CN221037912U - 刻蚀机真空腔体检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及刻蚀机检测相关技术领域，具体地说，主要涉及刻蚀机真空腔体检测装置。其包括刻蚀机的真空腔体、对真空腔体的顶部进行密封的盖体和检测座，所述盖体的内部贯穿设置有与高频发生器连接的连接导线，所述真空腔体的左右两侧以及底部均设置有连接管口，所述真空腔体底部的侧边位于两组连接组件的顶部，所述连接组件通过其侧面的自动伸缩机构进行驱动，解决了刻蚀机在进行维护保养时，需要对其内部真空腔体的真空性进行检测，即检测其是否泄气，而在目前真空检测过程中，由于真空腔体的外侧以及底部分别设置有与排气阀、气瓶和真空泵连接的管道，在进行日常维护时，真空腔体底部管道会导致难以对其进行有效支撑的问题。

Description

刻蚀机真空腔体检测装置

技术领域

本实用新型涉及刻蚀机检测相关技术领域，具体地说，主要涉及刻蚀机真空腔体检测装置。

背景技术

刻蚀机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，其可在半导体制造过程中的金属刻蚀这一步骤中，对半导体金属结构或对金属图进行案化，例如，对连接集成电路组件(导线和电连接)进行金属刻蚀，传统的刻蚀机内部设置有真空腔体，在半导体刻蚀工艺里，常采用给真空反应腔室通反应气体(O2、H2/N2或CF4等其他气体)，通过RF射频电源使气体启辉产生等离子体，然后控制等离子体去刻蚀掉晶圆上需要去掉的结构。

现有技术中的刻蚀机在进行维护保养时，需要对其内部真空腔体的真空性进行检测，即检测其是否泄气，而在目前真空检测过程中，由于真空腔体的外侧以及底部分别设置有与排气阀、气瓶和真空泵连接的管道，在进行日常维护时，真空腔体底部管道会导致难以对其进行有效支撑。

鉴于此，我们提出刻蚀机真空腔体检测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供刻蚀机真空腔体检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供刻蚀机真空腔体检测装置，包括刻蚀机的真空腔体、对真空腔体的顶部进行密封的盖体和检测座，所述盖体的内部贯穿设置有与高频发生器连接的连接导线，所述真空腔体的左右两侧以及底部均设置有连接管口，所述真空腔体底部的侧边位于两组连接组件的顶部，所述连接组件通过其侧面的自动伸缩机构进行驱动，两组所述连接组件两端通过伸缩限位机构进行连接，所述连接组件和安装在检测座顶部的滑轨活动连接，所述检测座的底部中心处设置有与真空腔体底部连接管口相匹配的通孔，所述通孔的侧面安装有对真空腔体进行支撑的液压机，所述真空腔体的外侧设置有安装在检测座顶部的真空检测机构，所述自动伸缩机构、液压机和真空检测机构均与控制台电性连接。

作为本技术方案的进一步改进，所述连接管口的内部可拆卸的安装有密封塞，位于底部的所述连接管口位于液压机的侧面，位于底部的所述连接管口位于通孔的同一竖直面上。

作为本技术方案的进一步改进，所述自动伸缩机构包括连接部件、安装套和伸缩气缸，所述连接部件安装在连接组件的侧面，所述连接部件的中心处安装有安装套，所述安装套的侧面和伸缩气缸的输出端连接，所述伸缩气缸安装在检测座的顶部。

作为本技术方案的进一步改进，所述伸缩限位机构包括安装体、连接筒和滑动杆件，所述安装体安装在连接组件端口处，所述安装体的内侧安装有连接筒，所述连接筒的内部滑动连接有延伸至其外侧的滑动杆件，一组所述滑动杆件分别与两组连接筒活动连接。

作为本技术方案的进一步改进，所述真空检测机构包括真空度检测仪、连接线和吸盘，所述真空度检测仪安装在检测座的顶部，所述真空度检测仪的端口处连接有连接线，所述连接线顶部的外侧安装有吸盘。

作为本技术方案的进一步改进，所述吸盘的内侧设置有安装在连接线底部的检测触头，所述吸盘吸附在真空腔体的外侧，所述连接线和吸盘设置有若干。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

该刻蚀机真空腔体检测装置，通过自动伸缩机构和伸缩限位机构内部零件的设计，可根据待检测的真空腔体连接管口位置对其进行支撑，在不受真空腔体连接管口干扰和影响的情况下，对该真空腔体位置进行支撑定位，保证后续对该真空腔体进行真空检测的进行，同时配合真空检测机构内部零件的设计，可将进行真空检测的检测触头吸附在真空腔体的侧面，在通过真空度检测仪进行真空检测时，减少该检测触头发生掉落的概率。

附图说明

图1为本实用新型进行真空检测时整体的结构示意图；

图2为本实用新型未进行真空检测时的结构图；

图3为本实用新型连接组件和自动伸缩机构连接的结构图；

图4为本实用新型伸缩限位机构剖视的结构图。

图中各个标号意义为：

1、真空腔体；2、盖体；3、连接导线；4、连接管口；5、连接组件；6、自动伸缩机构；601、连接部件；602、安装套；603、伸缩气缸；7、检测座；8、伸缩限位机构；801、安装体；802、连接筒；803、滑动杆件；9、滑轨；10、通孔；11、液压机；12、真空检测机构；1201、真空度检测仪；1202、连接线；1203、吸盘；13、密封塞。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的其他所有实施例，都应当属于本申请保护的范围。

请参阅图1－4图所示，本实施例提供刻蚀机真空腔体检测装置，包括刻蚀机的真空腔体1、对真空腔体1的顶部进行密封的盖体2和检测座7，盖体2的内部贯穿设置有与高频发生器连接的连接导线3，真空腔体1的左右两侧以及底部均设置有连接管口4，真空腔体1底部的侧边位于两组连接组件5的顶部，连接组件5通过其侧面的自动伸缩机构6进行驱动，两组连接组件5两端通过伸缩限位机构8进行连接，连接组件5和安装在检测座7顶部的滑轨9活动连接，检测座7的底部中心处设置有与真空腔体1底部连接管口4相匹配的通孔10，通孔10的侧面安装有对真空腔体1进行支撑的液压机11，真空腔体1的外侧设置有安装在检测座7顶部的真空检测机构12，自动伸缩机构6、液压机11和真空检测机构12均与控制台电性连接。

上述工作原理：在对刻蚀机的真空腔体1进行真空检测时，首先将真空腔体1进行拆卸，之后，将真空腔体1的底部放置在液压机11的顶部，此时真空腔体1底部的连接管口4位于通孔10的竖直方向上，在进行检测前，通过控制台启动自动伸缩机构6内部零件进行运作，带动两组连接组件5进行伸缩移动，将连接组件5移动至真空腔体1的下方，此时通过液压机11带动其顶部支撑的真空腔体1进行伸缩移动，将真空腔体1底部的侧边移动至连接组件5的顶部，通过连接组件5对其位置进行定位，避免机械检测时产生的震动导致该真空腔体1发生移动，同时，在进行伸缩挤压时，通过伸缩限位机构8内部零件的设计，可对其伸缩移动位置进行限位，避免该连接组件5移动发生偏移，并且通过真空检测机构12内部零件的设计，可通过真空度检测仪1201内部真空开关灭弧室的两触头，施加真空腔体1电场脉冲高压，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场，在脉冲强磁场和强电场的作用下，灭弧室中的带电离子作螺旋运动，并与残余气体分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系，通过检测可以标定出真空度与离子电流间的对应关系曲线，进而得到真空腔体1的真空度。

为了在对真空腔体1进行检测时，对其通风的连接管口4进行密封，所以，连接管口4的内部可拆卸的安装有密封塞13，位于底部的连接管口4位于液压机11的侧面，位于底部的连接管口4位于通孔10的同一竖直面上。

本实施例中，通孔10的设计，可留有足够空间给真空腔体1底部的连接管口4，保证正常检测作业的进行，在进行真空检测前，需要对真空腔体1内部气体进行抽取。

考虑到对检测状态下真空腔体1位置进行限位，所以，自动伸缩机构6包括连接部件601、安装套602和伸缩气缸603，连接部件601安装在连接组件5的侧面，连接部件601的中心处安装有安装套602，安装套602的侧面和伸缩气缸603的输出端连接，伸缩气缸603安装在检测座7的顶部。

本申请的刻蚀机真空腔体检测装置，通过自动伸缩机构6内部连接部件601、安装套602和伸缩气缸603的设计，在通过控制台启动伸缩气缸603进行运作时，会带动其输出端安装的安装套602和连接部件601进行移动，进而达到驱动连接组件5进行移动的目的，对真空腔体1底部侧面进行支撑和挤压。

为了保证连接组件5在进行伸缩移动时的稳定性，所以，伸缩限位机构8包括安装体801、连接筒802和滑动杆件803，安装体801安装在连接组件5端口处，安装体801的内侧安装有连接筒802，连接筒802的内部滑动连接有延伸至其外侧的滑动杆件803，一组滑动杆件803分别与两组连接筒802活动连接。

本申请的刻蚀机真空腔体检测装置，通过伸缩限位机构8内部安装体801、连接筒802和滑动杆件803的设计，在连接组件5发生移动时，会同步带动其外侧安装的安装体801和连接筒802进行移动，此时连接筒802内部滑动安装的滑动杆件803会在其内侧进行滑动，对其移动位置进行限位处理。

考虑到对真空腔体1内部真空性进行检测，所以，真空检测机构12包括真空度检测仪1201、连接线1202和吸盘1203，连接线1202顶部的外侧安装有吸盘1203，吸盘1203的内侧设置有安装在连接线1202底部的检测触头，吸盘1203吸附在真空腔体1的外侧，连接线1202和吸盘1203设置有若干。

本申请的刻蚀机真空腔体检测装置，通过真空检测机构12内部真空度检测仪1201、连接线1202和吸盘1203的设计，可通过吸盘1203对连接线1202底部检测触头位置进行定位，使得进行检测的检测触头可与真空腔体1进行接触，减少其掉落的概率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.刻蚀机真空腔体检测装置，包括刻蚀机的真空腔体(1)、对真空腔体(1)的顶部进行密封的盖体(2)和检测座(7)，其特征在于：所述盖体(2)的内部贯穿设置有与高频发生器连接的连接导线(3)，所述真空腔体(1)的左右两侧以及底部均设置有连接管口(4)，所述真空腔体(1)底部的侧边位于两组连接组件(5)的顶部，所述连接组件(5)通过其侧面的自动伸缩机构(6)进行驱动，两组所述连接组件(5)两端通过伸缩限位机构(8)进行连接，所述连接组件(5)和安装在检测座(7)顶部的滑轨(9)活动连接，所述检测座(7)的底部中心处设置有与真空腔体(1)底部连接管口(4)相匹配的通孔(10)，所述通孔(10)的侧面安装有对真空腔体(1)进行支撑的液压机(11)，所述真空腔体(1)的外侧设置有安装在检测座(7)顶部的真空检测机构(12)，所述自动伸缩机构(6)、液压机(11)和真空检测机构(12)均与控制台电性连接。

2.根据权利要求1所述的刻蚀机真空腔体检测装置，其特征在于：所述连接管口(4)的内部可拆卸的安装有密封塞(13)，位于底部的所述连接管口(4)位于液压机(11)的侧面，位于底部的所述连接管口(4)位于通孔(10)的同一竖直面上。

3.根据权利要求1所述的刻蚀机真空腔体检测装置，其特征在于：所述自动伸缩机构(6)包括连接部件(601)、安装套(602)和伸缩气缸(603)，所述连接部件(601)安装在连接组件(5)的侧面，所述连接部件(601)的中心处安装有安装套(602)，所述安装套(602)的侧面和伸缩气缸(603)的输出端连接，所述伸缩气缸(603)安装在检测座(7)的顶部。

4.根据权利要求1所述的刻蚀机真空腔体检测装置，其特征在于：所述伸缩限位机构(8)包括安装体(801)、连接筒(802)和滑动杆件(803)，所述安装体(801)安装在连接组件(5)端口处，所述安装体(801)的内侧安装有连接筒(802)，所述连接筒(802)的内部滑动连接有延伸至其外侧的滑动杆件(803)，一组所述滑动杆件(803)分别与两组连接筒(802)活动连接。

5.根据权利要求1所述的刻蚀机真空腔体检测装置，其特征在于：所述真空检测机构(12)包括真空度检测仪(1201)、连接线(1202)和吸盘(1203)，所述真空度检测仪(1201)安装在检测座(7)的顶部，所述真空度检测仪(1201)的端口处连接有连接线(1202)，所述连接线(1202)顶部的外侧安装有吸盘(1203)。

6.根据权利要求5所述的刻蚀机真空腔体检测装置，其特征在于：所述吸盘(1203)的内侧设置有安装在连接线(1202)底部的检测触头，所述吸盘(1203)吸附在真空腔体(1)的外侧，所述连接线(1202)和吸盘(1203)设置有若干。