CN214895454U - 一种半导体检测用探针平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体检测用探针平台，包括安装底板、驱动机构和探针安装机构；安装底板：其上表面外侧设有四根均匀分布的滑柱，滑柱的上端滑动连接有升降台；驱动机构：设置于安装底板的上表面左侧，驱动机构的上端与升降台螺纹连接；探针安装机构：均匀分布于升降台的上表面内侧；其中：还包括下滑座，所述下滑座滑动连接于安装底板的上表面中部，下滑座的上表面滑动连接有上滑座，上滑座的上表面中部开设有置物槽，置物槽的内部设有吸盘，所述驱动机构包括丝杆、第一齿轮和第三齿轮，该半导体检测用探针平台，装置能够进行自我调节，避免因探针压力过大而损坏半导体元件。

Description

一种半导体检测用探针平台

技术领域

本实用新型涉及半导体检测装置技术领域，具体为一种半导体检测用探针平台。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、错、砷化擦等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种，半导体元件在研发生产时需要使用探针平台对半导体进行检测，传统的探针平台在检测半导体元件时，在内部升降装置的带动下，探针直接压向半导体元件，探针不能进行自我调节，在操作员操作失误时，容易引起半导体元件的损坏，不便于半导体元件的测量，不方便产品的研发，为此，我们提出一种半导体检测用探针平台。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种半导体检测用探针平台，装置能够进行自我调节，避免因探针压力过大而损坏半导体元件，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体检测用探针平台，包括安装底板、驱动机构和探针安装机构；

安装底板：其上表面外侧设有四根均匀分布的滑柱，滑柱的上端滑动连接有升降台；

驱动机构：设置于安装底板的上表面左侧，驱动机构的上端与升降台螺纹连接；

探针安装机构：均匀分布于升降台的上表面内侧；

其中：还包括下滑座，所述下滑座滑动连接于安装底板的上表面中部，下滑座的上表面滑动连接有上滑座，上滑座的上表面中部开设有置物槽，置物槽的内部设有吸盘，装置能够进行自我调节，避免因探针压力过大而损坏半导体元件，同时，提供了配重部件，能够防止因重力不足而使探针与半导体元件接触不良的现象，防止半导体元件检测过程中出现异常，方便更改探针与半导体元件的接触位置，便于半导体元件的测量，方便产品的研发。

进一步的，所述驱动机构包括丝杆、第一齿轮和第三齿轮，所述丝杆转动连接于安装底板的上表面左侧，丝杆的上端与升降台左端开设的螺纹孔螺纹连接，第一齿轮和第三齿轮均设置于丝杆的下端，第一齿轮位于第三齿轮的上方，能够带动其他部件进行上下移动。

进一步的，所述驱动机构还包括第二齿轮、第四齿轮和安装柱，所述安装柱设置于安装底板的上表面左侧，第二齿轮和第四齿轮均转动连接于安装柱的外弧面上端，第二齿轮与第一齿轮啮合连接，第四齿轮与第三齿轮啮合连接，能够实现装置的快速移动与微调。

进一步的，所述探针安装机构包括固定座、圆座、安装杆和探针，所述固定座均匀分布于升降台的上表面内侧，圆座分别转动连接于固定座的上端，安装杆分别通过转轴转动连接于圆座的上端开口内，探针分别插接于安装杆的内端，能够实现探针压力的自我调节，避免装置半导体元件损坏。

进一步的，所述探针安装机构还包括配重块，所述配重块分别螺纹连接于安装杆的中部，能够调节探针对半导体元件的压力，防止探针与半导体元件接触不良。

进一步的，还包括第一螺杆，所述第一螺杆转动连接于下滑座的中部安装槽内，上滑座下端的凸块与第一螺杆螺纹连接，能够实现半导体元件的前后位置调节。

进一步的，还包括固定块和第二螺杆，所述固定块设置于安装底板的上表面右侧，第二螺杆转动连接于下滑座的右侧面中部，第二螺杆的右端与固定块右侧面上端设置的螺纹孔螺纹连接，能够实现半导体元件的左右位置调节。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本半导体检测用探针平台，具有以下好处：

1、在操作员操作失误时，探针快速接触半导体元件，探针带动安装杆向上转动，以此缓冲半导体元件与探针接触时的压力，旋转配重块，调整配重块在安装杆上的位置，进而可以调节探针对半导体元件的压力，防止半导体元件的损坏，装置能够进行自我调节，避免因探针压力过大而损坏半导体元件，同时，提供了配重部件，能够防止因重力不足而使探针与半导体元件接触不良的现象，防止半导体元件检测过程中出现异常。

2、圆座能带动探针进行角度调节，以此可调节探针与半导体元件的接触位置，方便更改探针与半导体元件的接触位置，便于半导体元件的测量，方便产品的研发。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型下滑座的剖视结构示意图；

图3为本实用新型A处放大结构示意图。

图中：1安装底板、2下滑座、3上滑座、4置物槽、5吸盘、6滑柱、7升降台、8驱动机构、81丝杆、82第一齿轮、83第二齿轮、84第三齿轮、85第四齿轮、86安装柱、9探针安装机构、91固定座、92圆座、93安装杆、94配重块、95探针、10第一螺杆、11固定块、12第二螺杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实施例提供一种技术方案：一种半导体检测用探针平台，包括安装底板1、驱动机构8和探针安装机构9；

安装底板1：安装底板1为其它部件提供一个安装场所，其上表面外侧设有四根均匀分布的滑柱6，滑柱6为其它部件的移动提供导向支撑，滑柱6的上端滑动连接有升降台7，升降台7方便其它部件的安装；

驱动机构8：驱动机构8为其它部件的运行提供动力，设置于安装底板1的上表面左侧，驱动机构8的上端与升降台7螺纹连接，驱动机构8包括丝杆81、第一齿轮82和第三齿轮84，丝杆81转动连接于安装底板1的上表面左侧，丝杆81的上端与升降台7左端开设的螺纹孔螺纹连接，第一齿轮82和第三齿轮84均设置于丝杆81的下端，第一齿轮82位于第三齿轮84的上方，驱动机构8还包括第二齿轮83、第四齿轮85和安装柱86，安装柱86设置于安装底板1的上表面左侧，第二齿轮83和第四齿轮85均转动连接于安装柱86的外弧面上端，第二齿轮83与第一齿轮82啮合连接，第四齿轮85与第三齿轮84啮合连接，手动转动第四齿轮85，第四齿轮85通过第三齿轮84带动丝杆81转动，使升降台7带着上方部件沿滑柱6向下滑动，由于第四齿轮85的外径大于第三齿轮84的外径，第四齿轮85能够通过第三齿轮84带动丝杆81快速转动，使升降台7带着上方部件沿滑柱6快速向下滑动，在检测部件快要接触到半导体元件时，改为旋转第二齿轮83，由于第二齿轮83的外径小于第一齿轮82的外径，因此，第二齿轮83转动时第一齿轮82带动丝杆81缓慢转动，使升降台7带动上方部件缓慢下移，以此对装置进行微调，使检测部件接触半导体元件；

探针安装机构9：探针安装机构9能够实现自我调节，对半导体元件进行检测，均匀分布于升降台7的上表面内侧，探针安装机构9包括固定座91、圆座92、安装杆93和探针95，固定座91均匀分布于升降台7的上表面内侧，圆座92分别转动连接于固定座91的上端，安装杆93分别通过转轴转动连接于圆座92的上端开口内，探针95分别插接于安装杆93的内端，探针安装机构9还包括配重块94，配重块94分别螺纹连接于安装杆93的中部，在操作员操作失误时，探针95快速接触半导体元件，探针95带动安装杆93向上转动，以此缓冲半导体元件与探针95接触时的压力，旋转配重块94，调整配重块94在安装杆93上的位置，进而可以调节探针95对半导体元件的压力，防止半导体元件的损坏，圆座92能带动探针95进行角度调节，以此可调节探针95与半导体元件的接触位置，方便半导体元件的测量；

其中：还包括下滑座2，下滑座2滑动连接于安装底板1的上表面中部，下滑座2的上表面滑动连接有上滑座3，上滑座3的上表面中部开设有置物槽4，置物槽4的内部设有吸盘5，还包括第一螺杆10，第一螺杆10转动连接于下滑座2的中部安装槽内，上滑座3下端的凸块与第一螺杆10螺纹连接，还包括固定块11和第二螺杆12，固定块11设置于安装底板1的上表面右侧，第二螺杆12转动连接于下滑座2的右侧面中部，第二螺杆12的右端与固定块11右侧面上端设置的螺纹孔螺纹连接，将本探针平台放置在外部显微镜的下方，把探针95与外部的检测设备连接，把需要检测的半导体元件放在吸盘5的上方，向下轻压半导体元件，使半导体元件吸附在吸盘5的上方，手动旋转第一螺杆10，上滑座3下端的凸块带动上滑座3沿下滑座2中部的安装槽前后滑动，手动旋转第二螺杆12，第二螺杆12在固定块11上端的螺纹孔作用下拉动下滑座2及上方部件沿安装底板1上表面的滑槽左右滑动，以此调整半导体元件的位置到外部显微镜的镜头下方。

本实用新型提供的一种半导体检测用探针平台的工作原理如下：将本探针平台放置在外部显微镜的下方，把探针95与外部的检测设备连接，把需要检测的半导体元件放在吸盘5的上方，向下轻压半导体元件，使半导体元件吸附在吸盘5的上方，手动旋转第一螺杆10，上滑座3下端的凸块带动上滑座3沿下滑座2中部的安装槽前后滑动，手动旋转第二螺杆12，第二螺杆12在固定块11上端的螺纹孔作用下拉动下滑座2及上方部件沿安装底板1上表面的滑槽左右滑动，以此调整半导体元件的位置到外部显微镜的镜头下方，随后手动转动第四齿轮85，第四齿轮85通过第三齿轮84带动丝杆81转动，使升降台7带着上方部件沿滑柱6向下滑动，由于第四齿轮85的外径大于第三齿轮84的外径，第四齿轮85能够通过第三齿轮84带动丝杆81快速转动，使升降台7带着上方部件沿滑柱6快速向下滑动，在检测部件快要接触到半导体元件时，改为旋转第二齿轮83，由于第二齿轮83的外径小于第一齿轮82的外径，因此，第二齿轮83转动时第一齿轮82带动丝杆81缓慢转动，使升降台7带动上方部件缓慢下移，以此对装置进行微调，使检测部件接触半导体元件，在操作员操作失误时，探针95快速接触半导体元件，探针95带动安装杆93向上转动，以此缓冲半导体元件与探针95接触时的压力，旋转配重块94，调整配重块94在安装杆93上的位置，进而可以调节探针95对半导体元件的压力，防止半导体元件的损坏，圆座92能带动探针95进行角度调节，以此可调节探针95与半导体元件的接触位置，方便半导体元件的测量。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种半导体检测用探针平台，其特征在于：包括安装底板(1)、驱动机构(8)和探针安装机构(9)；

安装底板(1)：其上表面外侧设有四根均匀分布的滑柱(6)，滑柱(6)的上端滑动连接有升降台(7)；

驱动机构(8)：设置于安装底板(1)的上表面左侧，驱动机构(8)的上端与升降台(7)螺纹连接；

探针安装机构(9)：均匀分布于升降台(7)的上表面内侧；

其中：还包括下滑座(2)，所述下滑座(2)滑动连接于安装底板(1)的上表面中部，下滑座(2)的上表面滑动连接有上滑座(3)，上滑座(3)的上表面中部开设有置物槽(4)，置物槽(4)的内部设有吸盘(5)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用探针平台，其特征在于：所述驱动机构(8)包括丝杆(81)、第一齿轮(82)和第三齿轮(84)，所述丝杆(81)转动连接于安装底板(1)的上表面左侧，丝杆(81)的上端与升降台(7)左端开设的螺纹孔螺纹连接，第一齿轮(82)和第三齿轮(84)均设置于丝杆(81)的下端，第一齿轮(82)位于第三齿轮(84)的上方。

3.根据权利要求2所述的一种半导体检测用探针平台，其特征在于：所述驱动机构(8)还包括第二齿轮(83)、第四齿轮(85)和安装柱(86)，所述安装柱(86)设置于安装底板(1)的上表面左侧，第二齿轮(83)和第四齿轮(85)均转动连接于安装柱(86)的外弧面上端，第二齿轮(83)与第一齿轮(82)啮合连接，第四齿轮(85)与第三齿轮(84)啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体检测用探针平台，其特征在于：所述探针安装机构(9)包括固定座(91)、圆座(92)、安装杆(93)和探针(95)，所述固定座(91)均匀分布于升降台(7)的上表面内侧，圆座(92)分别转动连接于固定座(91)的上端，安装杆(93)分别通过转轴转动连接于圆座(92)的上端开口内，探针(95)分别插接于安装杆(93)的内端。

5.根据权利要求4所述的一种半导体检测用探针平台，其特征在于：所述探针安装机构(9)还包括配重块(94)，所述配重块(94)分别螺纹连接于安装杆(93)的中部。

6.根据权利要求1所述的一种半导体检测用探针平台，其特征在于：还包括第一螺杆(10)，所述第一螺杆(10)转动连接于下滑座(2)的中部安装槽内，上滑座(3)下端的凸块与第一螺杆(10)螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体检测用探针平台，其特征在于：还包括固定块(11)和第二螺杆(12)，所述固定块(11)设置于安装底板(1)的上表面右侧，第二螺杆(12)转动连接于下滑座(2)的右侧面中部，第二螺杆(12)的右端与固定块(11)右侧面上端设置的螺纹孔螺纹连接。

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