CN117316832A - 真空自动快速开关智能化系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了真空自动快速开关智能化系统，涉及自动化设备技术领域。包括控制终端、真空泵、储存腔室、连接管路、控制机构和执行机构；控制终端、控制机构和执行机构之间电性连接，真空泵、储存腔室和执行机构之间通过连接管路相互连通。设置的自动化控制结构在半导体行业首次使用到一贯机自动化设备且3S时间内实现真空开关快速智能化切换；同时本发明简单实用、低成本、通用性强具有产业上推广利用价值，设置的自动化控制结构可以在设备停机时自动进行关闭，从而避免了真空会通过待机状态的转盘吸笔、定位导模流失浪费，同时避免真空会把周围粉尘通过真空吸入转盘真空腔体、转盘吸笔、定位导模等真空气路通道引起堵塞。
Description
技术领域
本发明涉及自动化设备技术领域，具体涉及真空自动快速开关智能化系统。
背景技术
物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、等离子体等等。我们通常把导电性差的材料，如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体。而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体。可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体，半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。传统做法是一般直接将二次配真空通过真空管道直接接入自动化设备真系统，弊端在于：
1、真空通过真空管道直接接入自动化设备真系统，半导体测试分选、打标、编带一贯机自动化设备在待机、待料无效时间内，真空会通过转盘吸笔、定位导模流失浪费，从而浪费能源。
2、真空会把周围粉尘通过真空吸入转盘真空腔体、转盘吸笔、定位导模等真空气路通道引起堵塞，造成设备不稳定。为了一贯机自动化设备稳定增加维护频率而降低自动化设备稼动率。
发明内容
本发明提供真空自动快速开关智能化系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：真空自动快速开关智能化系统，包括控制终端、真空泵、储存腔室、连接管路、控制机构和执行机构；
所述控制终端、控制机构和执行机构之间电性连接，所述真空泵、储存腔室和执行机构之间通过连接管路相互连通。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述储存腔室内部设有检测模块，所述检测模块对储存腔室内部的气压状态进行实时监测，当储存腔室内部气压增高至预设值时，真空泵启动并将储存腔室内部的气体泵出，从而使储存腔室内部气压处于设定范围。采用上述技术方案，该方案中的检测模块可以使储存腔室内部保持设定范围内的真空状态，从而对真空泵的启动进行缓冲，避免了真空泵直接与自动化设备间的连接。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述检测模块还可以对储存腔室内部的异常状态进行报警，在储存腔室内部气压处于异常时检测模块将异常信号传递至控制终端，所述检测模块与真空泵和控制终端之间电性连接。采用上述技术方案，该方案中的储存腔室作为缓冲结构在真空设备出现异常状态时可以方便的进行排查。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述控制机构为导轨式固态继电器，所述执行机构为两线式二通电动常闭球阀。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述执行机构末端与自动化真空设备相互连通，同时所述执行机构内部设有时间检测模块，时间检测模块对自动化真空设备的管路进行检测，当停机达到设定时间，即设备吸笔以及定位导模上不存在元器件时，时间检测模块自动控制执行机构关闭。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述执行机构关闭后，通过与执行机构电性连接的控制终端可以对控制机构进行控制，进而控制执行机构进行方便的开启复工状态。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述控制终端内部搭载“Handler”控制软件，所述“Handler”控制软件为修改版以适应增设的真空开关信号。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述真空泵与储存腔室之间设有隔离阀，所述隔离阀在关闭状态时将真空泵与储存腔室之间相互隔离，使得真空泵在关闭时可以使储存腔室内部的气体不通过真空泵进行泄漏。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述控制终端包括系统设定模块、参数设定模块、维修保养模块、状态监控模块、生产数据模块、档案资料模块和功能限定模块；
控制终端，通过修改HANDLER控制软件，增加真空开关信号；真空开关信号控制固态继电器来控制两线式二通电动常闭球阀实现真空通断，可真空关闭智能化：停机时间达到设定时间；监控到设备吸笔、定位导模上没有元器件，并具有真空打开快速化功能；
控制机构，用于通过真空开关信号控制固态继电器来控制两线式二通电动常闭球阀实现真空通断；
执行机构，用于通过一贯机自动化设备修改软件增加真空开关信号控制控制固态继电器来控制两线式二通电动常闭球阀实现真空通断。
优选的，所述控制机构包括导轨式固态继电器本体，所述导轨式固态继电器本体的背面固定安装有固定板，所述导轨式固态继电器本体的背面设置有上夹块和下夹块；
所述固定板上开设有内螺纹孔，所述内螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆，所述上夹块的上表面固定安装有轴承，所述螺纹杆的下端固定安装在轴承的内圈内壁上，所述螺纹杆的上端固定安装有转钮；
所述上夹块上开设有弹簧孔，所述弹簧孔的内部插接有导柱，所述导柱的上端固定安装有限位块，所述导柱上套接有弹簧，所述导柱的下端固定安装有橡胶板。
由于采用了上述技术方案，本发明相对现有技术来说，取得的技术进步是：
1、本发明提供真空自动快速开关智能化系统，通过设置的自动化控制结构在半导体行业首次使用到一贯机自动化设备且3S时间内实现真空开关快速智能化切换；同时本发明简单实用、低成本、通用性强具有产业上推广利用价值。
2、本发明提供真空自动快速开关智能化系统，通过设置的自动化控制结构可以在设备停机时自动进行关闭，从而避免了真空会通过待机状态的转盘吸笔、定位导模流失浪费，提高自动化设备稼动率、减少能源浪费的问题，同时也降低生产成本。
3、本发明提供真空自动快速开关智能化系统，通过设置的自动化控制结构可以在设备停机时将自动化设备与真空设备之间相互封闭隔离，从而避免真空会把周围粉尘通过真空吸入转盘真空腔体、转盘吸笔、定位导模等真空气路通道引起堵塞，造成设备不稳定。
4、本发明提供真空自动快速开关智能化系统，通过工作人员将导轨式固态继电器本体放置在导轨的正前方，其导轨位于上夹块和下夹块之间，完成后工作人员转动转钮带动螺纹杆进行转动，使螺纹杆推动上夹块移动，使其上夹块和下夹块对导轨进行夹持固定，其中在上夹块上设置橡胶板和弹簧，可使在夹持导轨的状态下，其橡胶板在弹簧的作用下始终抵接在导轨上，使导轨式固态继电器本体被固定的更加稳定，方便控制机构的拆卸和安装，便于进行快速维修。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明控制终端框架结构示意图；
图3为本发明控制机构整体结构示意图；
图4为本发明导轨式固态继电器本体背面结构示意图；
图5为本发明上夹块结构示意图；
图6为本发明上夹块底部结构示意图；
图7为本发明上夹块剖面结构示意图。
图中：1、控制终端；2、真空泵；3、储存腔室；4、连接管路；5、控制机构；501、导轨式固态继电器本体；502、固定板；503、上夹块；504、下夹块；505、指示灯；506、内螺纹孔；507、螺纹杆；508、转钮；509、轴承；510、橡胶板；511、弹簧孔；512、导柱；513、限位块；514、弹簧；6、执行机构；7、检测模块；8、自动化真空设备；9、隔离阀。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例一
如图1-2所示，本发明提供了真空自动快速开关智能化系统，包括控制终端1、真空泵2、储存腔室3、连接管路4、控制机构5和执行机构6；控制终端1、控制机构5和执行机构6之间电性连接，真空泵2、储存腔室3和执行机构6之间通过连接管路4相互连通；储存腔室3内部设有检测模块7，检测模块7对储存腔室3内部的气压状态进行实时监测，当储存腔室3内部气压增高至预设值时，真空泵2启动并将储存腔室3内部的气体泵出，从而使储存腔室3内部气压处于设定范围；检测模块7还可以对储存腔室3内部的异常状态进行报警，在储存腔室3内部气压处于异常时检测模块7将异常信号传递至控制终端1，检测模块7与真空泵2和控制终端1之间电性连接；控制机构5为导轨式固态继电器，执行机构6为两线式二通电动常闭球阀。
所述控制终端1包括系统设定模块、参数设定模块、维修保养模块、状态监控模块、生产数据模块、档案资料模块和功能限定模块；
控制终端1，通过修改HANDLER控制软件，增加真空开关信号；真空开关信号控制固态继电器来控制两线式二通电动常闭球阀实现真空通断，可真空关闭智能化：停机时间达到设定时间；监控到设备吸笔、定位导模上没有元器件，并具有真空打开快速化功能；
控制机构5，用于通过真空开关信号控制固态继电器来控制两线式二通电动常闭球阀实现真空通断；
执行机构6，用于通过一贯机自动化设备修改软件增加真空开关信号控制控制固态继电器来控制两线式二通电动常闭球阀实现真空通断。
执行机构6末端与自动化真空设备8相互连通，同时执行机构6内部设有时间检测模块，时间检测模块对自动化真空设备8的管路进行检测，当停机达到设定时间，即设备吸笔以及定位导模上不存在元器件时，时间检测模块自动控制执行机构6关闭；执行机构6关闭后，通过与执行机构6电性连接的控制终端1可以对控制机构5进行控制，进而控制执行机构6进行方便的开启复工状态；控制终端1内部搭载“Handler”控制软件，“Handler”控制软件为修改版以适应增设的真空开关信号；真空泵2与储存腔室3之间设有隔离阀9，隔离阀9在关闭状态时将真空泵2与储存腔室3之间相互隔离，使得真空泵2在关闭时可以使储存腔室3内部的气体不通过真空泵2进行泄漏。
通过设置的自动化控制结构在半导体行业首次使用到一贯机自动化设备且3S时间内实现真空开关快速智能化切换；同时本发明简单实用、低成本、通用性强具有产业上推广利用价值；通过设置的自动化控制结构可以在设备停机时自动进行关闭，从而避免了真空会通过待机状态的转盘吸笔、定位导模流失浪费，提高自动化设备稼动率、减少能源浪费的问题，同时也降低生产成本；通过设置的自动化控制结构可以在设备停机时将自动化设备与真空设备之间相互封闭隔离，从而避免真空会把周围粉尘通过真空吸入转盘真空腔体、转盘吸笔、定位导模等真空气路通道引起堵塞，造成设备不稳定。
实施例二
如图3-7所示，在实施例一的基础上，本发明还提供一种技术方案：控制机构5包括导轨式固态继电器本体1，导轨式固态继电器本体1的背面固定安装有固定板502，导轨式固态继电器本体1的背面设置有上夹块503和下夹块504；
固定板502上开设有内螺纹孔506，内螺纹孔506的内部螺纹连接有螺纹杆507，上夹块503的上表面固定安装有轴承509，螺纹杆507的下端固定安装在轴承509的内圈内壁上，螺纹杆507的上端固定安装有转钮508；
上夹块503上开设有弹簧孔511，弹簧孔511的内部插接有导柱512，导柱512的上端固定安装有限位块513，导柱512上套接有弹簧514，导柱512的下端固定安装有橡胶板510。
通过工作人员将导轨式固态继电器本体501放置在导轨的正前方，其导轨位于上夹块503和下夹块504之间，完成后工作人员转动转钮508带动螺纹杆507进行转动，使螺纹杆507推动上夹块503移动，使其上夹块503和下夹块504对导轨进行夹持固定，其中在上夹块503上设置橡胶板510和弹簧514，可使在夹持导轨的状态下，其橡胶板510在弹簧514的作用下始终抵接在导轨上，使导轨式固态继电器本体501被固定的更加稳定，方便控制机构5的拆卸和安装，便于进行快速维修。
下面具体说一下该真空自动快速开关智能化系统的工作原理，使用时，真空泵2启动并通过连接管路4将储存腔室3内部的气体泵出，同时检测模块7对储存腔室3内部的气压状态进行实时监测，当储存腔室3内部的气压达到设定范围后，真空泵2随之停止，同时隔离阀9关闭将真空泵2与储存腔室3之间相互隔离，通过预设软件编译的控制机构5自动对执行机构6进行控制，并使执行机构6实现自动化运行，执行机构6与自动化真空设备8的管路相互连接，通过储存腔室3内部的真空状态对自动化真空设备8进行操作，当自动化真空设备8的设备吸笔以及定位导模上不存在元器件时，即自动化真空设备8停机达到设定时间（在其中一个实施例中设定时间为3s）后，控制机构5在预设软件的控制下将执行机构6进行关闭。
Claims (9)
1.真空自动快速开关智能化系统，包括控制终端（1）、真空泵（2）、储存腔室（3）、连接管路（4）、控制机构（5）和执行机构（6），其特征在于：所述控制终端（1）、控制机构（5）和执行机构（6）之间电性连接，所述真空泵（2）、储存腔室（3）和执行机构（6）之间通过连接管路（4）相互连通；
所述控制机构（5）为导轨式固态继电器，所述执行机构（6）为两线式二通电动常闭球阀。
2.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述储存腔室（3）内部设有检测模块（7），所述检测模块（7）对储存腔室（3）内部的气压状态进行实时监测，当储存腔室（3）内部气压增高至预设值时，真空泵（2）启动并将储存腔室（3）内部的气体泵出，从而使储存腔室（3）内部气压处于设定范围。
3.根据权利要求2所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述检测模块（7）还可以对储存腔室（3）内部的异常状态进行报警，在储存腔室（3）内部气压处于异常时检测模块（7）将异常信号传递至控制终端（1），所述检测模块（7）与真空泵（2）和控制终端（1）之间电性连接。
4.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述执行机构（6）末端与自动化真空设备（8）相互连通，同时所述执行机构（6）内部设有时间检测模块，时间检测模块对自动化真空设备（8）的管路进行检测，当停机达到设定时间，即设备吸笔以及定位导模上不存在元器件时，时间检测模块自动控制执行机构（6）关闭。
5.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述执行机构（6）关闭后，通过与执行机构（6）电性连接的控制终端（1）可以对控制机构（5）进行控制，进而控制执行机构（6）进行方便的开启复工状态。
6.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述控制终端（1）内部搭载“Handler”控制软件，所述“Handler”控制软件为修改版以适应增设的真空开关信号。
7.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述真空泵（2）与储存腔室（3）之间设有隔离阀（9），所述隔离阀（9）在关闭状态时将真空泵（2）与储存腔室（3）之间相互隔离，使得真空泵（2）在关闭时可以使储存腔室（3）内部的气体不通过真空泵（2）进行泄漏。
8.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述控制终端（1）包括系统设定模块、参数设定模块、维修保养模块、状态监控模块、生产数据模块、档案资料模块和功能限定模块；
控制终端（1），通过修改HANDLER控制软件，增加真空开关信号；真空开关信号控制固态继电器来控制两线式二通电动常闭球阀实现真空通断，可真空关闭智能化：停机时间达到设定时间；监控到设备吸笔、定位导模上没有元器件，并具有真空打开快速化功能；
控制机构（5），用于通过真空开关信号控制固态继电器来控制两线式二通电动常闭球阀实现真空通断；
执行机构（6），用于通过一贯机自动化设备修改软件增加真空开关信号控制控制固态继电器来控制两线式二通电动常闭球阀实现真空通断。
9.根据权利要求1所述的真空自动快速开关智能化系统，其特征在于：所述控制机构（5）包括导轨式固态继电器本体（1），所述导轨式固态继电器本体（1）的背面固定安装有固定板（502），所述导轨式固态继电器本体（1）的背面设置有上夹块（503）和下夹块（504）；
所述固定板（502）上开设有内螺纹孔（506），所述内螺纹孔（506）的内部螺纹连接有螺纹杆（507），所述上夹块（503）的上表面固定安装有轴承（509），所述螺纹杆（507）的下端固定安装在轴承（509）的内圈内壁上，所述螺纹杆（507）的上端固定安装有转钮（508）；
所述上夹块（503）上开设有弹簧孔（511），所述弹簧孔（511）的内部插接有导柱（512），所述导柱（512）的上端固定安装有限位块（513），所述导柱（512）上套接有弹簧（514），所述导柱（512）的下端固定安装有橡胶板（510）。
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Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02112681A (ja) * | 1988-10-22 | 1990-04-25 | Fuji Electric Co Ltd | 真空ポンプ保護方法 |
| KR20040019748A (ko) * | 2002-08-29 | 2004-03-06 | 아주콘트롤시스템 주식회사 | 자동화 개폐기 제어장치 및 제어방법 |
| KR100771931B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2007-10-31 | 주식회사환경과생명 | 용탕 이송장치 |
| KR20090119144A (ko) * | 2008-05-15 | 2009-11-19 | 주식회사 하이닉스반도체 | 웨이퍼 이면 연마 장치 |
| CN206305411U (zh) * | 2016-12-20 | 2017-07-07 | 南京金城精密机械有限公司 | 一种压铸机抽真空反吹气装置 |
| CN107032124A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-08-11 | 江苏大学 | 一种间歇式粉体负压气力输送系统及方法 |
| KR101835467B1 (ko) * | 2017-08-03 | 2018-03-08 | 동명대학교 산학협력단 | 자가진단 기능을 갖는 진공펌프 |
| CN108760415A (zh) * | 2018-08-13 | 2018-11-06 | 北京大学 | 多粒径段自动切换大气颗粒物采样装置及自动采样方法 |
| KR102469953B1 (ko) * | 2022-07-29 | 2022-11-23 | 주식회사 메타덱스터 | 전해액이 주입된 배터리의 voc 누출가스 검출장치 및 이를 이용한 검출방법 |
| KR102487786B1 (ko) * | 2022-10-28 | 2023-01-12 | 주식회사 메타덱스터 | 진공챔버를 이용한 배터리의 voc누출가스 검출장치 및 이를 이용한 검출방법 |
-
2023
- 2023-11-28 CN CN202311598543.3A patent/CN117316832B/zh active Active
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02112681A (ja) * | 1988-10-22 | 1990-04-25 | Fuji Electric Co Ltd | 真空ポンプ保護方法 |
| KR20040019748A (ko) * | 2002-08-29 | 2004-03-06 | 아주콘트롤시스템 주식회사 | 자동화 개폐기 제어장치 및 제어방법 |
| KR100771931B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2007-10-31 | 주식회사환경과생명 | 용탕 이송장치 |
| KR20090119144A (ko) * | 2008-05-15 | 2009-11-19 | 주식회사 하이닉스반도체 | 웨이퍼 이면 연마 장치 |
| CN107032124A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-08-11 | 江苏大学 | 一种间歇式粉体负压气力输送系统及方法 |
| CN206305411U (zh) * | 2016-12-20 | 2017-07-07 | 南京金城精密机械有限公司 | 一种压铸机抽真空反吹气装置 |
| KR101835467B1 (ko) * | 2017-08-03 | 2018-03-08 | 동명대학교 산학협력단 | 자가진단 기능을 갖는 진공펌프 |
| CN108760415A (zh) * | 2018-08-13 | 2018-11-06 | 北京大学 | 多粒径段自动切换大气颗粒物采样装置及自动采样方法 |
| KR102469953B1 (ko) * | 2022-07-29 | 2022-11-23 | 주식회사 메타덱스터 | 전해액이 주입된 배터리의 voc 누출가스 검출장치 및 이를 이용한 검출방법 |
| KR102487786B1 (ko) * | 2022-10-28 | 2023-01-12 | 주식회사 메타덱스터 | 진공챔버를 이용한 배터리의 voc누출가스 검출장치 및 이를 이용한 검출방법 |
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