CN210037146U - 微通道板及荧光屏动态测试装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型是微通道板及荧光屏动态测试装置，包括机架和控制柜，钟罩底座上方可分离的与钟罩密封连接，钟罩与升降机传动连接，抽气连接管的一端穿过钟罩底座，另一端与抽真空系统连接，工位旋转装置的输出轴用于带动被测管托盘转动，若干个被测管可以被均匀分布在被测管托盘的上表面边缘，被测管托盘边缘下方设置有光源和电子源，光源和电子源的出射口穿过钟罩底座与被测管所在位置对正，光源和电子源的出射口上方设置有观察窗，该装置能够用于批量光电器件的荧光屏检验、微通道板增益、管壳漏电动态检测等工艺过程的检验。
Description
技术领域
本实用新型是涉及微通道板以及荧光屏检测技术领域，具体的说是微通道板及荧光屏动态测试装置。
背景技术
在对微通道板及荧光屏进行测试时，需要在在和真空环境下对通电状态的微通道板或荧光屏进行紫外光源照射或者电子源喷射，并通过对微通道板及荧光屏进行观察荧光屏有无打火、亮点、剥落，并分析其失效原因。传统的检查方式需要对荧光屏单独检测，由于检测环境营造困难，导致检测效率低下。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供微通道板及荧光屏动态测试装置，能够用于批量光电器件的荧光屏检验、微通道板增益、管壳漏电动态检测等工艺过程的检验。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：
微通道板及荧光屏动态测试装置，其特征是：包括机架和控制柜，所述的机架上安装有测试装置，所述的控制柜用于控制微通道板及荧光屏动态测试装置的控制系统、多路高压电源以及高阻计；
所述的检测装置包括钟罩底座，所述的钟罩底座上方可分离的与钟罩密封连接，所述的钟罩的上表面与升降机传动连接，抽气连接管的一端穿过钟罩底座，另一端与抽真空系统连接，所述的钟罩底座的下方设置有工位旋转装置，所述的工位旋转装置的输出轴穿过钟罩底座与被测管托盘的下表面中心传动连接，所述的工位旋转装置通过输出轴带动被测管托盘转动，若干个被测管可以被均匀分布在被测管托盘的上表面边缘，每个被测管均与一组动电极相互连接，所述的动电极设置在被测管托盘的上表面边缘；
所述的被测管托盘边缘下方设置有光源和电子源，所述的光源和电子源的出射口穿过钟罩底座与被测管所在位置对正，所述的光源和电子源的出射口上方设置有观察窗，所述的观察窗设置在钟罩上壁；
所述的钟罩底座的上表面设置有定电极，所述的定电极与动电极可接触连通，所述的定电极与真空高压同轴电缆电连通，所述的真空高压同轴电缆穿过钟罩底座。
所述的工位旋转装置包括旋转驱动电机和磁流体密封装置，所述的磁流体密封装置与钟罩底座密封连接，所述的转驱动电机的输出轴穿过钟罩底座通过连接器与被测管托盘固定连接。
所述的升降机采用悬臂式蜗轮蜗杆结构，驱动电机通过控制竖直设置的蜗轮蜗杆结构的升降进一步带动水平设置的悬臂实现升降功能，所述的水平设置的悬臂与钟罩外表面固定连接。
所述的机架采用方钢焊接形成框架结构，框架结构上表面固定安装有钢制台板，所述的钟罩底座固定安装在台板上表面。
所述的被测管托盘上表面固定安装有15~30个被测管，被测管均匀分布在被测管托盘上表面边缘。
所述的抽气连接管通过主气路与分子泵的输入端连通，所述的分子泵的输出端与隔膜泵的输入端连通；所述的主气路上设置有超高阀，所述的主气路与真空计通过管道连通，所述的主气路与涡旋泵通过支气路连通，主气路与真空计的连接处以及主气路与支气路的连接处的连接处均设置在超高阀和抽气连接管之间。
所述的支气路与放气管道连通，所述的放气管道内设置有放气阀。
该种微通道板及荧光屏动态测试装置能够产生的有益效果为：该装置能够通过旋转装置，高效灵活的一次检测15~30件被测管，操作灵活方便，可出多组数据，同时具有较高的测试精度。通过电子源和紫外光源可以对被测管进行多组项目检测。高压同轴电缆可耐直流10kv；信号读出可分辩纳安和皮安级电流。真空度系统的极限真空度优于5×10-5Pa。
附图说明
图1为本实用新型微通道板及荧光屏动态测试装置的结构示意图。
图2为本实用新型微通道板及荧光屏动态测试装置的内部结构示意图。
图3为本实用新型微通道板及荧光屏动态测试装置的抽真空系统结构示意图。
图4为本实用新型微通道板及荧光屏动态测试装置的动电极和定电极的位置示意图。
说明书附图标注：1、控制柜；2、升降机；3、观察窗；4、光源；5、钟罩；6、工位旋转装置；7、超高阀；8、分子泵；9、涡旋泵；10、机架；11、动电极；12、被测管；13、被测管托盘；14、电子源；15、定电极；16、钟罩底座；17、抽气连接管；18、旋转驱动电机；19、磁流体；20、真空高压同轴电缆；21、连接器；22、主气路；23、支气路；24、真空计。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本实用新型作进一步描述。
微通道板及荧光屏动态测试装置，其特征是：包括机架10和控制柜1，所述的机架10上安装有测试装置，所述的控制柜1用于控制微通道板及荧光屏动态测试装置的控制系统、多路高压电源以及高阻计；
所述的检测装置包括钟罩底座16，所述的钟罩底座16上方可分离的与钟罩5密封连接，所述的钟罩5的上表面与升降机2传动连接，抽气连接管17的一端穿过钟罩底座16，另一端与抽真空系统连接，所述的钟罩底座16的下方设置有工位旋转装置6，所述的工位旋转装置6的输出轴穿过钟罩底座16与被测管托盘13的下表面中心传动连接，所述的工位旋转装置6通过输出轴带动被测管托盘13转动，若干个被测管12可以被均匀分布在被测管托盘13的上表面边缘，每个被测管12均与一组动电极11相互连接，所述的动电极11设置在被测管托盘13的上表面边缘；
所述的被测管托盘13边缘下方设置有光源4和电子源14，所述的光源4和电子源14的出射口穿过钟罩底座16与被测管12所在位置对正，所述的源4和电子源14的出射口上方设置有观察窗3，所述的观察窗3设置在钟罩5上壁；
所述的钟罩底座16的上表面设置有定电极15，所述的定电极15与动电极11可接触连通，所述的定电极15与真空高压同轴电缆20电连通，所述的真空高压同轴电缆20穿过钟罩底座16。
本实施例中，观察窗3用于目测或安装CCD监测用，可以观察荧光屏有无打火、亮点、剥落，通过串接的微电流计可以计算读出MCP的电子增益，利用紫外光源上的自动关闸可以分析判断失效原因，提供MCP管壳、荧光屏等工艺制作的改进的依据。
进一步的，通过钟罩5与钟罩底座16相互密封结合形成密闭空间，通过抽真空系统对密封空间抽真空形成真空空间。用于形成检测被测管12的检测环境。
进一步的，光源4采用测试用紫外光源。
本实施例中，工位旋转装置6包括旋转驱动电机18和磁流体密封装置19，所述的磁流体密封装置19与钟罩底座16密封连接，所述的转驱动电机18的输出轴穿过钟罩底座16通过连接器21与被测管托盘13固定连接。
进一步的，旋转驱动电机18采用伺服电机，伺服电机与磁流体组成密封旋转轴，给被测管托盘13的旋转提供动力。
本实施例中，升降机2采用悬臂式蜗轮蜗杆结构，驱动电机通过控制竖直设置的蜗轮蜗杆结构的升降进一步带动水平设置的悬臂实现升降功能，所述的水平设置的悬臂与钟罩5外表面固定连接。
本实施例中，机架10采用方钢焊接形成框架结构，框架结构上表面固定安装有钢制台板，所述的钟罩底座16固定安装在台板上表面。·
本实施例中，被测管托盘13上表面固定安装有15~30个被测管12，被测管12均匀分布在被测管托盘13上表面边缘。
本实施例中，抽气连接管17通过主气路22与分子泵8的输入端连通，所述的分子泵8的输出端与隔膜泵的输入端连通；所述的主气路22上设置有超高阀7，所述的主气路22与真空计24通过管道连通，所述的主气路22与涡旋泵9通过支气路23连通，主气路22与真空计24的连接处以及主气路22与支气路23的连接处的连接处均设置在超高阀7和抽气连接管17之间。
所述的支气路23与放气管道连通，所述的放气管道内设置有放气阀。
进一步的，隔膜泵用于抽真空，分子泵8用来维持真空，涡旋泵9用来对真空空间进行预抽真空，所述的真空计24用来检测真空空间内的真空度，当真空度优于5×10-5Pa，MCP及荧光屏动态测试开始。超高阀7用于实现真空隔断，保证密闭空间的真空度。放气阀用于在检测结束后撤销真空效果。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.微通道板及荧光屏动态测试装置，其特征是：包括机架（10）和控制柜（1），所述的机架（10）上安装有测试装置，所述的控制柜（1）用于控制微通道板及荧光屏动态测试装置的控制系统、多路高压电源以及高阻计；
所述的测试装置包括钟罩底座（16），所述的钟罩底座（16）上方可分离的与钟罩（5）密封连接，所述的钟罩（5）的上表面与升降机（2）传动连接，抽气连接管（17）的一端穿过钟罩底座（16），另一端与抽真空系统连接，所述的钟罩底座（16）的下方设置有工位旋转装置（6），所述的工位旋转装置（6）的输出轴穿过钟罩底座（16）与被测管托盘（13）的下表面中心传动连接，所述的工位旋转装置（6）通过输出轴带动被测管托盘（13）转动，若干个被测管（12）可以被均匀分布在被测管托盘（13）的上表面边缘，每个被测管（12）均与一组动电极（11）相互连接，所述的动电极（11）设置在被测管托盘（13）的上表面边缘；
所述的被测管托盘（13）边缘下方设置有光源（4）和电子源（14），所述的光源（4）和电子源（14）的出射口穿过钟罩底座（16）与被测管（12）所在位置对正，所述的光源（4）和电子源（14）的出射口上方设置有观察窗（3），所述的观察窗（3）设置在钟罩（5）上壁；
所述的钟罩底座（16）的上表面设置有定电极（15），所述的定电极（15）与动电极（11）可接触连通，所述的定电极（15）与真空高压同轴电缆（20）电连通，所述的真空高压同轴电缆（20）穿过钟罩底座（16）。
2.根据权利要求1所述的微通道板及荧光屏动态测试装置，其特征在于：所述的工位旋转装置（6）包括旋转驱动电机（18）和磁流体密封装置（19），所述的磁流体密封装置（19）与钟罩底座（16）密封连接，所述的旋转驱动电机（18）的输出轴穿过钟罩底座（16）通过连接器（21）与被测管托盘（13）固定连接。
3.根据权利要求1所述的微通道板及荧光屏动态测试装置，其特征在于：所述的升降机（2）采用悬臂式蜗轮蜗杆结构，驱动电机通过控制竖直设置的蜗轮蜗杆结构的升降进一步带动水平设置的悬臂实现升降功能，所述的水平设置的悬臂与钟罩（5）外表面固定连接。
4.根据权利要求1所述的微通道板及荧光屏动态测试装置，其特征在于：所述的机架（10）采用方钢焊接形成框架结构，框架结构上表面固定安装有钢制台板，所述的钟罩底座（16）固定安装在台板上表面。
5.根据权利要求1所述的微通道板及荧光屏动态测试装置，其特征在于：所述的被测管托盘（13）上表面固定安装有15~30个被测管（12），被测管（12）均匀分布在被测管托盘（13）上表面边缘。
6.根据权利要求1所述的微通道板及荧光屏动态测试装置，其特征在于：所述的抽气连接管（17）通过主气路（22）与分子泵（8）的输入端连通，所述的分子泵（8）的输出端与隔膜泵的输入端连通；所述的主气路（22）上设置有超高阀（7），所述的主气路（22）与真空计（24）通过管道连通，所述的主气路（22）与涡旋泵（9）通过支气路（23）连通，主气路（22）与真空计（24）的连接处以及主气路（22）与支气路（23）的连接处均设置在超高阀（7）和抽气连接管（17）之间。
7.根据权利要求6所述的微通道板及荧光屏动态测试装置，其特征在于：所述的支气路（23）与放气管道连通，所述的放气管道内设置有放气阀。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN115014713A (zh) * | 2022-05-13 | 2022-09-06 | 中国科学院高能物理研究所 | 一种微通道板准直器紫外平行光检测装置及检测方法 |
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2019
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