CN117428660A - 一种立式石英舟加工用抛槽机及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及石英舟加工技术领域，具体为一种立式石英舟加工用抛槽机及其使用方法，包括外壳，所述外壳为一横置圆柱结构，且外壳的正面开设有圆腔，所述圆腔内转动连接有滚筒，所述外壳的顶部固定安装有电机，且电机的转动轴上固定安装有齿轮，所述滚筒的外圈开设有环状的齿槽。该种立式石英舟加工用抛槽机及其使用方法，相较于传统的抛光设备，上述滚筒可对内部的槽棒进行自动对位装入卡入槽，并在自行调整槽棒上槽体的位置，使其与抛光片契合，自动对槽棒进行约束、释放，无需操作者介入进行安装、拆卸的辅助操作，提高了使用便利性，同时槽棒的装入与排出为流水线式同步进行，避免了加工过程中更换石英舟需要停机的情况。

Description

一种立式石英舟加工用抛槽机及其使用方法

技术领域

本发明涉及石英舟加工技术领域，具体为一种立式石英舟加工用抛槽机及其使用方法。

背景技术

石英舟主要用于集成电路芯片生产线中的氧化扩散工序，是承载晶圆的载体，石英舟包括两个相对设置的端板，两个端板之间设有多个槽棒，多个槽棒沿端板的周向均匀分布，槽棒上开设有用于插接晶圆的槽；在生产石英舟时，会先生产槽棒以及端板，然后由操作人员将槽棒焊接至端板上，最后形成石英舟。在制作槽棒时，会先使用带锯将石英锭切割成石英板，接着使用水刀切割机将石英板切割成尺寸一定的石英条，然后依次使用平磨机、磨盘以及数控机床对石英条进行加工，最后形成槽棒。

其中，槽棒上用于插接晶圆的槽在开设完成后还需要进行抛光，以保证其光滑度，避免对晶圆造成影响。

现有专利（公开号：CN116276602A）公开了一种石英管深孔抛光装置，包括工作台、安装在工作台上表面左侧的抛光组件和安装在工作台上表面右侧的夹持组件，通过第三伺服电机带动第一双孔连接杆旋转，就会带动电动液压杆旋转摆动，并推动螺旋槽圆杆，使得旋转伸入至石英管内部和旋转退出石英管，从而使得可调式抛光头对石英管进行深孔抛光工作，同时，在旋转伸入和旋转退出的过程中，通过离心力的原理，使得密封柱分别与第一限位板和第二限位板接触，当密封柱与第一限位板接触时，密封柱就会堵塞出液孔，当密封柱与第二限位板接触，密封柱就会与出液孔分离，方便清水从出液孔喷向石英管内壁，清理石英管内壁，并带出抛光杂质，提高抛光效率。此类常见的抛光设备在抛光前后需要单独进行工件的放置、固定、拆卸等步骤，难以实现流水线式生产，影响整体加工效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种立式石英舟加工用抛槽机及其使用方法，以解决上述背景技术中提出常见的抛光设备在抛光前后需要单独进行工件的放置、固定、拆卸等步骤，难以实现流水线式生产，影响整体加工效率的问题。为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种立式石英舟加工用抛槽机，包括外壳，所述外壳为一横置圆柱结构，且外壳的正面开设有圆腔，所述圆腔内转动连接有滚筒，所述外壳的顶部固定安装有电机，且电机的转动轴上固定安装有齿轮，所述滚筒的外圈开设有环状的齿槽，所述齿轮穿过外壳上一缺口与齿槽相互啮合。

所述滚筒设为内部中空结构，且滚筒的中空部分设为槽棒区，所述槽棒区内设置有抛槽器。

优选的，所述抛槽器包括开设于滚筒内侧壁上的卡入槽，且卡入槽的数量设为若干个，若干个所述卡入槽沿滚筒的横轴线呈环形等距阵列。

所述卡入槽连通槽棒区与外壳内部。

所述卡入槽位于顺时针旋转方向的前侧壁上开设有折叠槽，且折叠槽内转动连接有翻板。

所述滚筒筒壁的内部开设有若干个轮槽，轮槽与卡入槽的数量相同，且轮槽位于卡入槽顺时针旋转方向的前侧，所述轮槽的部分槽体分别与卡入槽、外壳内部连通，且轮槽的内侧壁上呈对称开设有两个斜槽，所述斜槽靠近卡入槽的一端位于低位，且斜槽远离卡入槽的一端位于高位。

两个所述斜槽的内部滑动连接有滑轴，且滑轴上活动设置有滚轮，所述滚轮的部分轮体进入卡入槽内，且滚轮的部分轮体与外壳内壁进行接触。

所述滑轴与滚轮之间设置有移位件。

所述滚筒的外圈开设有与卡入槽连通的环槽，且环槽的数量、位置与槽棒上的槽体的数量、位置一一对应，所述外壳的内圈设置有与环槽对应的抛光片，且抛光片通过环槽延伸至卡入槽内。

所述外壳的右侧壁上开设有与卡入槽连通的开口。

所述抛光片与外壳之间通过连接件进行安装。

优选的，所述移位件包括开设于滚轮轮轴线处的穿孔，所述滑轴的轴身上开设有内台阶，所述滚轮通过穿孔活动套接在内台阶中，所述滑轴的两端并于内台阶中均固定设置有三个固定凸缘，所述滚轮相对滑轴两端的两个轮面均固定设置有三个活动凸缘，且两侧活动凸缘呈相互交错阵列。

优选的，所述连接件包括沿外壳左侧壁及底壁开设的滑槽，且滑槽的数量、位置与抛光片的数量、位置一一对应。

所述滑槽的内部滑动连接有安装座，且安装座通过螺栓于滑槽内进行固定，所述抛光片以两个为一组，单组抛光片的其中一个抛光片通过螺栓固定安装在单个安装座的左侧，单组抛光片的剩余一个抛光片通过螺栓固定安装在单个安装座的右侧。

优选的，所述滚筒正面的边缘向其轴心延伸形成环边。

优选的，所述滚轮的表面设置有橡胶垫。

优选的，所述翻板与槽棒接触的一侧设置有与滚轮滑动方向对应的胶轮。

一种立式石英舟加工用抛槽机的使用方法，包括如下步骤：

S1、启动电机通过齿轮沿齿槽驱动滚筒进行顺时针转动，然后将槽棒放入槽棒区内；

S2、槽棒沿槽棒区的底部摆正至与卡入槽对齐，并落入卡入槽内，此过程中滚筒上圆周运动的滚轮受到外壳的作用力移动至斜槽的低位处，使滚轮进入卡入槽与槽棒抵接，并带动槽棒于卡入槽内自转，直至槽棒上的槽体转动至与抛光片对位，槽棒下落使抛光片嵌入槽棒上的槽体，随着滚筒的顺时针转动，卡入槽上侧的翻板随重力向卡入槽中部偏转，约束卡入槽内的槽棒不会进入槽棒区内，以此使槽棒跟随滚筒沿抛光片进行圆周运动，实现对槽棒上的槽体抛光，当槽棒经过抛光到达右侧开口处时，滚轮失去外壳作用力，并随重力偏移从卡入槽内移出，抛光后的槽棒即可从卡入槽进入开口排出；

S3、在滚轮进入卡入槽抵接、推转槽棒的过程中，滚轮于滑轴上的内台阶中进行转动，滚轮上的活动凸缘跟随同步运动，并与两侧的固定凸缘进行交替式抵接，使得滚轮被推动沿滑轴进行轴向往复移动，以此在滚轮推转槽棒时带动槽棒进行轴向往复移动，控制槽棒上槽体的侧壁与抛光片进行接触；

S4、在安装座上一侧的抛光片损耗后，操作者可推动安装座于滑槽内进行滑动移位，使得安装座上的另一侧抛光片到达抛光位置，使得设备内的槽棒通过新抛光片进行正常抛光，然后将损耗的抛光片从安装座上拆除。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

本发明中，槽棒沿槽棒区的底部摆正至与卡入槽对齐，并落入卡入槽内，通过翻板自动约束卡入槽内的槽棒不会进入槽棒区内，滚轮进入卡入槽与槽棒抵接，并带动槽棒于卡入槽内自转至与抛光片对位，以此使槽棒跟随滚筒沿抛光片进行圆周运动，实现对槽棒上的槽体抛光，当槽棒经过抛光到达右侧开口处时，滚轮失去外壳作用力，并随重力偏移从卡入槽内移出，抛光后的槽棒即可从卡入槽进入开口排出，相较于传统的抛光设备，上述滚筒可对内部的槽棒进行自动对位装入卡入槽，并在自行调整槽棒上槽体的位置，使其与抛光片契合，自动对槽棒进行约束、释放，无需操作者介入进行安装、拆卸的辅助操作，提高了使用便利性，同时槽棒的装入与排出为流水线式同步进行，避免了加工过程中更换石英舟需要停机的情况。

本发明中，通过滚轮上的活动凸缘与两侧的固定凸缘进行交替式抵接，使得滚轮被推动沿滑轴进行轴向往复移动，以此在滚轮推转槽棒时带动槽棒进行轴向往复移动，控制槽棒上槽体的侧壁与抛光片进行接触，保证抛光片能够与槽棒上的槽体进行全面的接触抛光，避免较大抛光片不能稳定嵌入槽棒，以及较小抛光片不能全面抛光的情况。

本发明中，通过推动安装座于滑槽内进行滑动移位，使得安装座上的另一侧抛光片到达抛光位置，使得设备内的槽棒通过新抛光片进行正常抛光，然后将损耗的抛光片从安装座上拆除，相较于常见的抛光设备，上述抛光片可在不影响正常抛光进程的情况下，单独进行更换，避免了更换过程中停机影响加工效率的情况。

附图说明

图1为本发明的立体结构示意图；

图2为本发明外壳及滚筒的立体结构示意图；

图3为本发明外壳的立体结构示意图；

图4为本发明滑槽与安装座的装配结构示意图；

图5为本发明滚筒的立体结构示意图；

图6为本发明滚筒的立体结构剖视图；

图7为本发明滚筒的正剖视图；

图8为本发明图7中A处的放大图；

图9为本发明外壳及滚筒的立体结构剖视图；

图10为本发明轮槽、斜槽与滚轮的局部装配结构示意图；

图11为本发明滑轴与滚轮的爆炸图；

图12为本发明滑轴与滚轮的俯视图。

图中：1、外壳；2、圆腔；3、滚筒；4、电机；5、齿轮；6、齿槽；7、槽棒区；8、抛槽器；81、卡入槽；82、折叠槽；83、翻板；84、轮槽；85、斜槽；86、滑轴；87、滚轮；88、移位件；881、穿孔；882、内台阶；883、固定凸缘；884、活动凸缘；89、环槽；810、抛光片；811、开口；812、连接件；8121、滑槽；8122、安装座。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术工作人员员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1至图12，本发明提供一种技术方案：一种立式石英舟加工用抛槽机，包括外壳1，外壳1为一横置圆柱结构，且外壳1的正面开设有圆腔2，圆腔2内转动连接有滚筒3，外壳1的顶部固定安装有电机4，且电机4的转动轴上固定安装有齿轮5，滚筒3的外圈开设有环状的齿槽6，齿轮5穿过外壳1上一缺口与齿槽6相互啮合，电机4通过齿轮5沿齿槽6驱动滚筒3进行顺时针转动。

滚筒3设为内部中空结构，且滚筒3的中空部分设为槽棒区7，槽棒区7内设置有抛槽器8。

本实施例中，如图1、图2、图3、图4、图5至图12所示，抛槽器8包括开设于滚筒3内侧壁上的卡入槽81，且卡入槽81的数量设为若干个，若干个卡入槽81沿滚筒3的横轴线呈环形等距阵列，槽棒放入槽棒区7内可沿槽棒区7的底部摆正至与卡入槽81对齐，并落入卡入槽81内。

卡入槽81连通槽棒区7与外壳1内部。

卡入槽81位于顺时针旋转方向的前侧壁上开设有折叠槽82，且折叠槽82内转动连接有翻板83，随着滚筒3的顺时针转动，卡入槽81上侧的翻板83随重力向卡入槽81中部偏转，约束卡入槽81内的槽棒不会进入槽棒区7内。

滚筒3筒壁的内部开设有若干个轮槽84，轮槽84与卡入槽81的数量相同，且轮槽84位于卡入槽81顺时针旋转方向的前侧，轮槽84的部分槽体分别与卡入槽81、外壳1内部连通，且轮槽84的内侧壁上呈对称开设有两个斜槽85，斜槽85靠近卡入槽81的一端位于低位，且斜槽85远离卡入槽81的一端位于高位。

两个斜槽85的内部滑动连接有滑轴86，且滑轴86上活动设置有滚轮87，滚轮87的部分轮体进入卡入槽81内，且滚轮87的部分轮体与外壳1内壁进行接触，滚筒3上圆周运动的滚轮87受到外壳1的作用力移动至斜槽85的低位处，使滚轮87进入卡入槽81与槽棒抵接，并带动槽棒于卡入槽81内自转。

滑轴86与滚轮87之间设置有移位件88。

滚筒3的外圈开设有与卡入槽81连通的环槽89，且环槽89的数量、位置与槽棒上的槽体的数量、位置一一对应，外壳1的内圈设置有与环槽89对应的抛光片810，且抛光片810通过环槽89延伸至卡入槽81内，槽棒于卡入槽81内自转至槽体与抛光片810对位，槽棒下落使抛光片810嵌入槽棒上的槽体。

外壳1的右侧壁上开设有与卡入槽81连通的开口811，槽棒跟随滚筒3沿抛光片810进行圆周运动，实现对槽棒上的槽体抛光，当槽棒经过抛光到达右侧开口811处时，滚轮87失去外壳1作用力，并随重力偏移从卡入槽81内移出，抛光后的槽棒即可从卡入槽81进入开口811排出。

抛光片810与外壳1之间通过连接件812进行安装。

本实施例中，如图1、图2、图3、图4、图5至图12所示，移位件88包括开设于滚轮87轮轴线处的穿孔881，滑轴86的轴身上开设有内台阶882，滚轮87通过穿孔881活动套接在内台阶882中，滑轴86的两端并于内台阶882中均固定设置有三个固定凸缘883，滚轮87相对滑轴86两端的两个轮面均固定设置有三个活动凸缘884，且两侧活动凸缘884呈相互交错阵列，滚轮87进入卡入槽81抵接、推转槽棒的过程中，滚轮87于滑轴86上的内台阶882中进行转动，滚轮87上的活动凸缘884跟随同步运动，并与两侧的固定凸缘883进行交替式抵接，使得滚轮87被推动沿滑轴86进行轴向往复移动。

本实施例中，如图1、图2、图3、图4、图5至图12所示，连接件812包括沿外壳1左侧壁及底壁开设的滑槽8121，且滑槽8121的数量、位置与抛光片810的数量、位置一一对应。

滑槽8121的内部滑动连接有安装座8122，且安装座8122通过螺栓于滑槽8121内进行固定，抛光片810以两个为一组，单组抛光片810的其中一个抛光片810通过螺栓固定安装在单个安装座8122的左侧，单组抛光片810的剩余一个抛光片810通过螺栓固定安装在单个安装座8122的右侧，正常使用时，槽棒通过一侧的抛光片810进行抛光，该侧的抛光片810损耗后，操作者可推动安装座8122于滑槽8121内进行滑动移位，使得安装座8122上的另一侧抛光片810到达抛光位置，使得设备内的槽棒通过新抛光片810进行正常抛光，然后将损耗的抛光片810从安装座8122上拆除。

本实施例中，如图1、图2、图3、图4、图5至图12所示，滚筒3正面的边缘向其轴心延伸形成环边，该环边可对滚筒3槽棒区7进行一定的限制，在不影响放入槽棒的情况下，避免内部的槽棒掉落。

本实施例中，如图1、图2、图3、图4、图5至图12所示，滚轮87的表面设置有橡胶垫，通过橡胶垫与外壳1内壁接触具有更好的摩擦力，使得滚轮87圆周运动过程中能够被外壳1稳定推动进行旋转，并且转动的滚轮87通过橡胶垫可以稳定、安全的推动槽棒于卡入槽81内进行自转。

本实施例中，如图1、图2、图3、图4、图5至图12所示，翻板83与槽棒接触的一侧设置有与滚轮87滑动方向对应的胶轮，当滚轮87带动槽棒进行前后平移时，槽棒与翻板83之间通过胶轮进行滚动摩擦，使槽棒的移动更加顺畅，也避免翻板83对槽棒造成损伤。

一种立式石英舟加工用抛槽机的使用方法，包括如下步骤：

S1、启动电机4通过齿轮5沿齿槽6驱动滚筒3进行顺时针转动，然后将槽棒放入槽棒区7内。

S2、槽棒沿槽棒区7的底部摆正至与卡入槽81对齐，并落入卡入槽81内，此过程中滚筒3上圆周运动的滚轮87受到外壳1的作用力移动至斜槽85的低位处，使滚轮87进入卡入槽81与槽棒抵接，并带动槽棒于卡入槽81内自转，直至槽棒上的槽体转动至与抛光片810对位，槽棒下落使抛光片810嵌入槽棒上的槽体，随着滚筒3的顺时针转动，卡入槽81上侧的翻板83随重力向卡入槽81中部偏转，约束卡入槽81内的槽棒不会进入槽棒区7内，以此使槽棒跟随滚筒3沿抛光片810进行圆周运动，实现对槽棒上的槽体抛光，当槽棒经过抛光到达右侧开口811处时，滚轮87失去外壳1作用力，并随重力偏移从卡入槽81内移出，抛光后的槽棒即可从卡入槽81进入开口811排出。

S3、在滚轮87进入卡入槽81抵接、推转槽棒的过程中，滚轮87于滑轴86上的内台阶882中进行转动，滚轮87上的活动凸缘884跟随同步运动，并与两侧的固定凸缘883进行交替式抵接，使得滚轮87被推动沿滑轴86进行轴向往复移动，以此在滚轮87推转槽棒时带动槽棒进行轴向往复移动，控制槽棒上槽体的侧壁与抛光片810进行接触。

S4、在安装座8122上一侧的抛光片810损耗后，操作者可推动安装座8122于滑槽8121内进行滑动移位，使得安装座8122上的另一侧抛光片810到达抛光位置，使得设备内的槽棒通过新抛光片810进行正常抛光，然后将损耗的抛光片810从安装座8122上拆除。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术工作人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本发明的优选例，并不用来限制本发明，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (8)

1.一种立式石英舟加工用抛槽机，包括外壳（1），所述外壳（1）为一横置圆柱结构，且外壳（1）的正面开设有圆腔（2），其特征在于：所述圆腔（2）内转动连接有滚筒（3），所述外壳（1）的顶部固定安装有电机（4），且电机（4）的转动轴上固定安装有齿轮（5），所述滚筒（3）的外圈开设有环状的齿槽（6），所述齿轮（5）穿过外壳（1）上一缺口与齿槽（6）相互啮合；

所述滚筒（3）设为内部中空结构，且滚筒（3）的中空部分设为槽棒区（7），所述槽棒区（7）内设置有抛槽器（8）。

2.根据权利要求1所述的一种立式石英舟加工用抛槽机，其特征在于：所述抛槽器（8）包括开设于滚筒（3）内侧壁上的卡入槽（81），且卡入槽（81）的数量设为若干个，若干个所述卡入槽（81）沿滚筒（3）的横轴线呈环形等距阵列；

所述卡入槽（81）连通槽棒区（7）与外壳（1）内部；

所述卡入槽（81）位于顺时针旋转方向的前侧壁上开设有折叠槽（82），且折叠槽（82）内转动连接有翻板（83）；

所述滚筒（3）筒壁的内部开设有若干个轮槽（84），轮槽（84）与卡入槽（81）的数量相同，且轮槽（84）位于卡入槽（81）顺时针旋转方向的前侧，所述轮槽（84）的部分槽体分别与卡入槽（81）、外壳（1）内部连通，且轮槽（84）的内侧壁上呈对称开设有两个斜槽（85），所述斜槽（85）靠近卡入槽（81）的一端位于低位，且斜槽（85）远离卡入槽（81）的一端位于高位；

两个所述斜槽（85）的内部滑动连接有滑轴（86），且滑轴（86）上活动设置有滚轮（87），所述滚轮（87）的部分轮体进入卡入槽（81）内，且滚轮（87）的部分轮体与外壳（1）内壁进行接触；

所述滑轴（86）与滚轮（87）之间设置有移位件（88）；

所述滚筒（3）的外圈开设有与卡入槽（81）连通的环槽（89），且环槽（89）的数量、位置与槽棒上的槽体的数量、位置一一对应，所述外壳（1）的内圈设置有与环槽（89）对应的抛光片（810），且抛光片（810）通过环槽（89）延伸至卡入槽（81）内；

所述外壳（1）的右侧壁上开设有与卡入槽（81）连通的开口（811）；

所述抛光片（810）与外壳（1）之间通过连接件（812）进行安装。

3.根据权利要求2所述的一种立式石英舟加工用抛槽机，其特征在于：所述移位件（88）包括开设于滚轮（87）轮轴线处的穿孔（881），所述滑轴（86）的轴身上开设有内台阶（882），所述滚轮（87）通过穿孔（881）活动套接在内台阶（882）中，所述滑轴（86）的两端并于内台阶（882）中均固定设置有三个固定凸缘（883），所述滚轮（87）相对滑轴（86）两端的两个轮面均固定设置有三个活动凸缘（884），且两侧活动凸缘（884）呈相互交错阵列。

4.根据权利要求2所述的一种立式石英舟加工用抛槽机，其特征在于：所述连接件（812）包括沿外壳（1）左侧壁及底壁开设的滑槽（8121），且滑槽（8121）的数量、位置与抛光片（810）的数量、位置一一对应；

所述滑槽（8121）的内部滑动连接有安装座（8122），且安装座（8122）通过螺栓于滑槽（8121）内进行固定，所述抛光片（810）以两个为一组，单组抛光片（810）的其中一个抛光片（810）通过螺栓固定安装在单个安装座（8122）的左侧，单组抛光片（810）的剩余一个抛光片（810）通过螺栓固定安装在单个安装座（8122）的右侧。

5.根据权利要求1所述的一种立式石英舟加工用抛槽机，其特征在于：所述滚筒（3）正面的边缘向其轴心延伸形成环边。

6.根据权利要求2所述的一种立式石英舟加工用抛槽机，其特征在于：所述滚轮（87）的表面设置有橡胶垫。

7.根据权利要求3所述的一种立式石英舟加工用抛槽机，其特征在于：所述翻板（83）与槽棒接触的一侧设置有与滚轮（87）滑动方向对应的胶轮。

8.根据权利要求4所述的一种立式石英舟加工用抛槽机的使用方法，包括如下步骤：

S1、启动电机（4）通过齿轮（5）沿齿槽（6）驱动滚筒（3）进行顺时针转动，然后将槽棒放入槽棒区（7）内；

S2、槽棒沿槽棒区（7）的底部摆正至与卡入槽（81）对齐，并落入卡入槽（81）内，此过程中滚筒（3）上圆周运动的滚轮（87）受到外壳（1）的作用力移动至斜槽（85）的低位处，使滚轮（87）进入卡入槽（81）与槽棒抵接，并带动槽棒于卡入槽（81）内自转，直至槽棒上的槽体转动至与抛光片（810）对位，槽棒下落使抛光片（810）嵌入槽棒上的槽体，随着滚筒（3）的顺时针转动，卡入槽（81）上侧的翻板（83）随重力向卡入槽（81）中部偏转，约束卡入槽（81）内的槽棒不会进入槽棒区（7）内，以此使槽棒跟随滚筒（3）沿抛光片（810）进行圆周运动，实现对槽棒上的槽体抛光，当槽棒经过抛光到达右侧开口（811）处时，滚轮（87）失去外壳（1）作用力，并随重力偏移从卡入槽（81）内移出，抛光后的槽棒即可从卡入槽（81）进入开口（811）排出；

S3、在滚轮（87）进入卡入槽（81）抵接、推转槽棒的过程中，滚轮（87）于滑轴（86）上的内台阶（882）中进行转动，滚轮（87）上的活动凸缘（884）跟随同步运动，并与两侧的固定凸缘（883）进行交替式抵接，使得滚轮（87）被推动沿滑轴（86）进行轴向往复移动，以此在滚轮（87）推转槽棒时带动槽棒进行轴向往复移动，控制槽棒上槽体的侧壁与抛光片（810）进行接触；

S4、在安装座（8122）上一侧的抛光片（810）损耗后，操作者可推动安装座（8122）于滑槽（8121）内进行滑动移位，使得安装座（8122）上的另一侧抛光片（810）到达抛光位置，使得设备内的槽棒通过新抛光片（810）进行正常抛光，然后将损耗的抛光片（810）从安装座（8122）上拆除。