CN117532480A - 一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置 - Google Patents

一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，包括太阳轮、游星轮组以及齿圈，还包括外壳、驱动座以及移动件，其中，所述外壳与所述齿圈限位连接，所述驱动座固定设置在所述外壳上，所述移动件滑动设置在所述驱动座且与所述太阳轮固定连接，所述驱动座内部开设有多个环槽，且相邻两个环槽之间开设有缺口，所述缺口处设置有导向机构，所述导向机构能够将多个所述环槽连通使其形成螺旋通道，所述移动件外部固定设置有导块，所述导块能够沿所述螺旋通道滑动。

Description

一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置
技术领域
本发明涉及双面抛光机技术领域，具体是一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置。
背景技术
双面抛光机的运动组件可看成为一个差动式的游星轮系，在抛光时，将需要抛光的工件放置于游星轮中，使其与游星轮的内壁有一定的间隙，这样工件就可以在游星轮之中实现小范围的自由移动。根据差动原理，在太阳轮与外圈齿轮做反向旋转时，游星轮通过齿轮的祸合关系将被其带动，以一定的角速度绕中心轴实现转动，同时还带自转，从而实现了工件的公转与自转。在上抛光面载荷力的作用下，工件通过与上下抛光垫发生摩擦运动，由于摩擦力的作用，工件与上下抛光垫、抛光液以及抛光液中的磨粒发生物理化学变化，由此工件的表层材料发生反应并被去除，以获得超光滑表面的效果。
现有技术中，太阳轮的高度要高于游星轮组，在抛光时，游星轮长时间啮合在太阳轮的一处，容易使其表面磨损出沟壑，使其使用寿命大大降低，且太阳轮的其余材料并未完全利用，造成大量资源浪费。
因此，有必要提供一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
发明内容
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，包括太阳轮、游星轮组以及齿圈，还包括外壳、驱动座以及移动件，其中，所述外壳与所述齿圈限位连接，所述驱动座固定设置在所述外壳上，所述移动件滑动设置在所述驱动座且与所述太阳轮固定连接；
所述驱动座内部开设有多个环槽，且相邻两个环槽之间开设有缺口，所述缺口处设置有导向机构，所述导向机构能够将多个所述环槽连通使其形成螺旋通道，所述移动件外部固定设置有导块，所述导块能够沿所述螺旋通道滑动。
优选的，所述导向机构包括推杆一、推杆二以及导向板，其中，所述驱动座中开设有两个滑槽一，所述推杆一与推杆二分别滑动设置在两个滑槽一中，所述导向板转动设置在所述环槽中，所述导向板通过转动将相邻两个所述环槽之间的缺口连通。
优选的，所述导向板两侧分别开设有卡槽一和卡槽二；
所述推杆一上固定设置有多个滑杆一，所述推杆二上固定设置有多个滑杆二；
所述滑杆一与所述卡槽一滑动连接，所述滑杆二与所述卡槽二滑动连接；
所述推杆一两端分别固定连接有偏转机构以及卡和机构；
所述推杆二与所述滑槽一之间固定设置有弹簧一。
优选的，所述偏转机构包括偏转杆、支杆一、支杆二、卡座以及滑块一，其中，靠近所述驱动座输出端的环槽中开设有卡槽三，所述滑块一滑动设置在所述卡槽三中，所述偏转杆转动设置在所述驱动座上，所述驱动座两端分别滑动设置有支杆一与支杆二，所述支杆一的另一端与所述推杆一铰接，所述支杆二的另一端与所述卡座铰接；
所述滑块一上倾斜开设有T型槽，所述卡座上固定设置有T型块，所述T型块卡入所述T型槽中，并沿其内部滑动。
优选的，所述滑块一靠近所述移动件的一侧设置有一斜面，所述滑块一与所述卡槽三之间固定设置有弹簧二；
所述导块通过所述斜面推动所述滑块一滑动。
优选的，所述卡和机构包括卡杆以及滑块二，其中，靠近所述驱动座输入端的环槽中开设有卡槽四，所述滑块二滑动设置在所述卡槽四中，所述驱动座中开设有滑槽二，所述卡杆滑动设置在所述滑槽二中，两者之间固定设置有弹簧四；
所述卡杆输出端设置有一斜面；
所述推杆一上开设有卡槽五，所述卡杆能够卡入所述卡槽五中。
优选的，所述滑块二上倾斜开设有滑槽三；
所述卡杆靠近所述滑块二一侧还固定设置有支杆三，所述支杆三能够沿所述滑槽三内部滑动；
所述滑块二与所述滑槽三之间固定设置有弹簧三。
与现有技术相比，本发明提供了一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，具备以下有益效果：
本发明中，通过移动件在驱动座中的滑动来改变太阳轮的位置，使得太阳轮与游星轮组的啮合位置发生改变，减少其磨损量，且移动件在驱动座中的滑动通过导块在环槽中的移动实现，并在导向机构、偏转机构以及卡和机构的共同作用下，使得移动件能够在驱动座中来回往复滑动，进而使得太阳轮来回往复移动，使其与游星轮组的啮合位置改变，使得太阳轮各个位置均进行啮合，将材料充分利用，并减少其磨损量，大大提高其使用寿命，且，所述导块每次在所述环槽中转动一圈后才进入下一环槽中，使得太阳轮与游星轮的啮合更加均匀，进一步减少其磨损量。
附图说明
图1为本发明中整体结构剖面示意图；
图2为本发明中驱动座与移动件结构示意图；
图3为本发明中驱动座内部结构示意图；
图4为图3中C部结构放大示意图；
图5为图3中A部结构放大示意图；
图6为图3中B部结构放大示意图。
图中：1、外壳；2、驱动座；21、环槽；211、卡槽三；212、卡槽四；22、缺口；23、滑槽一；24、滑槽二；3、移动件；31、导块；4、导向机构；41、推杆一；411、滑杆一；412、卡槽五；42、推杆二；421、滑杆二；43、导向板；431、卡槽一；432、卡槽二；44、弹簧一；45、偏转机构；451、偏转杆；452、支杆一；453、支杆二；454、卡座；455、滑块一；456、T型槽；457、T型块；46、卡和机构；461、卡杆；462、滑块二；463、滑槽三；464、支杆三。
具体实施方式
实施例：请参阅图1～6，本发明实施例中，一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，包括太阳轮、游星轮组以及齿圈，还包括外壳1、驱动座2以及移动件3，其中，所述外壳1与所述齿圈限位连接，所述驱动座2固定设置在所述外壳1上，所述移动件3滑动设置在所述驱动座2且与所述太阳轮固定连接；
所述驱动座2内部开设有多个环槽21，且相邻两个环槽21之间开设有缺口22，所述缺口22处设置有导向机构4，所述导向机构4能够将多个所述环槽21连通使其形成螺旋通道，所述移动件3外部固定设置有导块31，所述导块31能够沿所述螺旋通道滑动。
在实施时，所述太阳轮转动可带动所述移动件3一起转动，使得所述导块31在所述螺旋通道中滑动，从而使得所述移动件3在所述驱动座2中滑动，此过程中，所述外壳1固定在齿圈以及游星轮组上，所述驱动座2位置被限定，所述移动件3滑动能够推动所述太阳轮滑动，从而改变所述游星轮组与其啮合的位置，防止其长时间啮合下出现磨损，且，所述导块31在所述环槽21中每转动一圈进入到下一环槽21中，使得所述太阳轮与游星轮在同一位置啮合一圈后便移动到下一位置，且所述环槽21均匀分布，使得所述太阳轮各个位置均可进行啮合，进一步减少其磨损量，延长其使用寿命。
本实施例中，如图3，所述导向机构4包括推杆一41、推杆二42以及导向板43，其中，所述驱动座2中开设有两个滑槽一23，所述推杆一41与推杆二42分别滑动设置在两个滑槽一23中，所述导向板43转动设置在所述环槽21中，所述导向板43通过转动将相邻两个所述环槽21之间的缺口22连通。
在实施时，通过导向板43将两环槽21之间的缺口连通，并在所述导块31滑动到导向板43处时，其滑动到下一环槽21中，并在此环槽21中滑动一圈后再进入下一环槽21中，以此循环，使得移动件3沿所述驱动座2内部滑动。
本实施例中，如图4，所述导向板43两侧分别开设有卡槽一431和卡槽二432；
所述推杆一41上固定设置有多个滑杆一411，所述推杆二42上固定设置有多个滑杆二421；
所述滑杆一411与所述卡槽一431滑动连接，所述滑杆二421与所述卡槽二432滑动连接；
所述推杆一41两端分别固定连接有偏转机构45以及卡和机构46；
所述推杆二42与所述滑槽一23之间固定设置有弹簧一44。
特别的，所述导向板43转动设置，并通过推杆一41和推杆二42控制其偏转方向，从而改变所述导块31在所述环槽21中的移动方向，从而改变太阳轮的移动方向，使得太阳轮能够来回往复移动，循环改变其与游星轮的啮合位置，大大减小其磨损量，使得太阳轮各个位置均可进行啮合。
本实施例中，如图3、5，所述偏转机构45包括偏转杆451、支杆一452、支杆二453、卡座454以及滑块一455，其中，靠近所述驱动座2输出端的环槽21中开设有卡槽三211，所述滑块一455滑动设置在所述卡槽三211中，所述偏转杆451转动设置在所述驱动座2上，所述驱动座2两端分别滑动设置有支杆一452与支杆二453，所述支杆一452的另一端与所述推杆一41铰接，所述支杆二453的另一端与所述卡座454铰接；
所述滑块一455上倾斜开设有T型槽456，所述卡座454上固定设置有T型块457，所述T型块457卡入所述T型槽456中，并沿其内部滑动。
在实施时，当所述导块31从所述驱动座2输入端移动到输出端时，其压动所述滑块一455滑动，所述滑块一455滑动时，所述T型块451沿所述T型槽456滑动，带动所述支杆二453发生偏转，并在所述偏转杆451作用下带动支杆一452偏转，使得所述推杆一41与所述推杆二42沿所述滑槽一23滑动，进而改变所述导向板43的偏转方向，使得所述导块31在所述驱动座2输出端的环槽21中转动一圈后，在导向板43作用下重新向所述驱动座2输入端移动，实现移动件3沿所述驱动座2来回移动，进一步使得太阳轮与所述游星轮组的啮合位置来回循环改变。
本实施例中，如图5，所述滑块一455靠近所述移动件3的一侧设置有一斜面，所述滑块一455与所述卡槽三211之间固定设置有弹簧二；
所述导块31通过所述斜面推动所述滑块一455滑动。
特别的，在所述滑块一455上设置斜面使得所述导块31更加方便驱动其滑动。
本实施例中，如图3、6，所述卡和机构46包括卡杆461以及滑块二462，其中，靠近所述驱动座2输入端的环槽21中开设有卡槽四212，所述滑块二462滑动设置在所述卡槽四212中，所述驱动座2中开设有滑槽二24，所述卡杆461滑动设置在所述滑槽二24中，两者之间固定设置有弹簧四；
所述卡杆461输出端设置有一斜面；
所述推杆一41上开设有卡槽五412，所述卡杆461能够卡入所述卡槽五412中。
本实施例中，如图6，所述滑块二462上倾斜开设有滑槽三463；
所述卡杆461靠近所述滑块二462一侧还固定设置有支杆三464，所述支杆三464能够沿所述滑槽三463内部滑动；
所述滑块二462与所述滑槽三463之间固定设置有弹簧三。
在实施时，当所述滑块一455滑动驱动所述推杆一41滑动后，所述推杆一41的另一端推动所述卡杆461滑动，并在推杆一41滑动至卡槽五412处时，所述卡杆461在弹簧四作用下卡入所述卡槽五412中，将推杆一41的位置限定，并在所述推杆一41滑动的过程中，所述推杆二42压缩所述弹簧一44，随后在所述导块31移动到所述驱动座2的输入端时，其接触到所述滑块二462使其滑动，所述滑块二462移动带动所述滑槽三463向下移动，其驱动所述支杆三464沿其内部滑动，进而带动所述卡杆461滑动，使其从所述卡槽五412中滑出，所述推杆二42在弹簧一44的作用下滑动，所述滑块一455在弹簧二的作用下向上滑动，进一步使得所述推杆一41复位滑动，从而改变所述导向板43的偏转方向，使得导块31重新向所述驱动座2的输出端移动，以此在所述导向机构4、偏转机构45以及卡和机构46共同作用下，使得所述移动件3在所述驱动座2中来回往复滑动，进一步使得所述太阳轮在转动时，其能够来回改变其与游星轮组的啮合位置，从而减小其磨损量，大大提高其使用寿命。
综上所述，本发明在实施时，所述太阳轮转动带动所述移动件3沿所述驱动座2内部转动，所述移动件3转动带动所述导块31在所述螺旋通道中滑动，从而使得移动件3相对应驱动座2进行滑动，并在偏转机构45与卡和机构46共同作用下，使得导向机构4的导向位置发生改变，从而改变螺旋通道的旋转方向，进一步使得移动件3在驱动座2中来回往复滑动，使得太阳轮与游星轮组的啮合位置来回往复改变，大大减少太阳轮的磨损量，进而提高其使用寿命。
以上所述的，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，包括太阳轮、游星轮组以及齿圈，其特征在于：还包括外壳(1)、驱动座(2)以及移动件(3)，其中，所述外壳(1)与所述齿圈限位连接，所述驱动座(2)固定设置在所述外壳(1)上，所述移动件(3)滑动设置在所述驱动座(2)且与所述太阳轮固定连接；
所述驱动座(2)内部开设有多个环槽(21)，且相邻两个环槽(21)之间开设有缺口(22)，所述缺口(22)处设置有导向机构(4)，所述导向机构(4)能够将多个所述环槽(21)连通使其形成螺旋通道，所述移动件(3)外部固定设置有导块(31)，所述导块(31)能够沿所述螺旋通道滑动。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，其特征在于：所述导向机构(4)包括推杆一(41)、推杆二(42)以及导向板(43)，其中，所述驱动座(2)中开设有两个滑槽一(23)，所述推杆一(41)与推杆二(42)分别滑动设置在两个滑槽一(23)中，所述导向板(43)转动设置在所述环槽(21)中，所述导向板(43)通过转动将相邻两个所述环槽(21)之间的缺口(22)连通。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，其特征在于：所述导向板(43)两侧分别开设有卡槽一(431)和卡槽二(432)；
所述推杆一(41)上固定设置有多个滑杆一(411)，所述推杆二(42)上固定设置有多个滑杆二(421)；
所述滑杆一(411)与所述卡槽一(431)滑动连接，所述滑杆二(421)与所述卡槽二(432)滑动连接；
所述推杆一(41)两端分别固定连接有偏转机构(45)以及卡和机构(46)；
所述推杆二(42)与所述滑槽一(23)之间固定设置有弹簧一(44)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，其特征在于：所述偏转机构(45)包括偏转杆(451)、支杆一(452)、支杆二(453)、卡座(454)以及滑块一(455)，其中，靠近所述驱动座(2)输出端的环槽(21)中开设有卡槽三(211)，所述滑块一(455)滑动设置在所述卡槽三(211)中，所述偏转杆(451)转动设置在所述驱动座(2)上，所述驱动座(2)两端分别滑动设置有支杆一(452)与支杆二(453)，所述支杆一(452)的另一端与所述推杆一(41)铰接，所述支杆二(453)的另一端与所述卡座(454)铰接；
所述滑块一(455)上倾斜开设有T型槽(456)，所述卡座(454)上固定设置有T型块(457)，所述T型块(457)卡入所述T型槽(456)中，并沿其内部滑动。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，其特征在于：所述滑块一(455)靠近所述移动件(3)的一侧设置有一斜面，所述滑块一(455)与所述卡槽三(211)之间固定设置有弹簧二；
所述导块(31)通过所述斜面推动所述滑块一(455)滑动。
6.根据权利要求3所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，其特征在于：所述卡和机构(46)包括卡杆(461)以及滑块二(462)，其中，靠近所述驱动座(2)输入端的环槽(21)中开设有卡槽四(212)，所述滑块二(462)滑动设置在所述卡槽四(212)中，所述驱动座(2)中开设有滑槽二(24)，所述卡杆(461)滑动设置在所述滑槽二(24)中，两者之间固定设置有弹簧四；
所述卡杆(461)输出端设置有一斜面；
所述推杆一(41)上开设有卡槽五(412)，所述卡杆(461)能够卡入所述卡槽五(412)中。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，其特征在于：所述滑块二(462)上倾斜开设有滑槽三(463)；
所述卡杆(461)靠近所述滑块二(462)一侧还固定设置有支杆三(464)，所述支杆三(464)能够沿所述滑槽三(463)内部滑动；
所述滑块二(462)与所述滑槽三(463)之间固定设置有弹簧三。
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