CN205799189U - 一种用于调整研磨压力的杠杆机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于调整研磨压力的杠杆机构，包括平台（1），底座板（2）、升降板（3）、杠杆（4）和重锤（5），所述的底座板（2）固定在平台（1）上，底座板（2）的上表面固定有竖直放置的多组升降轴（6），底座板（2）上方放置有升降板（3），升降板（3）上开有与升降轴（6）相对应的孔，升降轴（6）插入升降板（3）的孔中，升降板（3）的底部与杠杆（4）的一端铰接，杠杆（4）的中心位置铰接在底座板（2）的边缘，杠杆（4）的另一端固定有重锤（5），升降板（3）上方设置有研磨机构（7）。本实用新型的有益效果是：研磨效果好、研磨性能平稳、能够调节研磨压力。
Description
技术领域
本实用新型涉及精度研磨的技术领域，特别是一种用于调整研磨压力的杠杆机构。
背景技术
在对高纯硅晶体材料工件进行研磨刻槽加工时，根据其固有的物理和机械性能，对于要求精度不高的工件：一般采用吸振材料进行过度装夹，然后利用电镀金刚石外圆刀片高速回转对工件进行研磨刻槽，对于精度要求高的工件：采用吸振材料过度装夹，然后利用电镀金刚石外圆刀片低俗回转对工件进行加工，并在刀片与工价之间添加有天然金刚石微粉磨料。
采用传统的方式加工工件时，不能有效地吸收振动，使得工件与磨料之间的挤压力不够平稳，并且挤压力的大小无法调整，不能满足不同工艺条件的需求。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种研磨效果好、研磨性能平稳、能够调节研磨压力的用于调整研磨眼里的杠杆机构。
实用新型的目的通过以下技术方案来实现：一种用于调整研磨压力的杠杆机构，包括平台、底座板、升降板、杠杆和重锤，所述的底座板固定在平台上，底座板的上表面固定有竖直放置的多个升降轴，底座板上方放置有升降板，升降板上开有与升降轴相对应的孔，升降轴插入升降板的孔中，升降板的底部与杠杆的一端铰接，杠杆的中心位置铰接在底座板的边缘，杠杆的另一端固定有重锤，升降板上方设置有研磨机构。
所述的研磨机构包括工件载体和研磨工具，工件载体固定在升降板上，研磨工具固定在工件的正上方。
所述的重锤具有不同的重量规格。
所述的升降轴为光轴，升降轴的数量为四个，四个升降轴分别设置在底座板的四个角上。
所述的平台表面设置有钢板。
所述研磨工具和工件之间设置有磨料。
本实用新型具有以下优点：通过杠杆机构的设置，可以保持研磨时研磨压力的平稳性，研磨效果好，并且通过更换不同质量的重锤可以实现研磨压力的调节。
附图说明
图1 为本实用新型的结构示意图；
图中，1-平台，2-底座板，3-升降板，4-杠杆，5-重锤，6-升降轴，7-研磨机构，8-工件载体，9-研磨工具，10-工件。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，本实用新型的保护范围不局限于以下所述：
如图1所示，一种用于调整研磨压力的杠杆机构，包括平台1、底座板2、升降板3、杠杆4和重锤5，所述的底座板2通过大型螺栓固定在平台1上，平台1表面设置有钢板，底座板2的上表面的四个角固定有竖直放置的四根升降轴6，四根升降轴6均为光轴，底座板2上方放置有升降板3且在升降板3上开有与升降轴6相对应的孔，升降板3上的孔与升降轴6配合连接，升降板3的底部与杠杆4的一端铰接，杠杆4的中心位置铰接在底座板2的边缘，杠杆4的另一端固定有重锤5；升降板6上固定有研磨机构7中的工件载体8，工件载体8上放置工件10，工件10上方设置有研磨工具10，研磨工具10与工件10之间留有一定间隙，该间隙用于放置磨料。
研磨时，根据技术要求的研磨压力，放置不同重量的重锤5，重锤通过杠杆4将升降板3往上翘起，升降板3通过升降轴6向上移动，升降板3通过工件载体8带动工件10向上移动，使工件10与研磨工具9之间产生研磨压力，研磨工具9转动时通过磨料对工件10进行研磨。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围，则都应在本实用新型所附权利要求的保护范围内。
Claims (6)
1.一种用于调整研磨压力的杠杆机构，其特征在于：包括平台（1）、底座板（2）、升降板（3）、杠杆（4）和重锤（5），所述的底座板（2）固定在平台（1）上，底座板（2）的上表面固定有竖直放置的多个升降轴（6），底座板（2）上方放置有升降板（3），升降板（3）上开有与升降轴（6）相对应的孔，升降轴（6）插入升降板（3）的孔中，升降板（3）的底部与杠杆（4）的一端铰接，杠杆（4）的中心位置铰接在底座板（2）的边缘，杠杆（4）的另一端固定有重锤（5），升降板（3）上方设置有研磨机构（7）。
2.根据权利要求1所述的一种用于调整研磨压力的杠杆机构，其特征在于：所述的研磨机构（7）包括工件载体（8）和研磨工具（9），工件载体（8）固定在升降板（3）上，研磨工具（9）固定在工件（10）的正上方。
3.根据权利要求1所述的一种用于调整研磨压力的杠杆机构，其特征在于：所述的重锤（5）具有不同的重量规格。
4.根据权利要求1所述的一种用于调整研磨压力的杠杆机构，其特征在于：所述的升降轴（6）为光轴，升降轴（6）的数量为四个，四个升降轴（6）分别设置在底座板（2）的四个角上。
5.根据权利要求1所述的一种用于调整研磨压力的杠杆机构，其特征在于：所述的平台（1）表面设置有钢板。
6.根据权利要求1所述的一种用于调整研磨压力的杠杆机构，其特征在于：所述研磨工具（9）和工件（10）之间设置有磨料。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201620797293.5U CN205799189U (zh) | 2016-07-27 | 2016-07-27 | 一种用于调整研磨压力的杠杆机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201620797293.5U CN205799189U (zh) | 2016-07-27 | 2016-07-27 | 一种用于调整研磨压力的杠杆机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN205799189U true CN205799189U (zh) | 2016-12-14 |
Family
ID=57507599
Family Applications (1)
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| CN201620797293.5U Active CN205799189U (zh) | 2016-07-27 | 2016-07-27 | 一种用于调整研磨压力的杠杆机构 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN205799189U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117161947A (zh) * | 2022-10-13 | 2023-12-05 | 北京特思迪半导体设备有限公司 | 用于晶圆批量抛光设备、下压力控制方法及设备 |
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2016
- 2016-07-27 CN CN201620797293.5U patent/CN205799189U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN117161947A (zh) * | 2022-10-13 | 2023-12-05 | 北京特思迪半导体设备有限公司 | 用于晶圆批量抛光设备、下压力控制方法及设备 |
| CN117161947B (zh) * | 2022-10-13 | 2024-02-06 | 北京特思迪半导体设备有限公司 | 用于晶圆批量抛光设备、下压力控制方法及设备 |
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