JPH02112681A - 真空ポンプ保護方法 - Google Patents
真空ポンプ保護方法Info
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- JPH02112681A JPH02112681A JP26527288A JP26527288A JPH02112681A JP H02112681 A JPH02112681 A JP H02112681A JP 26527288 A JP26527288 A JP 26527288A JP 26527288 A JP26527288 A JP 26527288A JP H02112681 A JPH02112681 A JP H02112681A
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- vacuum pump
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 title 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/10—Other safety measures
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体を製造する場合等に用いられる真空ポ
ンプ保護方法に関する。
ンプ保護方法に関する。
真空ポンプは高速に回転し、ポンプの吸気側の圧力（吸
気圧）と排気側の圧力（排気圧）の差を利用して吸気側
を高真空状態にする。この時、吸気圧と排気圧の差が大
きすぎるとポンプの羽根Ｋかかる負荷が大きくなシ、ポ
ンプ自身を破壊する場合がある。そのため、真空ポンプ
の吸気側と排気側にはポンプを保護する目的で仕切り弁
をとりつけ、吸気圧と排気圧の差により、その開閉を制
限するインターロックにて保護するのが一般的である。
気圧）と排気側の圧力（排気圧）の差を利用して吸気側
を高真空状態にする。この時、吸気圧と排気圧の差が大
きすぎるとポンプの羽根Ｋかかる負荷が大きくなシ、ポ
ンプ自身を破壊する場合がある。そのため、真空ポンプ
の吸気側と排気側にはポンプを保護する目的で仕切り弁
をとりつけ、吸気圧と排気圧の差により、その開閉を制
限するインターロックにて保護するのが一般的である。
また、真空ポンプ自身もコントルーラ（ポンプコントロ
ーラ）を持っておシ、モータの０Ｎ１０ＦＦ、運転状態
の信号の出力等を行っている。このコントローラは、電
源断あるいはシステムリセットにより、機能のすべてが
リセットされてしまう。そのために、ポンプのモータが
定常運転中にこのような状態になった場合には、高速回
転しているにもかかわらず停止していると判断し、また
電気的制動もかからないので回転を続けてしまうことに
なる。
ーラ）を持っておシ、モータの０Ｎ１０ＦＦ、運転状態
の信号の出力等を行っている。このコントローラは、電
源断あるいはシステムリセットにより、機能のすべてが
リセットされてしまう。そのために、ポンプのモータが
定常運転中にこのような状態になった場合には、高速回
転しているにもかかわらず停止していると判断し、また
電気的制動もかからないので回転を続けてしまうことに
なる。
つｔｂ、ポンプコントローラが出力する運転信号のみで
、ポンプ保護のインターロック信号を作成するだけでは
、停電時などの場合の保護が不充分であると云う問題が
ある。
、ポンプ保護のインターロック信号を作成するだけでは
、停電時などの場合の保護が不充分であると云う問題が
ある。
したがって、本発明は停電時等にも光分にポンプ保護を
図υ得るようにすることを目的とする。
図υ得るようにすることを目的とする。
真空ポンプおよびパルプよりなる真空排気部と、これを
制御する専用コントローラと、真空ポンプの加速状態、
定速状態、減速状態、停止状態に応じた運転信号を出力
するポンプコンドローラド、バッテリバックアップされ
全体を統括管理するコンピュータとを設け、該コンピュ
ータにより真空ポンプの停止時刻を補助記憶装置に記憶
し、記憶された停止時刻からの経過時間より真空ポンプ
が減速状態か停止状態かを判断してその信号を出力する
とへもに、該信号とポンプコントローラが出力する運転
信号との論理積をとって真空ポンプが回転中か否かを示
すインタロック信号を生成することにより、真空ポンプ
の保護を図る。
制御する専用コントローラと、真空ポンプの加速状態、
定速状態、減速状態、停止状態に応じた運転信号を出力
するポンプコンドローラド、バッテリバックアップされ
全体を統括管理するコンピュータとを設け、該コンピュ
ータにより真空ポンプの停止時刻を補助記憶装置に記憶
し、記憶された停止時刻からの経過時間より真空ポンプ
が減速状態か停止状態かを判断してその信号を出力する
とへもに、該信号とポンプコントローラが出力する運転
信号との論理積をとって真空ポンプが回転中か否かを示
すインタロック信号を生成することにより、真空ポンプ
の保護を図る。
システム全体を統括管理するコンピュータにより、ポン
プの運転状ａ（回転中か停止中）と現在の時刻とを周期
的（ポンプの減速に要する時間に対して十分短い時間）
に補助記憶装置にセーブし、システム立ち上げ時のイニ
シャルチエツク時に上記セーブした状態と時刻、それに
現在の時刻よりボンプが回転しているか停止しているか
の判断とそれに対応する信号を出力し、さらにこの信号
と実際にポンプコン）ｏ−ラが出力する信号とのＡＮＤ
（論理積）を取ってインターロック回路へ入力すること
により、非常停止時のポンプの破壊防止あるいは装置側
への空気の逆流防止を因る。
プの運転状ａ（回転中か停止中）と現在の時刻とを周期
的（ポンプの減速に要する時間に対して十分短い時間）
に補助記憶装置にセーブし、システム立ち上げ時のイニ
シャルチエツク時に上記セーブした状態と時刻、それに
現在の時刻よりボンプが回転しているか停止しているか
の判断とそれに対応する信号を出力し、さらにこの信号
と実際にポンプコン）ｏ−ラが出力する信号とのＡＮＤ
（論理積）を取ってインターロック回路へ入力すること
により、非常停止時のポンプの破壊防止あるいは装置側
への空気の逆流防止を因る。
第１図に本発明のシステム構成例を示す。１はシステム
全体を統括管理するコンピュータ、２Ａは真空装置を制
御する専用コントローラ、２Ｂは他装置の専用コントロ
ーラ、３はターボ分子ポンプ（ＴＰ）、３Ａはこれを制
御するコントローラ（ポンプコントローラ）である。４
はドライポンプ、５は真空反応室、６Ａ、６Ｂはロード
ロック室、７Ａ、７Ｂは仕゛切υ弁である。８はハード
インターロック回路で１Ｌこれにより各パルプの開閉が
制限される。９Ａ、９Ｂは真空計、１０Ａ。
全体を統括管理するコンピュータ、２Ａは真空装置を制
御する専用コントローラ、２Ｂは他装置の専用コントロ
ーラ、３はターボ分子ポンプ（ＴＰ）、３Ａはこれを制
御するコントローラ（ポンプコントローラ）である。４
はドライポンプ、５は真空反応室、６Ａ、６Ｂはロード
ロック室、７Ａ、７Ｂは仕゛切υ弁である。８はハード
インターロック回路で１Ｌこれにより各パルプの開閉が
制限される。９Ａ、９Ｂは真空計、１０Ａ。
１０Ｂはパルプ、１１は高速の通信回線である。
まず、真空反応室５を高真空状態にするには、全体を統
括管理するコンピュータ１から専用コントローラ２人に
対してドライポンプ４のＯＮ信号を出力する。これによ
り、ドライポンプ４が回転を始める。次に、パルプ１０
Ａを開け、ターボ分子ポンプ３を停止したｉｔポンプ内
までを真空引きする。この時、真空反応室５の真空度に
よりバルプ１０Ｂを開けるタイミングが変わってくる。
括管理するコンピュータ１から専用コントローラ２人に
対してドライポンプ４のＯＮ信号を出力する。これによ
り、ドライポンプ４が回転を始める。次に、パルプ１０
Ａを開け、ターボ分子ポンプ３を停止したｉｔポンプ内
までを真空引きする。この時、真空反応室５の真空度に
よりバルプ１０Ｂを開けるタイミングが変わってくる。
もし、真空反応室の真空度がターボ分子ポンプ側より格
段に高い場合には、空気が逆流してしまう。
段に高い場合には、空気が逆流してしまう。
そこで、ターボ分子ポンプの動作が可能な状態になるま
で待ってパルプ１０Ｂを開け、最後にターボ分子ポンプ
３をＯＮする。ターボ分子ポンプは、定常回転数になる
までに２０〜５０分程度喪程度。
で待ってパルプ１０Ｂを開け、最後にターボ分子ポンプ
３をＯＮする。ターボ分子ポンプは、定常回転数になる
までに２０〜５０分程度喪程度。
これにより、真空反応室５を高真空状態に引くことがで
きる。
きる。
こ〜で、ポンプを停止させる場合について説明する。真
空反応室を高真空状態に保持したまま停止させるにはま
ずパルプ１０Ｂを閉じ、つぎにターボ分子ポンプ３をＯ
ＦＦする。この時、完全に停止させるにはコントローラ
２人によりブレーキをかけながら３０分程度掛けてゆっ
くりと止めていく。また、完全に停止するまで排圧側を
確保する必要があるため、ドライポンプ４は回転を続け
ていなければならない。したがって、ターボ分子ポンプ
３が完全に停止してからパルプ１０Ａを閉じ、ドライポ
ンプ４−をＯＦＦして終了する。
空反応室を高真空状態に保持したまま停止させるにはま
ずパルプ１０Ｂを閉じ、つぎにターボ分子ポンプ３をＯ
ＦＦする。この時、完全に停止させるにはコントローラ
２人によりブレーキをかけながら３０分程度掛けてゆっ
くりと止めていく。また、完全に停止するまで排圧側を
確保する必要があるため、ドライポンプ４は回転を続け
ていなければならない。したがって、ターボ分子ポンプ
３が完全に停止してからパルプ１０Ａを閉じ、ドライポ
ンプ４−をＯＦＦして終了する。
次に、ターボ分子ポンプを保護するハードインターロッ
クについて説明する。ターボ分子ポンプ３の吸気側と排
気側には、ポンプ保護のためにバに７”１０Ａ、１０Ｂ
を取り付けている。こ〜で、例えば真空引き中に突然ド
ライポンプ４が停止すると、ターボ分子ポンプ３の排圧
が確保できなくな９壊れてしまう。したがって、ターボ
分子ポンプ３が回転中にドライポンプ４が停止した時に
は、吸気側のバルブ１０Ｂを瞬時に閉じるというハード
インターロックで保護している。このハードインターロ
ックはターボ分子ポンプが回転中という信号を用いて行
っている。したがって、このターボ分子ポンプが回転中
という信号は非常に重要な信号であシ、どんな場合でも
正確な情報が与えられなければならない。
クについて説明する。ターボ分子ポンプ３の吸気側と排
気側には、ポンプ保護のためにバに７”１０Ａ、１０Ｂ
を取り付けている。こ〜で、例えば真空引き中に突然ド
ライポンプ４が停止すると、ターボ分子ポンプ３の排圧
が確保できなくな９壊れてしまう。したがって、ターボ
分子ポンプ３が回転中にドライポンプ４が停止した時に
は、吸気側のバルブ１０Ｂを瞬時に閉じるというハード
インターロックで保護している。このハードインターロ
ックはターボ分子ポンプが回転中という信号を用いて行
っている。したがって、このターボ分子ポンプが回転中
という信号は非常に重要な信号であシ、どんな場合でも
正確な情報が与えられなければならない。
そこで、本発明における該信号の作成方法について第２
因および第３図を参照して説明する。統括コンピュータ
１は専用コントローラ２人と高速の通信口［１１により
接続されていて情報のやり取りを行う。ここで、ターボ
分子ポンプ３を監視するタスクは、真空ポンプの０Ｎ１
０ＦＦ、 加ｉ中、減速中、停止中という情報を高速に
、しかもサイクリック（数１００ ｍ５ｅｃ ）に取シ
込んでいる。
因および第３図を参照して説明する。統括コンピュータ
１は専用コントローラ２人と高速の通信口［１１により
接続されていて情報のやり取りを行う。ここで、ターボ
分子ポンプ３を監視するタスクは、真空ポンプの０Ｎ１
０ＦＦ、 加ｉ中、減速中、停止中という情報を高速に
、しかもサイクリック（数１００ ｍ５ｅｃ ）に取シ
込んでいる。
そして、このタスクはターボ分子ポンプのＯＦＦのタイ
ミング、あるいは停電が発生したタイミングでその日時
と時刻（第２図■β照）、それに正常のＯＦＦか停電に
よるＯＦＦかの情報を共通メモリ領域に格納する（第２
図■診照）。また、そのタスクとは別に情報格納タスク
が共通メモリ領域の内容を、３０秒毎（ターボ分子ポン
プの減速に要する時間に比べて十分に短い周期）に補助
記憶装置に格納する（第２図■参照）。
ミング、あるいは停電が発生したタイミングでその日時
と時刻（第２図■β照）、それに正常のＯＦＦか停電に
よるＯＦＦかの情報を共通メモリ領域に格納する（第２
図■診照）。また、そのタスクとは別に情報格納タスク
が共通メモリ領域の内容を、３０秒毎（ターボ分子ポン
プの減速に要する時間に比べて十分に短い周期）に補助
記憶装置に格納する（第２図■参照）。
次に、コンピュータは復電時あるいは電源投入時に補助
記憶装置に格納されている日時を読み出し、現在の時刻
と比較する（第３図■、■診照）。
記憶装置に格納されている日時を読み出し、現在の時刻
と比較する（第３図■、■診照）。
その差を計算しく第６図■参照）、ある一定時間（３０
分）以上経過しているかを判断する（第３図■、■、■
参照）。また、停電により強制的にＯＦＦされた場合に
はコントローラが電気的制動（ブレーキ）をかけられな
いため、正常にＯＦＦする場合よりも停止する時間が長
くなってしまう（６０分）。したがって、補助記憶に格
納されている、停電によりＯＦＦしたか正常にＯＦＦし
たかの情報により、判定時間の基準を変更してチエツク
する（第３図■、■参照）。経過していた場合には通信
回線を介して専用コントローラへ停止中、経過していな
い場合には回転中を要求する（第３図■参照）。専用コ
ントローラはそれを受け、ハードインターロック回路へ
回転中／停止中の信号を入力することにより正確な判断
を行わせている。
分）以上経過しているかを判断する（第３図■、■、■
参照）。また、停電により強制的にＯＦＦされた場合に
はコントローラが電気的制動（ブレーキ）をかけられな
いため、正常にＯＦＦする場合よりも停止する時間が長
くなってしまう（６０分）。したがって、補助記憶に格
納されている、停電によりＯＦＦしたか正常にＯＦＦし
たかの情報により、判定時間の基準を変更してチエツク
する（第３図■、■参照）。経過していた場合には通信
回線を介して専用コントローラへ停止中、経過していな
い場合には回転中を要求する（第３図■参照）。専用コ
ントローラはそれを受け、ハードインターロック回路へ
回転中／停止中の信号を入力することにより正確な判断
を行わせている。
本発明によれば、停電時のポンプの動作状況を全体を統
括管理するコンピュータにて監視するようにしたので、
より正確なポンプの状態を把握でき、確実にポンプの保
護を実現できる利点が得られる。
括管理するコンピュータにて監視するようにしたので、
より正確なポンプの状態を把握でき、確実にポンプの保
護を実現できる利点が得られる。
第１因は本発明のシステム構成例を示すプｐツク図、第
２因はターボ分子ポンプの状態監視動作を説明するため
のフローチャート、第３図はイニシャル処理を説明する
ためのフローチャートである。 符号説明 １・・・・・・統括管理コンピュータ、２人・・・・・
・真空装置専用コントローラ、２Ｂ・・曲他装置用コン
トローラ、３・・・・・・ターボ分子ポンプ（ＴＰ）、
３Ａ・・・・・・ポンプコントローラ、４・・・・軸ド
ライポンプ、５・・・・・・真空反応室、６Ａ、６Ｂ・
・曲ロードロック室、７Ａ、７Ｂ・・・・・・仕切り弁
、８・・・・・・ハードインターロック回路、９ Ａ
、 ９ Ｂ ・−曲真空計、１０Ａ、１０Ｂ・・・・・
・バルブ、１１・・曲通信回線。 代理人 弁理士 並 木 昭 夫 代理人 弁理士 松 崎 清 ＩＩＩ Σ １［２ 図
２因はターボ分子ポンプの状態監視動作を説明するため
のフローチャート、第３図はイニシャル処理を説明する
ためのフローチャートである。 符号説明 １・・・・・・統括管理コンピュータ、２人・・・・・
・真空装置専用コントローラ、２Ｂ・・曲他装置用コン
トローラ、３・・・・・・ターボ分子ポンプ（ＴＰ）、
３Ａ・・・・・・ポンプコントローラ、４・・・・軸ド
ライポンプ、５・・・・・・真空反応室、６Ａ、６Ｂ・
・曲ロードロック室、７Ａ、７Ｂ・・・・・・仕切り弁
、８・・・・・・ハードインターロック回路、９ Ａ
、 ９ Ｂ ・−曲真空計、１０Ａ、１０Ｂ・・・・・
・バルブ、１１・・曲通信回線。 代理人 弁理士 並 木 昭 夫 代理人 弁理士 松 崎 清 ＩＩＩ Σ １［２ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 真空ポンプおよびバルブよりなる真空排気部と、これを
制御する専用コントローラと、真空ポンプの加速状態、
定速状態、減速状態、停止状態に応じた運転信号を出力
するポンプコントローラと、バッテリバックアップされ
全体を統括管理するコンピュータとを備え、 該コンピュータにより真空ポンプの停止時刻を補助記憶
装置に記憶し、記憶された停止時刻からの経過時間より
真空ポンプが減速状態か停止状態かを判断してその信号
を出力するとゝもに、該信号とポンプコントローラが出
力する運転信号との論理積をとつて真空ポンプが回転中
か否かを示すインタロツク信号を生成することにより、
真空ポンプの保護を図ることを特徴とする真空ポンプ保
護方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26527288A JPH0826857B2 (ja) | 1988-10-22 | 1988-10-22 | 真空ポンプ保護方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26527288A JPH0826857B2 (ja) | 1988-10-22 | 1988-10-22 | 真空ポンプ保護方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02112681A true JPH02112681A (ja) | 1990-04-25 |
| JPH0826857B2 JPH0826857B2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=17414921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26527288A Expired - Lifetime JPH0826857B2 (ja) | 1988-10-22 | 1988-10-22 | 真空ポンプ保護方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0826857B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2663690A1 (fr) * | 1990-06-26 | 1991-12-27 | Cit Alcatel | Dispositif permettant d'assurer une gestion sure d'une pompe a vide. |
| JP2003049771A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-21 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプの接続構造及び真空ポンプ |
| WO2003040568A1 (de) * | 2001-11-09 | 2003-05-15 | Leybold Vakuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| JP2005264938A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-29 | Varian Spa | 真空ポンプシステム |
| JP2006066555A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| CN117316832A (zh) * | 2023-11-28 | 2023-12-29 | 泗洪红芯半导体有限公司 | 真空自动快速开关智能化系统 |
-
1988
- 1988-10-22 JP JP26527288A patent/JPH0826857B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2663690A1 (fr) * | 1990-06-26 | 1991-12-27 | Cit Alcatel | Dispositif permettant d'assurer une gestion sure d'une pompe a vide. |
| JP2003049771A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-21 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプの接続構造及び真空ポンプ |
| JP4672204B2 (ja) * | 2001-08-03 | 2011-04-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプの接続構造及び真空ポンプ |
| WO2003040568A1 (de) * | 2001-11-09 | 2003-05-15 | Leybold Vakuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| US6999840B2 (en) | 2001-11-09 | 2006-02-14 | Leybold Vakuum Gmbh | Vacuum pump |
| JP2005264938A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-29 | Varian Spa | 真空ポンプシステム |
| JP2006066555A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| CN117316832A (zh) * | 2023-11-28 | 2023-12-29 | 泗洪红芯半导体有限公司 | 真空自动快速开关智能化系统 |
| CN117316832B (zh) * | 2023-11-28 | 2024-02-23 | 泗洪红芯半导体有限公司 | 真空自动快速开关智能化系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0826857B2 (ja) | 1996-03-21 |
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