒16的加工效率，大大节省了沟棒16的加工时间。

在此值得说明的是，本实施例中对锯切组件的限制为四组，只是方便对安装模组5以及锯切组件进行介绍，本切槽机所安装的安装模组5以及锯切组件不局限于四组，其中，两组、三组、五组等均在本发明的保护范围内。

在本实施例中，四组锯切模组安装完毕后，相邻两组锯片4的距离相等，为沟棒16沟槽间距的正整数倍，第一步加工过程中，当其中一沟槽加工完毕后，梁架1沿着主传动轴2的轴向移动一个沟槽的距离，当相邻两锯片4之间的沟棒16段的沟槽加工完毕后，梁架1移动若干个沟槽的距离，此处移动的距离与锯切组件的数量以及相邻两锯片4之间的距离相关。

当沟棒16的型号发生变换后，沟槽之间的间距也会发生相应的改变，常规情况下，相邻两锯片4之间的距离可能不是沟槽间距的整数倍，导致安装模组5不能够对不同沟槽间距的沟棒16进行加工。

在本实施例中，如图5和图6所示，安装模组5的长度可以进行调整，进而使得相邻两锯片4之间的间距满足沟棒16沟槽间距正整数倍的需求。

具体的，在本实施例中，如图5、图6和图10所示，所述转轴503的一端设有沿着轴向设置的安装槽55，所述安装槽55内滑动安装有顶推杆7，所述转轴503的另一端设有供顶推杆7插入的插接槽585，转轴503的周壁设有与安装槽55连通的螺纹孔54，所述螺纹孔54内部螺纹连接有螺柱75，所述螺柱75的底部安装有沿着转轴503径向移动的顶推块74，所述顶推杆7靠近顶推块74的一端设有倾斜设置的第一顶推斜面72，所述顶推块74的纵截面呈直角三角形，所述顶推块74的第二顶推斜面742与第一顶推斜面72抵接，螺柱75与顶推块74能够发生相对转动。

通过上述设置，在安装模组5安装完毕的基础上，如图5所示，此时测两锯片4之间的距离，然后与需要加工沟棒16沟槽间距进行比对，当两者之间不是正整数倍时，即需要对两锯片4之间的间距进行调整；具体调节过程如下：

第一步，按压触控按钮103，使定位气缸101上的定位板102收回，解除对第二支撑座13的限定；

第二步，通过扳手转动螺柱75，使得螺柱75向螺纹孔54内部进给，进而推动顶推块74沿着转轴503的径向移动，从而对顶推杆7施加一挤压力；

第三步，由于顶推杆7的端部与插接槽585的底壁抵接，主传动轴2的轴向移动被限位，故而顶推杆7改安装模组5施加一反作用力，使得第二支撑座13沿着轴向向远离主传动轴2的一侧移动，如图6所示，安装模组5的整体长度发生变化，相邻两安装模组5之间出现间隙，进而实现相邻两锯片4距离的微调；

第四步，按压触控按钮103，此时定位气缸101上的定位板102伸出与限位块132抵接，实现第二支撑座13的定位。

在此值得说明的是，第一顶推斜面72与第二顶推斜面742的倾斜角度为45°，螺纹孔54的螺距已知，能够通过螺柱75转动的圈数计算出，顶推块74的移动距离，进而能够计算出顶推杆7的伸出距离，实现相邻两锯片4距离的精准调节。

当螺柱75转动并向螺纹孔54外侧旋出时，为了能够保证顶推块74跟随着螺柱75同步移动，在本实施例中，如图6和图10所示，所述螺纹孔54的侧壁设有沿着转轴503径向设置的第一槽541，所述第一槽541内固定设有第二弹簧68，所述顶推块74上固定设有插接至第一槽541内的拨动板741，所述第二弹簧68的一端与第一槽541固定连接，其另一端与所述拨动板741固定连接；螺柱75的底壁与顶推块74抵接。

通过上述设置，如图5所示，当顶推杆7插接至另一插接槽585内时与插接槽585的底壁抵接，此时相邻两安装模组5之间无间隙，此时第二弹簧68处于原长状态，当螺柱75转动向下移动时，推动顶推块74移动并利用拨动板741对第二弹簧68进行压缩；当螺柱75转动并向螺纹孔54的外侧移出时，此时第二弹簧68顶推顶推块74向上移动保持与螺柱75的抵接状态。

当顶推块74复位后，为了能够保证第一顶推斜面72始终与第二顶推斜面742抵接，在本实施例中，如图6、图10和图12所示，所述转轴503的端部设有沿着转轴503轴向设置的安装环槽56，所述安装环槽56与所述安装槽55之间连通设有第二槽57，所述安装环槽56内部安装有第三弹簧69，所述顶推杆7的侧壁固定设有穿过第二槽57延伸至安装环槽56的顶推板71，所述第三弹簧69的一端与安装环槽56的内壁固定连接，第三弹簧69的另一端与所述顶推板71固定连接；如图5所示，此时第三弹簧69处于原长状态，当相邻两安装模组5之间存在间隙时，第三弹簧69处于拉伸状态，当螺柱75在螺纹孔54内向外侧移动时，第三弹簧69拉动顶推杆7复位，使第一顶推斜面72与第二顶推斜面742始终抵接。

为防止加工过程中冷却液进入至安装环槽56内，在本实施例中，所述安装环槽56的端部设有可以进行拆卸的密封挡圈73。

在本实施例中，第一槽541的位置与安装槽55对正，通过此种设置的好处是，方便顶推块74以及第二弹簧68的安装；具体的，第二弹簧68以及顶推杆7的安装过程如下：

第一步，将第二弹簧68通过安装槽55向内延伸并安装在第一槽541内；

第二步，将顶推块74从安装槽55向内延伸，使顶推块74上的拨动板741插接至第一槽541内并与第二弹簧68固定连接；

第三步，第三弹簧69放置在安装环槽56内，然后将第三弹簧69的一端与安装环槽56的内壁固定连接；

第四步，将顶推杆7插接至安装槽55内，使第一顶推斜面72与第二顶推斜面742抵接，此时顶推板71通过第二槽57插接至安装环槽56内，将第三弹簧69与顶推板71固定连接；

第五步，将密封挡圈73安装在转轴503上并对安装环槽56的端部进行封堵；

第六步，将螺柱75安装在螺纹孔54内，使螺柱75的底壁与顶推块74抵接，此时第二弹簧68处于原长状态。

在本实施例中，冷却模组中的第二管道1042分隔出若干个并将冷却液喷向锯片4，对锯片4进行降温处理，同时冲洗锯片4上残留的杂质。

为了防止冷却液通过螺纹孔54与螺柱75接触，因此，在本实施例中，如图7、图9和图10所示，所述转轴503的外侧套设有滑套6，其中滑套6与所述转轴503沿着转轴503的轴向滑动连接，具体的，所述滑套6的周壁上开设有调节孔62，初始状态下，所述调节孔62与所述螺纹孔54错位，当需要对螺柱75的位置进行调整时，将调节孔62与螺纹孔54重合，方便扳手伸入螺纹孔54内。

在本实施例中，所述转轴503的周壁上设有若干个沿着转轴503轴向设置的第三槽581，所述滑套6上固定设有插接至第三槽581的第一卡块65，此时，第一卡块65的侧壁与第三槽581的侧壁抵接，用以防止滑套6的周向转动，当需要调整调节孔62的位置时，仅需要将滑套6在转轴503上滑动即可。

当螺柱75的位置调整完毕后，为了能实现滑套6的复位，在本实施例中，如图7和图10所示，所述转轴503的侧壁设有沿着转轴503轴向设置的第五槽583，所述第五槽583内安装有第一弹簧67，所述滑套6上固定设有延伸至第五槽583的第二卡块66，所述第二卡块66的侧壁与所述第五槽583的侧壁滑动连接，所述第一弹簧67的一端与第五槽583的内壁抵接，其另一端与第二卡块66抵接，其中，第一弹簧67为压簧。

通过上述设置，如图7所示，对转轴503进行固定，使滑套6沿着箭头方向滑动，此时第二卡块66对第一弹簧67进行压缩，使得调节孔62与螺纹孔54对正，从而方便对螺柱75的位置进行调整，当螺柱75调整完毕后，松开对滑套6的限制，此时第一弹簧67将滑套6顶推至初始位置，调节孔62与螺纹孔54错位，防止外界冷却液进入至螺纹孔54内。

为了方便滑套6的安装，在本实施例中，如图10所示，所述第一卡块65与第二卡块66和滑套6可拆卸连接；具体的，所述滑套6的周壁上设有与第一卡块65配合的第一卡槽63，其中，第一卡槽63设置在滑套6的端部且设置有四个沿着滑套6的周向均匀分布；滑套6的周壁上还设有与第二卡块66配合的第二卡槽64；其中，第一卡块65与第二卡块66的纵截面均呈L型，滑套6的安装过程如下：

第一步，将第一弹簧67放置到第五槽583内；

第二步，将滑套6从转轴503的一端向内套入，使调节孔62的轴线与螺纹孔54的轴线在同一平面上；

第三步，当第一卡槽63至第三槽581上方时，将第一卡块65安装在第一卡槽63内并利用螺栓进行固定；

第四步，使第一卡块65的内壁与第三槽581靠近插块592一侧的内壁抵接，将第二卡块66插接至第二卡槽64内，然后利用螺栓固定，此时第一弹簧67的一端与第二卡块66抵接。

当螺柱75调整顶推杆7的位置时，如图6所示，此时，相邻两个安装模组5之间会留出间隙，此时外界的冷却液会顺着间隙与顶推杆7接触，冷却液中的杂质进入缝隙内部容易堆积，进而会造成精度的影响；为此，在本实施例中，如图5和图6所示，当相邻两个安装模组5进行连接时，此时滑套6会套设在下一安装模组5转轴503的外侧，对相邻两安装模组5之间的间隙进行遮挡，起到进一步的保护作用。

为了提高相邻两安装模组5同步转动的稳定性，在本实施例中，所述转轴503周壁的一端设有若干个沿着周向分布的第四槽582，其另一端设有第六槽584，如图10所示，第六槽584沿着转轴503的轴向设置，所述滑套6的内壁固定设有沿着径向延伸的插接肋61，其中，插接肋61可以插接至第四槽582以及第六槽584内。

安装模组5未进行组装时，滑套6的端部超出转轴503的端部，且插接肋61插接至第四槽582内，当安装模组5进行组装后，滑套6套设至相邻一侧转轴503的外侧，此时，插接肋61同时插接至第四槽582以及第六槽584内。

具体的，在本实施例中，所述顶推杆7的横截面呈矩形。插接槽585的截面与顶推杆7的截面相适配，使得顶推杆7的侧壁与插接槽585的内壁抵接。

当中间一组锯切组件的锯片4发生磨损时，假设第一模组501上的锯片4损坏，为了方便对其进行更换，其更换步骤如下：

第一步，解除锁止组件对第二支撑座13的限制；

第二步，此时将第二模组502与第二支撑座13同步向远离主传动轴2的一侧移动，此时第一模组501插接至主传动轴2上；

第三步，托住第一模组501并向远离主传动轴2一侧移动，将第一模组501上的顶推杆7从主传动轴2上的插接槽585中移出，将第一模组501拆下；

第四步，将组装好的安装模组5对第一模组501进行替换；

第五步，将第二模组502与第二支撑座13向主传动轴2一侧移动，使第二模组502中的顶推杆7插接至更换后安装模组5的插接槽585内；

第六步，通过扳手调节更换后安装模组5上锯片4与主传动轴2上锯片4之间的距离；

第七步，按压触控按钮，使定位板102与限位块132抵接，对第二支撑座13进行固定，完成损坏锯片4的更换。

在此值得说明的是，当第二模组502插接至顶推轴3上后并与第一模组501脱离时，此时顶推轴3上的顶推杆7插接至第二模组502的插接槽585内，第二模组502受到重力向下倾斜的趋势被插接槽585的内壁与顶推杆7的端部因抵接关系消除，防止第二模组502从顶推轴3上掉落，此时，顶推轴3上的滑套6插接至第二模组502的转轴503上，进一步加固第二模组502安装的稳定性，降低第二模组502从顶推轴3上掉落的风险。

综上所述，本发明的技术方案利用多个安装模组5上的锯切机构实现沟棒16沟槽的快速切割，提高了沟棒16的加工效率；利用多个安装模组5的可拆卸方式，便于对损坏的锯片4进行快速更换，降低锯片4更换所浪费的时间；利用滑套6对螺纹孔54以及相邻两安装模组5之间的间隙进行防护，防止冷却液及杂质与螺柱75以及顶推杆7接触，防止杂质的堆积，能够提高相邻两安装模组5上锯片4间距的精准度，避免杂质的存在对距离的测量造成误差。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。

Claims (10)

1.一种硅舟切槽机，包括梁架(1)，其特征在于：梁架(1)的底壁一侧固定安装有第一支撑座(12)，梁架(1)底壁的另一侧滑动安装有第二支撑座(13)，梁架(1)上设有对第二支撑座(13)进行锁止的锁止组件，第一支撑座(12)和第二支撑座(13)上分别转动连接有主传动轴(2)以及顶推轴(3)，主传动轴(2)与顶推轴(3)同轴设置，梁架(1)上设有驱动主传动轴(2)转动的驱动机构，主传动轴(2)与顶推轴(3)之间安装有若干组可拆卸的安装模组(5)，所述安装模组(5)、主传动轴(2)以及顶推轴(3)上均安装有用于沟槽锯切的锯切组件，工作时，锁止组件处于锁止状态用以限制第二支撑座(13)的轴向移动。

2.根据权利要求1所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：梁架(1)的底壁固定设有支撑座(105)，所述支撑座(105)上固定设有沿着主传动轴(2)轴向设置的导向滑轨(106)，所述第二支撑座(13)上设有导向孔(131)，所述导向滑轨(106)插入所述导向孔(131)内，导向滑轨(106)的外壁与所述导向孔(131)的内壁抵接。

3.根据权利要求1所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：所述梁架(1)上设有沿着主传动轴(2)轴向设置的滑槽(10)，所述第二支撑座(13)上设有延伸至所述滑槽(10)内的限位块(132)，锁止组件包括位于限位块(132)两侧的定位板(102)以及定位气缸(101)，定位气缸(101)固定在梁架(1)上，定位气缸(101)的气缸杆与所述定位板(102)固定连接，定位板(102)与限位块(132)抵接用以实现第二支撑座(13)的锁止。

4.根据权利要求1所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：主传动轴(2)、顶推轴(3)以及安装模组(5)的周壁均固定设有沿着径向设置的限位板(51)，锯切组件包括与限位板(51)抵接的锯片(4)，锯片(4)远离限位板(51)的一侧设有挡环(52)，锯片(4)通过定位螺栓(53)固定在限位板(51)与挡环(52)之间。

5.根据权利要求1所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：安装模组(5)包括转轴(503)，所述转轴(503)的端壁设有沿着转轴(503)轴向设置的安装槽(55)，所述转轴(503)的周壁设有与所述安装槽(55)连通的螺纹孔(54)，所述螺纹孔(54)内部螺纹连接有螺柱(75)，所述安装槽(55)内设有沿着转轴(503)轴向滑动连接的顶推杆(7)，所述螺柱(75)的底壁设有沿着转轴(503)径向滑动的顶推块(74)，所述顶推杆(7)靠近顶推块(74)一侧设有第一顶推斜面(72)，所述顶推块(74)上设有与第一顶推斜面(72)抵接的第二顶推斜面(742)，所述主传动轴(2)、转轴(503)远离安装槽(55)的一端均设有插接槽(585)，所述顶推杆(7)的端部延伸出安装槽(55)并插接至相邻的插接槽(585)内，顶推杆(7)的端壁与插接槽(585)的底壁抵接，转轴(503)的一端以及顶推轴(3)的端部均设有插块(592)，主传动轴(2)与转轴(503)的另一端均设有插槽(591)，主传动轴(2)、安装模组(5)以及顶推轴(3)上的插块(592)与插槽(591)依次插接。

6.根据权利要求5所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：所述螺纹孔(54)的内壁设有沿着转轴(503)径向设置的第一槽(541)，所述顶推块(74)上固定设有延伸至第一槽(541)的拨动板(741)，所述第一槽(541)内安装有第二弹簧(68)，所述第二弹簧(68)的一端与第一槽(541)固定连接，第二弹簧(68)的另一端与所述拨动板(741)固定连接。

7.根据权利要求5所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：所述转轴(503)上设有沿着转轴(503)轴向设置的安装环槽(56)，所述转轴(503)上设有将安装槽(55)与安装环槽(56)连通的第二槽(57)，所述顶推杆(7)上固定设有穿过第二槽(57)延伸至安装环槽(56)的顶推板(71)，安装环槽(56)内安装有第三弹簧(69)，第三弹簧(69)的一端与安装环槽(56)的内壁固定连接，第三弹簧(69)的另一端与所述顶推板(71)固定连接。

8.根据权利要求5所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：所述转轴(503)的外侧套设有滑套(6)，所述转轴(503)的周壁设有若干个沿着转轴(503)周向均匀分布的第三槽(581)，所述第三槽(581)沿着转轴(503)的轴向设置，所述滑套(6)上固定设有插接至所述第三槽(581)的第一卡块(65)，所述第一卡块(65)的侧壁与第三槽(581)的侧壁滑动连接。

9.根据权利要求8所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：所述转轴(503)的侧壁设有沿着转轴(503)轴向设置的第五槽(583)，所述第五槽(583)内安装有第一弹簧(67)，所述滑套(6)上固定设有延伸至第五槽(583)内的第二卡块(66)，第二卡块(66)的侧壁与第五槽(583)的侧壁抵接，第一弹簧(67)的一端与第五槽(583)的内壁固定连接，另一端与所述第二卡块(66)固定连接，所述滑套(6)上设有调节孔(62)，调节孔(62)的轴线与螺纹孔(54)的轴线位于同一平面，初始状态下，调节孔(62)与螺纹孔(54)错位，顶推杆(7)调节状态下，调节孔(62)与螺纹孔(54)对正。

10.根据权利要求9所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：所述转轴(503)的一端周壁上设有第四槽(582)，转轴(503)、主传动轴(2)的端部周壁上均设有第六槽(584)，所述滑套(6)的内壁设有插接肋(61)，安装模组(5)未安装状态下，插接肋(61)插接至第四槽(582)内，安装模组(5)组装状态下，滑套(6)套设至相邻转轴(503)或主传动轴(2)的外侧，插接肋(61)同时插接至第四槽(582)以及第六槽(584)内。