CN219066788U - 一种晶圆轮廓对准装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其为一种晶圆轮廓对准装置，包括底座，底座顶部固定安装有安装座，安装座一侧固定安装有微型电机，微型电机一端设置有螺纹杆，螺纹杆上设置有螺纹套，螺纹套顶部固定安装有固定座。本实用新型通过设置有安装座、微型电机、螺纹杆、螺纹套、固定座、电动滑轨和滑块进行配合使用，可方便对晶圆卡盘进行全面调节使用，便于和机械臂输送的晶圆进行更好的对接，提升其对接安装精准度，通过驱动微型气缸进行工作，便于推动限位挡板对晶圆进一步进行限位工作，从而可进一步提升其对接安装精准度，方便更好的进行工作使用，自动化程度相对较高，可便于提升加工生产质量和整体装置实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种晶圆轮廓对准装置。
背景技术
在半导体器件制造过程中，晶圆经常被机械臂在不同制程中转运输送，许多工艺制程中晶圆被机械臂放置在工艺腔内的晶圆卡盘上定位，便于工艺加工，而晶圆卡盘很多采用真空吸附方式对晶圆进行固定，因此需要确保晶圆的圆心与卡盘圆心重合避免晶圆出现偏移，否则会影响真空值进而引起产品质量缺陷。为了避免上述偏移情况的发生，通常需要设置晶圆对准装置来满足使用需求。
现有技术存在以下问题：
现有的晶圆轮廓对准装置，整体装置结构较为简单，一般都是通过人工进行手动操作进行对准，操作使用较麻烦，自动化程度相对较低，同时对准效果较差，容易影响加工生产质量，导致使用有一定的局限性。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆轮廓对准装置，解决了现今存在的整体装置结构较为简单，一般都是通过人工进行手动操作进行对准，操作使用较麻烦，自动化程度相对较低，同时对准效果较差，容易影响加工生产质量，导致使用有一定的局限性问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆轮廓对准装置，包括底座，所述底座顶部固定安装有安装座，所述安装座一侧固定安装有微型电机，所述微型电机一端设置有螺纹杆，所述螺纹杆上设置有螺纹套，所述螺纹套顶部固定安装有固定座，所述固定座顶部设置有晶圆卡盘，所述晶圆卡盘底部固定安装有滑块，所述固定座上设置有电动滑轨，所述晶圆卡盘上固定安装有微型气缸，所述微型气缸一端设置有限位挡板，所述晶圆卡盘内部设置有真空管接口。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述微型电机内部设置有导线，所述微型电机通过导线与外部电源电性连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述螺纹套内部设置有螺纹孔，所述螺纹套通过螺纹孔与螺纹杆螺纹滑动连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述电动滑轨内部设置有导线，所述电动滑轨通过导线与外部电源电性连接，所述滑块与电动滑轨滑动连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述微型气缸内部设置有导线，所述微型气缸通过导线与外部电源电性连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述限位挡板设置有四个，所述限位挡板均为橡胶材料制成。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆轮廓对准装置，具备以下
有益效果：
该一种晶圆轮廓对准装置，通过设置有安装座、微型电机、螺纹杆、螺纹套、固定座、电动滑轨和滑块进行配合使用，可方便对晶圆卡盘进行全面调节使用，便于和机械臂输送的晶圆进行更好的对接，提升其对接安装精准度，通过驱动微型气缸进行工作，便于推动限位挡板对晶圆进一步进行限位工作，从而可进一步提升其对接安装精准度，方便更好的进行工作使用，自动化程度相对较高，可便于提升加工生产质量和整体装置实用性。
附图说明
图1为本实用新型剖视结构示意图；
图2为本实用新型螺纹套结构示意图；
图3为本实用新型晶圆卡盘俯视结构示意图；
图4为本实用新型限位挡板结构示意图。
图中：1、底座；2、安装座；3、微型电机；4、螺纹杆；5、螺纹套；6、固定座；7、晶圆卡盘；8、滑块；9、电动滑轨；10、微型气缸；11、限位挡板；12、真空管接口。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实施方案中：一种晶圆轮廓对准装置，包括底座1，底座1顶部固定安装有安装座2，便于安装驱动设备，安装座2一侧固定安装有微型电机3，微型电机3型号为ZWBPD016016，便于转动螺纹杆4，微型电机3一端设置有螺纹杆4，便于安装螺纹套5，螺纹杆4上设置有螺纹套5，便于螺纹滑动调节，螺纹套5顶部固定安装有固定座6，便于安装电动滑轨9，固定座6顶部设置有晶圆卡盘7，方便对接安装晶圆，晶圆卡盘7底部固定安装有滑块8，便于滑动调节，固定座6上设置有电动滑轨9，电动滑轨9型号为HSR15R，方便驱动滑块8前后滑动调节，晶圆卡盘7上固定安装有微型气缸10，微型气缸10型号为ma16-25，便于推动限位挡板11进行限位工作，微型气缸10一端设置有限位挡板11，便于对晶圆进行限位，晶圆卡盘7内部设置有真空管接口12，方便抽真空对晶圆进行吸附固定。
本实施例中，微型电机3内部设置有导线，微型电机3通过导线与外部电源电性连接，便于驱动其进行工作，方便转动螺纹杆4；螺纹套5内部设置有螺纹孔，螺纹套5通过螺纹孔与螺纹杆4螺纹滑动连接，便于螺纹滑动调节，方便带动固定座6左右滑动调节；电动滑轨9内部设置有导线，电动滑轨9通过导线与外部电源电性连接，滑块8与电动滑轨9滑动连接，便于驱动其进行工作，方便驱动滑块8进行滑动调节；微型气缸10内部设置有导线，微型气缸10通过导线与外部电源电性连接，便于驱动其进行工作，方便推动限位挡板11；限位挡板11设置有四个，限位挡板11均为橡胶材料制成，便于对晶圆进行限位，提升其对接安装精准度。
本实用新型的工作原理及使用流程：操作者通过驱动微型电机3进行工作，便于转动螺纹杆4带动螺纹套5和固定座6进行左右滑动调节，通过驱动电动滑轨9进行工作，可方便驱动滑块8带动晶圆卡盘7进行前后位置调节，从而可便于对晶圆卡盘7进行全面调节使用，便于和机械臂输送的晶圆进行更好的对接，提升其对接安装精准度，通过驱动微型气缸10进行工作，便于推动限位挡板11对晶圆进一步进行限位工作，从而可进一步提升其对接安装精准度，方便更好的进行工作使用，便于提升加工生产质量和整体装置实用性。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种晶圆轮廓对准装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部固定安装有安装座(2)，所述安装座(2)一侧固定安装有微型电机(3)，所述微型电机(3)一端设置有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)上设置有螺纹套(5)，所述螺纹套(5)顶部固定安装有固定座(6)，所述固定座(6)顶部设置有晶圆卡盘(7)，所述晶圆卡盘(7)底部固定安装有滑块(8)，所述固定座(6)上设置有电动滑轨(9)，所述晶圆卡盘(7)上固定安装有微型气缸(10)，所述微型气缸(10)一端设置有限位挡板(11)，所述晶圆卡盘(7)内部设置有真空管接口(12)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓对准装置，其特征在于：所述微型电机(3)内部设置有导线，所述微型电机(3)通过导线与外部电源电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓对准装置，其特征在于：所述螺纹套(5)内部设置有螺纹孔，所述螺纹套(5)通过螺纹孔与螺纹杆(4)螺纹滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓对准装置，其特征在于：所述电动滑轨(9)内部设置有导线，所述电动滑轨(9)通过导线与外部电源电性连接，所述滑块(8)与电动滑轨(9)滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓对准装置，其特征在于：所述微型气缸(10)内部设置有导线，所述微型气缸(10)通过导线与外部电源电性连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓对准装置，其特征在于：所述限位挡板(11)设置有四个，所述限位挡板(11)均为橡胶材料制成。
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2022
- 2022-12-13 CN CN202223359871.1U patent/CN219066788U/zh active Active
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