CN112549340A - 一种晶圆切片机用定位设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种晶圆切片机用定位设备，其结构包括切割机构、机体、调整钮、平衡板，切割机构镶嵌设于机体的上端右侧面，机体上端面通过焊接安装着平衡板，调整钮活动卡合安装在机体的外侧端面，平衡板位于调整钮的正上方，当包裹机构发生倾斜时，牵引块内的嵌固块会推动相吸磁条相挤压，而在挤压的同时挤压机构上下两端的连接端面呈倾斜状，导致在包裹机构挤压第二嵌固块时，会在滚珠的滚动效果下使包裹机构向中间聚拢包裹，从而对晶圆进行再次固定。

Description

一种晶圆切片机用定位设备
技术领域
本发明属于用于芯片的晶圆切片机领域，更具体地说，尤其是涉及到一种晶圆切片机用定位设备。
背景技术
晶圆切片定位设备是一种通过齿轮传动与激光测距的方式对安装在切片机上的晶圆块进行切片，在测距定位时需先通过激光的传输距离计算，随后反馈至设备内通过多组齿轮降速传动来驱使晶圆片缓慢调整。
基于上述本发明人发现，现有的主要存在以下几点不足，比如：当将设备安装于倾斜面进行切割时，被放置于设备切割端面的晶圆条也呈倾斜状，而在利用切割设备对晶圆条进行切割时会出现由设备主转轴转动而产生的振动，导致晶圆条在切割时容易随着该振动与倾斜面向下滑落，影响晶圆片切割精度。
因此需要提出一种晶圆切片机用定位设备。
发明内容
为了解决上述技术当将设备安装于倾斜面进行切割时，被放置于设备切割端面的晶圆条也呈倾斜状，而在利用切割设备对晶圆条进行切割时会出现由设备主转轴转动而产生的振动，导致晶圆条在切割时容易随着该振动与倾斜面向下滑落，影响晶圆片切割精度的问题。
本发明一种晶圆切片机用定位设备的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：其结构包括切割机构、机体、调整钮、平衡板，所述切割机构镶嵌设于机体的上端右侧面，所述机体上端面通过焊接安装着平衡板，所述调整钮活动卡合安装在机体的外侧端面，所述平衡板位于调整钮的正上方；所述切割机构包括切割刀片、放置台、转轴、滑槽、第二转轴，所述切割刀片活动卡合安装在转轴的内侧端面，所述放置台嵌固安装在滑槽的正下方，所述转轴镶嵌设于第二转轴的左侧上方，所述滑槽贴合连接着转轴的外侧端面，所述第二转轴位于滑槽的右侧下方。
其中，所述放置台包括包裹机构、牵引块、伸缩杆、第二滑槽，所述包裹机构镶嵌设于伸缩杆的左侧下方，所述牵引块均匀镶嵌设于第二滑槽的正上方，所述伸缩杆镶嵌卡合安装在放置台的内侧端面，且与切割机构的内侧端面向连接，所述第二滑槽贴合连接着包裹机构的下端外侧面，所述牵引块设有上下两半且连接端面通过橡胶进行固定。
其中，所述牵引块包括嵌固块、橡胶片、挤压机构，所述嵌固块嵌固安装在挤压机构的上端左侧面，所述橡胶片贴合包裹在挤压机构的上端外侧面，所述挤压机构镶嵌设于牵引块内侧端面，所述挤压机构设为上下两段且连接端面呈倾斜面设计。
其中，所述挤压机构包括第二嵌固块、滚珠、镶嵌槽、橡胶条，所述第二嵌固块下端面均匀卡合着，所述滚珠镶嵌贴合连接着橡胶条，所述镶嵌槽镶嵌设于挤压机构的内侧上端面，所述橡胶条位于第二嵌固块的正下方，所述橡胶条采用密度较高的橡胶材质制成。
其中，所述包裹机构包括充盈片、包裹片、相吸磁条，所述充盈片内侧端面贴合连接着包裹片，所述包裹片左侧端面镶嵌卡合连接着相吸磁条，所述相吸磁条位于充盈片的左侧方，所述相吸磁条设有左右两片，且两片的相邻面磁性相吸。
其中，所述充盈片包括空气槽、橡胶块、第二橡胶条，所述空气槽镶嵌设于第二橡胶条的内侧端面，所述橡胶块均匀分布在第二橡胶条的内侧端面，所述第二橡胶条包裹在充盈片的外侧端面，所述橡胶块采用橡胶材质制成。
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
1.当包裹机构发生倾斜时，牵引块内的嵌固块会推动相吸磁条相挤压，而在挤压的同时挤压机构上下两端的连接端面呈倾斜状，导致在包裹机构挤压第二嵌固块时，会在滚珠的滚动效果下使包裹机构向中间聚拢包裹，从而对晶圆进行再次固定。
2.当利用设备中的包裹机构对晶圆进行包裹时，由于包裹机构内的相吸磁条呈橡胶材质包裹，而相吸磁条则为两块相吸的磁条，导致在牵引块向下挤压包裹机构的同时，包裹片会将中间聚拢包裹晶圆形成固定。
附图说明
图1为本发明一种晶圆切片机用定位设备的整体结构示意图。
图2为本发明一种晶圆切片机用定位设备切割机构的结构示意图。
图3为本发明一种晶圆切片机用定位设备放置台的结构示意图。
图4为本发明一种晶圆切片机用定位设备牵引块的结构示意图。
图5为本发明一种晶圆切片机用定位设备挤压机构的结构示意图。
图6为本发明一种晶圆切片机用定位设备包裹机构的结构示意图。
图7为本发明一种晶圆切片机用定位设备充盈片的结构示意图。
图中：切割机构－1、机体－2、调整钮－3、平衡板－4、切割刀片－11、放置台－12、转轴－13、滑槽－14、第二转轴－15、包裹机构－121、牵引块－122、伸缩杆－123、第二滑槽－124、嵌固块－221、橡胶条－222、挤压机构－223、第二嵌固块－231、滚珠－232、镶嵌槽－233、橡胶片－234、充盈片－211、包裹片－212、相吸磁条－213、空气槽－111、橡胶块－112、第二橡胶条－113。
具体实施方式
以下结合附图对本发明做进一步描述：
实施例1：
如附图1至附图5所示：
本发明提供一种晶圆切片机用定位设备，其结构包括切割机构1、机体2、调整钮3、平衡板4，所述切割机构1镶嵌设于机体2的上端右侧面，所述机体2上端面通过焊接安装着平衡板4，所述调整钮3活动卡合安装在机体2的外侧端面，所述平衡板4位于调整钮3的正上方；所述切割机构1包括切割刀片11、放置台12、转轴13、滑槽14、第二转轴15，所述切割刀片11活动卡合安装在转轴13的内侧端面，所述放置台12嵌固安装在滑槽14的正下方，所述转轴13镶嵌设于第二转轴15的左侧上方，所述滑槽14贴合连接着转轴13的外侧端面，所述第二转轴15位于滑槽14的右侧下方。
其中，所述放置台12包括包裹机构121、牵引块122、伸缩杆123、第二滑槽124，所述包裹机构121镶嵌设于伸缩杆123的左侧下方，所述牵引块122均匀镶嵌设于第二滑槽124的正上方，所述伸缩杆123镶嵌卡合安装在放置台12的内侧端面，且与切割机构1的内侧端面向连接，所述第二滑槽124贴合连接着包裹机构121的下端外侧面，所述牵引块122设有上下两半且连接端面通过橡胶进行固定，可有效保证包裹机构121的固定性与活动性。
其中，所述牵引块122包括嵌固块221、橡胶条222、挤压机构223，所述嵌固块221嵌固安装在挤压机构223的上端左侧面，所述橡胶条222贴合包裹在挤压机构223的上端外侧面，所述挤压机构223镶嵌设于牵引块122内侧端面，所述挤压机构223设为上下两段且连接端面呈倾斜面设计，当包裹机构121向左移动时挤压机构223的上下两段会向中间聚拢从而向下挤压包裹机构121。
其中，所述挤压机构223包括第二嵌固块231、滚珠232、镶嵌槽233、橡胶片234，所述第二嵌固块231下端面均匀卡合着23，所述滚珠232镶嵌贴合连接着橡胶片234，所述镶嵌槽233镶嵌设于挤压机构223的内侧上端面，所述橡胶片234位于第二嵌固块231的正下方，所述橡胶片234采用密度较高的橡胶材质制成，可使第二嵌固块231挤压滚珠232滚动时产生形变。
本实施例的具体使用方式与作用：
本发明在使用过程中通过将待加工的晶圆放置于切割机构1内的放置台12中，通过调整钮3控制放置台12的大体位置后利用转轴13带动切割刀片11转动，通过滑槽14控制切割刀片11下压对放置台12上的晶圆进行切割，而当在倾斜面使用设备进行切割时，由于放置台12内设有包裹机构121与牵引块122，当包裹机构121发生倾斜时，牵引块122内的嵌固块221会推动相吸磁条213相挤压，而在挤压的同时挤压机构223上下两端的连接端面呈倾斜状，导致在包裹机构121挤压第二嵌固块231时，会在滚珠232的滚动效果下使包裹机构121向中间聚拢包裹，从而对晶圆进行再次固定。
实施例2：
如附图6至附图7所示：所述包裹机构121包括充盈片211、包裹片212、相吸磁条213，所述充盈片211内侧端面贴合连接着包裹片212，所述包裹片212左侧端面镶嵌卡合连接着相吸磁条213，所述相吸磁条213位于充盈片211的左侧方，所述相吸磁条213设有左右两片，且两片的相邻面磁性相吸，可有效包裹位于包裹机构121内的晶圆条。
其中，所述充盈片211包括空气槽111、橡胶块112、第二橡胶条113，所述空气槽111镶嵌设于第二橡胶条113的内侧端面，所述橡胶块112均匀分布在第二橡胶条113的内侧端面，所述第二橡胶条113包裹在充盈片211的外侧端面，所述橡胶块112采用橡胶材质制成，可在第二橡胶条113上端表面受力下压而与空气槽111相配合产生形变。
本实施例的具体使用方式与作用：
本发明中当利用设备中的包裹机构121对晶圆进行包裹时，由于包裹机构121内的相吸磁条213呈橡胶材质包裹，而相吸磁条213则为两块相吸的磁条，导致在牵引块122向下挤压包裹机构121的同时，包裹片212会将中间聚拢包裹晶圆形成固定，而在包裹片212聚拢的同时会向内挤压充盈片211，使充盈片211内的第二橡胶条113在橡胶块112与空气槽111的配合下产生形变从而向内凹陷贴合在晶元表面，而在相吸磁条213与磁力吸附下与橡胶块112的弹性支撑下再次增加包裹片212与第二橡胶条113对晶圆表面的贴合性与固定性。
利用本发明所述技术方案，或本领域的技术人员在本发明技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种晶圆切片机用定位设备，其结构包括切割机构(1)、机体(2)、调整钮(3)、平衡板(4)，所述切割机构(1)镶嵌设于机体(2)的上端右侧面，所述机体(2)上端面通过焊接安装着平衡板(4)，所述调整钮(3)活动卡合安装在机体(2)的外侧端面，所述平衡板(4)位于调整钮(3)的正上方；其特征在于：
所述切割机构(1)包括切割刀片(11)、放置台(12)、转轴(13)、滑槽(14)、第二转轴(15)，所述切割刀片(11)活动卡合安装在转轴(13)的内侧端面，所述放置台(12)嵌固安装在滑槽(14)的正下方，所述转轴(13)镶嵌设于第二转轴(15)的左侧上方，所述滑槽(14)贴合连接着转轴(13)的外侧端面。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切片机用定位设备，所述放置台(12)包括包裹机构(121)、牵引块(122)、伸缩杆(123)、第二滑槽(124)，所述包裹机构(121)镶嵌设于伸缩杆(123)的左侧下方，所述牵引块(122)均匀镶嵌设于第二滑槽(124)的正上方，所述伸缩杆(123)镶嵌卡合安装在放置台(12)的内侧端面，且与切割机构(1)的内侧端面向连接，所述第二滑槽(124)贴合连接着包裹机构(121)的下端外侧面。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆切片机用定位设备，所述牵引块(122)包括嵌固块(221)、橡胶条(222)、挤压机构(223)，所述嵌固块(221)嵌固安装在挤压机构(223)的上端左侧面，所述橡胶条(222)贴合包裹在挤压机构(223)的上端外侧面，所述挤压机构(223)镶嵌设于牵引块(122)内侧端面。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆切片机用定位设备，所述挤压机构(223)包括第二嵌固块(231)、滚珠(232)、镶嵌槽(233)、橡胶片(234)，所述第二嵌固块(231)下端面均匀卡合着23，所述滚珠(232)镶嵌贴合连接着橡胶片(234)，所述镶嵌槽(233)镶嵌设于挤压机构(223)的内侧上端面，所述橡胶片(234)位于第二嵌固块(231)的正下方。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆切片机用定位设备，所述包裹机构(121)包括充盈片(211)、包裹片(212)、相吸磁条(213)，所述充盈片(211)内侧端面贴合连接着包裹片(212)，所述包裹片(212)左侧端面镶嵌卡合连接着相吸磁条(213)，所述相吸磁条(213)位于充盈片(211)的左侧方。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆切片机用定位设备，所述充盈片(211)包括空气槽(111)、橡胶块(112)、第二橡胶条(113)，所述空气槽(111)镶嵌设于第二橡胶条(113)的内侧端面，所述橡胶块(112)均匀分布在第二橡胶条(113)的内侧端面，所述第二橡胶条(113)包裹在充盈片(211)的外侧端面。
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CN113184358A (zh) * 2021-04-26 2021-07-30 宁波财经学院 一种生物医药用运输装置
CN117549442A (zh) * 2023-12-08 2024-02-13 浙江盾源聚芯半导体科技有限公司 一种硅舟切槽机
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