CN104907923A - 一种磨片机太阳轮高度专用调整装置 - Google Patents

一种磨片机太阳轮高度专用调整装置 Download PDF

Info

Publication number
CN104907923A
CN104907923A CN201510281339.8A CN201510281339A CN104907923A CN 104907923 A CN104907923 A CN 104907923A CN 201510281339 A CN201510281339 A CN 201510281339A CN 104907923 A CN104907923 A CN 104907923A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sun gear
end cap
adjusting device
pedestal
main shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201510281339.8A
Other languages
English (en)
Inventor
张自安
裴保齐
周涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Luoyang Hongtai Semiconductor Co Ltd
Original Assignee
Luoyang Hongtai Semiconductor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Luoyang Hongtai Semiconductor Co Ltd filed Critical Luoyang Hongtai Semiconductor Co Ltd
Priority to CN201510281339.8A priority Critical patent/CN104907923A/zh
Publication of CN104907923A publication Critical patent/CN104907923A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/34—Accessories

Abstract

一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，涉及半导体硅片生产技术领域，由主轴、太阳轮、太阳轮基座、带槽端盖、固定端盖和防尘盖构成，在带槽端盖下方的主轴上设有太阳轮基座，太阳轮基座上设有太阳轮；本发明实用性强，使用和维修起来比较方便，不但很好的调整了太阳轮的高度，而且减少了维修的时间，降低了维修成本，同时延长了太阳轮的使用寿命，进一步提高了企业的效益。

Description

一种磨片机太阳轮高度专用调整装置
【技术领域】
本发明涉及半导体硅片生产技术领域，尤其是涉及一种磨片机太阳轮高度专用调整装置。
【背景技术】
公知的，半导体硅棒经过线切割机切割后，需对硅片进行研磨，这样才能达到去除切割线纹以此来改善硅片平整度的目的，硅片研磨其基本原理就是硅晶片通过行星游轮片的带动在上下磨盘间绕磨盘中心轴做自转和公转运动，高硬度的研磨粉和助磨剂相配在磨盘可控的压力下对硅晶片双面进行磨削，去除掉前道工序造成的损伤，形成高精度的几何表面和均一深度的损伤层，太阳轮、行星游轮、外齿圈发生相对运动，由于行星游轮很薄非常容易将太阳轮及外齿圈磨损，一旦经磨损太阳轮就会出现凹槽，从而就会夹住行星游轮造成硅片的损坏；另外，由于太阳轮结构特殊，现有的结构为：太阳轮上面是一个螺母压盖，螺母压盖上面是一个带槽端盖，带槽端盖上面一个固定端盖，固定端盖上面是个防尘盖，因此这样的结构要调整太阳轮高度是很困难的，还因为有水、砂浆、悬浮液，导致螺丝生锈，螺母压盖生锈，这样就很难拆卸，因此就降低了加工效率，延长了维修时间，同时使得太阳轮的使用寿命降低。
【发明内容】
为了克服背景技术中的不足，本发明公开了一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，本发明通过在主轴上设置太阳轮基座和太阳轮，以此来达到调整太阳轮高度的目的。
为了实现所述发明目的，本发明采用如下技术方案：
一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，包括主轴、太阳轮、太阳轮基座、带槽端盖、固定端盖和防尘盖，主轴的顶部设有带槽端盖，带槽端盖上设有固定端盖，固定端盖上设有防尘盖，在带槽端盖下方的主轴上设有太阳轮基座，太阳轮基座上设有太阳轮。
所述太阳轮底部设有凹槽，凹槽内壁上设有内丝。
所述太阳轮基座顶部设有凸块，凸块的外侧面上设有外丝，太阳轮基座通过凸块插入到太阳轮底部的凹槽内使太阳轮基座与太阳轮相连接。
所述太阳轮上至少设有两个沉头螺丝孔。
由于采用了上述技术方案，本发明具有如下有益效果：
本发明所述的一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，包括主轴、太阳轮、太阳轮基座、带槽端盖、固定端盖和防尘盖，通过在主轴上设置太阳轮基座和太阳轮，以此来达到调整太阳轮高度的目的；本发明实用性强，使用和维修起来比较方便，不但很好的调整了太阳轮的高度，而且减少了维修的时间，降低了维修成本，同时延长了太阳轮的使用寿命，进一步提高了企业的效益。
【附图说明】
图1为本发明的结构剖面示意图；
图中：1、防尘盖；2、固定端盖；3、带槽端盖；4、太阳轮；5、太阳轮基座；6、主轴。
【具体实施方式】
通过下面的实施例可以详细的解释本发明，公开本发明的目的旨在保护本发明范围内的一切技术改进。
结合附图1所述的一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，包括主轴6、太阳轮4、太阳轮基座5、带槽端盖3、固定端盖2和防尘盖1，主轴6的顶部设有带槽端盖3，带槽端盖3上设有固定端盖2，固定端盖2上设有防尘盖1，在带槽端盖3下方的主轴6上设有太阳轮基座5，太阳轮基座5上设有太阳轮4；所述太阳轮4底部设有凹槽，凹槽内壁上设有内丝；所述太阳轮基座5顶部设有凸块，凸块的外侧面上设有外丝，太阳轮基座5通过凸块插入到太阳轮4底部的凹槽内使太阳轮基座5与太阳轮4相连接；所述太阳轮4上至少设有两个沉头螺丝孔。
实施本发明所述的一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，在使用时，首先将太阳轮4通过其底部的内丝与太阳轮基座5凸块上的外丝使太阳轮4与太阳轮基座5相连接，太阳轮的高度调整好之后就可以通过螺丝插入到太阳轮4的沉头螺丝孔内将太阳轮4顶紧就可以了，当太阳轮4磨损之后，需要调整的时候就可以通过太阳轮4和太阳轮基座5上的丝进行调整高度了，调整好之后再用螺丝顶紧就可以了，这样就延长了太阳轮的使用寿命，员工可以很轻松的进行调整，减少了维修时间，降低了维修成本。
本发明未详述部分为现有技术。

Claims (4)

1.一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，包括主轴、太阳轮、太阳轮基座、带槽端盖、固定端盖和防尘盖，主轴的顶部设有带槽端盖，带槽端盖上设有固定端盖，固定端盖上设有防尘盖，其特征是：在带槽端盖下方的主轴上设有太阳轮基座，太阳轮基座上设有太阳轮。
2.根据权利要求1所述的一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，其特征是：所述太阳轮底部设有凹槽，凹槽内壁上设有内丝。
3.根据权利要求1所述的一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，其特征是：所述太阳轮基座顶部设有凸块，凸块的外侧面上设有外丝，太阳轮基座通过凸块插入到太阳轮底部的凹槽内使太阳轮基座与太阳轮相连接。
4.根据权利要求1所述的一种磨片机太阳轮高度专用调整装置，其特征是：所所述太阳轮上至少设有两个沉头螺丝孔。
CN201510281339.8A 2015-05-28 2015-05-28 一种磨片机太阳轮高度专用调整装置 Pending CN104907923A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510281339.8A CN104907923A (zh) 2015-05-28 2015-05-28 一种磨片机太阳轮高度专用调整装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510281339.8A CN104907923A (zh) 2015-05-28 2015-05-28 一种磨片机太阳轮高度专用调整装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104907923A true CN104907923A (zh) 2015-09-16

Family

ID=54077581

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510281339.8A Pending CN104907923A (zh) 2015-05-28 2015-05-28 一种磨片机太阳轮高度专用调整装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104907923A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107877368A (zh) * 2017-12-22 2018-04-06 金岭机床（广州）有限公司 一种研磨机齿圈及太阳轮的升降调整装置
CN112192424A (zh) * 2020-10-13 2021-01-08 深圳长城开发精密技术有限公司 一种硬盘基片装载游星轮

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000079560A (ja) * 1998-09-04 2000-03-21 Speedfam-Ipec Co Ltd 平面研磨装置
CN203680029U (zh) * 2014-01-03 2014-07-02 常州贝斯塔德机械科技有限公司 一种研磨机太阳轮调节装置
CN203680021U (zh) * 2014-01-03 2014-07-02 常州贝斯塔德机械科技有限公司 一种研磨机内齿轮调节装置
CN204673457U (zh) * 2015-05-28 2015-09-30 洛阳鸿泰半导体有限公司 一种磨片机太阳轮高度专用调整装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000079560A (ja) * 1998-09-04 2000-03-21 Speedfam-Ipec Co Ltd 平面研磨装置
CN203680029U (zh) * 2014-01-03 2014-07-02 常州贝斯塔德机械科技有限公司 一种研磨机太阳轮调节装置
CN203680021U (zh) * 2014-01-03 2014-07-02 常州贝斯塔德机械科技有限公司 一种研磨机内齿轮调节装置
CN204673457U (zh) * 2015-05-28 2015-09-30 洛阳鸿泰半导体有限公司 一种磨片机太阳轮高度专用调整装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107877368A (zh) * 2017-12-22 2018-04-06 金岭机床（广州）有限公司 一种研磨机齿圈及太阳轮的升降调整装置
CN112192424A (zh) * 2020-10-13 2021-01-08 深圳长城开发精密技术有限公司 一种硬盘基片装载游星轮
CN112192424B (zh) * 2020-10-13 2021-10-29 深圳长城开发精密技术有限公司 一种硬盘基片装载游星轮

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN204503287U (zh) 一种立式破碎研磨一体机
CN204221631U (zh) 一种环氧地坪磨盘
CN101219524B (zh) 全自动钻石磨抛机
CN102554632B (zh) 一种调平装置和划片机
CN104858773B (zh) 可调节晶片研磨平面度的修正盘和蓝宝石晶片研磨方法
CN104907923A (zh) 一种磨片机太阳轮高度专用调整装置
CN204673457U (zh) 一种磨片机太阳轮高度专用调整装置
CN202684663U (zh) 一种无心磨床的压辊装置
CN106863101B (zh) 湿法面接触柔性高效抛光机
CN203680029U (zh) 一种研磨机太阳轮调节装置
CN202037502U (zh) 生产太阳能硅片用磨床夹持装置
CN204053756U (zh) 压辊组件及安装有该组件的砂光机
CN205415357U (zh) 一种波浪丝研磨刷
CN201872041U (zh) 玻璃斜边扫光机
CN211103195U (zh) 一种汽车零件加工用磨削装置
CN210414047U (zh) 一种高效节能研磨机
CN204913589U (zh) 立式磨球装置
CN202053082U (zh) 一种可调节的工作平台
CN204621791U (zh) 一种带晶片固定槽的双面研磨盘
CN207372866U (zh) 一种弹簧端头倒角机
CN204772052U (zh) 一种应用于不锈钢镜面抛光机的磨头
CN203557262U (zh) 一种可调整的超精密主轴动压浮离抛光弹性夹持装置
CN104551882A (zh) 一种无动力磨刀砂轮
CN203471564U (zh) 机床镶条磨夹具
CN203245690U (zh) 用于磨电机轴的装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20150916