CN203680029U - 一种研磨机太阳轮调节装置 - Google Patents

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岳伟
陈志嵩
殷华林
戴安娜
伊莲娟
毛可勇
李海宁
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Abstract

本实用新型涉及一种研磨机太阳轮调节装置,所述主轴上部两侧安装有太阳轮调节座,并在太阳轮调节座侧面固有太阳轮,主轴中部两侧设有轴承座,轴承座与主轴之间安装有轴承,主轴下端一侧安装有电机。本实用新型的有益效果为:通过将太阳轮做成上下可调式,太阳轮既能转动,又能上下可调,这样在上盘变薄时可以降低其高度来适应其加工啮合需求,这样太阳轮的宽度就可以设计的相对较薄,而且当太阳轮磨损掉后,替换时不至于代价太高,不仅能降低太阳轮的加工成本,同时降低太阳轮的磨耗延长其寿命。

Description

一种研磨机太阳轮调节装置
技术领域
本实用新型涉及一种研磨机太阳轮调节装置。
背景技术
蓝宝石(AL2O3)为六方对称结构,它作为最硬的氧化物晶体,具备优良的光化学和物理性能。机械强度高,耐化学腐蚀,有较好的导热性、热稳定性,透光波段宽,是理想的窗口衬底基本材料,另外,它具有电绝缘性,化学性能稳定,漏电容和寄生电容小,是极好的半导体、超导衬底材料。作为衬底用的蓝宝石晶体基片一般为2英寸,4英寸等。用作半导体衬底的光学蓝宝石晶体基片对其表面有很高的要求,包括片面度,平行度达到0.005mm,光洁度达到0.5nm。
现有双面研磨机如图2所示,主要包括221-上盘,222-内齿轮,223-游星轮,224-下盘,225-太阳齿,226-工件,其原理是被加工零件放在游星轮卡槽中,上盘221和下盘224以相反的方向转动,中间的太阳齿225、和内齿轮222也同时以不同的转速转动,并且调节它们的转速可以使得游星轮223的自转和公转达到相应的工艺要求。这样工件226就可以在游星轮223里面均匀的接收上下磨盘的研磨。这里有一个问题是下盘会随着研磨时间而变的越来越薄,这就会带来一些问题、太阳轮要设计的宽度很宽,太阳轮的制作成本较高、游行轮在与太阳轮啮合时会对轮齿有较大的磨耗。
实用新型内容
针对上述问题中存在的不足之处,本实用新型提供一种研磨机太阳轮调节装置。
为实现上述目的,本实用新型提供一种研磨机太阳轮调节装置,所述主轴上部两侧安装有太阳轮调节座,并在太阳轮调节座侧面固有太阳轮,主轴中部两侧设有轴承座,轴承座与主轴之间安装有轴承,主轴下端一侧安装有电机。
进一步的,所述太阳轮调节座上拧有螺栓,螺栓的底端顶紧主轴。
进一步的,所述太阳轮调节座与主轴通过轴承连接。
优选的,所述主轴与太阳轮调节座通过螺纹安装。
进一步的,所述主轴上部设有凸沿。
进一步的,所述主轴两侧的太阳轮调节座位于同一轴线上。
本实用新型的有益效果为:通过将太阳轮做成上下可调式,太阳轮既能转动,又能上下可调,这样在上盘变薄时可以降低太阳轮高度来适应其加工啮合需求,这样太阳轮的宽度就可以设计的相对较薄,而且当太阳轮磨损掉后,替换时不至于代价太高,不仅能降低太阳轮的加工成本,同时降低太阳轮的磨耗延长其寿命。
附图说明
图1为本实用新型一种研磨机太阳轮调节装置的结构示意图;
图2为现有双面研磨机的结构示意图。
图中:1、太阳轮;2、太阳轮调节座;3、螺栓;4、轴承座;5、电机;6、主轴;7、轴承;221、上盘;222、内齿轮;223、游星轮;224、下盘;225、太阳齿;226、工件。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型实施例所述的一种研磨机太阳轮调节装置、所述主轴6上部两侧安装有太阳轮调节座2,并在太阳轮调节座2侧面固有太阳轮1,主轴6中部两侧设有轴承座4,轴承座4与主轴6之间安装有轴承7,主轴6下端一侧安装有电机5。通过将太阳轮做成上下可调式,太阳轮既能转动,又能上下可调,这样在太阳轮变薄时可以降低其高度来适应其加工啮合需求,这样太阳轮的宽度就可以设计的相对较薄,而且当太阳轮磨损掉后,替换时不至于代价太高,不仅能降低太阳轮的加工成本,同时降低太阳轮的磨耗延长其寿命。
所述太阳轮调节座2上拧有螺栓3,螺栓3的底端顶紧主轴6。采用螺栓顶紧方式可、主轴与太阳轮调节座就被锁死,不能相对转动,方便调节太阳能调节座,固定效果好。
所述太阳轮调节座2与主轴6通过轴承7连接。电机为轴承提供动力轴承带动太阳能调节座上的太阳轮转动。
所述主轴6与太阳轮调节座2通过螺纹安装。采用上述连接方式太阳轮调节座就会相对于主轴上下运动调节这样可以降低其高度来适应其加工啮合需求。
所述主轴6上部设有凸沿。凸沿可是圆环形或两个凸起,可方便太阳能调节座与轴承座安装。
所述主轴6两侧的太阳轮调节座2位于同一轴线上。采用上述方式可提高太阳轮的操作准度。
具体使用时:太阳轮1固定在太阳轮调节座2上,太阳轮调节座2与主轴6通过轴承7连接,主轴6与太阳轮调节座2螺纹连接,这样转动太阳轮调节座2时,太阳轮调节座2就会相对于主轴6上下运动调节。当调节当到合适的位置时,拧紧螺栓3,使得螺栓3顶紧主轴,这样主轴6与太阳轮调节座2就被锁死,不能相对转动。如此当电机5带动主轴6旋转时,主轴6将带动太阳轮调节座2和太阳轮1旋转。当太阳轮需要改变高度时仅需要把螺栓3拧松,然后旋转调节太阳轮调节座2的高度,调整完毕后锁紧螺栓3。上述结构及连接方式可使研磨机太阳轮调节装置,拆装方便、维修便捷,太阳轮可上下移动避免了磨损,使用方便。
惟以上所述者,仅为本实用新型的较佳实施例而已,举凡熟悉此项技艺的专业人士。在了解本实用新型的技术手段之后,自然能依据实际的需要,在本实用新型的教导下加以变化。因此凡依本实用新型申请专利范围所作的同等变化与修饰,曾应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。

Claims (6)

1.一种研磨机太阳轮调节装置,其特征在于:主轴(6)上部两侧安装有太阳轮调节座(2),并在所述太阳轮调节座(2)侧面固有太阳轮(1),所述主轴(6)中部两侧设有轴承座(4),所述轴承座(4)与所述主轴(6)之间安装有轴承(7),所述主轴(6)下端一侧安装有电机(5)。 
2.根据权利要求1所述的研磨机太阳轮调节装置,其特征在于:所述太阳轮调节座(2)上拧有螺栓(3),螺栓(3)的底端顶紧所述主轴(6)。 
3.根据权利要求2所述的研磨机太阳轮调节装置,其特征在于:所述太阳轮调节座(2)与所述主轴(6)通过所述轴承(7)连接。 
4.根据权利要求3所述的研磨机太阳轮调节装置,其特征在于:所述主轴(6)与所述太阳轮调节座(2)通过螺纹安装。 
5.根据权利要求4所述的研磨机太阳轮调节装置,其特征在于:所述主轴(6)上部设有凸沿。 
6.根据权利要求1所述的研磨机太阳轮调节装置,其特征在于:所述主轴(6)两侧的太阳轮调节座(2)位于同一轴线上。 
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN104907923A (zh) * 2015-05-28 2015-09-16 洛阳鸿泰半导体有限公司 一种磨片机太阳轮高度专用调整装置
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CN117532480A (zh) * 2023-11-14 2024-02-09 苏州博宏源机械制造有限公司 一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置

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