CN203680021U - 一种研磨机内齿轮调节装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种研磨机内齿轮调节装置，所述主轴上部两侧安装有内齿轮托架，内齿轮托架上部一侧安装有内齿轮，内齿轮托架分别通过轴承一、齿轮与动力装置一、动力装置二连接，动力装置一下部套固有链轮，此链轮上套有相配合的链条。本实用新型的有益效果为：将内齿轮做成上下可调式，内齿轮在转动的同时又能上下可调，内齿轮的啮合部位就会随着内齿轮上下移动而改变，这样就不至于总是在一处磨耗，延长了内齿轮的使用寿命，在下盘变薄时又能降低其高度来适应其加工啮合需求，同时当取工件时可以降到最低，这样很方便快捷的就可以拿到加工件，不仅能降低内齿轮的加工成本，同时实现取片方便，而且降低内齿轮的磨耗延长其寿命。

Description

一种研磨机内齿轮调节装置

技术领域

本实用新型涉及一种研磨机内齿轮调节装置。

背景技术

蓝宝石（AL2O3）为六方对称结构，它作为最硬的氧化物晶体，具备优良的光化学和物理性能。机械强度高，耐化学腐蚀，有较好的导热性、热稳定性，透光波段宽，是理想的窗口衬底基本材料，另外，它具有电绝缘性，化学性能稳定，漏电容和寄生电容小，是极好的半导体、超导衬底材料。

作为衬底用的蓝宝石晶体基片一般为2英寸，4英寸等。用作半导体衬底的光学蓝宝石晶体基片对其表面有很高的要求，包括片面度，平行度达到0.005mm,光洁度达到0.5nm。

现有双面研磨机如图2所示，主要包括221-上盘，2222-内齿轮，223-游星轮，224-下盘，225-太阳齿，226-工件，其原理是被加工零件放在游星轮卡槽中，上盘221和下盘224以相反的方向转动，中间的太阳齿225、和内齿轮222也同时以不同的转速转动，并且调节它们的转速可以使得游星轮223的自转和公转达到相应的工艺要求。这样工件226就可以在游星轮223里面均匀的接收上下磨盘的研磨。这里有一个问题是下盘会随着研磨时间而变的越来越薄，这就会带来一些问题：1、内齿轮要设计的宽度很宽，2、内齿轮的制作成本较高，3、当下盘变薄时，内齿轮相对就较高，取片困难，4、游行轮在与内齿轮啮合时会对内齿轮有较大的磨耗。

实用新型内容

针对上述问题中存在的不足之处，本实用新型提供一种研磨机内齿轮调节装置。

为实现上述目的，本实用新型提供一种研磨机内齿轮调节装置，所述主轴上部两侧安装有内齿轮托架，内齿轮托架上部一侧安装有内齿轮，内齿轮托架分别通过轴承一、齿轮与动力装置一、动力装置二连接，动力装置一下部套固有链轮，此链轮上套有相配合的链条。

进一步的，所述动力装置一包括螺杆，所述螺杆顶端与底端安装有螺母与电机一，螺母上安装有轴承座，此轴承座上嵌有轴承一，螺杆中部通过轴承二安装在机架上。

进一步的，所述动力装置二包括齿轮杆，所述齿轮杆上部的齿轮与内齿轮托架下部齿轮相咬合，并在此齿轮杆下端安装有电机二。

进一步的，所述主轴与内齿轮托架通过轴承三连接。

进一步的，所述内齿轮托架呈横向L型。

优选的，所述轴承座与螺母通过螺栓固定。

优选的，所述轴承座与螺母上的螺栓至少三个。

本实用新型的有益效果为：将内齿轮做成上下可调式，内齿轮在转动的同时又能上下可调，内齿轮的啮合部位就会随着内齿轮上下移动而改变，这样就不至于总是在一处磨耗，延长了内齿轮的使用寿命，在内齿轮变薄时又能降低其高度来适应其加工啮合需求，同时当取工件时可以降到最低，这样很方便快捷的就可以拿到加工件，不仅能降低内齿轮的加工成本，同时实现取片方便，而且降低内齿轮的磨耗延长其寿命。

附图说明

图1为本实用新型一种研磨机内齿轮调节装置的结构示意；

图2为现有传统双面研磨机的结构示意图。

图中：1、内齿轮；2、内齿轮托架；3、轴承座；4、螺母；5、螺杆；6、电机一；7、链条；8、电机二；9、链轮；10、轴承二；11、机架；12、轴承一；13、主轴；14、轴承三；15、齿轮；221、上盘；222、内齿轮；223、游星轮；224、下盘；225、太阳齿；226、工件。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型实施例所述的一种研磨机内齿轮调节装置、所述主轴13上部两侧安装有内齿轮托架2，内齿轮托架2上部一侧安装有内齿轮1，内齿轮托架2分别通过轴承一12、齿轮与动力装置一、动力装置二连接，动力装置一下部套固有链轮9，此链轮9上套有相配合的链条7。将内齿轮做成上下可调式，内齿轮在转动的同时又能上下可调，内齿轮的啮合部位就会随着内齿轮上下移动而改变，这样就不至于总是在一处磨耗，延长了内齿轮的使用寿命，在内齿轮变薄时又能降低其高度来适应其加工啮合需求，同时当取工件时可以降到最低，这样很方便快捷的就可以拿到加工件，不仅能降低内齿轮的加工成本，同时实现取片方便，而且降低内齿轮的磨耗延长其寿命。

所述动力装置一包括螺杆5，所述螺杆5顶端与底端安装有螺母4与电机一6，螺母4上安装有轴承座3，此轴承座3上嵌有轴承一12，螺杆5中部通过轴承二10安装在机架11上。电机一向螺杆提供动力，螺栓上的螺母与轴承座通过小型号的螺杆、螺栓、内六角螺栓或焊接等方式连接，轴承座并带动内齿轮托架下部的轴承向内齿轮托架提供动力，内齿轮托架可上下移动这样就不至于总是在一处磨耗，延长了内齿轮的使用寿命。

所述动力装置二包括齿轮杆，所述齿轮杆上部的齿轮15与内齿轮托架2下部齿轮相咬合，并在此齿轮杆下端安装有电机二8。电机二向齿轮杆上的齿轮提供动力此齿轮并带动内齿轮托架下部的齿轮转动，可使内齿轮托架上的内齿轮旋转，其旋转可由单个电机控制，增加了装置的运行速度，可增加工作效率。

所述主轴13与内齿轮托架2通过轴承三14连接。上述连接方式可使内齿轮托架操作更加灵活。

所述内齿轮托架2呈横向L型。内齿轮托架也可以是倒T字形，采用上述形状便于安装内齿轮，操作便捷。

所述轴承座3与螺母4通过螺栓固定。也可以采用内六角螺栓固定或焊接，使其更牢固。

所述轴承座3与螺母4上的螺栓至少三个。采用多个螺栓连接可增强牢固性。

具体使用时：内齿轮1固定在在内齿轮托架2上，内齿轮托架2与主轴13通过轴承三14连接，电机二8带动齿轮15旋转，内齿轮托架2上有齿轮，并与齿轮15啮合，齿轮15带动内齿轮托架2转动，齿轮托架2就带动内齿轮1转动；内齿轮托架2同时与轴承座3通过轴承一12连接，轴承座3上装有螺母4，电机一6带动螺杆5和链轮9转动，螺杆5通过轴承二10安装在机架11上，螺杆5与螺母4配合，当螺杆5转动时，螺母4就会带着轴承座3上下移动，同时链轮9会通过链条7带动其他链轮9和螺杆5转动，在轴承座3上一般可以分布有若干个螺母，通常可以选择圆周均布六个，这样六个螺杆和螺杆5就推动了齿轮托架2和内齿轮1上下移动。上述运动及连接方式操作便捷，自动化程度高，可提高工作效率等诸多优点。

惟以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例而已，举凡熟悉此项技艺的专业人士。在了解本实用新型的技术手段之后，自然能依据实际的需要，在本实用新型的教导下加以变化。因此凡依本实用新型申请专利范围所作的同等变化与修饰，曾应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。

Claims (7)

1.一种研磨机内齿轮调节装置，其特征在于：主轴(13)上部两侧安装有内齿轮托架(2)，所述内齿轮托架(2)上部一侧安装有内齿轮(1)，所述内齿轮托架(2)分别通过轴承一(12)、齿轮与动力装置一、动力装置二连接，所述动力装置一下部套固有链轮(9)，此链轮(9)上套有相配合的链条(7)。 

2.根据权利要求1所述的研磨机内齿轮调节装置，其特征在于：所述动力装置一包括螺杆(5)，所述螺杆(5)顶端与底端安装有螺母(4)与电机一(6)，螺母(4)上安装有轴承座(3)，此轴承座(3)上嵌有轴承一(12)，螺杆(5)中部通过轴承二(10)安装在机架(11)上。 

3.根据权利要求1所述的研磨机内齿轮调节装置，其特征在于：所述动力装置二包括齿轮杆，所述齿轮杆上部的齿轮(15)与内齿轮托架(2)下部齿轮相咬合，并在此齿轮杆下端安装有电机二(8)。 

4.根据权利要求1所述的研磨机内齿轮调节装置，其特征在于：所述主轴(13)与内齿轮托架(2)通过轴承三(14)连接。 

5.根据权利要求1所述的研磨机内齿轮调节装置，其特征在于：所述内齿轮托架(2)呈横向L型。 

6.根据权利要求2所述的研磨机内齿轮调节装置，其特征在于：所述轴承座(3)与螺母(4)通过螺栓固定。 

7.根据权利要求6所述的研磨机内齿轮调节装置，其特征在于：所述轴承座(3)与螺母(4)上的螺栓至少三个。 

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