CN102554632B - 一种调平装置和划片机 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种调平装置和划片机，调平装置包括一个基准支撑点和两个调节支撑点；调节支撑点包括：底座、电机支座、长螺钉和调节螺钉；电机支座有通透的轴向螺纹孔；调节螺钉含有通透的轴向通孔，且轴向通孔的外围是调节螺纹；上述各部件通过如下方式结合：调节螺钉的调节螺纹与电机支座的轴向螺纹孔实现螺纹结合，用于利用外力旋转调节螺纹以升高或者降低电机支座的水平高度；长螺钉穿过轴向通孔并与底座接合，并固定住调节螺钉以及与该调节螺钉螺纹结合的电机支座。由于包含了两个调节支撑点，基于三点支撑的调平原理，一个调节支撑点能够独立地对电机支座的水平高度进行调平且两个调节支撑点能够协作完成对电机支座的调平，提高了工作效率。

Description

一种调平装置和划片机

技术领域

本发明涉及电子装备制造领域，特别是指一种调平装置和划片机。

背景技术

划片机主要用于对硅集成电路、发光二极管、铌酸锂、砷化镓、石英、玻璃、压电陶瓷、蓝宝石、氧化铝和氧化铁等材料进行划切加工。旋转工作台是划片机的关键部件，其工作平面的水平精度直接影响划片机的划切质量。随着现代制造业向高精度和高速度方向的飞速发展，对旋转工作台性能的要求越来越高。

在现有技术中，对旋转工作台进行水平调整一般是通过对各支撑垫的研磨来完成的。由于研磨不同的支撑垫，对其工作平面各点的水平调整是有差异的，因此研磨各支撑垫将会相互作用和干扰，导致研磨工作反复多次，由于支撑垫的多次研磨操作很不方便，造成工作效率较低。而基于单轴或三点拉杆式的调平装置由于精度低和稳定性差等原因无法满足划片机旋转工作台的高精度调平要求。

发明人发现现有技术存在如下问题：对划片机的旋转工作台的各支撑垫进行多次研磨会造成工作效率较低，并且现有调平装置无法保证旋转工作台实现高精度调平。

发明内容

本发明提供一种调平装置和划片机，解决现有技术中对划片机的旋转工作台的各支撑垫进行多次研磨会造成工作效率较低，并且现有调平装置无法保证旋转工作台实现高精度调平的缺陷。

为解决上述技术问题，本发明提供一种调平装置，包括一个基准支撑点和两个调节支撑点；每一个所述调节支撑点包括：底座、电机支座、长螺钉和调节螺钉；所述电机支座含有通透的轴向螺纹孔；所述调节螺钉含有通透的轴向通孔，且所述轴向通孔的外围是调节螺纹；上述各部件通过如下方式结合：所述调节螺钉的所述调节螺纹与所述电机支座的所述轴向螺纹孔实现螺纹结合，用于利用外力旋转所述调节螺纹以升高或者降低所述电机支座的水平高度；所述长螺钉穿过所述轴向通孔并与所述底座接合，并固定住所述调节螺钉以及与该调节螺钉螺纹结合的所述电机支座。

所述的装置中，每一个所述调节支撑点处，长螺钉的帽沿与所述电机支座之间还包括：碟形弹簧，位于所述长螺钉的帽沿与电机支座的上表面之间，用于利用弹力固定所述长螺钉与电机支座之间的相对位置以保持所述调平装置精密调平的稳定性。

所述碟形弹簧采用叠合和/或对合的组合方式。

所述的装置中，每一个所述调节支撑点处，从长螺钉的帽沿到电机支座之间还包括：大垫圈以及支撑环；大垫圈，位于长螺钉的帽沿与电机支座的上表面之间；碟形弹簧，位于大垫圈与电机支座的上表面之间；支撑环，位于长螺钉的帽沿与电机支座的上表面之间；且碟形弹簧与支撑环之间的相对位置为：碟形弹簧位于支撑环之上并物理接触。

所述的装置中，每一个所述调节支撑点处，在调节螺钉的轴向通孔与长螺钉之间还可以包括：套筒，位于调节螺钉的轴向通孔与长螺钉之间，用于实现所述底座与所述电机支座的强度连接。

所述的装置中，所述基准支撑点中包括：短螺钉和小垫圈；所述短螺钉穿过所述小垫圈并与所述底座接合，在所述基准支撑点处将所述电机支座固定。

一种划片机，包括旋转工作台，还包括位于旋转工作台的调平装置，所述调平装置包括一个基准支撑点和两个调节支撑点；每一个所述调节支撑点包括：底座、电机支座、长螺钉和调节螺钉；所述电机支座含有通透的轴向螺纹孔；所述调节螺钉含有通透的轴向通孔，且所述轴向通孔的外围是调节螺纹；上述各部件通过如下方式结合：所述调节螺钉的所述调节螺纹与所述电机支座的所述轴向螺纹孔实现螺纹结合，用于利用外力旋转所述调节螺纹以升高或者降低所述电机支座的水平高度；所述长螺钉穿过所述轴向通孔并与所述底座接合，并固定住所述调节螺钉以及与该调节螺钉螺纹结合的所述电机支座。

所述的划片机中，每一个所述调节支撑点处，长螺钉的帽沿与所述电机支座之间还包括：碟形弹簧，位于所述长螺钉的帽沿与电机支座的上表面之间，用于利用弹力固定所述长螺钉与电机支座之间的相对位置以保持所述调平装置的稳定性。

所述的划片机中，每一个所述调节支撑点处，从长螺钉的帽沿到电机支座之间还包括：大垫圈以及支撑环；大垫圈，位于长螺钉的帽沿与电机支座的上表面之间；碟形弹簧，位于大垫圈与电机支座的上表面之间；支撑环，位于长螺钉的帽沿与电机支座的上表面之间；且碟形弹簧与支撑环之间的相对位置为：碟形弹簧位于支撑环之上并物理接触。

所述的划片机中，所述基准支撑点中包括：短螺钉和小垫圈；所述短螺钉穿过所述小垫圈并与所述底座接合，在所述基准支撑点处将所述电机支座固定。

本发明的上述技术方案的有益效果如下：由于包含了两个调节支撑点，基于三点支撑的调平原理，一个调节支撑点能够独立地对电机支座的水平高度进行调平且两个调节支撑点能够协作完成对电机支座的调平，因此能够快速地调节调平装置中电机支座的高度，提高了工作效率。

附图说明

图1为本发明实施例调平装置的结构示意图；

图2为本发明实施例调平装置的局部剖视示意图；

图3为本发明实施例调平装置的工作原理示意图。

具体实施方式

为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

本发明实施例提供一种调平装置，如图1和2所示，调平装置包括一个基准支撑点和两个调节支撑点；每一个所述调节支撑点包括：

底座01、电机支座02、长螺钉03和调节螺钉04；

所述电机支座02含有通透的轴向螺纹孔021；

所述调节螺钉04含有通透的轴向通孔041，且所述轴向通孔041的外围是调节螺纹042；

上述各部件通过如下方式结合：

所述调节螺钉04的所述调节螺纹042与所述电机支座02的所述轴向螺纹孔021实现螺纹结合，用于利用外力旋转所述调节螺纹042以升高或者降低所述电机支座02的水平高度；

所述长螺钉03穿过所述轴向通孔041并与所述底座01接合，并固定住所述调节螺钉04以及与该调节螺钉04螺纹结合的所述电机支座02。

应用所提供的技术方案，由于包含了两个调节支撑点，基于三点支撑的调平原理，一个调节支撑点能够独立地对电机支座的水平高度进行调平且两个调节支撑点能够协作完成对电机支座的调平，因此能够快速地调节调平装置中电机支座的高度，提高了工作效率。

如图1所示，对于每一个所述调节支撑点，从长螺钉03的帽沿031到电机支座02之间还包括：大垫圈06、碟形弹簧07以及支撑环08；均位于长螺钉03的帽沿031与电机支座02的上表面之间。其中，

支撑环08，与电机支座02的上表面物理接触；

碟形弹簧07，位于支撑环08之上并与支撑环08的上表面物理接触；保证了旋转工作台精密调平的高稳定性。

大垫圈06，位于碟形弹簧07之上并与碟形弹簧07的上表面物理接触；且位于长螺钉03的帽沿031之下，并与长螺钉03的帽沿031物理接触。

所述碟形弹簧07采用叠合和/或对合的组合方式。

对于每一个所述调节支撑点，在调节螺钉04的轴向通孔041与长螺钉03之间还可以包括：

套筒11，位于调节螺钉04的轴向通孔041与长螺钉03之间，用于隔离轴向通孔041与长螺钉03之间的作用力，以及实现底座01与所述电机支座02的高强度联接；当调节螺钉04通过旋转以调节电机支座02的水平高度后拧紧长螺钉03时，套筒11能够实现所述底座01与所述电机支座02的平稳接触，保证了调平装置的精密度。

对于每一个所述调节支撑点，在底座01与电机支座02之间还包括：支撑垫10，用于防止底座01与电机支座02之间由于运动摩擦造成的表面磨损。

所述基准支撑点中包括：短螺钉09和小垫圈05；

所述短螺钉09穿过所述小垫圈05并与所述底座01接合，在所述基准支撑点处将所述电机支座02固定。

更进一步地，底座01与电机支座02之间通过三个或三个以上调节螺钉04联接，底座01上表面与电机支座02下表面之间放置支撑垫10；电机支座02上设置三个或三个以上调节螺钉04，其中，调节螺钉04具有轴向通孔，通过螺纹与电机支座02联接，能够在电机支座02上升降以实现旋转工作台的精密调平。

对应地，本发明实施例提供一种划片机，包括：旋转工作台，还包括一个调平装置，如图2所示，所述调平装置包括一个基准支撑点和两个调节支撑点；每一个所述调节支撑点包括：

底座01、电机支座02、长螺钉03和调节螺钉04；

所述电机支座02含有通透的轴向螺纹孔021；

所述调节螺钉04含有通透的轴向通孔041，且所述轴向通孔的外围是调节螺纹042；

上述各部件通过如下方式结合：

所述调节螺钉04的所述调节螺纹042与所述电机支座02的所述轴向螺纹孔021实现螺纹结合，用于利用外力旋转所述调节螺纹042以升高或者降低所述电机支座02的水平高度；

所述长螺钉03穿过所述轴向通孔041并与所述底座01接合，并固定住所述调节螺钉04以及与该调节螺钉04螺纹结合的所述电机支座02。

应用所提供的技术方案，由于包含了两个调节支撑点，基于三点支撑的调平原理，一个调节支撑点能够独立地对电机支座02的水平高度进行调平且两个调节支撑点能够协作完成对电机支座的调平，因此能够快速地调节调平装置中电机支座02的高度，提高了工作效率。

对于每一个所述调节支撑点，从长螺钉03的帽沿031到电机支座02之间还包括：大垫圈06、碟形弹簧07以及支撑环08；均位于长螺钉03的帽沿031与电机支座02的上表面之间。其中，

支撑环08，与电机支座02的上表面物理接触；

碟形弹簧07，位于支撑环08之上并与支撑环08的上表面物理接触；保证了旋转工作台精密调平的高稳定性。

大垫圈06，位于碟形弹簧07之上并与碟形弹簧07的上表面物理接触；且位于长螺钉03的帽沿031之下，并与长螺钉03的帽沿031物理接触。

所述碟形弹簧07采用叠合和/或对合的组合方式。

每一个所述调节支撑点处，在调节螺钉04的轴向通孔041与长螺钉03之间还可以包括：套筒11，位于调节螺钉04的轴向通孔041与长螺钉03之间，用于实现所述底座01与所述电机支座02的高强度联接，以及隔离轴向通孔041与长螺钉03之间的作用力。

所述基准支撑点中包括：短螺钉09和小垫圈05；

所述短螺钉09穿过所述小垫圈05并与所述底座01接合，在所述基准支撑点处将所述电机支座02固定。

如图3所示，A支撑点为基准支撑点，B支撑点和C支撑点为调节支撑点；调节支撑点处均有调节螺钉04且对称分布于电机支座02的中轴线AD两侧。

工作平面上各点水平精度的变化，其实质是工作平面围绕AC旋转轴或AB旋转轴进行的调整，在旋转过程中，工作平面以AC旋转轴或者AB旋转轴为分界线，两侧的水平精度的变化趋势相反，变化大小与工作平面上的点到AC旋转轴或者AB旋转轴的距离成正比，包括：

转动B调节支撑点的调节螺钉04时，划片机旋转工作台的工作平面以AC两支撑点的连线为旋转轴调整工作平面的水平精度；以及，

转动C调节支撑点的调节螺钉04时，划片机旋转工作台的工作平面以AB两支撑点的连线为旋转轴调整工作平面的水平精度。从而实现划片机旋转工作台的精密调平。

本发明的有益成果如下：应用所提供的技术方案，调平装置结构紧凑，由于包含了两个调节支撑点，基于三点支撑的调平原理，一个调节支撑点能够独立地对电机支座的水平高度进行调平且两个调节支撑点能够协作完成对电机支座的调平，因此保证了旋转工作台精密调平的高稳定性，且能够快速地调节调平装置中电机支座的高度，使用方便，提高了工作效率。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种调平装置，其特征在于，所述调平装置包括一个基准支撑点和两个调节支撑点；每一个所述调节支撑点包括：

底座、电机支座、长螺钉和调节螺钉；

所述电机支座含有通透的轴向螺纹孔；

所述调节螺钉含有通透的轴向通孔，且所述轴向通孔的外围是调节螺纹；

上述各部件通过如下方式结合：

所述调节螺钉的所述调节螺纹与所述电机支座的所述轴向螺纹孔实现螺纹结合，用于利用外力旋转所述调节螺纹以升高或者降低所述电机支座的水平高度；

所述长螺钉穿过所述轴向通孔并与所述底座接合，并固定住所述调节螺钉以及与该调节螺钉螺纹结合的所述电机支座；

每一个所述调节支撑点处，在调节螺钉的轴向通孔与长螺钉之间还包括：套筒，位于调节螺钉的轴向通孔与长螺钉之间，用于实现所述底座与所述电机支座的强度连接。

2.根据权利要求1所述的调平装置，其特征在于，每一个所述调节支撑点处，长螺钉的帽沿与所述电机支座之间还包括：

碟形弹簧，位于所述长螺钉的帽沿与电机支座的上表面之间，用于利用弹力固定所述长螺钉与电机支座之间的相对位置以保持所述调平装置精密调平的稳定性。

3.根据权利要求2所述的调平装置，其特征在于，

所述碟形弹簧采用叠合和/或对合的组合方式。

4.根据权利要求2所述的调平装置，其特征在于，每一个所述调节支撑点处，从长螺钉的帽沿到电机支座之间还包括：大垫圈以及支撑环；

大垫圈，位于长螺钉的帽沿与电机支座的上表面之间；

碟形弹簧，位于大垫圈与电机支座的上表面之间；

支撑环，位于长螺钉的帽沿与电机支座的上表面之间；

且碟形弹簧与支撑环之间的相对位置为：碟形弹簧位于支撑环之上并物理接触。

5.根据权利要求1所述的调平装置，其特征在于，所述基准支撑点中包括：短螺钉和小垫圈；

所述短螺钉穿过所述小垫圈并与所述底座接合，在所述基准支撑点处将所述电机支座固定。

6.一种划片机，包括旋转工作台，其特征在于，还包括位于旋转工作台的调平装置，所述调平装置包括一个基准支撑点和两个调节支撑点；每一个所述调节支撑点包括：

底座、电机支座、长螺钉和调节螺钉；

所述电机支座含有通透的轴向螺纹孔；

所述调节螺钉含有通透的轴向通孔，且所述轴向通孔的外围是调节螺纹；

上述各部件通过如下方式结合：

所述调节螺钉的所述调节螺纹与所述电机支座的所述轴向螺纹孔实现螺纹结合，用于利用外力旋转所述调节螺纹以升高或者降低所述电机支座的水平高度；

所述长螺钉穿过所述轴向通孔并与所述底座接合，并固定住所述调节螺钉以及与该调节螺钉螺纹结合的所述电机支座；

每一个所述调节支撑点处，在调节螺钉的轴向通孔与长螺钉之间还包括：套筒，位于调节螺钉的轴向通孔与长螺钉之间，用于实现所述底座与所述电机支座的强度连接。

7.根据权利要求6所述的划片机，其特征在于，每一个所述调节支撑点处，长螺钉的帽沿与所述电机支座之间还包括：

碟形弹簧，位于所述长螺钉的帽沿与电机支座的上表面之间，用于利用弹力固定所述长螺钉与电机支座之间的相对位置以保持所述调平装置的稳定性。

8.根据权利要求6所述的划片机，其特征在于，每一个所述调节支撑点处，从长螺钉的帽沿到电机支座之间还包括：大垫圈以及支撑环；

大垫圈，位于长螺钉的帽沿与电机支座的上表面之间；

碟形弹簧，位于大垫圈与电机支座的上表面之间；

支撑环，位于长螺钉的帽沿与电机支座的上表面之间；

且碟形弹簧与支撑环之间的相对位置为：碟形弹簧位于支撑环之上并物理接触。

9.根据权利要求6所述的划片机，其特征在于，所述基准支撑点中包括：短螺钉和小垫圈；

所述短螺钉穿过所述小垫圈并与所述底座接合，在所述基准支撑点处将所述电机支座固定。